JPH0629771A - 弾性表面波変換器 - Google Patents
弾性表面波変換器Info
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- JPH0629771A JPH0629771A JP17978592A JP17978592A JPH0629771A JP H0629771 A JPH0629771 A JP H0629771A JP 17978592 A JP17978592 A JP 17978592A JP 17978592 A JP17978592 A JP 17978592A JP H0629771 A JPH0629771 A JP H0629771A
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims abstract description 40
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 8
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 入力電極の各櫛歯（電極指）が容易に断線さ
れないようにするとともに、周波数に対する群遅延特性
および振幅特性を良好にする。 【構成】 圧電基盤２０上に基部２１ａ，２１ｂおよび
電極指２１ｃ，２１ｄからなる重み付け弾性表面波変換
器を構成する入力電極２１を配置するとともに、正規型
弾性表面波変換器を構成する出力電極２２を配置する。
入力電極２１の交差してない電極指２１ｃ，２１ｄ部分
に吸音材２５を各電極指２１ｃ，２１ｄに交差させて線
状に塗布するとともに、入力電極２１と出力電極２２と
の間の弾性表面波の伝搬路の縁部に吸音材２６を塗布す
る。これにより、多重反射や、回折現象による不要弾性
表面波が吸収され、周波数に対する群遅延特性および振
幅特性にリップル、うねり等が小さく抑えられる。ま
た、吸音材２５は弾性表面波の発生に影響を与えること
なく、電極指２１ｃ，２１ｄ部分の強度を高める。
れないようにするとともに、周波数に対する群遅延特性
および振幅特性を良好にする。 【構成】 圧電基盤２０上に基部２１ａ，２１ｂおよび
電極指２１ｃ，２１ｄからなる重み付け弾性表面波変換
器を構成する入力電極２１を配置するとともに、正規型
弾性表面波変換器を構成する出力電極２２を配置する。
入力電極２１の交差してない電極指２１ｃ，２１ｄ部分
に吸音材２５を各電極指２１ｃ，２１ｄに交差させて線
状に塗布するとともに、入力電極２１と出力電極２２と
の間の弾性表面波の伝搬路の縁部に吸音材２６を塗布す
る。これにより、多重反射や、回折現象による不要弾性
表面波が吸収され、周波数に対する群遅延特性および振
幅特性にリップル、うねり等が小さく抑えられる。ま
た、吸音材２５は弾性表面波の発生に影響を与えること
なく、電極指２１ｃ，２１ｄ部分の強度を高める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電気信号を一旦弾性表
面波に変換するとともに同弾性表面波を再度電気信号に
変換して出力することにより、入力した電気信号の特性
を変更して出力する弾性表面波変換器に関する。
面波に変換するとともに同弾性表面波を再度電気信号に
変換して出力することにより、入力した電気信号の特性
を変更して出力する弾性表面波変換器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の装置は、例えば図６に示
すように、圧電体基盤１０上に交差長を異ならせた櫛歯
状の入力電極１１と前記入力電極１１に対向させた櫛歯
状の出力電極１２とを設けるとともに、入力電極１１お
よび出力電極１２の各外側に吸音材１３，１４をそれぞ
れ塗布してなり、入力電極１１に発振器１５からの高周
波信号を入力して、出力電極１２に接続した抵抗１６か
ら帯域制限され所定の周波数特性を有する出力信号を得
るようにしていた。
すように、圧電体基盤１０上に交差長を異ならせた櫛歯
状の入力電極１１と前記入力電極１１に対向させた櫛歯
状の出力電極１２とを設けるとともに、入力電極１１お
よび出力電極１２の各外側に吸音材１３，１４をそれぞ
れ塗布してなり、入力電極１１に発振器１５からの高周
波信号を入力して、出力電極１２に接続した抵抗１６か
ら帯域制限され所定の周波数特性を有する出力信号を得
るようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の装
