JPH06308027A - 光計測装置およびオゾン水濃度計 - Google Patents
光計測装置およびオゾン水濃度計Info
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- JPH06308027A JPH06308027A JP10145293A JP10145293A JPH06308027A JP H06308027 A JPH06308027 A JP H06308027A JP 10145293 A JP10145293 A JP 10145293A JP 10145293 A JP10145293 A JP 10145293A JP H06308027 A JPH06308027 A JP H06308027A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 光路の途中に結露が生じないように改良す
る。 【構成】 室温より低い温度のオゾン水Ｓを流通させる
セル３に、紫外線ランプ１側からガラス棒４を挿入し、
測定光検出用フォトダイオード６側からガラス棒５を挿
入し、両ガラス棒４，５の一方の端面をセル３中で対向
させる。ガラス棒４，５を十分長くして、両ガラス棒
４，５の他方の端面に結露が生じないようする。 【効果】 光路の途中に結露を生じないので、測定精度
が向上する。
る。 【構成】 室温より低い温度のオゾン水Ｓを流通させる
セル３に、紫外線ランプ１側からガラス棒４を挿入し、
測定光検出用フォトダイオード６側からガラス棒５を挿
入し、両ガラス棒４，５の一方の端面をセル３中で対向
させる。ガラス棒４，５を十分長くして、両ガラス棒
４，５の他方の端面に結露が生じないようする。 【効果】 光路の途中に結露を生じないので、測定精度
が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光計測装置およびオ
ゾン水濃度計に関し、更に詳しくは、光計測する試料の
温度が雰囲気温度よりも低くても光路の途中に結露を生
じないようにした光計測装置およびオゾン水濃度計に関
する。
ゾン水濃度計に関し、更に詳しくは、光計測する試料の
温度が雰囲気温度よりも低くても光路の途中に結露を生
じないようにした光計測装置およびオゾン水濃度計に関
する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来のオゾン水濃度計を示す構
成図である。このオゾン水濃度計５００は、検出部５１
０と、処理部５３０と、表示部１４０とからなってい
る。検出部５１０は、紫外線ランプ１と、干渉フィルタ
２a，２bと、セル５３と、測定光検出用フォトダイオー
ド６と、基準光検出用フォトダイオード８とを具備して
いる。処理部５３０は、測定光検出信号用処理回路６６
ａと、基準光検出信号用処理回路６６ｂと、ＣＰＵ６７
とを具備している。表示部１４０は、表示器ドライバ１
９と、表示器２０とを具備している。
成図である。このオゾン水濃度計５００は、検出部５１
０と、処理部５３０と、表示部１４０とからなってい
る。検出部５１０は、紫外線ランプ１と、干渉フィルタ
２a，２bと、セル５３と、測定光検出用フォトダイオー
ド６と、基準光検出用フォトダイオード８とを具備して
いる。処理部５３０は、測定光検出信号用処理回路６６
ａと、基準光検出信号用処理回路６６ｂと、ＣＰＵ６７
とを具備している。表示部１４０は、表示器ドライバ１
９と、表示器２０とを具備している。
【０００３】図６は、検出部５１０の詳細構成図であ
る。紫外線ランプ１からの光は干渉フィルタ２ａを通り
セル５３中のオゾン水Ｓに照射される。オゾン水Ｓを通
過してきた光は、測定光用フォトダイオード６で受光さ
れる。一方、紫外線ランプ１からの光は、干渉フィルタ
