JPH06306580A

JPH06306580A - サブストレート上にパターンを形成する方法

Info

Publication number: JPH06306580A
Application number: JP6974194A
Authority: JP
Inventors: Siegfried Kleyer; クライヤージークフリート
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1993-04-08
Filing date: 1994-04-07
Publication date: 1994-11-01
Anticipated expiration: 2012-11-26
Also published as: JP2683215B2

Abstract

(57)【要約】【目的】コーティングを阻止する媒体でフォイル・ウ
エブを湿潤化する場合、湿潤化の度合を調節して、サブ
ストレートを部分的に僅かの量の湿潤媒体で湿潤し、そ
れらの部分にも金属層が蒸着できるようにする。【構成】パターン保持体５８が断続的に回転する一
方、サブストレートのウエブ５０は連続的に保持体５８
のところを通過し、凹所４２，４２′…の開放側がウエ
ブ表面に向いているようにされ、凹所内の蒸気がウエブ
表面で凝縮し、この蒸気の一部が凝縮後、サブストレー
トに少なくとも１つの機能層が設けられるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、次のコーティングを阻
止する媒体によりサブストレートを部分的コーティング
し、次いで少なくとも１つの機能層を特許（特許出願Ｐ
４３１００８５６）に従って、設けることにより、サ
ブストレートにパターンを形成する方法と装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】前記出願の発明は、フォイル・ウエブ
に、コーティングを阻止する媒体から成る特定のパター
ンを設ける問題を解決するものである。その目的のため
に、パターン保持体には、形成されるパターンに応じて
凹版のパターンが備えられ、この凹版パターンにおいて
凹所の空間的分配が、コーティングされてはならないフ
ォイル・ウエブ表面区域に合致しており、更に、その目
的のために凹所にはコーティングを阻止する媒体の蒸気
が充填され、かつまたサブストレートが事実上パターン
保持体と同時的に移動せしめられ、しかも凹所の開放側
がサブストレート表面に向けられており、それによっ
て、凹所内に充填されている蒸気がサブストレート上で
凝縮するようにされ、最後に、この蒸気の少なくとも一
部が凝縮したのち、サブストレートは少なくとも１つの
機能層を有することになる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明の根底をなす課
題は、コーティングを阻止する媒体をフォイル・ウエブ
に蒸着する場合、蒸着の度合を調節することにより、サ
ブストレートの特定部分が蒸着されるが、きわめて僅か
の量の潤滑剤でのみ蒸着されることにより、前記特定部
分には、きわめて薄手の層とはいえ、更に金属層が蒸着
され得るようにすることにある。加えて、パターンは、
中断なしに反復される一様なパターンがストリップに形
成されるように構成され、かつまた最初のパターンでの
ストリップの潤滑化過程が進行する間に、次のパターン
へ移行できるように構成されるようにする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】この課題は、本発明によ
れば次のような方法により解決された。すなわち、パタ
ーン保持体が周期的に断続的に運動する一方、サブスト
レートは連続的にパターン保持体のところを通過し、し
かも、凹所の開放側がサブストレート表面に向くように
され、それによって、凹所内に含まれていた蒸気がサブ
ストレート上で凝縮し、更に、この蒸気の少なくとも一
部が凝縮後、サブストレートに少なくとも１つの機能層
が設けられるようにする方法である。

【０００５】本発明によれば次のような装置が提供され
る。すなわち、サブストレートが、連続的にパターン保
持体のところを通過可能であり、かつまた掻取り条片又
は遮蔽部材と協働して、蒸発した分離媒体を凹版パター
ン内に閉じ込めるか、ないしは余分の分離媒体蒸気を調
量して、蒸気器が配置されているチャンバ内に抑留する
ような装置である。

【０００６】このほかの特徴及び詳細は請求項２以下の
各項に記載の通りである。

【０００７】

【実施例】本発明は、きわめて種々の実施例が可能であ
る。そのうちの１実施例が添付図面に略示されている。

【０００８】図示のウエブ・コーティング装置は、実質
的に、２つのプレート３，４間に支承された変向ロー
ラ、テンション測定ローラ、伸しローラ、張りローラ５
〜１０ないし１１〜１７、冷却されたコーティングロー
ラ１８、繰出しローラ３７、巻上げローラ３５′、パタ
ーン保持体５８、中空シリンダ３２により形成されたコ
ーティング・チャンバ２８内に配置された蒸発容器２
１、コーティング過程観察用テレビカメラ２２から成っ
ている。支持架台５２に固定された２個のプレート３，
４は、キャスタ２６，２７を介して走行レール２４，２
５上を、ローラ５〜１０，１１〜１７及びコーティング
ローラ１８と一緒に走行し、矢印方向Ｒでコーティング
・チャンバ２８に出入する。これらのローラは巻取り装
置２９を形成している。巻取り装置２９が走入する場
合、支持架台５２に固定配置されたディスク状のふた３
０が、その縁区域を中空シリンダ３２のフランジ状端面
３１に対し当付けられ、詳細には図示されていないクラ
ンプ部材により中空シリンダ３２に固定されるか、ない
しは作業段階でチャンバ４５内を支配する負圧のため、
大気圧により端面３１の方向へ引付けられる。