置にあっては、入力電極１１自体における多重反射や、
同入力電極１１と出力電極との間の多重反射などによ
り、周波数に対する群遅延特性および振幅特性にリップ
ル、うねり等が発生するという問題があった。また、回
折現象によっても、周波数に対する群遅延特性および振
幅特性にリップル、うねり等が発生するという問題があ
った。さらに、入力電極１１の各櫛歯は、製造時などに
しばしば断線することがあった。本発明は上記問題に対
処するためになされたもので、入力電極の各櫛歯が容易
に断線されないようにするとともに、周波数に対する群
遅延特性および振幅特性が良好となる弾性表面波変換器
を提供することにある。
置にあっては、入力電極１１自体における多重反射や、
同入力電極１１と出力電極との間の多重反射などによ
り、周波数に対する群遅延特性および振幅特性にリップ
ル、うねり等が発生するという問題があった。また、回
折現象によっても、周波数に対する群遅延特性および振
幅特性にリップル、うねり等が発生するという問題があ
った。さらに、入力電極１１の各櫛歯は、製造時などに
しばしば断線することがあった。本発明は上記問題に対
処するためになされたもので、入力電極の各櫛歯が容易
に断線されないようにするとともに、周波数に対する群
遅延特性および振幅特性が良好となる弾性表面波変換器
を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、上記請求項１に係る発明の構成上の特徴は、入力電
極の交差してない櫛歯部分に吸音材を各櫛歯に交差させ
て線状に塗布したことにある。
に、上記請求項１に係る発明の構成上の特徴は、入力電
極の交差してない櫛歯部分に吸音材を各櫛歯に交差させ
て線状に塗布したことにある。
【０００５】また、上記請求項２に係る発明の構成上の
特徴は、前記請求項１に係る発明に係る弾性表面波変換
器において、入力電極と出力電極との間の弾性表面波の
伝搬路の縁部に第２の吸音材を塗布したことにある。
特徴は、前記請求項１に係る発明に係る弾性表面波変換
器において、入力電極と出力電極との間の弾性表面波の
伝搬路の縁部に第２の吸音材を塗布したことにある。
【０００６】
【発明の作用・効果】上記のように構成した請求項１に
係る発明においては、前記塗布された吸音材が、入力電
極部における多重反射や、同入力電極と出力電極との間
の多重反射を抑制するので、周波数に対する群遅延特性
および振幅特性におけるリップル、うねり等を小さく抑
えられる。また、入力電極の交差してない櫛歯部分は弾
性表面波を発生するためには寄与しておらず、前記塗布
された吸音材が同櫛歯部分の断線を防止するので、弾性
表面波の発生に影響を与えることなく、前記吸音材は櫛
歯部分の強度を高くする。その結果、前記請求項１に係
る発明によれば、周波数に対する群遅延特性および振幅
特性が良好になるとともに、入力電極の各櫛歯が容易に
断線されないようになる。
係る発明においては、前記塗布された吸音材が、入力電
極部における多重反射や、同入力電極と出力電極との間
の多重反射を抑制するので、周波数に対する群遅延特性
および振幅特性におけるリップル、うねり等を小さく抑
えられる。また、入力電極の交差してない櫛歯部分は弾
性表面波を発生するためには寄与しておらず、前記塗布
された吸音材が同櫛歯部分の断線を防止するので、弾性
表面波の発生に影響を与えることなく、前記吸音材は櫛
歯部分の強度を高くする。その結果、前記請求項１に係
る発明によれば、周波数に対する群遅延特性および振幅
特性が良好になるとともに、入力電極の各櫛歯が容易に
断線されないようになる。
【０００７】また、上記のように構成した請求項２に係
る発明においては、前述のような作用とともに、第２の
吸音材が、回折現象による周波数に対する群遅延特性お
よび振幅特性におけるリップル、うねり等の発生を防止
する。その結果、前記請求項２に係る発明によれば、前
記請求項１に係る発明よりも、周波数に対する群遅延特
性および振幅特性がさらに良好になる。
る発明においては、前述のような作用とともに、第２の
吸音材が、回折現象による周波数に対する群遅延特性お
よび振幅特性におけるリップル、うねり等の発生を防止
する。その結果、前記請求項２に係る発明によれば、前
記請求項１に係る発明よりも、周波数に対する群遅延特
性および振幅特性がさらに良好になる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明
すると、図１は同実施例に係る弾性表面波変換器を概略
的に示した平面図である。この弾性表面波変換器は、Li
