JPH06302040A - 光磁気ディスク検査装置 - Google Patents
光磁気ディスク検査装置Info
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- JPH06302040A JPH06302040A JP8634493A JP8634493A JPH06302040A JP H06302040 A JPH06302040 A JP H06302040A JP 8634493 A JP8634493 A JP 8634493A JP 8634493 A JP8634493 A JP 8634493A JP H06302040 A JPH06302040 A JP H06302040A
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- optical disk
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 本発明は消去、書き込み、照合の３工程が
必要とされる光磁気ディスクの検査を、書き込み工程を
省略した簡便な方法でその欠陥を見出して、検査時間を
短縮するようにした光磁気ディスク検査装置の提供を目
的とするものである。 【構成】 本発明の光磁気ディスク検査装置は、消去
済みの光磁気ディスクの偏光角信号の変動を走査中にモ
ニターし、その偏光角信号の変動が予め定められたスラ
イスレベルを越えた場合に欠陥の存在を認識するように
してなることを特徴とするものである。
必要とされる光磁気ディスクの検査を、書き込み工程を
省略した簡便な方法でその欠陥を見出して、検査時間を
短縮するようにした光磁気ディスク検査装置の提供を目
的とするものである。 【構成】 本発明の光磁気ディスク検査装置は、消去
済みの光磁気ディスクの偏光角信号の変動を走査中にモ
ニターし、その偏光角信号の変動が予め定められたスラ
イスレベルを越えた場合に欠陥の存在を認識するように
してなることを特徴とするものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光磁気ディスク検査装
置、特には消去、書込み、照合の３工程が必要とされる
光磁気ディスクの検査を、簡便な方法で欠陥を見出して
検査時間を短縮するようにしてなる光磁気ディスク検査
装置に関するものである。
置、特には消去、書込み、照合の３工程が必要とされる
光磁気ディスクの検査を、簡便な方法で欠陥を見出して
検査時間を短縮するようにしてなる光磁気ディスク検査
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光磁気ディスクは書き換えが可能で、か
つ持ち運びが可能な大容量記憶媒体であることから、主
にコンピューターの情報記憶用として使用されている
が、これは収められている情報の消失が重要な問題であ
り、したがってこの製造時にはその品質管理が非常に重
要なものとされている。そのため、この光磁気ディスク
の製造に当っては、工程の要所、要所に検査工程が置か
れ、さらに最終工程で実ドライブもしくはそれに類似し
た機能を有する検査装置で全数検査が行なわれている。
つ持ち運びが可能な大容量記憶媒体であることから、主
にコンピューターの情報記憶用として使用されている
が、これは収められている情報の消失が重要な問題であ
り、したがってこの製造時にはその品質管理が非常に重
要なものとされている。そのため、この光磁気ディスク
の製造に当っては、工程の要所、要所に検査工程が置か
れ、さらに最終工程で実ドライブもしくはそれに類似し
た機能を有する検査装置で全数検査が行なわれている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかして、この最終検
査はディスクの全トラックにわたって走査することが望
ましいが、これにはディスクの容量が大きく、１回の検
査には消去、書き込み、照合の３工程が必要であること
から、90mm型ディスク１枚の検査には通常８分以上の時
間が必要とされている。そのため、光磁気ディスクを量
産する場合には、最終検査工程において多くの検査装置
を並列に稼動させる必要があり、この検査装置について