【０００９】蒸発器３４は中空成形体により形成され、
その両端は端部材によって閉じられている。蒸発器３４
の内部には、ロッド状の加熱部材が配置され、この加熱
部材の周囲が分離媒体により完全に取囲まれている。蒸
発した分離媒体はノズル３６を介してパターン保持体５
８の方向へ放出される。掻取り条片又は遮蔽部材４３，
４４により、分離媒体が、印刷パターンを形成する凹所
４２，４２′…内に残される。凹所４２，４２′…はパ
ターン保持体５８の円筒形外とう面に設けられている。

【００１０】更に、蒸発器３４はチャンバ３９内に配置
されている。チャンバ３９は、この区域内での分離媒体
の凝縮を防止する圧力を有している。チャンバ３９は、
一方ではチャンバ壁により、他方ではパターン保持体５
８により制限されている。

【００１１】蒸発器３４には、更に、温度センサを備え
ておくのが有利である。この温度センサによって分離媒
体温度の精密な監視と維持が可能になる（加熱回路の監
視と調整に必要な接続回路は図示されていない）。

【００１２】蒸発器３４はアングル部材５３，５３′を
介して双方のプレート３，４の間に保持されている。こ
の保持形式は、ノズル３６の噴出方向が、湿潤化される
パターン保持体面に向くようにされる。

【００１３】図１に示されているように、ノズル３６
は、フォイル・ウエブ５０の近く、それもコーティング
ローラ１８の直ぐ近くに配置されているので、通過する
フォイル・ウエブ５０を分離媒体による湿潤化の直後
に、本来のコーティング過程を実施できる。分離媒体
（たとえばシリコンオイル）で湿潤化されるフォイル・
ウエブ部分には、蒸発容器２１内で蒸発した金属は、全
く蒸着しないか、もしくは、極めて薄い湿潤化膜の場合
には、蒸着が著しく制限される。この結果、フォイル・
ウエブ５０のどの部分が金属蒸着ないし金属コーティン
グされないままか、もしくは薄膜コーティングされるか
は、パターン保持体５８の凹所４２，４２′…の数と寸
法、更には形状に従って決まる。

【００１４】図１及び図２に示された装置の場合、ロー
ラ５〜１０は、フォイル・ウエブ５０の搬送と案内のた
め、次のように配置されている。すなわち、コーティン
グ・ローラ１８の直ぐ前方に位置するフォイル・ウエブ
部分が、急角度で、すなわちほとんど垂直にパターン保
持体５８から下方へ走行するように配置される。

【００１５】フォイル・ウエブのこの部分は別様に案内
することも可能であるのは、言うまでもない。その場合
には、たとえばほぼ水平平面内でコーティングローラ１
８上を走行し、しかも、図３に示した分離媒体を蒸着す
るパターン保持体５８の位置や寸法を変更する必要がな
いようにする。

【００１６】図３に示したように、パターン保持体は中
空ローラとして構成され、個々の凹所４２，４２′，４
２″…により凹版のパターンが生ぜしめられる。ノズル
３６から出る分離媒体蒸気は、チャンバ３９に充満する
ので、チャンバ３９に向って開いている凹所４２，４
２′…にも充満する。パターン保持体５８は矢印方向に
ステップ式に継続回転できるので、遮蔽部材４３，４４
により過剰な蒸気が阻止される。言いかえると、凹所内
に集められない蒸気は、フォイル・ウエブの方向へ放出
される。

【００１７】フォイル・ウエブ５０は、パターン保持体
５８に対し間隔ｂを隔てて走行する一方、パターン保持
体５８は一定位置に静止しているので、調節可能の遮蔽
部材４３，４４と、遮蔽部材開口ａの区域に向けられる
凹所４２との間で、幅ないし湿潤度に多少の差はあれ湿
潤媒体の蒸着されたストリップがウエブ５０上に残され
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】ウエブ・コーティング装置の一部分の平面図
で、巻取り装置が装着過程時に中空シリンダとして構成
されたコーティング・チャンバから送出された状態を示
した図。この場合、図２に示されている変向ローラ及び
張りローラのうちの向個かが、見易くするために省略さ
れている。