NbO3,LiTaO3,水晶などの圧電材料を直方体状に形成した
圧電基盤２０を備えている。圧電基盤２０上には、入力
電極２１および出力電極２２が相対向して設けられてい
て、弾性表面波W1が入力電極２１から出力電極２２に伝
搬されるようになっている。入力電極２１は平行に延設
された一対の基部２１ａ，２１ｂと各基部２１ａ，２１
ｂからそれぞれ垂直に延設された多数の電極指２１ｃ，
２１ｄとからなる櫛歯状に形成されており、各電極指２
１ｃ，２１ｄ間の交差長を異ならせて重み付け弾性表面
波変換器を構成している。出力電極２２は平行に延設さ
れた一対の基部２２ａ，２２ｂと各基部２２ａ，２２ｂ
からそれぞれ垂直に延設された少数の電極指２２ｃ，２
２ｄとからなる櫛歯状に形成されており、各電極指２１
ｃ，２１ｄ間の交差長を一定にして正規型弾性表面波変
換器を構成している。
すると、図１は同実施例に係る弾性表面波変換器を概略
的に示した平面図である。この弾性表面波変換器は、Li
NbO3,LiTaO3,水晶などの圧電材料を直方体状に形成した
圧電基盤２０を備えている。圧電基盤２０上には、入力
電極２１および出力電極２２が相対向して設けられてい
て、弾性表面波W1が入力電極２１から出力電極２２に伝
搬されるようになっている。入力電極２１は平行に延設
された一対の基部２１ａ，２１ｂと各基部２１ａ，２１
ｂからそれぞれ垂直に延設された多数の電極指２１ｃ，
２１ｄとからなる櫛歯状に形成されており、各電極指２
１ｃ，２１ｄ間の交差長を異ならせて重み付け弾性表面
波変換器を構成している。出力電極２２は平行に延設さ
れた一対の基部２２ａ，２２ｂと各基部２２ａ，２２ｂ
からそれぞれ垂直に延設された少数の電極指２２ｃ，２
２ｄとからなる櫛歯状に形成されており、各電極指２１
ｃ，２１ｄ間の交差長を一定にして正規型弾性表面波変
換器を構成している。
【０００９】入力電極２１及び出力電極２２の各外側に
は吸音材（ダンパー材）２３，２４がそれぞれ塗布され
ている。入力電極２１の交差してない電極指２１ｃ，２
１ｄすなわち櫛歯部分には、複数の線状に形成した吸音
材２５，２５…が各電極指２１ｃ，２１ｄに交差するよ
うに略等間隔で塗布され、各吸音材の２５，２５…の両
端は入力電極２１の基部２１ａ，２１ｂと吸音材２３に
接続されている。さらに、入力電極２１と出力電極２２
との間の弾性表面波の伝搬路上であってその縁部には一
対の吸音材２６，２６が塗布されている。
は吸音材（ダンパー材）２３，２４がそれぞれ塗布され
ている。入力電極２１の交差してない電極指２１ｃ，２
１ｄすなわち櫛歯部分には、複数の線状に形成した吸音
材２５，２５…が各電極指２１ｃ，２１ｄに交差するよ
うに略等間隔で塗布され、各吸音材の２５，２５…の両
端は入力電極２１の基部２１ａ，２１ｂと吸音材２３に
接続されている。さらに、入力電極２１と出力電極２２
との間の弾性表面波の伝搬路上であってその縁部には一
対の吸音材２６，２６が塗布されている。
【００１０】このように構成した弾性表面波変換器の使
用状態においては、入力電極２１の基部２１ａ，２１ｂ
に高周波発振器２７が接続されるとともに出力電極２２
の基部２２ａ，２２ｂ間には抵抗２８が接続されて、抵
抗２８の両端から出力信号を得るようにする。これによ
り、高周波発振器２７からの高周波電気信号は入力電極
２１にて弾性表面波W1に変換され、同弾性表面波W1が出
力電極２２に伝搬されて同電極２２にてふたたび電気信
号に変換されて出力される。この場合、入力された高周
波信号は、入力電極２１、出力電極２２などにより、帯
域制限されかつ所定の周波数特性をもつ信号に変換され
て出力されることになる。
用状態においては、入力電極２１の基部２１ａ，２１ｂ
に高周波発振器２７が接続されるとともに出力電極２２
の基部２２ａ，２２ｂ間には抵抗２８が接続されて、抵
抗２８の両端から出力信号を得るようにする。これによ
り、高周波発振器２７からの高周波電気信号は入力電極
２１にて弾性表面波W1に変換され、同弾性表面波W1が出
力電極２２に伝搬されて同電極２２にてふたたび電気信
号に変換されて出力される。この場合、入力された高周
波信号は、入力電極２１、出力電極２２などにより、帯
域制限されかつ所定の周波数特性をもつ信号に変換され
て出力されることになる。
【００１１】このような弾性表面波変換器の作動状態に
おいては、吸音材２３，２５，２６は入力電極２１から
出力されて圧電基盤２０上を伝搬する不要弾性表面波W
2，W3を吸収し、吸音材２４は出力電極２２から出力さ
れて圧電基盤２０上を伝搬する不要弾性表面波W4を吸収
