JPH06300635A - 放射測定器 - Google Patents

放射測定器

Info

Publication number
JPH06300635A
JPH06300635A JP6052136A JP5213694A JPH06300635A JP H06300635 A JPH06300635 A JP H06300635A JP 6052136 A JP6052136 A JP 6052136A JP 5213694 A JP5213694 A JP 5213694A JP H06300635 A JPH06300635 A JP H06300635A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
radiation
detector
detectors
optical system
modulator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP6052136A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2826699B2 (ja
Inventor
Ulrich Kienitz
キーニッツ ウルリッヒ
Thomas Heinke
ハインケ トーマス
Uwe Klonowski
クロノフスキー ウーベ
Peter Preuss
プロイス ペータ
Volker Schmidt
シュミット フォルカー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Raytek Sensorik GmbH
Original Assignee
Raytek Sensorik GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Raytek Sensorik GmbH filed Critical Raytek Sensorik GmbH
Publication of JPH06300635A publication Critical patent/JPH06300635A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2826699B2 publication Critical patent/JP2826699B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/52Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using comparison with reference sources, e.g. disappearing-filament pyrometer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 放射測定器において、光学系の特性放射の要
因を排除すること。 【構成】 この発明は被測定物より発せられる電磁放射
を測定する放射測定器1,1′である。この電磁放射が
光学系4を通って届く第1の検出器5と共に、基準要素
7,7′から発せられる電磁放射が光学系4を通って届
く第2の検出器6を備えている。信号処理装置では、こ
の2個の検出器5,6の出力信号の差を求めて処理す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、被測定物から発せら
れる電磁放射の測定器、詳しくは請求項1前文に記載の
放射温度計に関する。
【0002】
【従来の技術】被測定物から発せられる熱放射を光学系
を通して検知する単一の検出器要素を有する放射温度計
は、この分野で公知である。しかしこの(単一検出器要
素の)場合、光学系の特性(又は固有の)熱放射も検出
器出力信号に混入する問題が生じる。イメージング用光
学系の特性熱放射(の影響)を減少するため、屈折光学
系には高いグレードの(放射)低吸収性材料を使用し、
また反射光学系には良好な(放射)反射面を使用するこ
とが提案されている。
【0003】他の(光学系の特性放射を減少する)可能
な手段として、光学系の温度が既知に場合に、電子的に
信号を補償することが考えられる。この目的のため、放
射温度計では、第2の検出器を設けてその直ぐ前にこれ
を覆う基準要素を配置し、基準要素から発せられる基準
放射をこの第二の検出器に達するようにしている。(基
準要素に)対応して配置された温度感知器を用いて、温
度が測定器で測定されて、この測定器では(この温度を
考慮して)2個の検出器の出力信号の処理がされる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この電
子的補償は、光学系内の例えば周囲温度の急激な変化の
ような不規則な温度分布が起こる場合は適当でない。こ
のような温度変化は、例えば装置を手に持つことが原因
で生じ得る。
【0005】このため、この発明の目的は、周囲温度の
急激な変化が生じたときでも光学系の特性放射が有効に
補償されるような、請求項1の前文記載の測定器を開発
することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】この目的は、この発明に
よれば、基準要素から発せられた基準放射が光学系を通
って第2の検出器に達する構成を採択するという次の請
求項1に記載する特記事項によって達成される。
【0007】第1の変換器(5)と、被測定物から発せ
られる電磁放射を第1の検出器に送る光学系(4)と、
第2の検出器(6)と、第2の検出器に達する基準放射
を発する基準要素(7,7′)と、及び2個の検出器の
出力信号をその差を形成して処理する処理装置とを備え
た放射測定器、特に放射温度計において、基準要素
(7,7′)から発する基準放射が光学系(4)を通っ
て第2の検出器(6)に送られる構成を特徴とする放射
測定器。
【0008】
【作用】この構成を採択したことにより、2個の検出器
の出力信号の差を形成した後は、光学系の特性放射の要
因は排除され、光学系の温度とは無関係な測定信号が得
られる。
【0009】この発明によれば、一定光線及び間欠光線
を検知する両方の検出器が使用できる。
【0010】更にこの発明の実施の態様は、引用形式で
記載の請求項の構成とする。
【0011】
【実施例】この発明に係る2つの実施例を、図面を参照
しながら以下に詳細に説明する。
【0012】図1は、この発明に係る放射測定器の第1
の実施例を示す。図2は、この発明に係る放射測定器の
第2の実施例を示す。図3は、この発明に係る放射測定
器に用いられる光変調素子ディスクの正面図を示す。図
4は、この発明に係る放射測定器と共に使用されるディ
ジタルアナログ変換器(D/A)を示す。
【0013】図1に示す測定器1は本質的に、入口開口
2を有するハウジング3、光学系4、第1の検出器5、
第2の検出器6及び基準要素7を備えている。
【0014】両検出器5,6は一定光線を検知するが、
間欠光線を検知する検出器を両検出器5,6として使用
できる。図1に示す第1の実施例では、間欠光線を検知
する検出器が用いられている。次に第1の実施例では、
入口開口2と2個の検出器5,6との間の(放射)ビー
ム通路に間欠的に導入される光変調器8を必要とする。
この発明によれば変調器8は、光学系4と2個の検出器
5,6との間に配置するのが有利である。変調器8につ
いての更に詳細な構成に関しては、図3の説明を参照さ
れたい。
【0015】図1に簡単に図示された光学系4は、一方
では入口開口2を第1の検出器5の検出器表面にイメー
ジ(又は映し出)し、他方では基準要素7を第2の検出
器6の検出器表面にイメージする。入口開口2をもつ測
定器1を測定すべき対象物に向けて整合した場合、次の
出力信号が2個の検出器5,6から発生する。
【0016】 U1=S1*(Iobj+Iopt−Imod) U2=S2*(Iref+Iopt−Imod) ここで、U1:第1の検出器5の電気的出力信号 U2:第2の検出器6電気的出力信号 S1:第1の検出器5の放射感度 S2:第2の検出器6の放射感度 Iobj:被測定物から発せられ入口開口2を通って測
定器に入射する電磁放射の放射強度、 Iref:基準要素7の特性放射強度 Iopt:光学系4の特性放射強度 Imod:光変調器8の特性放射強度。
【0017】2個の検出器5,6の2つの出力信号U
1,U2は(信号処理)装置に送られ、この(信号処
理)装置は図1に詳細は示されてないがこの2つの信号
の差を形成して処理する。
【0018】2つの出力信号の処理において、既知の基
準要素7の温度をが考慮(して信号処理)される。この
(基準要素の)温度は、基準要素7に接触した任意の適
当な機器により測定される。
【0019】2個の検出器5,6の放射感度S1,S2
が同じであるとすると、2つの出力信号の差は、次式に
よって与えられる。
【0020】 Umea=U1−U2=S*(Iobj−Iref) ここで、S=S1=S2
【0021】即ち、この方法で測った測定信号Umea
は、光学系4の特性放射(Iopt)及び変調器の特性
放射(Imod)に無関係になる。このことは、光学系
4、変調器8及び基準要素7の温度が相違していても、
結果として測定信号に影響を与えないことを意味する。
従って、測定器は、例えば、周囲温度の急激な変化で生
ずるような測定器1に不規則な温度分布が生じた場合で
も、信頼できる放射測定が可能となる。
【0022】この発明を完成するにあたり行った実験で
は、この発明による補償をしない場合、周囲温度の急激
な変化の結果生ずる測定誤差は約10°Kであった。
(一方)この発明の測定器を使用した場合、残る誤差は
僅か約1.5°Kになる。この残りの誤差は、主に2個
の検出器5,6の放射感度の相違によって生ずる。
【0023】この残りの誤差は、例えば電気的に相互に
統合された2個の検出器を使用することにより一層減少
することができる。
【0024】可能な限り最良の方法で(光)変調器8の
熱時定数を光学系の熱時定数に適合さて、この残りの誤
差を更に減少することができる。
【0025】光変調器8は本質的に、図3に示すような
半円状変調素子ディスク9からなり、小型回転式ステッ
ピングモータ10によって軸9aの周りを回転させられ
る。変調器8の変調素子ディスク9が、或る位置におい
て、2個の検出器5,6を覆って放射対して不透過な変