は価格の安い民生用ドライブを改造したものを使用する
ことが多いけれども、それでもドライブの台数が多いこ
とから検査システムの高価格化は避けられないし、これ
にはメンテナンスの頻度が高くなるという問題点があ
る。
査はディスクの全トラックにわたって走査することが望
ましいが、これにはディスクの容量が大きく、１回の検
査には消去、書き込み、照合の３工程が必要であること
から、90mm型ディスク１枚の検査には通常８分以上の時
間が必要とされている。そのため、光磁気ディスクを量
産する場合には、最終検査工程において多くの検査装置
を並列に稼動させる必要があり、この検査装置について
は価格の安い民生用ドライブを改造したものを使用する
ことが多いけれども、それでもドライブの台数が多いこ
とから検査システムの高価格化は避けられないし、これ
にはメンテナンスの頻度が高くなるという問題点があ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不
利、問題点を解決した光磁気ディスク検査装置に関する
ものであり、これは消去（一定方向に着磁）済みの光磁
気ディスクの偏光角信号の変動を走査中にモニターし、
その偏光角信号の変動が予め定められたスライスレベル
を越えた場合に欠陥の存在を認識するようにしてなるこ
とを特徴とするものである。
利、問題点を解決した光磁気ディスク検査装置に関する
ものであり、これは消去（一定方向に着磁）済みの光磁
気ディスクの偏光角信号の変動を走査中にモニターし、
その偏光角信号の変動が予め定められたスライスレベル
を越えた場合に欠陥の存在を認識するようにしてなるこ
とを特徴とするものである。
【０００５】すなわち、本発明者は光磁気ディスクの全
トラック検査を短時間で完了可能とする光磁気ディスク
検査装置を開発すべく種々検討した結果、これについて
は光磁気ディスク検査の書込み工程を省略して、消去状
態の光磁気ディスクの偏光角信号の変動を走査中にモニ
ターし、その偏光角信号の変動を予め定められているス
ライスレベルと比較したときに、この偏光角信号の変動
がそのスライスレベルを越えたときにはこれに欠陥があ
ると判断できることを見出し、したがってこの検査装置
にこの偏光角信号の変動幅を認識する機構を付加すれば
欠陥の存在するトラックおよびセクタの特定も可能にな
るということを確認して本発明を完成させた。以下にこ
れをさらに詳述する。
トラック検査を短時間で完了可能とする光磁気ディスク
検査装置を開発すべく種々検討した結果、これについて
は光磁気ディスク検査の書込み工程を省略して、消去状
態の光磁気ディスクの偏光角信号の変動を走査中にモニ
ターし、その偏光角信号の変動を予め定められているス
ライスレベルと比較したときに、この偏光角信号の変動
がそのスライスレベルを越えたときにはこれに欠陥があ
ると判断できることを見出し、したがってこの検査装置
にこの偏光角信号の変動幅を認識する機構を付加すれば
欠陥の存在するトラックおよびセクタの特定も可能にな
るということを確認して本発明を完成させた。以下にこ
れをさらに詳述する。
【０００６】
【作用】本発明の光磁気ディスク検査装置は前記したよ
うに、消去ずみの光磁気ディスクの偏光角信号の変動を
走査中にモニターし、その偏光角信号の変動が予め定め
られたスライスレベルを越えた場合には欠陥の存在を認
識するようにしてなることを特徴とするものであるが、
これによれば書込み工程を省略しても光磁気ディスクの
欠陥を容易に認識することができるので、光磁気ディス
クの検査を短時間で行なうことができるし、安価な民生
用ドライブを検査装置に使用することができるので、検
査システムを低価格化することができるという有利性が
与えられる。
うに、消去ずみの光磁気ディスクの偏光角信号の変動を
走査中にモニターし、その偏光角信号の変動が予め定め
られたスライスレベルを越えた場合には欠陥の存在を認
識するようにしてなることを特徴とするものであるが、
これによれば書込み工程を省略しても光磁気ディスクの
欠陥を容易に認識することができるので、光磁気ディス
クの検査を短時間で行なうことができるし、安価な民生
用ドライブを検査装置に使用することができるので、検
査システムを低価格化することができるという有利性が
与えられる。