２ｂを通して、基準光用フォトダイオード８で受光して
いる。
る。紫外線ランプ１からの光は干渉フィルタ２ａを通り
セル５３中のオゾン水Ｓに照射される。オゾン水Ｓを通
過してきた光は、測定光用フォトダイオード６で受光さ
れる。一方、紫外線ランプ１からの光は、干渉フィルタ
２ｂを通して、基準光用フォトダイオード８で受光して
いる。
【０００４】図７は、処理部５３０の詳細回路図であ
る。この処理部５３０の測定光検出信号用処理回路６６
ａは、電流電圧変換回路８１ａと，アンプ８２ａと，Ａ
／Ｄ変換器８３ａとを具備し、測定光検出用フォトダイ
オード６に流れる測定光電流Ｉｓを表わすデジタル値を
ＣＰＵ６７へ出力する。また、基準光検出信号用処理回
路６６ｂは、電流電圧変換回路８１ｂと，アンプ８２ｂ
と，Ａ／Ｄ変換器８３ｂとを具備し、基準光検出用フォ
トダイオード８に流れる基準光電流Ｉｏを表わすデジタ
ル値をＣＰＵ６７へ出力する。ＣＰＵ６７は、ランバー
ト＝ベールの法則より、 Ｃ＝−(１／α・Ｌ)・ln｛(Ｉs／Ｉo)・Ｋ｝ …(１) ここで、 Ｌ：測定光路長 Ｋ：Ｉs'／Ｉo'であらかじめ測定しておく Ｉs'：基準水(０ppm)を流したときの基準光検出用フォ
トダイオードに流れる基準光電流 Ｉo'：基準水(０ppm)を流したときの測定光検出用フォ
トダイオードに流れる測定光電流 α：モル吸光係数 からオゾン水Ｓの濃度Ｃを算出し、表示部１４０へ出力
する。
る。この処理部５３０の測定光検出信号用処理回路６６
ａは、電流電圧変換回路８１ａと，アンプ８２ａと，Ａ
／Ｄ変換器８３ａとを具備し、測定光検出用フォトダイ
オード６に流れる測定光電流Ｉｓを表わすデジタル値を
ＣＰＵ６７へ出力する。また、基準光検出信号用処理回
路６６ｂは、電流電圧変換回路８１ｂと，アンプ８２ｂ
と，Ａ／Ｄ変換器８３ｂとを具備し、基準光検出用フォ
トダイオード８に流れる基準光電流Ｉｏを表わすデジタ
ル値をＣＰＵ６７へ出力する。ＣＰＵ６７は、ランバー
ト＝ベールの法則より、 Ｃ＝−(１／α・Ｌ)・ln｛(Ｉs／Ｉo)・Ｋ｝ …(１) ここで、 Ｌ：測定光路長 Ｋ：Ｉs'／Ｉo'であらかじめ測定しておく Ｉs'：基準水(０ppm)を流したときの基準光検出用フォ
トダイオードに流れる基準光電流 Ｉo'：基準水(０ppm)を流したときの測定光検出用フォ
トダイオードに流れる測定光電流 α：モル吸光係数 からオゾン水Ｓの濃度Ｃを算出し、表示部１４０へ出力
する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のオゾン水濃
度計５００では、セル５３全体がガラスでできており、
雰囲気よりも低いオゾン水Ｓの温度まで冷却されると、
図８に示すように、ガラス表面に結露を生じることがあ
った。すなわち、従来の光計測装置では、光路の途中に
結露を生じ、その結露で光が吸収されたり，散乱された
りして、測定精度が低下する問題点があった。そこで、
この発明の目的は、光路の途中に結露が生じないように
改良した光計測装置およびオゾン水濃度計を提供するこ
とにある。
度計５００では、セル５３全体がガラスでできており、
雰囲気よりも低いオゾン水Ｓの温度まで冷却されると、
図８に示すように、ガラス表面に結露を生じることがあ
った。すなわち、従来の光計測装置では、光路の途中に
結露を生じ、その結露で光が吸収されたり，散乱された
りして、測定精度が低下する問題点があった。そこで、
この発明の目的は、光路の途中に結露が生じないように
改良した光計測装置およびオゾン水濃度計を提供するこ
とにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】第１の観点では、この発
明は、光源から出射した光を、雰囲気より低い温度の試
料に透過させ、その透過光を光検出器で検出する光計測