する。特に、吸音材２５は入力電極２１の電極指２１
ｃ，２１ｄの多重反射による不要な弾性表面波を吸収す
る効果があり、吸音材２６は回折現象による不要な弾性
表面波を吸収する効果がある。
おいては、吸音材２３，２５，２６は入力電極２１から
出力されて圧電基盤２０上を伝搬する不要弾性表面波W
2，W3を吸収し、吸音材２４は出力電極２２から出力さ
れて圧電基盤２０上を伝搬する不要弾性表面波W4を吸収
する。特に、吸音材２５は入力電極２１の電極指２１
ｃ，２１ｄの多重反射による不要な弾性表面波を吸収す
る効果があり、吸音材２６は回折現象による不要な弾性
表面波を吸収する効果がある。
【００１２】このような吸音材２５，２６による吸音効
果を図２〜５を用いて説明すると、図２は吸音材２３，
２４を設けた状態で吸音材２５，２６を用いない場合
（従来技術）における周波数に対する遅延時間特性を示
しており、図３は破線により同状態で吸音材２５のみを
用いた場合（吸音材２６を用いない場合）における同遅
延時間特性を示し、かつ実線により同状態で両吸音材２
５，２６を用いた場合における同遅延特性を示してい
る。これによれば、吸音材２５により全体的な遅延特性
のリップル、うねりなどが抑制され、かつ吸音材２６に
より図３の一点鎖線で囲んだ部分の遅延特性のリップ
ル、うねりなどが特に抑制されることが理解できる。ま
た、図４は実線により吸音材２３，２４を設けた状態で
吸音材２５，２６を用いない場合（従来技術）における
周波数に対する振幅特性を示し、かつ破線により前記振
幅特性を縦方向の目盛りを１０倍にして示しており、図
５は実線により同状態で吸音材２５，２６を用いた場合
における同振幅特性を示し、かつ破線により前記振幅特
性を縦方向の目盛りを１０倍にして示している。これに
よれば、吸音材２５，２６により振幅特性の全体的なリ
ップル、うねりなどが抑制されることが理解できる。
果を図２〜５を用いて説明すると、図２は吸音材２３，
２４を設けた状態で吸音材２５，２６を用いない場合
（従来技術）における周波数に対する遅延時間特性を示
しており、図３は破線により同状態で吸音材２５のみを
用いた場合（吸音材２６を用いない場合）における同遅
延時間特性を示し、かつ実線により同状態で両吸音材２
５，２６を用いた場合における同遅延特性を示してい
る。これによれば、吸音材２５により全体的な遅延特性
のリップル、うねりなどが抑制され、かつ吸音材２６に
より図３の一点鎖線で囲んだ部分の遅延特性のリップ
ル、うねりなどが特に抑制されることが理解できる。ま
た、図４は実線により吸音材２３，２４を設けた状態で
吸音材２５，２６を用いない場合（従来技術）における
周波数に対する振幅特性を示し、かつ破線により前記振
幅特性を縦方向の目盛りを１０倍にして示しており、図
５は実線により同状態で吸音材２５，２６を用いた場合
における同振幅特性を示し、かつ破線により前記振幅特
性を縦方向の目盛りを１０倍にして示している。これに
よれば、吸音材２５，２６により振幅特性の全体的なリ
ップル、うねりなどが抑制されることが理解できる。
【００１３】また、上記実施例によれば、吸音材２５は
入力電極２１の電極指２１ｃ，２１ｄの交差してない部
分に設けられており、同部分は弾性表面波を発生するた
めには寄与していない。一方、この吸音材２５は前記部
分の強度を高めて製造行程時などにおける断線を防止す
る。したがって、吸音材２５により、弾性表面波の発生
に影響を与えることなく、入力電極２１の電極指２１
ｃ，２１ｄが容易に破断されないようになって、この弾
性表面波変換器の歩留まりを向上させることができる。
入力電極２１の電極指２１ｃ，２１ｄの交差してない部
分に設けられており、同部分は弾性表面波を発生するた
めには寄与していない。一方、この吸音材２５は前記部
分の強度を高めて製造行程時などにおける断線を防止す
る。したがって、吸音材２５により、弾性表面波の発生
に影響を与えることなく、入力電極２１の電極指２１
ｃ，２１ｄが容易に破断されないようになって、この弾
性表面波変換器の歩留まりを向上させることができる。
【００１４】なお、上記実施例においては、入力電極２
１を対称形に構成して電極指２１ｃ，２１ｄの交差しな
い部分が対称に現れるようにしたので、吸音材２５を対
称に設けたが、電極指２１ｃ，２１ｄの交差しない部分
を対称に設けないで一方に偏位させた場合には、吸音材
２５を前記一方すなわち電極指２１ｃ，２１ｄが交差し
ない部分のみに設けるようにする。
１を対称形に構成して電極指２１ｃ，２１ｄの交差しな