【０００７】本発明の光磁気ディスクの検査装置は書込
み工程を省略して消去状態のディスクの偏光状態を直接
調べることによって検査を行なうものであるが、具体的
には予め消去した光磁気ディスクの偏光角の変化を検出
し、その変化が一定以上に大きくなったものを光磁気デ
ィスクの欠陥として認識するものである。この光磁気デ
ィスクは図１に示されているように通常はガラス、プラ
スチック板などからなる基板の上にＳｉＮ、ＡｌＮ、Ａ
ｌＳｉＮ、ＳｉＣ、ＢＮ、ＳｉＣＮ、ＳｉＯなどからな
る第一の誘電体膜、ＴｂＦｅＣｏ膜などからなる記録膜
（光磁記膜）、第一の誘電体膜と同一組成の第二の誘電
体膜およびＡｌ合金からなる反射膜を形成してなるもの
とされるが、この消去状態のものは偏光が一定方向に回
転した状態にあるものとなる。
み工程を省略して消去状態のディスクの偏光状態を直接
調べることによって検査を行なうものであるが、具体的
には予め消去した光磁気ディスクの偏光角の変化を検出
し、その変化が一定以上に大きくなったものを光磁気デ
ィスクの欠陥として認識するものである。この光磁気デ
ィスクは図１に示されているように通常はガラス、プラ
スチック板などからなる基板の上にＳｉＮ、ＡｌＮ、Ａ
ｌＳｉＮ、ＳｉＣ、ＢＮ、ＳｉＣＮ、ＳｉＯなどからな
る第一の誘電体膜、ＴｂＦｅＣｏ膜などからなる記録膜
（光磁記膜）、第一の誘電体膜と同一組成の第二の誘電
体膜およびＡｌ合金からなる反射膜を形成してなるもの
とされるが、この消去状態のものは偏光が一定方向に回
転した状態にあるものとなる。
【０００８】しかし、これは図１に示したようにこれに
一定のスライスレベルを設けておき、この走査中の光磁
気ディスクの偏光角信号の変動をモニターすると、この
光磁気ディスクの全膜、光磁気膜の磁気、反射膜、記録
膜の薄膜、記録膜自体に欠陥がある場合にはこの偏光角
信号の変動が図１に示したようにスライスレベルをオー
バーしたものとなり、この部分に欠陥のあることが検知
されるので、これによれば従来行なわれていた書込み工
程を行なわなくても欠陥の検査が可能となる。
一定のスライスレベルを設けておき、この走査中の光磁
気ディスクの偏光角信号の変動をモニターすると、この
光磁気ディスクの全膜、光磁気膜の磁気、反射膜、記録
膜の薄膜、記録膜自体に欠陥がある場合にはこの偏光角
信号の変動が図１に示したようにスライスレベルをオー
バーしたものとなり、この部分に欠陥のあることが検知
されるので、これによれば従来行なわれていた書込み工
程を行なわなくても欠陥の検査が可能となる。
【０００９】これは非磁性である反射膜でも同様で、こ
の場合も図１に示したように反射膜に欠陥がある場合に
は偏光角信号の変動がスライスレベルを越えるが、図２
には反射膜の厚みが変化したときの偏光角の変化が示さ
れている。
の場合も図１に示したように反射膜に欠陥がある場合に
は偏光角信号の変動がスライスレベルを越えるが、図２
には反射膜の厚みが変化したときの偏光角の変化が示さ
れている。
【００１０】また、この光磁気ディスクについては反射
光量を表す反射信号でディスクのプリフォーマット部を
再生する手段で、現在走査中のトラックNo. およびセク
トNo. を認識する手段を付加することがよく、これによ
れば検出された欠陥の存在するトラックおよびセクタを
特定することができる。
光量を表す反射信号でディスクのプリフォーマット部を
再生する手段で、現在走査中のトラックNo. およびセク
トNo. を認識する手段を付加することがよく、これによ
れば検出された欠陥の存在するトラックおよびセクタを
特定することができる。
【００１１】なお、これについては図３に示したように
一定時間毎にパルスを発生するクロック信号発生手段と
パルスの数をカウントするクロックカウント手段を付加
しておいて、セクターの先端から欠陥が発生するまでの
クロック数をカウントすれば、セクタ中の欠陥の位置を
特定することが可能となるし、偏光角信号がスライスレ
ベルをオーバーしている間のクロック数を調べることに
よって欠陥サイズを見積もることも可能になるという有
利性が与えられる。
一定時間毎にパルスを発生するクロック信号発生手段と
パルスの数をカウントするクロックカウント手段を付加
しておいて、セクターの先端から欠陥が発生するまでの
