JPH03182111A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPH03182111A JPH03182111A JP32100489A JP32100489A JPH03182111A JP H03182111 A JPH03182111 A JP H03182111A JP 32100489 A JP32100489 A JP 32100489A JP 32100489 A JP32100489 A JP 32100489A JP H03182111 A JPH03182111 A JP H03182111A
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野Ｊ
本発明は、弾性表面波装置の電極構造に関する。
［従来の技術］
従来の弾性表面波装置の電極構造としては、先願の一実
施例として、圧電体平板上に形成されたＩＤＴとその両
側の１対の反射器の金属導体の配列を、弾性表面波の波
長をえとじて前記金属導体の電極幅をん／４、かつ電極
導体間の間隔を同一のん／４とした一様な周期的配列と
するか、又は前記金属導体の幅βと電極導体間の間隔Ｓ
の比β／Ｓを１又は１と異ならせて一様に周期的配列す
る例があった。（特許公報子１−３３９６９−９照、） 〔発明が解決しようとする課題〕 しかし、前述の従来技術では、弾性表面波装置の直列共
振抵抗が高いか、共振のＱ値が低いという問題点を有す
る。そこで本発明はこのような問題点を解決するちので
、その目的とするところは小型でＱ値が高く安定性に優
れたＳＡＷ共振子及びＳＡＷ共振子より構成された二重
モードフィルタ等の弾性表面波装置を市場に提供するこ
とにある。
施例として、圧電体平板上に形成されたＩＤＴとその両
側の１対の反射器の金属導体の配列を、弾性表面波の波
長をえとじて前記金属導体の電極幅をん／４、かつ電極
導体間の間隔を同一のん／４とした一様な周期的配列と
するか、又は前記金属導体の幅βと電極導体間の間隔Ｓ
の比β／Ｓを１又は１と異ならせて一様に周期的配列す
る例があった。（特許公報子１−３３９６９−９照、） 〔発明が解決しようとする課題〕 しかし、前述の従来技術では、弾性表面波装置の直列共
振抵抗が高いか、共振のＱ値が低いという問題点を有す
る。そこで本発明はこのような問題点を解決するちので
、その目的とするところは小型でＱ値が高く安定性に優
れたＳＡＷ共振子及びＳＡＷ共振子より構成された二重
モードフィルタ等の弾性表面波装置を市場に提供するこ
とにある。
本発明の弾性表面波装置は、
（１）圧電体平板の表面中央に弾性表面波を送受する交
差指電極（ＩＤＴ）と、交差指電極（ＩＤＴ）の両側に
前記弾性表面波を反射する１対の反射器を形成した弾性
表面波装置に於て、前記反射器は周期長ＰＲの周期的な
配列をなす反射構造体の幅がほぼＰＲのＨであり、さら
に前記１対の反射器の交差指電極（ＩＤＴ）側の端部を
原点として、反射器の反射構造体の周期ＰＲに近い周期
長ＰＴを６って、原点から交差指電極（ＩＤＴ）の中央
に向って電極導体が存在しない領域（幅ｓ１．電極導体
の存在する領域（ｉｆ極幅β）が交互に配置されかつ、
前記１２／ＰＴの比が０．５くＪ２．／ＰＴ〈０，８で
ある交差指電極（Ｉ ＤＴ）を有すること。
差指電極（ＩＤＴ）と、交差指電極（ＩＤＴ）の両側に
前記弾性表面波を反射する１対の反射器を形成した弾性
表面波装置に於て、前記反射器は周期長ＰＲの周期的な
配列をなす反射構造体の幅がほぼＰＲのＨであり、さら
に前記１対の反射器の交差指電極（ＩＤＴ）側の端部を
原点として、反射器の反射構造体の周期ＰＲに近い周期
長ＰＴを６って、原点から交差指電極（ＩＤＴ）の中央
に向って電極導体が存在しない領域（幅ｓ１．電極導体