装置において、前記光源（１）と前記試料（Ｓ）の間ま
たは前記試料（Ｓ）と前記光検出器（６）の間に光透過
材（４），（５）を介設し、その光透過材（４），
（５）の長さを、前記光透過材（４），（５）の前記試
料（Ｓ）側が試料温度で冷却されても前記光源（１）側
または前記光検出器（６）側の端面に結露を生じないよ
うな長さとしたことを特徴とする光計測装置（１００）
を提供する。
明は、光源から出射した光を、雰囲気より低い温度の試
料に透過させ、その透過光を光検出器で検出する光計測
装置において、前記光源（１）と前記試料（Ｓ）の間ま
たは前記試料（Ｓ）と前記光検出器（６）の間に光透過
材（４），（５）を介設し、その光透過材（４），
（５）の長さを、前記光透過材（４），（５）の前記試
料（Ｓ）側が試料温度で冷却されても前記光源（１）側
または前記光検出器（６）側の端面に結露を生じないよ
うな長さとしたことを特徴とする光計測装置（１００）
を提供する。
【０００７】第２の観点では、この発明は、光源から出
射した光を、室温より低い温度のオゾン水に透過させ、
その透過光を光検出器で検出するオゾン水濃度計におい
て、前記光源（１）と前記オゾン水（Ｓ）の間または前
記オゾン水（Ｓ）と前記光検出器（６）の間に光透過材
（４），（５）を介設し、その光透過材（４），（５）
の長さを、前記光透過材（４），（５）の前記オゾン水
（Ｓ）側がオゾン水温度で冷却されても前記光源（１）
側または前記光検出器（６）側の端面に結露を生じない
ような長さとしたことを特徴とするオゾン水濃度計（１
００）を提供する。
射した光を、室温より低い温度のオゾン水に透過させ、
その透過光を光検出器で検出するオゾン水濃度計におい
て、前記光源（１）と前記オゾン水（Ｓ）の間または前
記オゾン水（Ｓ）と前記光検出器（６）の間に光透過材
（４），（５）を介設し、その光透過材（４），（５）
の長さを、前記光透過材（４），（５）の前記オゾン水
（Ｓ）側がオゾン水温度で冷却されても前記光源（１）
側または前記光検出器（６）側の端面に結露を生じない
ような長さとしたことを特徴とするオゾン水濃度計（１
００）を提供する。
【０００８】
【作用】この発明の光計測装置およびオゾン水濃度計で
は、光源と試料の間または試料と光検出器の間光透過材
を介設し、その光透過材の長さを、前記光透過材の前記
試料側が試料温度で冷却されても前記光源側または前記
光検出器側の端面に結露を生じないような長さとした。
従って、結露で光が吸収されたり，散乱されたりするこ
とが防止され、測定精度の低下が防止される。
は、光源と試料の間または試料と光検出器の間光透過材
を介設し、その光透過材の長さを、前記光透過材の前記
試料側が試料温度で冷却されても前記光源側または前記
光検出器側の端面に結露を生じないような長さとした。
従って、結露で光が吸収されたり，散乱されたりするこ
とが防止され、測定精度の低下が防止される。
【０００９】
【実施例】以下、図に示す実施例によりこの発明をさら
に詳細に説明する。なお、これによりこの発明が限定さ
れるものではない。図１は、この発明の一実施例である
オゾン水濃度計１００を示す構成図である。このオゾン
水濃度計１００は、検出部１１０と、温度コントロール
部１２０と、処理部１３０と、表示部１４０とからなっ
ている。検出部１１０は、紫外線ランプ１と、干渉フィ
ルタ２と、セル３と、ガラス棒４，５，７と、測定光検
出用フォトダイオード６と、基準光検出用フォトダイオ
ード８と、光遮蔽箱９に収容された暗電流検出用フォト
ダイオード１０とを具備している。温度コントロール部
１２０は、各フォトダイオード６，８，１０を取り付け
たアルミブロック１１と、ヒータとして機能するＦＥＴ
１２と、サーミスタ１３と、温度制御回路１４とを具備
している。処理部１３０は、フォトダイオード６，８，