クロック数をカウントすれば、セクタ中の欠陥の位置を
特定することが可能となるし、偏光角信号がスライスレ
ベルをオーバーしている間のクロック数を調べることに
よって欠陥サイズを見積もることも可能になるという有
利性が与えられる。
【００１２】しかし、実際の装置では偏光角信号を微分
し、その微分信号にスライスレベルを設けるなどの手段
でより確実に欠陥を検出できるようにすることが望まし
い。また光磁気ディスクを高磁場中に曝したり、ディス
クを加熱しながら磁界を印加することなどによって短時
間で一定方向に着磁して消去工程を代用してもよく、こ
れらを本発明による検査装置を用いる方法と組み合わせ
ればさらに短時間で最終検査を完了させることができ
る。
し、その微分信号にスライスレベルを設けるなどの手段
でより確実に欠陥を検出できるようにすることが望まし
い。また光磁気ディスクを高磁場中に曝したり、ディス
クを加熱しながら磁界を印加することなどによって短時
間で一定方向に着磁して消去工程を代用してもよく、こ
れらを本発明による検査装置を用いる方法と組み合わせ
ればさらに短時間で最終検査を完了させることができ
る。
【００１３】
【実施例】つぎに本発明の実施例をあげる。 実施例 評価ディスクとして１ＳＯ準拠90mm型光磁気ディスクを
用いることとし、これを予め消去したのち、図４に示し
たようにこのものの偏光角信号を再生し、この再生信号
を微分処理した。ついでこの微分信号にスライスレベル
を設けて２値化して得た信号、つまりディスク欠陥に対
応したパルスを含む信号のパルス数をパルスカウンター
によりカウントして光磁気ディスク上の欠陥数を測定し
た。なお、この場合に用いた測定装置および測定条件は
下記のものとした。
用いることとし、これを予め消去したのち、図４に示し
たようにこのものの偏光角信号を再生し、この再生信号
を微分処理した。ついでこの微分信号にスライスレベル
を設けて２値化して得た信号、つまりディスク欠陥に対
応したパルスを含む信号のパルス数をパルスカウンター
によりカウントして光磁気ディスク上の欠陥数を測定し
た。なお、この場合に用いた測定装置および測定条件は
下記のものとした。
【００１４】１）測定装置 光磁気ドライブ ：ナカミチ社製 ＯＭＳ-2,000（レーザー波長 780nm、ＮＡ＝0.53） 微
分器および２値化装置：ナカミチ社製 エラーレートチェッカーＥＲＣ-2,010 パルスカウンタ ：ナカミチ社製 ジッタドロップアウト測定器ＪＤ-2,000 通常エラーレート測定器：ナカミチ社製 エラーレートチェッカーＥＲＣ-2,010 ２）測定条件 ｉ) 消去状態ディスクの欠陥検査 測定位置 ：10〜1,009TrackのＲＡＭ領域 ディスク回転数 ：2,400rpm リードレーザーパワー ：1.0mＷ 消去パワー ：0.8mＷ 消去磁場 ：250 Ｏe ii) バイトエラーレート（通常の測定方法＝比較例） 測定位置 ：10〜1,009TrackのＲＡＭ領域 ディスク回転数 ：2,400rpm リードレーザーパワー ：1.0mＷ 消去パワー ：8.0mＷ 消去磁場 ：250 Ｏe 記録パワー ：7.0mＷ 記録磁場 ：250 Ｏe 記録信号 ：ＣＦ23
分器および２値化装置：ナカミチ社製 エラーレートチェッカーＥＲＣ-2,010 パルスカウンタ ：ナカミチ社製 ジッタドロップアウト測定器ＪＤ-2,000 通常エラーレート測定器：ナカミチ社製 エラーレートチェッカーＥＲＣ-2,010 ２）測定条件 ｉ) 消去状態ディスクの欠陥検査 測定位置 ：10〜1,009TrackのＲＡＭ領域 ディスク回転数 ：2,400rpm リードレーザーパワー ：1.0mＷ 消去パワー ：0.8mＷ 消去磁場 ：250 Ｏe ii) バイトエラーレート（通常の測定方法＝比較例） 測定位置 ：10〜1,009TrackのＲＡＭ領域 ディスク回転数 ：2,400rpm リードレーザーパワー ：1.0mＷ 消去パワー ：8.0mＷ 消去磁場 ：250 Ｏe 記録パワー ：7.0mＷ 記録磁場 ：250 Ｏe 記録信号 ：ＣＦ23
【００１５】また、これについては比較のために、光磁
気ディスクを消去、書き込み後に再生する従来のバイト
エラーレート測定を行なって、得られたエラー数を求