調部分を形成するように、ステッピングモータ10は2
個の検出器5,6にごく近接して配置されている。即
ち、この位置では、放射は光学系4を通って2個の検出
器5,6に到達できない。約180°回転すると、変調
器8の放射透過性部分が、ビーム通路に入り込む。この
部分は、変調素子ディスク9を単に半円状に形成すると
いう簡単な方法で作ることができる。
【0026】変調素子ディスク9の位置確認の装置を無
くするために、ステッピングモータ10に、2つの位置
をもたせることが好ましい。光学系と2個の検出器5,
6の間のビーム通路内で、(変調素子ディスクが)1つ
位置では放射不透過部分となり、他の位置では放射透過
部分となる。(光)変調器8の角度位置はモータ巻き線
を流れる電流の方向により決められるので、これら2つ
の位置を繰り返し発生することができる。
【0027】このような回転ステッピングモータ10の
別の利点は、非常に低いエネルギ消費にある。しかし、
この低エネルギ消費は、非常に軽重量の特徴をもつ変調
素子ディスク9を使用しなければならないことをも意味
する。
【0028】この軽量化は、変調素子ディスク9に、放
射に面する側面と放射と離れた側面の両方を金属材料で
被覆したポリエチレンテレフタレートの基材を使用する
ことにより達成できる。このような変調素子ディスク9
は、一面では軽量なこと、他面では異なる温度レベル及
び大気湿度レベルにおいて十分に稠密なことに特徴があ
る。更に、変調器9は、電磁放射、特に赤外領域に対し
不透過性である。
【0029】この金属被覆もまた良好な熱伝導率を確保
し、その結果変調素子ディスク9の熱時定数が従来の変
調素子ディスクに比べて著しく減少し、また光学系4の
熱時定数に適合している。このようにして、周囲温度が
急激に変化した時でも2個の検出器5,6の感度の相違
によるこの残りの誤差は、一層減少される。
【0030】しかし、図3に示す変調器9の形状は、例
えば四分円形の(光素子ディスクの)セグメントを相互
に向かい合わせに置いて形成するような適当な方法に変
更することもできる。
【0031】図2に、測定器の第2の実施例を示す。第
2の実施例は、図1に示す第1の実施例に実質的に同じ
であり、従って同じ部材は同じ符号が付されている。
【0032】(第1の実施例との)大きな相違は、符号
7′で示す要素の構成にある。この場合、基準要素7′
としてイメージされる面は、第2の検出器6の検出器表
面に対して垂直になっていない。このことは、基準(要
素の)面が検出器表面にぼんやりと投影されることにな
るが、しかしこれに対応して一層大きい基準(要素の)
面にすることで補償されている。
【0033】この基準要素7′は、好ましくはハウジン
グ3の入口開口2の(ある)領域のハウジング3の内側
に配置される。その結果、ハウジング3はその前側領域
3aを円錐形に傾斜を付けることができる。こうして、
ハウジング3の入口開口2のある前面3bは比較的小さ
くなる。この形状はそれ自体もまた、測定器1′を測定
する対象物に向けて良好且つ正確に整合するのに便利な
ものとなる。従って、測定器1は、特に回路板上の部品
の温度を測定するのに適している。
【0034】しかし元々、測定器1,1′によって、そ
の他の電磁放射を測定することは可能である。(放射)
測定器を必要な構成を行って、例えば被測定物から放出
される熱量を測定することが可能となる。
【0035】第1及び第2の検出器を複数個の検出器に
より構成することも、この発明の技術的範囲に含まれ
る。その場合、ノイズの減少はこの構成に応じた補正計
算により行う。
【0036】多くの用途では、このアナログ測定信号は
更にコンピュータ処理される。この目的のため、アナロ
グ測定信号は先ず最初にアナログディジタル変換器(A
/D)でディジタル信号に変換される。コンピュータで
処理された測定信号を再びアナログ形式にしたい場合、
この再変換はディジタルアナログ変換器(D/A)で実
行される。
【0037】これら(A/D及びD/A)の変換作用を
実行するための詳細な回路構成は、当業界で公知であ
る。アナログ信号から対応ディジタル信号を得るための
アナログディジタル変換器(A/D)では、アナログ信
号からアナログ出力電圧が1量子化ステップ未満の偏差
になるまで近似値に逐次的に変換される。この方法で変
換されたディジタル信号は、次にコンピュータにより処
理できる。
【0038】コンピュータにより処理されたディジタル
信号を再びアナログ信号に変換する場合、このディジタ
ル信号はディジタルアナログ変換器(D/A)に入力さ
れる。
【0039】この目的のため、接続した電流電圧変換器
をもつ逆作用のRと2Rの抵抗網が回路面から比較的簡
単に作ることができ、ディジタルアナログ変換器(D/
A)として一般に使用されている。電子的に制御される
CMOSスイッチが、個々のスイッチ段用のスイッチと
して用いられる。
【0040】上で述べた形式によるディジタルアナログ
変換器11として4つのスイッチング段12a,12
b,12c及び12dをもつものを、図4に示す。個々
のスイッチング段は各々、本質的にスイッチ13a,1
3b,13c又は13dと、少なくても或る抵抗R1,
R2を有している。
