JPH0628775Y2 - 透過型電子顕微鏡 - Google Patents
透過型電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0628775Y2 JPH0628775Y2 JP13921089U JP13921089U JPH0628775Y2 JP H0628775 Y2 JPH0628775 Y2 JP H0628775Y2 JP 13921089 U JP13921089 U JP 13921089U JP 13921089 U JP13921089 U JP 13921089U JP H0628775 Y2 JPH0628775 Y2 JP H0628775Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- electron beam
- photographing
- room
- electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は電子ビーム通路孔を介して撮影室と接続された
チャンバー内の各種装置の破損を防止した透過型電子顕
微鏡に関する。
チャンバー内の各種装置の破損を防止した透過型電子顕
微鏡に関する。
（従来の技術） 第２図は従来の透過型電子顕微鏡の概略図を示したもの
である。１は電子ビーム発生源室、２は鏡筒、３は観察
室、４は撮影室で、各室及び鏡筒には、例えば夫々別々
の排気系（図示せず）が繋がっている。５はチャンバー
で、通常遮蔽体により塞がれている撮影室４の電子ビー
ム通路孔６をオープンの状態にして該撮影室４に接続さ
れる。７Ａ、７Ｂ、７Ｃは真空バルブである。この様な
装置において、各室及び鏡筒内は専用の排気系（図示せ
ず）で高真空に排気され、電子線像を観察する場合には
バルブ７Ａ、７Ｂをオープンの状態にし、該電子線像を
撮影する場合やチャンバー５内に設けられたＴＶカメラ
で撮影する場合には、バルブ７Ｃをオープンの状態にす
る。尚、前記チャンバー５内は前記撮影室の排気系によ
り排気される。
である。１は電子ビーム発生源室、２は鏡筒、３は観察
室、４は撮影室で、各室及び鏡筒には、例えば夫々別々
の排気系（図示せず）が繋がっている。５はチャンバー
で、通常遮蔽体により塞がれている撮影室４の電子ビー
ム通路孔６をオープンの状態にして該撮影室４に接続さ
れる。７Ａ、７Ｂ、７Ｃは真空バルブである。この様な
装置において、各室及び鏡筒内は専用の排気系（図示せ
ず）で高真空に排気され、電子線像を観察する場合には
バルブ７Ａ、７Ｂをオープンの状態にし、該電子線像を
撮影する場合やチャンバー５内に設けられたＴＶカメラ
で撮影する場合には、バルブ７Ｃをオープンの状態にす
る。尚、前記チャンバー５内は前記撮影室の排気系によ
り排気される。
さて、前記撮影室４には電子線像を撮影する為のフイル
ムが設置されており、該フイルムを交換する場合、まず
前記真空バルブ７Ｃを閉じ、その後に前記撮影室４をリ
ークしてから、該撮影室４を開けてフイルムの交換を行
っている。
ムが設置されており、該フイルムを交換する場合、まず
前記真空バルブ７Ｃを閉じ、その後に前記撮影室４をリ
ークしてから、該撮影室４を開けてフイルムの交換を行
っている。
（考案が解決しようとする課題） 所で、前記チャンバー５には、前記した様にＴＶカメラ
や電子線検出器等（共に図示せず）が設置されており、
該ＴＶカメラや電子線検出器は感度向上の為０℃以下に
冷却されている。しかし、フイルム交換の為前記撮影室
４をリークすると、該撮影室４と前記チャンバー５の間
に設けられた電子ビームの通路孔６を通じて該チャンバ
ー５中もリークされ、その為、前記０℃以下に冷却され
ていたＴＶカメラや電子線検出器の表面に露が発生し、
該ＴＶカメラや電子線検出器は破損し使用不能となる。
又、前記チャンバー５に電子線エネルギーアナライザ
（図示せず）が設置されている場合に、該チャンバー５
がリークされると、高電圧が印加された電子線エネルギ
ーアナライザの耐圧部に放電が生じ、その為、該電子線
エネルギーアナライザは破損し使用不能となる。
や電子線検出器等（共に図示せず）が設置されており、
該ＴＶカメラや電子線検出器は感度向上の為０℃以下に
冷却されている。しかし、フイルム交換の為前記撮影室
４をリークすると、該撮影室４と前記チャンバー５の間
に設けられた電子ビームの通路孔６を通じて該チャンバ
ー５中もリークされ、その為、前記０℃以下に冷却され
ていたＴＶカメラや電子線検出器の表面に露が発生し、
該ＴＶカメラや電子線検出器は破損し使用不能となる。
又、前記チャンバー５に電子線エネルギーアナライザ
（図示せず）が設置されている場合に、該チャンバー５
がリークされると、高電圧が印加された電子線エネルギ
ーアナライザの耐圧部に放電が生じ、その為、該電子線
エネルギーアナライザは破損し使用不能となる。
本考案は、この様なチャンバー５のリークによる各装置
の破損を防止することを目的としたものである。
の破損を防止することを目的としたものである。
（課題を解決する為の手段） その為に本考案は、電子ビーム発生源、電子線像を結像
する電子レンズ系を収納するレンズ鏡筒、電子レンズ系
によって結像する電子線像を観察する観察室、該電子線
像を撮影する撮影室及び該撮影室に電子ビーム通路孔を
介して接続されたチャンバーを備えた透過型電子顕微鏡
において、前記撮影室と前記電子ビーム通路孔に真空バ
ルブを設置し、且つ、前記観察室と前記チャンバーを管
で接続した。
する電子レンズ系を収納するレンズ鏡筒、電子レンズ系
によって結像する電子線像を観察する観察室、該電子線
像を撮影する撮影室及び該撮影室に電子ビーム通路孔を
介して接続されたチャンバーを備えた透過型電子顕微鏡
において、前記撮影室と前記電子ビーム通路孔に真空バ
ルブを設置し、且つ、前記観察室と前記チャンバーを管
で接続した。
（実施例） 第１図は本考案の一実施例を示した透過型電子顕微鏡の
概略図である。図中前記第２図と同一番号を付したもの
は同一構成要素である。
概略図である。図中前記第２図と同一番号を付したもの
