JPH06303083A - 弾性表面波素子 - Google Patents
弾性表面波素子Info
- Publication number
- JPH06303083A JPH06303083A JP8769193A JP8769193A JPH06303083A JP H06303083 A JPH06303083 A JP H06303083A JP 8769193 A JP8769193 A JP 8769193A JP 8769193 A JP8769193 A JP 8769193A JP H06303083 A JPH06303083 A JP H06303083A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- interdigital
- piezoelectric substrate
- electrode
- Prior art date
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 すだれ状電極のパターン構成を簡単にしなが
ら一方向性を持たせる。 【構成】 圧電基板の表面にすだれ状電極を形成してイ
ンターディジタル形トランスジューサを構成する弾性表
面波素子において、圧電基板１には弾性表面波の伝搬方
向（矢印）に向かって同じ方向の傾斜面を持つ突起部１
ａを所定の間隔で設け、すだれ状電極２ａ、２ｂは突起
部に電極膜を蒸着又はホトエッチングで形成し、励振電
源３による励振に方向性を持たせることにより弾性表面
波を一方向に伝搬させる。すだれ状電極のパターン構成
は一般の両方向性トランスジューサのものと同等にされ
る。
ら一方向性を持たせる。 【構成】 圧電基板の表面にすだれ状電極を形成してイ
ンターディジタル形トランスジューサを構成する弾性表
面波素子において、圧電基板１には弾性表面波の伝搬方
向（矢印）に向かって同じ方向の傾斜面を持つ突起部１
ａを所定の間隔で設け、すだれ状電極２ａ、２ｂは突起
部に電極膜を蒸着又はホトエッチングで形成し、励振電
源３による励振に方向性を持たせることにより弾性表面
波を一方向に伝搬させる。すだれ状電極のパターン構成
は一般の両方向性トランスジューサのものと同等にされ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波素子におけ
るインターディジタル形トランスジューサの構造に関す
る。
るインターディジタル形トランスジューサの構造に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】弾性表面波素子は、圧電基板（又は非圧
電性基板に圧電性薄膜を蒸着した基板）上にアルミニウ
ム等の電極材料によりすだれ状電極を蒸着やホトエッチ
ングにより形成するものが一般的である。
電性基板に圧電性薄膜を蒸着した基板）上にアルミニウ
ム等の電極材料によりすだれ状電極を蒸着やホトエッチ
ングにより形成するものが一般的である。
【０００３】圧電基板は弾性表面波の伝搬手段となり、
すだれ状電極は圧電基板との組み合わせで電気−弾性波
のエネルギー変換を行うインターディジタル形トランス
ジューサ（ＩＤＴ）になる。
すだれ状電極は圧電基板との組み合わせで電気−弾性波
のエネルギー変換を行うインターディジタル形トランス
ジューサ（ＩＤＴ）になる。
【０００４】この弾性表面波素子は、励振された表面波
を利用して共振子やフイルタとして使われる。
を利用して共振子やフイルタとして使われる。
【０００５】図２は、すだれ状電極例を示し、同図の
（ａ）にはシングル電極を持つ素子の斜視図を示し、
（ｂ）にはダブル電極を持つ素子の斜視図を示す。
（ａ）にはシングル電極を持つ素子の斜視図を示し、
（ｂ）にはダブル電極を持つ素子の斜視図を示す。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の一般のすだれ状
電極を用いたフイルタでは、弾性表面波が両方向に伝搬
するため、６ｄｂの挿入損失が発生する。また、伝搬の
両方向性と２次効果による反射のため、帯域内に大きな
リップルを発生する問題がある。
電極を用いたフイルタでは、弾性表面波が両方向に伝搬
するため、６ｄｂの挿入損失が発生する。また、伝搬の
両方向性と２次効果による反射のため、帯域内に大きな
リップルを発生する問題がある。
【０００７】これらの問題を解消するために、３トラン
スジューサ方式やマルチトランスジューサ方式等がフイ