【0041】図4の回路構成で用いられる抵抗R1とR
2は、次の条件を満たしている。 R2=2R1
【0042】その結果、個々のスイッチング段12a〜
12dの重みが左から右へ、1:2:4:8の比で増加
する。13a〜13dのスイッチをもっているので、異
なる段が最小量子化ステップの0〜15倍の範囲で可能
となる。
【0043】スイッチ13a〜13dの位置を特定する
と、対応して全抵抗が発生し、その結果基準電圧源の電
圧Urefために、これに応じて入力電圧Ueが電流電
圧変換器14に設定される。この(入力)電圧(Ue)
は、次にこれに対応する出力電圧Uaを発生し、このア
ナログ出力電圧はスイッチ13a〜13dによって設定
されたディジタル信号に対応している。
【0044】この回路構成は理論上、任意の方法で拡張
できる。正確な基準電圧源だけでなく、この回路構成で
は全ての上記抵抗は、条件R2=2R1を正確に満足す
る必要がある。
【0045】上述の(放射)測定器と共にディジタルア
ナログ変換器(D/A)を使用する場合、(放射)測定
器に対応した精度のクラスで動作させるためには、例え
ば12のスイッチング段を必要とする。
【0046】この場合、個々に通常の市販クラスの公差
をもつ抵抗を使ったディジタルアナログ変換器(D/
A)は所望の精度を発揮できない問題点が生じる。従っ
て、コスト意識を若干無視した集積化回路網が一般に使
用される。
【0047】計算時間と記憶容量に関し十分な余裕をも
つコンピュータが利用でき、どんな場合でも試料による
機器校正が実行される場合、個々のスイッチング段の正
確な重みを測定して記憶し、この重みをアナログディジ
タル変換及びディジタルアナログ変換の後の誤差補正計
算に含めることは明かである。
【0048】しかしこの場合、1つのスイッチング段の
重みが、より下位の重み全部の合計より1量子化ステッ
プ以上あるにも拘らず、いわゆるビットエラーが変換特
性に発生し得ることが分かった。その結果、この場合一
方では何等のアナログ値も全く発生しなく、他方では異
なるスイッチ位置で、相互に1量子化ステップ未満相違
するアナログ値が発生してしまう。
【0049】上述したディジタルアナログ変換器(D/
A)は、上述の欠点を回避するように開発されている。
【0050】これは、隣接するスイッチング段の重みの
比を1:2以下にすることで達成される。
【0051】即ち、最小重みで決まる1量子化ステップ
未満だけ相互に相違する幾つかのアナログ値が異なるス
イッチ位置で発生するために、スイッチング段以上の特
定の量子化範囲が必要になる。しかし、隣接するスイッ
チ段の重みの比を抵抗の最大公差に適当に適合させるこ
とにより、上記ディジタルアナログ変換特性のこのギャ
ップは回避できる。
【0052】このようなディジタルアナログ変換器(D
/A)は図4の構成に対応しており、ここでは必要な精
度のため更に多くのスイッチ段を追加することができ
る。例えば、16のスイッチング段をもち且つ抵抗が公
称値に対し5%の偏差を示すものを使用する場合、上述
の欠点はその抵抗が次の条件を満たせば回避できる。 R1/R2=2.7/1
【0053】このディジタルアナログ変換器(D/A)
は(放射)測定器1,1′と共に使用されるのに適して
いるが、(放射)測定器とは独立して使用することも考
えられる。
【0054】
【発明の効果】この発明に係る放射測定器、特に放射温
度計は、第1の変換器と、被測定物から発せられる電磁
放射を第1の検出器に送る光学系と、第2の検出器と、
第2の検出器に達する基準放射を発する基準要素と、及
び2個の検出器の出力信号をその差を形成して処理する
処理装置とを備え、基準要素から発する基準放射が光学
系を通って第2の検出器に送られる構成とすることによ
り、これら2個の検出器の出力信号の差を形成した後
は、光学系の特性放射の要因は排除され、光学系の温度
とは無関係な測定信号が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に係る放射温度計の第1の実施例の構
成図である。
【図2】この発明に係る放射温度計の第2の実施例の構
成図である。
【図3】第1及び第2の実施例に使用される光変調器の
光変調素子ディスクの正面図である。
【図4】第1及び第2の実施例の放射温度計と共に使用
されるディジタルアナログ変換器の実施例を示す図であ
る。
【符号の説明】
1,1′ 放射測定器,放射温度計 2 入口開口 3 ハウジング, 3a 前側領域, 3b 前面 4 光学系 5 第1の検出器 6 第2の検出器 7,7′ 基準要素 8 光変調器 9 光変調素子ディスク, 9a 軸 10 ステッピングモータ 11 ディジタルアナログ変換器 12a〜12d スイッチング段 13a〜13d スイッチ 14 電流電圧変換器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウーベ クロノフスキー ドイツ連邦共和国 ベルリン ベルリーナ アリー120 (72)発明者 ペータ プロイス ドイツ連邦共和国 ベルリン ツェペリン シュトラーセ 106 (72)発明者 フォルカー シュミット ドイツ連邦共和国 ベルリン ノッセナー シュトラーセ 42/301