１０のいずれか一つを選択するスイッチ回路１５と、そ
のスイッチ回路１５で選択されたフォトダイオードから
の信号を処理する処理回路１６と、ＣＰＵ１７と、スイ
ッチ切換ドライバ１８とを具備している。表示部１４０
は、表示器ドライバ１９と、表示器２０とを具備してい
る。
に詳細に説明する。なお、これによりこの発明が限定さ
れるものではない。図１は、この発明の一実施例である
オゾン水濃度計１００を示す構成図である。このオゾン
水濃度計１００は、検出部１１０と、温度コントロール
部１２０と、処理部１３０と、表示部１４０とからなっ
ている。検出部１１０は、紫外線ランプ１と、干渉フィ
ルタ２と、セル３と、ガラス棒４，５，７と、測定光検
出用フォトダイオード６と、基準光検出用フォトダイオ
ード８と、光遮蔽箱９に収容された暗電流検出用フォト
ダイオード１０とを具備している。温度コントロール部
１２０は、各フォトダイオード６，８，１０を取り付け
たアルミブロック１１と、ヒータとして機能するＦＥＴ
１２と、サーミスタ１３と、温度制御回路１４とを具備
している。処理部１３０は、フォトダイオード６，８，
１０のいずれか一つを選択するスイッチ回路１５と、そ
のスイッチ回路１５で選択されたフォトダイオードから
の信号を処理する処理回路１６と、ＣＰＵ１７と、スイ
ッチ切換ドライバ１８とを具備している。表示部１４０
は、表示器ドライバ１９と、表示器２０とを具備してい
る。
【００１０】図２は、検出部１１０の詳細構成図であ
る。この検出部１１０では、５℃程度のオゾン水Ｓを流
通させるセル３に、紫外線ランプ１側からガラス棒４を
挿入し、測定光検出用フォトダイオード６側からガラス
棒５を挿入し、両ガラス棒４，５の端面をセル３中で対
向させている。両者の距離が測定光路長Ｌとなる。オゾ
ン水Ｓが低濃度のときは測定光路長Ｌを大きくし、高濃
度のときは測定光路長Ｌを小さくするように、ガラス棒
４，５を動かせば、低濃度から高濃度までに容易に対応
することが出来る。このように両ガラス棒４，５の位置
を移動して測定光路長Ｌを調整できるので、セル３を用
いる代りに、オゾン水Ｓが通る単なる配管を用いても何
ら差し支えない。また、ガラス棒４，５を十分長くして
いるので、ガラス棒４，５の一端の温度がオゾン水Ｓの
温度まで冷却されても他端の温度はそれほど下がらず、
ガラス棒４，５の他端の端面に結露を生じることが防止
される。ガラス棒４，５は、例えば直径６ｍｍ，長さ５
０ｍｍの合成石英製である。ガラス棒４，５の代りに、
より断熱性の高い光透過材を用いれば、長さをより短縮
できる。
る。この検出部１１０では、５℃程度のオゾン水Ｓを流
通させるセル３に、紫外線ランプ１側からガラス棒４を
挿入し、測定光検出用フォトダイオード６側からガラス
棒５を挿入し、両ガラス棒４，５の端面をセル３中で対
向させている。両者の距離が測定光路長Ｌとなる。オゾ
ン水Ｓが低濃度のときは測定光路長Ｌを大きくし、高濃
度のときは測定光路長Ｌを小さくするように、ガラス棒
４，５を動かせば、低濃度から高濃度までに容易に対応
することが出来る。このように両ガラス棒４，５の位置
を移動して測定光路長Ｌを調整できるので、セル３を用
いる代りに、オゾン水Ｓが通る単なる配管を用いても何
ら差し支えない。また、ガラス棒４，５を十分長くして
いるので、ガラス棒４，５の一端の温度がオゾン水Ｓの
温度まで冷却されても他端の温度はそれほど下がらず、
ガラス棒４，５の他端の端面に結露を生じることが防止
される。ガラス棒４，５は、例えば直径６ｍｍ，長さ５
０ｍｍの合成石英製である。ガラス棒４，５の代りに、
より断熱性の高い光透過材を用いれば、長さをより短縮
できる。
【００１１】ガラス棒７は、ガラス棒４，５と平行に置
かれており、例えば直径６ｍｍ，長さ１１０ｍｍの合成
石英製である。ガラス棒４，７と紫外線ランプ１の間に