ルタの構成方法として提案されている。また、トランス
ジューサそのものに一方向性を持たせるようにしたもの
が種々提案され、数種類の一方向性トランスジューサが
実用化されている。
スジューサ方式やマルチトランスジューサ方式等がフイ
ルタの構成方法として提案されている。また、トランス
ジューサそのものに一方向性を持たせるようにしたもの
が種々提案され、数種類の一方向性トランスジューサが
実用化されている。
【０００８】図３は、一方向性のトランスジューサの電
極パターン構成例を示す。同図中、矢印は弾性表面波の
伝搬方向を示す。
極パターン構成例を示す。同図中、矢印は弾性表面波の
伝搬方向を示す。
【０００９】これらの弾性表面波素子は、一方向性を得
ることができるが、電極パターン構造が複雑になり、高
周波のフイルタになるほどその設計・製造を難しくする
と共にコストアップになる。
ることができるが、電極パターン構造が複雑になり、高
周波のフイルタになるほどその設計・製造を難しくする
と共にコストアップになる。
【００１０】本発明の目的は、すだれ状電極のパターン
構成を簡単にしながら一方向性を持たせる弾性表面波素
子を提供することにある。
構成を簡単にしながら一方向性を持たせる弾性表面波素
子を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題の解
決を図るため、圧電基板の表面にすだれ状電極を形成し
てインターディジタル形トランスジューサを構成する弾
性表面波素子において、前記圧電基板は弾性表面波の伝
搬方向に向かって同じ方向の傾斜面を持つ突起部を所定
の間隔で設け、前記すだれ状電極は前記突起部に電極膜
を蒸着又はホトエッチングによって形成し、弾性表面波
を一方向に伝搬させることを特徴とする。
決を図るため、圧電基板の表面にすだれ状電極を形成し
てインターディジタル形トランスジューサを構成する弾
性表面波素子において、前記圧電基板は弾性表面波の伝
搬方向に向かって同じ方向の傾斜面を持つ突起部を所定
の間隔で設け、前記すだれ状電極は前記突起部に電極膜
を蒸着又はホトエッチングによって形成し、弾性表面波
を一方向に伝搬させることを特徴とする。
【００１２】
【作用】弾性表面波の伝搬方向に対して傾斜面を持つす
だれ状電極を設けることにより、圧電基板の励振に方向
性を持たせ、弾性表面波の伝搬に方向性を持たせる。す
だれ状電極のパターンは両方向性の素子と同等にする。
だれ状電極を設けることにより、圧電基板の励振に方向
性を持たせ、弾性表面波の伝搬に方向性を持たせる。す
だれ状電極のパターンは両方向性の素子と同等にする。
【００１３】
【実施例】図１は、本発明の一実施例を示すインターデ
ィジタル形トランスジューサの断面図である。同図は、
図２の（ａ）に示すシングル電極と同じパターン構成に
なるトランスジューサの断面構造を示す。
ィジタル形トランスジューサの断面図である。同図は、
図２の（ａ）に示すシングル電極と同じパターン構成に
なるトランスジューサの断面構造を示す。
【００１４】圧電基板１は、水晶、タンタル酸リチウ
ム、ニオブ酸リチウム等の圧電性材料で構成され、すだ
れ状電極を形成する表面位置には弾性表面波の進行方向
（矢印で示す）に向かって同方向の傾斜面を持つ突起部
１ａが形成される。
ム、ニオブ酸リチウム等の圧電性材料で構成され、すだ
れ状電極を形成する表面位置には弾性表面波の進行方向
（矢印で示す）に向かって同方向の傾斜面を持つ突起部
１ａが形成される。
【００１５】この各突起部１ａを持つ圧電基板１は、例
えばエッチング（ドライエッチング、ウェットエッチン
グ）加工によって実現される。また、突起部１ａの間隔
は伝搬させる弾性表面波の周波数に応じて決定される。
えばエッチング（ドライエッチング、ウェットエッチン
グ）加工によって実現される。また、突起部１ａの間隔
は伝搬させる弾性表面波の周波数に応じて決定される。
【００１６】各突起部１ａの表面にはアルミニウムの蒸
着ですだれ状電極の電極膜２ａ、２ｂが蒸着又はホトエ
ッチングによって形成される。
着ですだれ状電極の電極膜２ａ、２ｂが蒸着又はホトエ
ッチングによって形成される。
【００１７】本実施例の弾性表面波素子において、すだ
れ状電極の電極膜２ａ、２ｂには励振電源３からの励振
に対して所定周波数の弾性表面波を伝搬させる。この伝
搬には、電極膜２ａ、２ｂによる圧電基板１の励振が突
起部１ａの存在により方向性を持つため、一方向（矢印
方向）になる。
れ状電極の電極膜２ａ、２ｂには励振電源３からの励振
