JPH0628705U

JPH0628705U - 試料ホルダー

Info

Publication number: JPH0628705U
Application number: JP6476892U
Authority: JP
Inventors: 健森山
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1992-09-17
Filing date: 1992-09-17
Publication date: 1994-04-15

Abstract

(57)【要約】【目的】一定の作動距離で試料３の観察ができ、また
挟持治具で取扱い易い形状を有する試料ホルダー１を提
供する。【構成】係止形状を有することを特徴とする試料ホル
ダー。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、電子顕微鏡やＸ線分析装置等において、観察対象の試料を固定するための試料ホルダーに関する。

【０００２】

【従来の技術】

図４は、電子顕微鏡やＸ線分析装置あるいは光学顕微鏡、高温顕微鏡、レーザー顕微鏡、ＳＴＭ（走査型トンネル顕微鏡）、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）等に用いられる従来の試料ホルダーの一例を示す平面図（ａ）、側面図（ｂ）及び断面図（ｃ）である。図４において試料ホルダー41は、円柱の端を６０度の角度でカットした形状を有し、このカット面41ａの面上に観察対象の試料３が銀ペーストや導電性テープ等により固定される。また、試料３が固定された試料ホルダー41 は、試料ホルダー受け治具４にネジ５で固定される。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

この様な従来の試料ホルダー41では、ネジ５が当たる試料ホルダー41の位置が決まっていないので、試料ホルダー受け治具４に試料ホルダー41を固定する度に対物レンズ６と試料３の距離（作動距離またはワーキングディスタンスと呼ぶ）が変化して、一定の作動距離で試料３を観察することができず、複数の試料の正確な比較観察ができなかった。

【０００４】また、従来の試料ホルダー41の形状では試料ホルダー41をピンセット等の挟持治具で取り扱うのが困難であった。本考案の目的は、一定の作動距離で試料３の観察ができ、また挟持治具で取扱い易い形状を有する試料ホルダーを提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

そのため、本考案は、第一に「係止形状を有することを特徴とする試料ホルダー。（請求項１）」を提供する。また、本考案は、第二に「挟持補助形状を有することを特徴とする請求項１記載の試料ホルダー。（請求項２）」を提供する。

【０００６】

【作用】

係止形状を有する試料ホルダー１は、図１（ｃ）に例として示す様に試料ホルダー受け治具４に一定の高さで係止され、ネジ５によって固定されるので、作動距離も一定となる。ネジ５による固定を確実に行うために、試料ホルダー１にネジ５受け用の孔８を設けておくことが好ましい。また、この試料ホルダー１に挟持補助形状を設けることにより、ピンセット等の挟持治具による作業性が向上する。

【０００７】係止形状には、例えば図１に示す段７を有する形状や図３に示す係止突起９を有する形状が、また挟持補助形状には、例えば図１に示す深孔２や図３に示す突起10等があるが、本考案の係止形状及び挟持補助形状は、これらの形状に限定されるものではない。試料ホルダー１の材料には、導電性で非磁性の材料を使用する。非導電性材料では電荷のチャージアップにより、また磁性材料では電子線の曲折により、正常な観察像が得られないからである。

【０００８】以下、実施例により本考案を具体的に説明する。

【０００９】

【実施例】

図１（ａ），（ｂ）は、本考案による試料ホルダー１の一実施例を示す平面図及び側面図である。試料ホルダー１は、円柱の端を６０度の角度でカットした形状を有し、更に試料ホルダー受け治具４に一定の高さで係止する為の段７のある形状を有する。また、試料ホルダー１の上面には挟持補助形状として２本の深孔２を設けた。

【００１０】試料ホルダー１のカット面１ａ上の定位置に観察対象の試料３を銀ペーストや導電性テープ等により固定した後、試料ホルダー１を、試料ホルダー受け治具４にネジ５で固定した。走査型電子顕微鏡によりこの試料３の２次電子像観察を行った。次に、別の複数の試料の２次電子像を同様に観察したが、この時、作動距離は試料３の場合と同一であり、正確な比較観察ができた。

【００１１】また、試料ホルダー１の取扱いはピンセットにより２本の深孔２の部分を挟持して行ったが、作業性が良好であった。尚、２段円柱状の試料ホルダー（図２）を使用した場合にも同様の２次電子像の比較観察が可能であり、また試料ホルダー取扱いの作業性が良好であった。

【００１２】

【考案の効果】

以上詳細に説明した様に、本考案の係止形状を有する試料ホルダー１は、作動距離を一定にして複数の試料を正確に比較観察できる。また、この試料ホルダー１に挟持補助形状を設けることにより、ピンセット等の挟持治具による作業性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】は、本考案の一実施例である試料ホルダーを示
す平面図（ａ）、側面図（ｂ）及び断面図（ｃ）であ
る。

【図２】は、本考案の別の実施例である試料ホルダーを
示す平面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。

【図３】は、本考案の更に別の実施例である試料ホルダ
ーを示す平面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。

【図４】は、従来の試料ホルダーの一例を示す平面図
（ａ）、側面図（ｂ）及び断面図（ｃ）である。

【符号の説明】

１・・・試料ホルダー（本考案の例）１ａ・・試料ホルダーの６０度カット面（試料固定面）２・・・深孔（挟持補助形状の例）３・・・試料４・・・試料ホルダー受け治具５・・・ネジ６・・・対物レンズ７・・・段（係止形状の例）８・・・ネジ受け孔９・・・係止突起 10・・・突起（挟持補助形状の例） 21・・・試料ホルダー（本考案の別の例） 22・・・深孔（挟持補助形状の例） 31・・・試料ホルダー（本考案の更に別の例） 41・・・試料ホルダー（従来の例） 41ａ・・従来の試料ホルダーの６０度カット面（試料固
定面）

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】係止形状を有することを特徴とする試料
ホルダー。
【請求項２】挟持補助形状を有することを特徴とする
請求項１記載の試料ホルダー。