の存在する領域（ｉｆ極幅β）が交互に配置されかつ、
前記１２／ＰＴの比が０．５くＪ２．／ＰＴ〈０，８で
ある交差指電極（Ｉ ＤＴ）を有すること。
（２）前記請求項（１）記載の交差指電極がＩＤＴの中
央部を除く両端部に形成されたことを特徴とする。
央部を除く両端部に形成されたことを特徴とする。
［作 用〕
本発明の上記構成によれば、弾性表面波を最も良く反射
できる反射器と該反射器からの弾性表面波の位相に位相
整合した交差指電極を構成した上に、発生する分極電荷
を効率良く検出できる交差指電極幅を選択したことから
弾性表面波装置のＱ値が高く又共振子の直列共振抵抗Ｒ
１を小さくすることができる。
できる反射器と該反射器からの弾性表面波の位相に位相
整合した交差指電極を構成した上に、発生する分極電荷
を効率良く検出できる交差指電極幅を選択したことから
弾性表面波装置のＱ値が高く又共振子の直列共振抵抗Ｒ
１を小さくすることができる。
［実 施 例］
第１図は本発明の弾性表面波装置の実施例に於ける平面
図であって、図中各部値の名称は、１００、は圧電体平
板、１０１は交差指電極（ＩＤＴ）、１０２は反射器、
１０３と１０４は１０１交差指電極（Ｉ ＤＴ）の各々
正と負極性の電極、又１０５と１０６，１０７は反射器
１０２の反射構造体である反射導体である６本発明の弾
性表面波装置に利用される弾性表面波は、水晶、ＬｉＴ
ａｏｓ 、Ｌ、１ＮｂＯｘ 、Ｌｆ＊ Ｂ４０？等の圧
電体平板１００上の表面に局在して伝播する弾性波であ
る。又前記１０１の交差指ｆｉｔｌｙ（ＩＤＴ）と反射
器１０２の金属導体は、前記圧電体平板上の面を鏡面仕
上げした上に、ＡＥ、Ａｇ、Ｃｎ等の導電性金属の薄膜
を蒸着等の手段で形成後、写真食刻法によりパターン形
成してなる。前記交差指電極（Ｉ ＤＴ）は、正負電極
１０３．１０４に交番電圧を印加することにより弾性表
面波を励起できる。又反射器１０２の機能は、前記ＩＤ
Ｔから両方向に放射される弾性表面波を反射して元にも
どすものであって、前記１０５．１０６．１０７の各導
体が作る弾性表面波伝播路の音響的不整合によって行な
われる０通例、反射器はＩＤＴの両側に構成する０次に
本発明の第１図の詳細な寸法関係をＡ−Ａ断面図として
第２図に示した６図中各部位の名称は、２００は圧電体
平板、２０１と２０２．２０３は交差指電極（ＩＤＴ）
、２０４と２０５等は反射器の反射導体である。同図に
於て反射器は２０４反射導体の左端部Ｔより右側の領域
をしめる６反射導体２０４，２０５の周期長はＰＲであ
り、ＰＲは利用する弾性表面波の波長尤のほぼえ／２で
あり、また反射導体の幅寸法ＷＲはほぼ前記入の嵐とし
ている０図中の２０６と２０７が、励振されて表面に定
在する弾性表面波の応力波の振幅変化を表わす、２０６
と２０７は１８０°位相の異なる状態を示す、また、前
記反射器の左端部Ｔから対向して配置された他の反射器
の右端部までが交差指電極（ＩＤＴ）の領域である０本
発明の交差指電極（ＩＤＴ）は、反射器の反射構造体で
ある反射導体の周期長ＰＲに近くかつ適切に設定された
周期長ＰＴを６って原点ＴよりＩＤＴの中央に向ってＩ
ＤＴの電極導体の存在しない領域（幅Ｓ）、電極導体の
存在する領域（電極幅Ｉ２）が交互に配置され、かつ前
記電極幅４とＰＴの比が０．５〈β／ＰＴ＜０．８であ
る交差指電極（ＩＤＴ）からなっている、また原点Ｔか
ら２つ目の電極左端までのえＴはほぼ弾性表面波の波長
見に近い長さとなっている。応力波の節は、種々の実験
と計算の結果より、反射器の左端部下と一致する他、交
差指電極の反射器に近い部分に於てち、同様に電極の左
端部で節となっている。ちちろん、ＩＤＴの左側に反射
器が配置された場合にあっては、上記記述は、反射器の
左端部下が右端部下に、又電極の左端部が右端部となる
ことはもちろんである。