に対して所定周波数の弾性表面波を伝搬させる。この伝
搬には、電極膜２ａ、２ｂによる圧電基板１の励振が突
起部１ａの存在により方向性を持つため、一方向（矢印
方向）になる。
【００１８】この一方向伝搬により、従来の両方向伝搬
による挿入損失が無くなり、また反射によるリップルの
発生を抑えることができる。しかも、電極構造として
は、従来のシングル電極と同じパターン構成になり、そ
の形成を容易にする。
による挿入損失が無くなり、また反射によるリップルの
発生を抑えることができる。しかも、電極構造として
は、従来のシングル電極と同じパターン構成になり、そ
の形成を容易にする。
【００１９】なお、実施例において、圧電基板の突起部
の断面構造は一定の傾斜にするに限らず、断面が曲線に
なる傾斜を持つ構造にして同等の作用効果を奏する。
の断面構造は一定の傾斜にするに限らず、断面が曲線に
なる傾斜を持つ構造にして同等の作用効果を奏する。
【００２０】また、突起部の間隔は素子の使用目的によ
って一定のものの外に所定比で増減する構成にされる。
さらに、すだれ状電極のパターンも適宜設計変更され
る。
って一定のものの外に所定比で増減する構成にされる。
さらに、すだれ状電極のパターンも適宜設計変更され
る。
【００２１】
【発明の効果】以上のとおり、本発明によれば、弾性表
面波の伝搬方向に対して傾斜面を持つすだれ状電極を設
けることにより弾性表面波の伝搬に方向性を持たせるよ
うにしたため、すだれ状電極のパターン構成を両方向性
インターディジタル形トランスジューサと同じの簡単な
構成になり、しかも一方向性を持つことで６ｄｂの挿入
損失を無くすと共に反射によるリップルを低減できる効
果がある。
面波の伝搬方向に対して傾斜面を持つすだれ状電極を設
けることにより弾性表面波の伝搬に方向性を持たせるよ
うにしたため、すだれ状電極のパターン構成を両方向性
インターディジタル形トランスジューサと同じの簡単な
構成になり、しかも一方向性を持つことで６ｄｂの挿入
損失を無くすと共に反射によるリップルを低減できる効
果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す素子の断面図。
【図２】従来のインターディジタル形トランスジューサ
の構成例。
の構成例。
【図３】従来の一方向性を持つ素子の電極パターン構成
例。
例。
１…圧電基板 １ａ…突起部 ２ａ、２ｂ…すだれ状電極の電極膜 ３…励振電源
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電基板の表面にすだれ状電極を形成し
てインターディジタル形トランスジューサを構成する弾
性表面波素子において、前記圧電基板は弾性表面波の伝
搬方向に向かって同じ方向の傾斜面を持つ突起部を所定
の間隔で設け、前記すだれ状電極は前記突起部に電極膜
を蒸着又はホトエッチングによって形成し、弾性表面波
を一方向に伝搬させることを特徴とする弾性表面波素
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8769193A JPH06303083A (ja) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | 弾性表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8769193A JPH06303083A (ja) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | 弾性表面波素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06303083A true JPH06303083A (ja) | 1994-10-28 |
Family
ID=13921958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8769193A Pending JPH06303083A (ja) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06303083A (ja) |
-
1993
- 1993-04-15 JP JP8769193A patent/JPH06303083A/ja active Pending
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