【図２】図１のＡ−Ｂ線に沿って切断して示した側断面
図。

【図３】分離媒体によりフォイル・ウエブを湿潤化する
ためのパターン保持体を切断して示した斜視図。

【図４】図１の分離媒体蒸発器及びパターン保持体の拡
大側面図。

【符号の説明】

３，４プレート５，７，８，１０，１４，１７変向ローラ６張りローラ９，１５伸しローラ１１，１６テンション測定ローラ１２テンションローラ１３測定ローラ１８コーティングローラ１９蒸発源２０アルミニウム・ワイヤリール２１蒸発容器２２テレビカメラ２３ワイヤ案内２４，２５走行レール２６，２７キャスタ２８コーティング・チャンバ２９巻取り装置３０ふた３１端面３２中空シリンダ３４蒸発器３５巻き体３５′ 巻上げローラ３６ノズル３７′ 繰出しローラ４０，４１，４１′ ケーシング壁４２，４２′，４２″ 凹所４３，４４遮蔽部材４５チャンバ５０フォイル・ウエブ５２支持架台５８パターン保持体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】次のコーティングを阻止する媒体を用い
てサブストレート（５０）を部分的にコーティングし、
かつまた少なくとも１つの機能層を次に設けることによ
り、サブストレート（５０）上にパターンを形成する方
法であって、その目的のために、造出されるべきパター
ンに従って、パターン保持体（５８）に凹版のパターン
が設けられており、このパターン保持体（５８）におい
ては凹所（４２，４２′，４２″）の空間的分配が、サ
ブストレート（５０）の、コーティングされない表面区
域に合致し、更に、凹所（４２，４２′，４２″…）に
はコーティングを阻止する媒体の蒸気が、特許（特許出
願Ｐ…に従って充填されている形式のものにおいて、た
とえばステップバイステップ・スイッチ機構により回転
可能のパターン保持体（５８）が、周期的に断続的に運
動を続ける一方、サブストレートが連続的にパターン保
持体（５８）のところを通過し、そのさい皿状の凹所の
開放側が、サブストレート表面に向くようにされてお
り、それによって凹所内に含まれている蒸気がサブスト
レート（５０）上に凝縮し、更に、最後的には、凝縮後
にこの蒸気の一部が、サブストレート（５０）に少なく
とも１つの機能層を形成することを特徴とする、サブス
トレート上にパターンを形成する方法。
【請求項２】真空内でコーティングされるフォイル・
ウエブ（５０）の場合に、特にコンデンサ用の、金属を
有さないストリップを製造する装置であって、ケーシン
グ（３２）から成り、このケーシング（３２）には、ケ
ーシングを圧力密に閉じるふた（３０）と巻取り装置
（２９）が備えられ、更に、回転可能に支承された変向
及び張りローラ（５〜１０ないし１１〜１７，３３）
と、少なくとも１個のコーティングローラ（１８）と、
巻上げローラ（３５′）と、繰出しローラ（３７′）
と、ケーシング（３２）内に保持されたコーティング源
（１９）と、分離媒体、特にオイルを受容する蒸発器
（３４）と、蒸発器（３４）から蒸発する分離媒体を放
出する少なくとも１つのノズル（３６）とが備えられて
おり、しかも、コーティングローラ（１８）には、有利
には円筒体として構成され、凹版のパターン（５３）を
有するパターン保持体（５３）が前置されており、更
に、放出ノズル（３６）がパターン保持体（５８）に、
特許（特許出願Ｐ…）に従って向けられている形式のも
のにおいて、パターン保持体（５８）が周期的に断続して可動である
のに対し、サブストレートは連続的にパターン保持体
（５８）のところを通過可能であり、更に、掻取り条片
又は遮蔽部材（４３，４４）が備えられ、それら（４
３，４４）が、蒸発した分離媒体を凹版パターン（５
３）内へ閉じ込め、余分な分離媒体蒸気は、蒸発器（３
４）が配置されている別個のチャンバ（３９，５５）内
に抑留されるか、ないしは調量されてサブストレート
（５０）上へ流されるかすることを特徴とする、金属を
有さないストリップを製造する装置。
【請求項３】放出ノズル（３６）がスリッド又は穴列
として構成されており、しかも、このノズルから放出さ
れる分離媒体蒸気がチャンバ（３９）内へ流入し、この
チャンバ（３９）が、一方では遮蔽部材（４３，４４）
により制限され、他方ではチャンバ（３９）のケーシン
グ壁により制限されており、更に、パターン保持体（５
８）がケーシング開口（ａ）との間に狭い間隙を形成
し、チャンバ（３９）が隣接チャンバ（４５）より高い
圧力を有していることを特徴とする、請求項２記載の装
置。
【請求項４】遮蔽部材（４３，４４）が、ばね（４
６，５４）等の弾性部材、又は磁石によってケーシング
壁（４０）に押付けられるが、ケーシング開口（ａ）の
方向へ可動に保持されていることを特徴とする、請求項
２又は３記載の装置。
【請求項５】フォイル・ウエブ（５０）が、遮蔽部材
（４３，４４）により制限された間隙（ａ）のところ
を、パターン保持体（５８）に対し間隔をおいて通過す
ることを特徴とする、請求項２から４のいずれか１項に
記載の装置。