い部分が対称に現れるようにしたので、吸音材２５を対
称に設けたが、電極指２１ｃ，２１ｄの交差しない部分
を対称に設けないで一方に偏位させた場合には、吸音材
２５を前記一方すなわち電極指２１ｃ，２１ｄが交差し
ない部分のみに設けるようにする。
【図１】 本発明の一実施例を示す弾性表面波変換器の
平面概略図である。
平面概略図である。
【図２】 従来技術における周波数に対する遅延時間の
特性グラフである。
特性グラフである。
【図３】 破線により吸音材２５のみを用いた場合にお
ける前記遅延時間特性を示し、かつ実線により吸音材２
５，２６を用いた場合における同遅延特性を示したグラ
フである。
ける前記遅延時間特性を示し、かつ実線により吸音材２
５，２６を用いた場合における同遅延特性を示したグラ
フである。
【図４】 実線により従来技術における周波数に対する
振幅特性を示し、かつ破線により同振幅特性を縦方向の
目盛りを１０倍にして示したグラフである。
振幅特性を示し、かつ破線により同振幅特性を縦方向の
目盛りを１０倍にして示したグラフである。
【図５】 実線により吸音材２５，２６を用いた場合に
おける前記振幅特性を示し、かつ破線により同振幅特性
を縦方向の目盛りを１０倍にして示したグラフである。
おける前記振幅特性を示し、かつ破線により同振幅特性
を縦方向の目盛りを１０倍にして示したグラフである。
【図６】 従来の弾性表面波変換器の平面概略図であ
る。
る。
２０…圧電基盤、２１…入力電極、２２…出力電極、２
３〜２６…吸音材。
３〜２６…吸音材。
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電体基盤上に交差長を異ならせた櫛歯
状の入力電極と前記入力電極に対向させた櫛歯状の出力
電極とを設けてなる弾性表面波変換器において、前記入
力電極の交差してない櫛歯部分に吸音材を各櫛歯に交差
させて線状に塗布したことを特徴とする弾性表面波変換
器。 - 【請求項２】 前記請求項１に記載した弾性表面波変換
器において、前記入力電極と出力電極との間の弾性表面
波の伝搬路の縁部に吸音材を塗布したことを特徴とする
弾性表面波変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17978592A JPH0629771A (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | 弾性表面波変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17978592A JPH0629771A (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | 弾性表面波変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0629771A true JPH0629771A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=16071854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17978592A Pending JPH0629771A (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | 弾性表面波変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0629771A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8723082B2 (en) | 2004-07-09 | 2014-05-13 | Fronius International Gmbh | Device for transporting a welding wire |
-
1992
- 1992-07-07 JP JP17978592A patent/JPH0629771A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8723082B2 (en) | 2004-07-09 | 2014-05-13 | Fronius International Gmbh | Device for transporting a welding wire |
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