は、干渉フィルタ２が設置されている。また、ガラス棒
５，７のフォトダイオード６，８側の端面は、測定光検
出用フォトダイオード６，基準光検出用フォトダイオー
ド８に密接している。なお、オゾン水Ｓの代りに他の液
体試料または気体試料を光計測するときは、紫外線ラン
プ１，干渉フィルタ２，ガラス棒４，５，７に代えて、
その試料に合せた波長の光源，干渉フィルタ，光透過材
を用いるのが好ましい。
かれており、例えば直径６ｍｍ，長さ１１０ｍｍの合成
石英製である。ガラス棒４，７と紫外線ランプ１の間に
は、干渉フィルタ２が設置されている。また、ガラス棒
５，７のフォトダイオード６，８側の端面は、測定光検
出用フォトダイオード６，基準光検出用フォトダイオー
ド８に密接している。なお、オゾン水Ｓの代りに他の液
体試料または気体試料を光計測するときは、紫外線ラン
プ１，干渉フィルタ２，ガラス棒４，５，７に代えて、
その試料に合せた波長の光源，干渉フィルタ，光透過材
を用いるのが好ましい。
【００１２】図３は、温度コントロール部１２０の一部
破断斜視図である。アルミブロック１１に、ガラス棒
５，７の端部と、フォトダイオード６，８，１０とを埋
設する。さらに、アルミブロック１１に、ＦＥＴ１２
と、サーミスタ１３を取り付ける。ＦＥＴ１２は、温度
制御回路１４から通電されて発熱し、アルミブロック１
１を加熱する。そのアルミブロック１１の温度は、サー
ミスタ１３で検知され、温度制御回路１４にフィードバ
ックされる。温度制御回路１４は、フィードバックされ
た検知温度と所与の目的温度（例えば５０℃）とを比較
し、検知温度が低ければゲート−ソース間電圧を変化さ
せてＦＥＴ１２での発熱量を増加させ、検知温度が高け
ればゲート−ソース間電圧を変化させてＦＥＴ１２での
発熱量を減少させ、アルミブロック１１の温度を目的温
度に維持する。この結果、フォトダイオード６，８，１
０は一定の温度に維持され、フォトダイオードの感度と
暗電流は周囲温度の影響を受けなくなる。従って、オゾ
ン水濃度計の安定性と精度が向上する。なお、ＦＥＴ１
２の代りに電子冷却板を用いて、アルミブロック１１を
冷却し、周囲温度より低温の目的温度（例えば５℃）に
維持するようにしてもよい。
破断斜視図である。アルミブロック１１に、ガラス棒
５，７の端部と、フォトダイオード６，８，１０とを埋
設する。さらに、アルミブロック１１に、ＦＥＴ１２
と、サーミスタ１３を取り付ける。ＦＥＴ１２は、温度
制御回路１４から通電されて発熱し、アルミブロック１
１を加熱する。そのアルミブロック１１の温度は、サー
ミスタ１３で検知され、温度制御回路１４にフィードバ
ックされる。温度制御回路１４は、フィードバックされ
た検知温度と所与の目的温度（例えば５０℃）とを比較
し、検知温度が低ければゲート−ソース間電圧を変化さ
せてＦＥＴ１２での発熱量を増加させ、検知温度が高け
ればゲート−ソース間電圧を変化させてＦＥＴ１２での
発熱量を減少させ、アルミブロック１１の温度を目的温
度に維持する。この結果、フォトダイオード６，８，１
０は一定の温度に維持され、フォトダイオードの感度と
暗電流は周囲温度の影響を受けなくなる。従って、オゾ
ン水濃度計の安定性と精度が向上する。なお、ＦＥＴ１
２の代りに電子冷却板を用いて、アルミブロック１１を
冷却し、周囲温度より低温の目的温度（例えば５℃）に
維持するようにしてもよい。
【００１３】図４は、処理部１３０の詳細回路図であ
る。この処理部１３０の処理回路１６は、電流電圧変換
回路１６１と，アンプ１６２と，Ａ／Ｄ変換器１６３と
を具備し、スイッチ回路１５で測定光検出用フォトダイ
オード６を選択したときは、測定光検出用フォトダイオ
ード６に流れる測定光電流Ｉｓを表わすデジタル値をＣ
ＰＵ１７へ出力する。また、スイッチ回路１５で基準光
検出用フォトダイオード８を選択したときは、基準光検