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の変換器(5)と、 被測定物から発せられる電磁放射を上記第1の検出器に
    送る光学系(4)と、 第2の検出器(6)と、 上記第2の検出器に達する基準放射を発する基準要素
    (7,7′)と、 上記2個の検出器の出力信号をその差を形成して処理す
    る処理装置とを備えた放射測定器、特に放射温度計にお
    いて、 上記基準要素(7,7′)から発する基準放射が光学系
    (4)を通って第2の検出器(6)に送られる構成を特
    徴とする放射測定器。
  2. 【請求項2】 上記基準要素(7,7′)の温度を感知
    する機器を備えたことを特徴とする請求項1に記載の装
    置。
  3. 【請求項3】 上記第1及び第2の検出器(5,6)と
    して間欠光を検知線する検出器を用いたことを特徴とす
    る請求項1または請求項2に記載の装置。
  4. 【請求項4】 上記光学系(4)と上記検出器(5,
    6)の間のビーム通路に、少なくても1つの放射透過部
    分と1つの放射不透過部分とを形成する光変調器を備え
    たことを特徴とする請求項3に記載の装置。
  5. 【請求項5】 上記光変調器(8)が、放射不透過部分
    (変調器ディスク9)を放射に面する側面と放射と離れ
    た側面の両方を金属材料で被覆したポリエチレンテレフ
    タレートの基材により形成することを特徴とする請求項
    4に記載の装置。
  6. 【請求項6】 上記光変調器(8)を小形回転ステッピ
    ングモータ(10)により駆動することを特徴とする請
    求項4または請求項5に記載の装置。
  7. 【請求項7】 上記第1及び第2の検出器として一定光
    線を検知する検出器を用いたことを特徴とする請求項1
    または請求項2に記載の装置。
  8. 【請求項8】 上記放射測定器の後段に上記2個の検出
    器からの出力信号を処理するディジタルアナログ変換器
    が配置され、該ディジタルアナログ変換器が、 基準電圧源(Uref)と、 各々が少なくても或る抵抗(R1,R2)とスイッチ
    (13a,13b,13c,13d)をもつ隣接する少
    なくても2つのスイッチング段(12a,12b,12
    c,12d)と、 出力信号(Ua)を生成する電流電圧変換器(14)と
    を備え、 隣接するスイッチング段の比が1:2以下であることを
    特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記
    載の装置。
JP6052136A 1993-03-25 1994-03-23 放射測定器 Expired - Lifetime JP2826699B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4309762A DE4309762C2 (de) 1993-03-25 1993-03-25 Meßgerät
DE4309762:6 1993-03-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06300635A true JPH06300635A (ja) 1994-10-28
JP2826699B2 JP2826699B2 (ja) 1998-11-18