図であって、図中各部値の名称は、１００、は圧電体平
板、１０１は交差指電極（ＩＤＴ）、１０２は反射器、
１０３と１０４は１０１交差指電極（Ｉ ＤＴ）の各々
正と負極性の電極、又１０５と１０６，１０７は反射器
１０２の反射構造体である反射導体である６本発明の弾
性表面波装置に利用される弾性表面波は、水晶、ＬｉＴ
ａｏｓ 、Ｌ、１ＮｂＯｘ 、Ｌｆ＊ Ｂ４０？等の圧
電体平板１００上の表面に局在して伝播する弾性波であ
る。又前記１０１の交差指ｆｉｔｌｙ（ＩＤＴ）と反射
器１０２の金属導体は、前記圧電体平板上の面を鏡面仕
上げした上に、ＡＥ、Ａｇ、Ｃｎ等の導電性金属の薄膜
を蒸着等の手段で形成後、写真食刻法によりパターン形
成してなる。前記交差指電極（Ｉ ＤＴ）は、正負電極
１０３．１０４に交番電圧を印加することにより弾性表
面波を励起できる。又反射器１０２の機能は、前記ＩＤ
Ｔから両方向に放射される弾性表面波を反射して元にも
どすものであって、前記１０５．１０６．１０７の各導
体が作る弾性表面波伝播路の音響的不整合によって行な
われる０通例、反射器はＩＤＴの両側に構成する０次に
本発明の第１図の詳細な寸法関係をＡ−Ａ断面図として
第２図に示した６図中各部位の名称は、２００は圧電体
平板、２０１と２０２．２０３は交差指電極（ＩＤＴ）
、２０４と２０５等は反射器の反射導体である。同図に
於て反射器は２０４反射導体の左端部Ｔより右側の領域
をしめる６反射導体２０４，２０５の周期長はＰＲであ
り、ＰＲは利用する弾性表面波の波長尤のほぼえ／２で
あり、また反射導体の幅寸法ＷＲはほぼ前記入の嵐とし
ている０図中の２０６と２０７が、励振されて表面に定
在する弾性表面波の応力波の振幅変化を表わす、２０６
と２０７は１８０°位相の異なる状態を示す、また、前
記反射器の左端部Ｔから対向して配置された他の反射器
の右端部までが交差指電極（ＩＤＴ）の領域である０本
発明の交差指電極（ＩＤＴ）は、反射器の反射構造体で
ある反射導体の周期長ＰＲに近くかつ適切に設定された
周期長ＰＴを６って原点ＴよりＩＤＴの中央に向ってＩ
ＤＴの電極導体の存在しない領域（幅Ｓ）、電極導体の
存在する領域（電極幅Ｉ２）が交互に配置され、かつ前
記電極幅４とＰＴの比が０．５〈β／ＰＴ＜０．８であ
る交差指電極（ＩＤＴ）からなっている、また原点Ｔか
ら２つ目の電極左端までのえＴはほぼ弾性表面波の波長
見に近い長さとなっている。応力波の節は、種々の実験
と計算の結果より、反射器の左端部下と一致する他、交
差指電極の反射器に近い部分に於てち、同様に電極の左
端部で節となっている。ちちろん、ＩＤＴの左側に反射
器が配置された場合にあっては、上記記述は、反射器の
左端部下が右端部下に、又電極の左端部が右端部となる
ことはもちろんである。
次に第３図は、反射器の反射構造体が１弾性表面波の伝
播幅（開口長）にわたって掘られた細長い溝、即ちグル
ープである場合について第２図と同様なＡ−Ａ断面構造
を示す図である０図中各部位の名称は、３００は圧電体
平板、３０１．３０２．３０３は交差指電極（ＩＤＴ）
の電極導体、３０４と３０５は反射器の反射構造体であ
るグルブ、さらに３０６と３０７が弾性表面波の応力波
を示す、第３図に記入された寸法記号の意味は第２図と
同一である。
播幅（開口長）にわたって掘られた細長い溝、即ちグル
ープである場合について第２図と同様なＡ−Ａ断面構造
を示す図である０図中各部位の名称は、３００は圧電体
平板、３０１．３０２．３０３は交差指電極（ＩＤＴ）
の電極導体、３０４と３０５は反射器の反射構造体であ
るグルブ、さらに３０６と３０７が弾性表面波の応力波
を示す、第３図に記入された寸法記号の意味は第２図と
同一である。
次に本発明の弾性表面波装置がとる寸法関係の妥当性に
ついて第４図と第５図を用いて説明する。まず最初、第