出用フォトダイオード８に流れる基準光電流Ｉｏを表わ
すデジタル値をＣＰＵ１７へ出力する。また、スイッチ
回路１５で暗電流検出用フォトダイオード１０を選択し
たときは、暗電流検出用フォトダイオード１０に流れる
暗電流Ｉｄを表わすデジタル値をＣＰＵ１７へ出力す
る。スイッチ回路１５は、例えばアナログスイッチであ
る。ＣＰＵ１７は、スイッチ切換ドライバ１８を介して
スイッチ回路１５を切り替えて、測定光電流Ｉｓ，基準
光電流Ｉｏ，暗電流Ｉｄを得ると、ランバート＝ベール
の法則より、 Ｃ＝−(１／α・Ｌ)・ln[｛(Ｉs−Ｉd)／(Ｉo−Ｉd)｝・Ｋ'] …(１’) ここで、 Ｌ：測定光路長 Ｋ'：(Ｉs'−Ｉd')／(Ｉo'−Ｉd'）であらかじめ測定し
ておく Ｉs'：基準水(０ppm)を流したときの基準光検出用フォ
トダイオードに流れる基準光電流 Ｉo'：基準水(０ppm)を流したときの測定光検出用フォ
トダイオードに流れる測定光電流 Ｉd'：基準水(０ppm)を流したときの暗電流検出用フォ
トダイオードに流れる暗電流 α：モル吸光係数 からオゾン水Ｓの濃度Ｃを算出し、表示部１４０へ出力
する。さて、処理回路１６の出力値Ｄは、 Ｄｓ＝Ｉｓ＊Ｇ(ｔ)＋Ｄf(ｔ) …(２) Ｄｏ＝Ｉｏ＊Ｇ(ｔ)＋Ｄf(ｔ) …(３) Ｄｄ＝Ｉｄ＊Ｇ(ｔ)＋Ｄf(ｔ) …(４) Ｇ(ｔ) ：処理回路１６のゲイン（電流／電圧の変換も
含む） Ｄf(ｔ)：処理回路１６のオフセット値 (ｔ)は、温度により変動することを表わす。である。Ｃ
ＰＵ１７は、上記(１') 式の（Ｉs−Ｉd）／（Ｉo−Ｉ
d）の計算を、実際には、 （Ｄｓ−Ｄｄ）／（Ｄｏ−Ｄｄ） …(５) で行っている。この(５)式に、上記(２)(３)(４)式を代
入すれば、 {Is*G(t)+Df(t)}-{Id*G(t)+Df(t)}／{Io*G(t)+Df(t)}-
{Id*G(t)+Df(t)}＝（Ｉs−Ｉd）／（Ｉo−Ｉd） となり、Ｇ(ｔ) ，Ｄf(ｔ)が完全に消える。これは、ゲ
インやオフセット値に温度ドリフトが生じても、その影
響を全く受けないことを意味している。このように、処
理部１３０は、同一の処理回路１６を用いて、測定光電
流Ｉｓ，基準光電流Ｉｏ，暗電流Ｉｄの処理を行ってい
るため、温度ドリフトの影響を全く受けず、従って、安
定性と精度が向上する。なお、部品点数を低減できる利
点もある。
る。この処理部１３０の処理回路１６は、電流電圧変換
回路１６１と，アンプ１６２と，Ａ／Ｄ変換器１６３と
を具備し、スイッチ回路１５で測定光検出用フォトダイ
オード６を選択したときは、測定光検出用フォトダイオ
ード６に流れる測定光電流Ｉｓを表わすデジタル値をＣ
ＰＵ１７へ出力する。また、スイッチ回路１５で基準光
検出用フォトダイオード８を選択したときは、基準光検
出用フォトダイオード８に流れる基準光電流Ｉｏを表わ
すデジタル値をＣＰＵ１７へ出力する。また、スイッチ
回路１５で暗電流検出用フォトダイオード１０を選択し
たときは、暗電流検出用フォトダイオード１０に流れる
暗電流Ｉｄを表わすデジタル値をＣＰＵ１７へ出力す
る。スイッチ回路１５は、例えばアナログスイッチであ
る。ＣＰＵ１７は、スイッチ切換ドライバ１８を介して
スイッチ回路１５を切り替えて、測定光電流Ｉｓ，基準
光電流Ｉｏ，暗電流Ｉｄを得ると、ランバート＝ベール
の法則より、 Ｃ＝−(１／α・Ｌ)・ln[｛(Ｉs−Ｉd)／(Ｉo−Ｉd)｝・Ｋ'] …(１’) ここで、 Ｌ：測定光路長 Ｋ'：(Ｉs'−Ｉd')／(Ｉo'−Ｉd'）であらかじめ測定し
ておく Ｉs'：基準水(０ppm)を流したときの基準光検出用フォ
トダイオードに流れる基準光電流 Ｉo'：基準水(０ppm)を流したときの測定光検出用フォ
トダイオードに流れる測定光電流 Ｉd'：基準水(０ppm)を流したときの暗電流検出用フォ