Family

ID=6483865

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6052136A Expired - Lifetime JP2826699B2 (ja) 1993-03-25 1994-03-23 放射測定器

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5640015A (ja)
EP (1) EP0617263B1 (ja)
JP (1) JP2826699B2 (ja)
DE (2) DE4309762C2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997017887A1 (en) * 1995-11-13 1997-05-22 Citizen Watch Co., Ltd. Clinical radiation thermometer

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19842403B4 (de) * 1998-09-16 2004-05-06 Braun Gmbh Strahlungssensor mit mehreren Sensorelementen
US6467952B2 (en) * 1999-03-19 2002-10-22 Tokyo Electron Limited Virtual blackbody radiation system and radiation temperature measuring system
US6667761B1 (en) * 2000-04-14 2003-12-23 Imaging & Sensing Technology Corporation Instrument visualization system
US7369156B1 (en) 2005-05-12 2008-05-06 Raytek Corporation Noncontact temperature measurement device having compressed video image transfer
RU2365882C2 (ru) * 2007-06-22 2009-08-27 Сергей Сергеевич Сергеев Пирометр
US20090168835A1 (en) * 2007-12-28 2009-07-02 Thomas Heinke Portable IR Thermometer Having USB-HID Interface
US8549428B2 (en) * 2007-12-28 2013-10-01 Fluke Corporation Portable IR thermometer having graphical user display and interface
US8136984B1 (en) 2009-04-20 2012-03-20 Fluke Corporation Portable IR thermometer having thermal imaging capability
CN107588854B (zh) * 2016-07-08 2019-07-02 杭州新瀚光电科技有限公司 基于内置参考体的高精度测温方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60125529A (ja) * 1983-12-12 1985-07-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd 赤外線放射温度の測定方法
JPS63115018A (ja) * 1986-10-31 1988-05-19 Jeol Ltd 赤外線カメラ
JPH05296843A (ja) * 1992-04-22 1993-11-12 Mitsubishi Electric Corp 可視近赤外放射計の校正装置
JPH06109549A (ja) * 1992-09-24 1994-04-19 Mitsubishi Electric Corp 赤外線撮像装置