４図によって本発明のとる反射器の妥当性を説明する０
図中、横軸は１反射構造体の周期長ＰＲに対する反射構
造体の輻ＷＲの比であり、縦軸は、反射器のもつ反射係
数γを示す、γが大きい程、反射器に入射する弾性表面
波は大きく反射される６図よりＷＲ与３４ＰＨに於てγ
の最大値を示している。但し、この様な特性をとる圧電
体材料としては、水晶、Ｌｉ＊ＢｎＯ？ 、Ｌ ｉ Ｔ
ａｇｓ等が知られている。γが最大値をとることにより
弾性表面波装置のＱ値は１反射器を透過して失なわれる
波のエネルギーが最小となるために最高値が得られる。
ついて第４図と第５図を用いて説明する。まず最初、第
４図によって本発明のとる反射器の妥当性を説明する０
図中、横軸は１反射構造体の周期長ＰＲに対する反射構
造体の輻ＷＲの比であり、縦軸は、反射器のもつ反射係
数γを示す、γが大きい程、反射器に入射する弾性表面
波は大きく反射される６図よりＷＲ与３４ＰＨに於てγ
の最大値を示している。但し、この様な特性をとる圧電
体材料としては、水晶、Ｌｉ＊ＢｎＯ？ 、Ｌ ｉ Ｔ
ａｇｓ等が知られている。γが最大値をとることにより
弾性表面波装置のＱ値は１反射器を透過して失なわれる
波のエネルギーが最小となるために最高値が得られる。
最後に第４図に交差指電極（ＩＤＴ）の電極幅βを変え
た場合の弾性表面波装置のとる直列共振抵抗Ｒ１と共振
の動的容量ＣＩの特性を示す０図中、横軸は前記ＩＤＴ
の周期長ＰＴに対するＩＤＴの電極幅２の比！２／ＰＴ
であり、縦軸は、直列共振抵抗Ｒ１（５０１）及び共振
の能動的容量Ｃ１（５０２）の相対値である。まず、曲
１１５０２のＣ１が同図の様な特性をとる理由は次の通
りである。第２図及び第３図の通りに弾性表面波の応力
波が定在することはすでに説明した。この応力波Ｆ （
ｘ）に対応して発生する圧電体圧表面上の分極分布を考
えると１弾性表面波にともなう歪み波Ｓ （ｘ）は、Ｓ
（ｘ）＝ｅＦ （ｘ） （１）但し
く１）式でＸは弾性表面波の伝播方向の位置座標である
。上記Ｓ （Ｘ）に対応して、圧電体表面に発生する分
極波Ｐ （ｘ）は、 Ｐ （Ｘ）＝ｄｓ （ｘ） （２）＝
ｅｄＦ （ｘ） で与えられる。ここでｅは圧電気定数であり、ｄは圧電
係数であって、材料と方位で与えられる定数である。（
２）式に於てＦ （ｘ）はｋを波数、Ｂを振幅として、
Ｆ （ｘ） ＝Ｂｓ ｉ ｎ （ｋｘ）で近似的に与え
られるから、交差指電極１本当たりで集められる総電荷
Ｍは次の積分で与えられる。
た場合の弾性表面波装置のとる直列共振抵抗Ｒ１と共振
の動的容量ＣＩの特性を示す０図中、横軸は前記ＩＤＴ
の周期長ＰＴに対するＩＤＴの電極幅２の比！２／ＰＴ
であり、縦軸は、直列共振抵抗Ｒ１（５０１）及び共振
の能動的容量Ｃ１（５０２）の相対値である。まず、曲
１１５０２のＣ１が同図の様な特性をとる理由は次の通
りである。第２図及び第３図の通りに弾性表面波の応力
波が定在することはすでに説明した。この応力波Ｆ （
ｘ）に対応して発生する圧電体圧表面上の分極分布を考
えると１弾性表面波にともなう歪み波Ｓ （ｘ）は、Ｓ
（ｘ）＝ｅＦ （ｘ） （１）但し
く１）式でＸは弾性表面波の伝播方向の位置座標である
。上記Ｓ （Ｘ）に対応して、圧電体表面に発生する分
極波Ｐ （ｘ）は、 Ｐ （Ｘ）＝ｄｓ （ｘ） （２）＝
ｅｄＦ （ｘ） で与えられる。ここでｅは圧電気定数であり、ｄは圧電
係数であって、材料と方位で与えられる定数である。（
２）式に於てＦ （ｘ）はｋを波数、Ｂを振幅として、
Ｆ （ｘ） ＝Ｂｓ ｉ ｎ （ｋｘ）で近似的に与え
られるから、交差指電極１本当たりで集められる総電荷
Ｍは次の積分で与えられる。
共振子のＣ１はＭに比例すると考えると第５図の５０２
の特性が説明できる。さらに、直列共振抵抗Ｒ１は弾性
表面波装置の共振子のＱ値を用いて前記Ｃ，からＲ２＝