め、この従来のバイトエラー測定により求めたエラー数
と本発明による欠陥測定方法により得られた欠陥数の相
関を調べたところ、従来方法と本発明の欠陥測定方法の
測定結果には、充分相関性が有ることが確認できた（図
５）ので、本発明の欠陥測定方法を用いれば消去、書込
み、照合（再生）の検査工程のうち書込み工程が省略で
き、しかも、その測定結果は、充分実用に耐得ることが
確認できた。
気ディスクを消去、書き込み後に再生する従来のバイト
エラーレート測定を行なって、得られたエラー数を求
め、この従来のバイトエラー測定により求めたエラー数
と本発明による欠陥測定方法により得られた欠陥数の相
関を調べたところ、従来方法と本発明の欠陥測定方法の
測定結果には、充分相関性が有ることが確認できた（図
５）ので、本発明の欠陥測定方法を用いれば消去、書込
み、照合（再生）の検査工程のうち書込み工程が省略で
き、しかも、その測定結果は、充分実用に耐得ることが
確認できた。
【００１６】
【発明の効果】本発明は光磁気ディスク検査装置に関す
るものであり、これはは前記したように消去済みの光磁
気ディスクの偏光角信号の変動を走査中にモニターし、
その偏光角信号の変動が予め定められたスライスレベル
を越えた場合に欠陥の存在を認識するようにしたことを
特徴とするものであり、このものは従来、消去、書き込
み、照合の３工程が必要であった光磁気ディスクの検査
を、書込み工程を省略して消去状態とした光磁気ディス
クの偏光状態を調べるだけで検査することができるの
で、検査時間を短縮化することができるし、検査装置の
台数を減らすことができ、メンテナンス頻度の低減する
こともできるので、検査システムを低価格化することが
できるという有利性が与えられる。
るものであり、これはは前記したように消去済みの光磁
気ディスクの偏光角信号の変動を走査中にモニターし、
その偏光角信号の変動が予め定められたスライスレベル
を越えた場合に欠陥の存在を認識するようにしたことを
特徴とするものであり、このものは従来、消去、書き込
み、照合の３工程が必要であった光磁気ディスクの検査
を、書込み工程を省略して消去状態とした光磁気ディス
クの偏光状態を調べるだけで検査することができるの
で、検査時間を短縮化することができるし、検査装置の
台数を減らすことができ、メンテナンス頻度の低減する
こともできるので、検査システムを低価格化することが
できるという有利性が与えられる。
【図１】本発明の光磁気ディスク検査装置により偏光角
信号の変動によってディスクの欠陥検出を行なう仕組の
説明図を示したものである。
信号の変動によってディスクの欠陥検出を行なう仕組の
説明図を示したものである。
【図２】光磁気ディスクの反射膜の厚さと偏光角との関
係図を示したものである。
係図を示したものである。
【図３】本発明の光磁気ディスク検査装置において、ク
ロック信号発生手段を用いて欠陥位置の特定と欠陥サイ
ズを決定する方法の仕組みの説明図を示したものであ
る。
ロック信号発生手段を用いて欠陥位置の特定と欠陥サイ
ズを決定する方法の仕組みの説明図を示したものであ
る。
【図４】本発明の実施例による磁気ディスク検査方法の
工程図を示したものである。
工程図を示したものである。
【図５】本発明の実施例と比較例による通常 Byte Erro
r 測定と消去状態欠陥測定の相関図を示したものであ
る。
r 測定と消去状態欠陥測定の相関図を示したものであ
る。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年６月３０日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】また、この光磁気ディスクについては反射
光量を表す反射信号でディスクのプリフォーマット部を
再生する手段で、現在走査中のトラックNo. およびセク
タNo. を認識する手段を付加することがよく、これによ
れば検出された欠陥の存在するトラックおよびセクタを
特定することができる。
光量を表す反射信号でディスクのプリフォーマット部を
再生する手段で、現在走査中のトラックNo. およびセク
タNo. を認識する手段を付加することがよく、これによ
れば検出された欠陥の存在するトラックおよびセクタを