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE973495C (de) * 1950-11-09 1960-03-10 Theo Dr-Ing Muenker Verfahren zum fortlaufenden Messen und Regeln der Temperatur eines in einem Ofen erhitzten Gegenstandes
US2920485A (en) * 1955-01-11 1960-01-12 Servo Corp Of America Pyrometer
DE2061463C3 (de) * 1970-12-14 1978-08-03 Heimann Gmbh, 6200 Wiesbaden Strahlungsmeßgerät, insbesondere Pyrometer
CH547487A (de) * 1972-07-27 1974-03-29 Bbc Brown Boveri & Cie Verfahren zur beruehrungslosen und materialunabhaengigen temperaturmessung an oberflaechen mittels infrarot-pyrometer.
US4005605A (en) * 1974-07-22 1977-02-01 Mikron Instrument Company, Inc. Remote reading infrared thermometer
DE2503259C3 (de) * 1975-01-28 1979-06-07 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren zur berührungslosen Fernmessung von Temperaturdifferenzen
US4144758A (en) * 1977-09-12 1979-03-20 Jones & Laughlin Steel Corporation Radiation measurement of a product temperature in a furnace
GB2071316B (en) * 1979-09-12 1983-11-09 Raytek Inc Hand-held digital temperature measuring instrument
DD146340A1 (de) * 1979-09-28 1981-02-04 Norbert Maciejewicz Pyrometer
US4435092A (en) * 1980-07-25 1984-03-06 Nippon Steel Corporation Surface temperature measuring apparatus for object within furnace
US4356396A (en) * 1980-12-17 1982-10-26 Siemens Corporation Fiber optical measuring device with compensating properties
JPS62112021A (ja) * 1985-11-11 1987-05-23 Minolta Camera Co Ltd 焦電型温度センサ
DE3803840A1 (de) * 1988-02-09 1989-08-17 Leybold Ag Fotometer
US4831258A (en) * 1988-03-04 1989-05-16 Exergen Corporation Dual sensor radiation detector
US4883364A (en) * 1988-11-14 1989-11-28 Barnes Engineering Company Apparatus for accurately measuring temperature of materials of variable emissivity
GB2233457A (en) * 1989-06-21 1991-01-09 Schlumberger Technologies Ltd Temperature reference junction for a multichannel temperature sensing system.
DE3932479A1 (de) * 1989-09-28 1991-04-11 Endress Hauser Gmbh Co Anordnung zur verarbeitung von sensorsignalen
DE4225996A1 (de) * 1992-08-06 1993-02-25 Merkel Wolfgang Infrarot gasanalysator z1

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60125529A (ja) * 1983-12-12 1985-07-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd 赤外線放射温度の測定方法
JPS63115018A (ja) * 1986-10-31 1988-05-19 Jeol Ltd 赤外線カメラ
JPH05296843A (ja) * 1992-04-22 1993-11-12 Mitsubishi Electric Corp 可視近赤外放射計の校正装置
JPH06109549A (ja) * 1992-09-24 1994-04-19 Mitsubishi Electric Corp 赤外線撮像装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997017887A1 (en) * 1995-11-13 1997-05-22 Citizen Watch Co., Ltd. Clinical radiation thermometer
US6155712A (en) * 1995-11-13 2000-12-05 Citizen Watch Co., Ltd. Radiation clinical thermometer

Also Published As

Publication number Publication date
DE59403071D1 (de) 1997-07-17
DE4309762C2 (de) 1995-11-16
US5640015A (en) 1997-06-17
DE4309762A1 (de) 1994-09-29
JP2826699B2 (ja) 1998-11-18
EP0617263A1 (de) 1994-09-28
EP0617263B1 (de) 1997-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6538250B2 (en) Microbolometer focal plane array with controlled bias
US4587513A (en) Noncontact shaft angle detector
US5914483A (en) Sun sensor
US5815410A (en) Ratio type infrared thermometer
US20080021671A1 (en) Method for generating a control output for a position control loop
JPH06300635A (ja) 放射測定器
WO1997042474A9 (en) Improved ratio type infrared thermometer
EP0531947B1 (en) Position detecting apparatus
JPS637338B2 (ja)
JP2000304570A (ja) 位相調整回路、スケール信号発生回路および位置測定装置
Cebula et al. Calibration of the shuttle borne solar backscatter ultraviolet spectrometer
Boivin et al. Electrically calibrated radiometer using a thin film thermopile
EP1016849A1 (en) Length measuring instrument
US4586026A (en) Infrared gas analyzer using count quadrature sampling
JP2005009987A (ja) マルチアングル測色計
JPS608714A (ja) 絶対位置検出形光学式シヤフトエンコ−ダ
JPH08278203A (ja) 赤外線放射温度計
JP2569485B2 (ja) レ−ザ回折光の強度分布測定装置
JPH0943056A (ja) 測光量装置
JP2859043B2 (ja) 半導体基板熱処理装置
JPH0843208A (ja) 赤外線検知回路
JPS6342441A (ja) 凹面鏡の精度測定装置
SU954914A1 (ru) Установка дл автоматической поверки цифровых приборов
JP2001041880A (ja) 光沢センサ
SU419743A1 (ru) Устройство для автоматической цифровойрегистрации распределения температуры поповерхности нагретого тела