トダイオードに流れる暗電流 α：モル吸光係数 からオゾン水Ｓの濃度Ｃを算出し、表示部１４０へ出力
する。さて、処理回路１６の出力値Ｄは、 Ｄｓ＝Ｉｓ＊Ｇ(ｔ)＋Ｄf(ｔ) …(２) Ｄｏ＝Ｉｏ＊Ｇ(ｔ)＋Ｄf(ｔ) …(３) Ｄｄ＝Ｉｄ＊Ｇ(ｔ)＋Ｄf(ｔ) …(４) Ｇ(ｔ) ：処理回路１６のゲイン（電流／電圧の変換も
含む） Ｄf(ｔ)：処理回路１６のオフセット値 (ｔ)は、温度により変動することを表わす。である。Ｃ
ＰＵ１７は、上記(１') 式の（Ｉs−Ｉd）／（Ｉo−Ｉ
d）の計算を、実際には、 （Ｄｓ−Ｄｄ）／（Ｄｏ−Ｄｄ） …(５) で行っている。この(５)式に、上記(２)(３)(４)式を代
入すれば、 {Is*G(t)+Df(t)}-{Id*G(t)+Df(t)}／{Io*G(t)+Df(t)}-
{Id*G(t)+Df(t)}＝（Ｉs−Ｉd）／（Ｉo−Ｉd） となり、Ｇ(ｔ) ，Ｄf(ｔ)が完全に消える。これは、ゲ
インやオフセット値に温度ドリフトが生じても、その影
響を全く受けないことを意味している。このように、処
理部１３０は、同一の処理回路１６を用いて、測定光電
流Ｉｓ，基準光電流Ｉｏ，暗電流Ｉｄの処理を行ってい
るため、温度ドリフトの影響を全く受けず、従って、安
定性と精度が向上する。なお、部品点数を低減できる利
点もある。
【００１４】
【発明の効果】この発明の光計測装置およびオゾン水濃
度計によれば、雰囲気より低い温度の試料に接触させる
光透過材を、光源側または光検出器側の端面に結露を生
じないような長さとしたから、結露で光が吸収された
り，散乱されたりすることが防止され、測定精度の低下
が防止される。
度計によれば、雰囲気より低い温度の試料に接触させる
光透過材を、光源側または光検出器側の端面に結露を生
じないような長さとしたから、結露で光が吸収された
り，散乱されたりすることが防止され、測定精度の低下
が防止される。
【図１】この発明の一実施例であるオゾン水濃度計を示
す構成図である。
す構成図である。
【図２】図１のオゾン水濃度計にかかる検出部を示す詳
細構成図である。
細構成図である。
【図３】図１のオゾン水濃度計にかかる温度コントロー
ル部を示す一部破断斜視図である。
ル部を示す一部破断斜視図である。
【図４】図１のオゾン水濃度計にかかる処理部を示す回
路図である。
路図である。
【図５】従来のオゾン水濃度計の一例を示す構成図であ
る。
る。
【図６】図５のオゾン水濃度計にかかる検出部を示す詳
細構成図である。
細構成図である。
【図７】図５のオゾン水濃度計にかかる処理部を示す回
路図である。
路図である。
【図８】図５の検出部のセル付近を示す拡大構成図であ
る。
る。
１００ オゾン水濃度計 １１０ 検出部 １２０ 温度コントロール部 １３０ 処理部 １４０ 表示部 １ 紫外線ランプ ２ 干渉フィルタ ４，５，７ ガラス棒 ６，８，１０ フォトダイオード １１ アルミブロック １２ ＦＥＴ １３ サーミスタ １４ 温度制御回路 １５ スイッチ回路 １６ 処理回路 １７ ＣＰＵ １８ スイッチ切換ドライバ １９ 表示器ドライバ ２０ 表示器
Claims (4)
- 【請求項１】 光源から出射した光を、雰囲気より低い
温度の試料に透過させ、その透過光を光検出器で検出す
る光計測装置において、 前記光源と前記試料の間または前記試料と前記光検出器
の間に光透過材を介設し、その光透過材の長さを、前記
光透過材の前記試料側が試料温度で冷却されても前記光
源側または前記光検出器側の端面に結露を生じないよう
な長さとしたことを特徴とする光計測装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の光計測装置において、
光透過材を移動させて試料中の光路長を調整可能とした