特定することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１６】
【発明の効果】本発明は光磁気ディスク検査装置に関す
るものであり、これは前記したように消去済みの光磁気
ディスクの偏光角信号の変動を走査中にモニターし、そ
の偏光角信号の変動が予め定められたスライスレベルを
越えた場合に欠陥の存在を認識するようにしたことを特
徴とするものであり、このものは従来、消去、書き込
み、照合の３工程が必要であった光磁気ディスクの検査
を、書込み工程を省略して消去状態とした光磁気ディス
クの偏光状態を調べるだけで検査することができるの
で、検査時間を短縮化することができるし、検査装置の
台数を減らすことができ、メンテナンス頻度の低減する
こともできるので、検査システムを低価格化することが
できるという有利性が与えられる。
るものであり、これは前記したように消去済みの光磁気
ディスクの偏光角信号の変動を走査中にモニターし、そ
の偏光角信号の変動が予め定められたスライスレベルを
越えた場合に欠陥の存在を認識するようにしたことを特
徴とするものであり、このものは従来、消去、書き込
み、照合の３工程が必要であった光磁気ディスクの検査
を、書込み工程を省略して消去状態とした光磁気ディス
クの偏光状態を調べるだけで検査することができるの
で、検査時間を短縮化することができるし、検査装置の
台数を減らすことができ、メンテナンス頻度の低減する
こともできるので、検査システムを低価格化することが
できるという有利性が与えられる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
Claims (1)
- 【請求項１】消去（一定方向に着磁）済みの光磁気ディ
スクの偏光角信号の変動を走査中にモニターし、その偏
光角信号の変動が予め定められたスライスレベルを越え
た場合に欠陥の存在を認識するようにしてなることを特
徴とする光磁気ディスク検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8634493A JPH06302040A (ja) | 1993-04-13 | 1993-04-13 | 光磁気ディスク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8634493A JPH06302040A (ja) | 1993-04-13 | 1993-04-13 | 光磁気ディスク検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06302040A true JPH06302040A (ja) | 1994-10-28 |
Family
ID=13884250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8634493A Pending JPH06302040A (ja) | 1993-04-13 | 1993-04-13 | 光磁気ディスク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06302040A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003032308A1 (en) * | 2001-08-13 | 2003-04-17 | Fujitsu Limited | Information storage device and defect detecting circuit |
-
1993
- 1993-04-13 JP JP8634493A patent/JPH06302040A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003032308A1 (en) * | 2001-08-13 | 2003-04-17 | Fujitsu Limited | Information storage device and defect detecting circuit |
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