１／ （ＱｗＣ＋ ）で与えられるから図中５０１の
Ｒ１の特性が説明できる。
の特性が説明できる。さらに、直列共振抵抗Ｒ１は弾性
表面波装置の共振子のＱ値を用いて前記Ｃ，からＲ２＝
１／ （ＱｗＣ＋ ）で与えられるから図中５０１の
Ｒ１の特性が説明できる。
但しＷは動作周波数である。従ってβ／ Ｐ ｔが０．
５以上に於てＲ３が減少する。しかしながら（２／ Ｐ
Ｔが０．８以上にあっては、ＩＤＴ部の電極バクーン
加工が極めて困難となるので実用的効果がうすれる。実
際に、動作周波数４００ＭＨｚの水晶ＳＴカットＸ伝播
方法で動作する弾性表面波装置に於て、弾性表面波の波
長えはえ＝７．９μｍであって前記交差指電極の存在し
ない領域の長さｓ＊０．８μｍとなって写真食刻による
加工が極めて困難になる。
５以上に於てＲ３が減少する。しかしながら（２／ Ｐ
Ｔが０．８以上にあっては、ＩＤＴ部の電極バクーン
加工が極めて困難となるので実用的効果がうすれる。実
際に、動作周波数４００ＭＨｚの水晶ＳＴカットＸ伝播
方法で動作する弾性表面波装置に於て、弾性表面波の波
長えはえ＝７．９μｍであって前記交差指電極の存在し
ない領域の長さｓ＊０．８μｍとなって写真食刻による
加工が極めて困難になる。
最後に、交差指電極が０．５（Ｊ２／ＰＴ ＜０゜８を
とるＩＤＴの領域についてであるが、かならずし６弾性
表面波の応力波は、ＩＤＴの中央部に於て電極の端部で
節とならないので、ＩＤＴの中央部を除く両サイドに前
述のＩ２／ＰＴの値の電極幅を認定することにより一層
の効果が認められる。
とるＩＤＴの領域についてであるが、かならずし６弾性
表面波の応力波は、ＩＤＴの中央部に於て電極の端部で
節とならないので、ＩＤＴの中央部を除く両サイドに前
述のＩ２／ＰＴの値の電極幅を認定することにより一層
の効果が認められる。
〔発明の効果］
以上述べたように本発明によれば１反射器の寸法及びＩ
ＤＴの電極寸法を適切に設定したことにより弾性表面波
装置のＱ値が高く又、弾性表面波との電気機械結合が大
きくとれる結果、共振子の動的容量Ｃ１が大きく、さら
に直列共振抵抗Ｒの小さなちのが実現できるので、共振
子とした場合にはＱ及びＲ１が優れるために安定な発振
の維持ができる他、素子の小型化も可能となる。さらに
本発明を二重モードフィルタに用いた場合には、Ｒ＋が
小さいために押入損失の小さい良好なフィルタが実現で
きる。
ＤＴの電極寸法を適切に設定したことにより弾性表面波
装置のＱ値が高く又、弾性表面波との電気機械結合が大
きくとれる結果、共振子の動的容量Ｃ１が大きく、さら
に直列共振抵抗Ｒの小さなちのが実現できるので、共振
子とした場合にはＱ及びＲ１が優れるために安定な発振
の維持ができる他、素子の小型化も可能となる。さらに
本発明を二重モードフィルタに用いた場合には、Ｒ＋が
小さいために押入損失の小さい良好なフィルタが実現で
きる。
第１図は、本発明の弾性表面波装置の一実施例の示す平
面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面を示す断面図、第３
図は本発明の他の実施例の示すＡ−Ａ断面図、第４図反
射器のが有する反射特性を示す図。 第５図は本発明の弾性表面波装置が示す直列共振抵抗Ｒ
１ と動的容量Ｃ１ の特性図であ る。 ００ ・圧電体平板 ０ ・交差指電極（Ｉ ＤＴ） ０２ ・反射器 以 上
面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面を示す断面図、第３
図は本発明の他の実施例の示すＡ−Ａ断面図、第４図反
射器のが有する反射特性を示す図。 第５図は本発明の弾性表面波装置が示す直列共振抵抗Ｒ
１ と動的容量Ｃ１ の特性図であ る。 ００ ・圧電体平板 ０ ・交差指電極（Ｉ ＤＴ） ０２ ・反射器 以 上