ことを特徴とする光計測装置。 - 【請求項３】 光源から出射した光を、室温より低い温
度のオゾン水に透過させ、その透過光を光検出器で検出
するオゾン水濃度計において、 前記光源と前記オゾン水の間または前記オゾン水と前記
光検出器の間に光透過材を介設し、その光透過材の長さ
を、前記光透過材の前記オゾン水側がオゾン水温度で冷
却されても前記光源側または前記光検出器側の端面に結
露を生じないような長さとしたことを特徴とするオゾン
水濃度計。 - 【請求項４】 請求項３に記載のオゾン水濃度計におい
て、光透過材を移動させて試料中の光路長を調整可能と
したことを特徴とするオゾン水濃度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10145293A JPH06308027A (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | 光計測装置およびオゾン水濃度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10145293A JPH06308027A (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | 光計測装置およびオゾン水濃度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06308027A true JPH06308027A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14301094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10145293A Pending JPH06308027A (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | 光計測装置およびオゾン水濃度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06308027A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001228079A (ja) * | 2000-02-15 | 2001-08-24 | Jasco Corp | 光路長可変セル |
| JP2002139429A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-17 | Kurabo Ind Ltd | 溶存オゾン濃度測定装置 |
| JP2006337106A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Dkk Toa Corp | 水質分析計の除湿装置 |
-
1993
- 1993-04-27 JP JP10145293A patent/JPH06308027A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001228079A (ja) * | 2000-02-15 | 2001-08-24 | Jasco Corp | 光路長可変セル |
| JP2002139429A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-17 | Kurabo Ind Ltd | 溶存オゾン濃度測定装置 |
| JP2006337106A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Dkk Toa Corp | 水質分析計の除湿装置 |
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