は同一構成要素である。
図中８は真空バルブで、電子ビーム通路孔（第２図６参
照）の部分に設けられる。９は管で、観察室３とチャン
バー５の間に接続される。
照）の部分に設けられる。９は管で、観察室３とチャン
バー５の間に接続される。
この様な透過型電子顕微鏡において、電子線像を電子線
像を観察する場合にはバルブ７Ａ、７Ｂをオープンの状
態にし、該電子線像を撮影する場合やチャンバー５内に
設けられたＴＶカメラで撮影する場合には、バルブ７Ｃ
及び８をオープンの状態にする。
像を観察する場合にはバルブ７Ａ、７Ｂをオープンの状
態にし、該電子線像を撮影する場合やチャンバー５内に
設けられたＴＶカメラで撮影する場合には、バルブ７Ｃ
及び８をオープンの状態にする。
又、前記撮影室４中のフイルムを交換する場合には、先
ず、前記真空バルブ７Ｃ、８を閉じる、そして次に該撮
影室４をリークし、その後に該撮影室４を開けてフイル
ムの交換を行う。また、前記チャンバー５と前記観察室
３は管９で接続され、該チャンバー５は撮影室３を排気
するポンプ（図示せず）により排気されているので、常
に該チャンバー５は一定の真空度を保持している。
ず、前記真空バルブ７Ｃ、８を閉じる、そして次に該撮
影室４をリークし、その後に該撮影室４を開けてフイル
ムの交換を行う。また、前記チャンバー５と前記観察室
３は管９で接続され、該チャンバー５は撮影室３を排気
するポンプ（図示せず）により排気されているので、常
に該チャンバー５は一定の真空度を保持している。
また、フイルムの交換が終了したら、前記撮影室４を排
気し、該撮影室４の真空度が前記観察室３又は前記チャ
ンバー５の真空度に到達した時点で前記真空バルブ７Ｃ
及び８を開ければ、該３つの部屋（観察室３、撮影室
４、チャンバー５）は一様な真空状態に設定できる。
気し、該撮影室４の真空度が前記観察室３又は前記チャ
ンバー５の真空度に到達した時点で前記真空バルブ７Ｃ
及び８を開ければ、該３つの部屋（観察室３、撮影室
４、チャンバー５）は一様な真空状態に設定できる。
（考案の効果） 本考案は、撮影室と前記チャンバーの接合部の電子ビー
ムの通路に真空バルブを設置し、且つ、該チャンバーと
観察室を管で接続したので、前記撮影室をリークしてフ
イルムを交換する際、該リークによる電子ビーム通路孔
を通じての前記チャンバーのリークを防止できるので、
該チャンバー中に設置されている電子線検出器や電子線
エネルギーアナライザー等の装置の破損を防止できる。
ムの通路に真空バルブを設置し、且つ、該チャンバーと
観察室を管で接続したので、前記撮影室をリークしてフ
イルムを交換する際、該リークによる電子ビーム通路孔
を通じての前記チャンバーのリークを防止できるので、
該チャンバー中に設置されている電子線検出器や電子線
エネルギーアナライザー等の装置の破損を防止できる。
第１図は本考案の一実施例を示した透過型電子顕微鏡の
概略図、第２図は従来の透過型電子顕微鏡の概略図を示
したものである。 １……電子ビーム発生源 ２……鏡筒、３……観察室 ４……撮影室、５……チャンバー ６……電子ビーム通路孔 ７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、８……真空バルブ ９……管
概略図、第２図は従来の透過型電子顕微鏡の概略図を示
したものである。 １……電子ビーム発生源 ２……鏡筒、３……観察室 ４……撮影室、５……チャンバー ６……電子ビーム通路孔 ７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、８……真空バルブ ９……管
Claims (1)
- 【請求項１】電子ビーム発生源、電子線像を結像する電
子レンズ系を収納するレンズ鏡筒、電子レンズ系によっ
て結像する電子線像を観察する観察室、該電子線像を撮
影する撮影室及び該撮影室に電子ビーム通路孔を介して
接続されたチャンバーを備えた透過型電子顕微鏡におい
て、前記撮影室と前記電子ビーム通路孔に真空バルブを
設置し、且つ、前記観察室と前記チャンバーを管で接続
した事を特徴とすると透過型電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13921089U JPH0628775Y2 (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 透過型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13921089U JPH0628775Y2 (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 透過型電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0377359U JPH0377359U (ja) | 1991-08-02 |
| JPH0628775Y2 true JPH0628775Y2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=31686271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13921089U Expired - Lifetime JPH0628775Y2 (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 透過型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0628775Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-11-30 JP JP13921089U patent/JPH0628775Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0377359U (ja) | 1991-08-02 |
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