Claims (2)
- （１）圧電体平板の表面中央に弾性表面波を送受する交
差指電極（ＩＤＴ）と、交差指電極（ＩＤＴ）の両側に
前記弾性表面波を反射する１対の反射器を形成した弾性
表面波装置に於て、前記反射器は周期長ＰＲの周期的な
配列をなす反射構造体の幅がほぼＰＲの１／２であり、
さらに前記１対の反射器の交差指電極（ＩＤＴ）側の端
部を原点として、反射器の反射構造体の周期長ＰＲに近
い周期長ＰＴをもって、原点から交差指電極（ＩＤＴ）
の中央に向かって電極導体が存在しない領域（幅ｓ）、
電極導体の存在する領域（電極幅ｌ）が交互に配置され
かつ、前記Ｅ／ＰＴの比が０．５＜ｌ／ＰＴ＜０．８で
ある交差指電極（ＩＤＴ）を有することを特徴とする弾
性表面波装置。 - （２）前記請求項１記載の交差指電極がＩＤＴの中央部
を除く両端部に形成されたことを特徴とする弾性表面波
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32100489A JPH03182111A (ja) | 1989-12-11 | 1989-12-11 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32100489A JPH03182111A (ja) | 1989-12-11 | 1989-12-11 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03182111A true JPH03182111A (ja) | 1991-08-08 |
Family
ID=18127715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32100489A Pending JPH03182111A (ja) | 1989-12-11 | 1989-12-11 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03182111A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0993072A (ja) * | 1995-09-26 | 1997-04-04 | Fujitsu Ltd | 表面弾性波フィルタ |
| US6369674B1 (en) * | 1998-02-27 | 2002-04-09 | Toyo Communication Equipment Co., Ltd. | Broad-band surface acoustic wave filter with specific ratios of transducer electrode period to reflector period |
-
1989
- 1989-12-11 JP JP32100489A patent/JPH03182111A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0993072A (ja) * | 1995-09-26 | 1997-04-04 | Fujitsu Ltd | 表面弾性波フィルタ |
| US6369674B1 (en) * | 1998-02-27 | 2002-04-09 | Toyo Communication Equipment Co., Ltd. | Broad-band surface acoustic wave filter with specific ratios of transducer electrode period to reflector period |
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