JPH06308028A - 光計測装置およびオゾン水濃度計 - Google Patents
光計測装置およびオゾン水濃度計Info
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- JPH06308028A JPH06308028A JP10145393A JP10145393A JPH06308028A JP H06308028 A JPH06308028 A JP H06308028A JP 10145393 A JP10145393 A JP 10145393A JP 10145393 A JP10145393 A JP 10145393A JP H06308028 A JPH06308028 A JP H06308028A
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- ozone water
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 温度変動の影響を受けないように改良する。
【構成】 測定光検出用フォトダイオード６，基準光検
出用フォトダイオード８，暗電流検出用フォトダイオー
ド１０からの信号のいずれかをスイッチ回路１５で選択
して、１つの処理回路１６で処理する。 【効果】 処理回路の温度ドリフトの影響を受けず、安
定性と精度が向上する。また、部品点数を低減できる。
出用フォトダイオード８，暗電流検出用フォトダイオー
ド１０からの信号のいずれかをスイッチ回路１５で選択
して、１つの処理回路１６で処理する。 【効果】 処理回路の温度ドリフトの影響を受けず、安
定性と精度が向上する。また、部品点数を低減できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光計測装置およびオ
ゾン水濃度計に関し、さらに詳しくは、周囲の温度変動
の影響を受けないようにした光計測装置およびオゾン水
濃度計に関する。
ゾン水濃度計に関し、さらに詳しくは、周囲の温度変動
の影響を受けないようにした光計測装置およびオゾン水
濃度計に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来のオゾン水濃度計を示す構
成図である。このオゾン水濃度計５００は、検出部５１
０と、処理部５３０と、表示部１４０とからなってい
る。検出部５１０は、紫外線ランプ１と、干渉フィルタ
２a，２bと、セル５３と、測定光検出用フォトダイオー
ド６と、基準光検出用フォトダイオード８とを具備して
いる。処理部５３０は、測定光検出信号用処理回路６６
ａと、基準光検出信号用処理回路６６ｂと、ＣＰＵ６７
とを具備している。表示部１４０は、表示器ドライバ１
９と、表示器２０とを具備している。
成図である。このオゾン水濃度計５００は、検出部５１
０と、処理部５３０と、表示部１４０とからなってい
る。検出部５１０は、紫外線ランプ１と、干渉フィルタ
２a，２bと、セル５３と、測定光検出用フォトダイオー
ド６と、基準光検出用フォトダイオード８とを具備して
いる。処理部５３０は、測定光検出信号用処理回路６６
ａと、基準光検出信号用処理回路６６ｂと、ＣＰＵ６７
とを具備している。表示部１４０は、表示器ドライバ１
９と、表示器２０とを具備している。
【０００３】図６は、検出部５１０の詳細構成図であ
る。紫外線ランプ１からの光は干渉フィルタ２ａを通り
セル５３中のオゾン水Ｓに照射される。オゾン水Ｓを通
過してきた光は、測定光用フォトダイオード６で受光さ
れる。一方、紫外線ランプ１からの光は、干渉フィルタ
２ｂを通して、基準光用フォトダイオード８で受光して
いる。
る。紫外線ランプ１からの光は干渉フィルタ２ａを通り
セル５３中のオゾン水Ｓに照射される。オゾン水Ｓを通
過してきた光は、測定光用フォトダイオード６で受光さ
れる。一方、紫外線ランプ１からの光は、干渉フィルタ
２ｂを通して、基準光用フォトダイオード８で受光して
いる。
【０００４】図７は、処理部５３０の詳細回路図であ
る。この処理部５３０の測定光検出信号用処理回路６６
ａは、電流電圧変換回路８１ａと，アンプ８２ａと，Ａ
／Ｄ変換器８３ａとを具備し、測定光検出用フォトダイ
オード６に流れる測定光電流Ｉｓを表わすデジタル値を
ＣＰＵ６７へ出力する。また、基準光検出信号用処理回
路６６ｂは、電流電圧変換回路８１ｂと，アンプ８２ｂ
と，Ａ／Ｄ変換器８３ｂとを具備し、基準光検出用フォ
トダイオード８に流れる基準光電流Ｉｏを表わすデジタ
ル値をＣＰＵ６７へ出力する。ＣＰＵ６７は、ランバー
ト＝ベールの法則より、 Ｃ＝−(１／α・Ｌ)・ln｛(Ｉs／Ｉo)・Ｋ｝ …(１) ここで、 Ｌ：測定光路長 Ｋ：Ｉs'／Ｉo'であらかじめ測定しておく Ｉs'：基準水(０ppm)を流したときの基準光検出用フォ
トダイオードに流れる基準光電流 Ｉo'：基準水(０ppm)を流したときの測定光検出用フォ
トダイオードに流れる測定光電流 α：モル吸光係数 からオゾン水Ｓの濃度Ｃを算出し、表示部１４０へ出力
する。
る。この処理部５３０の測定光検出信号用処理回路６６
ａは、電流電圧変換回路８１ａと，アンプ８２ａと，Ａ
／Ｄ変換器８３ａとを具備し、測定光検出用フォトダイ
オード６に流れる測定光電流Ｉｓを表わすデジタル値を
ＣＰＵ６７へ出力する。また、基準光検出信号用処理回
路６６ｂは、電流電圧変換回路８１ｂと，アンプ８２ｂ
と，Ａ／Ｄ変換器８３ｂとを具備し、基準光検出用フォ
トダイオード８に流れる基準光電流Ｉｏを表わすデジタ
ル値をＣＰＵ６７へ出力する。ＣＰＵ６７は、ランバー
ト＝ベールの法則より、 Ｃ＝−(１／α・Ｌ)・ln｛(Ｉs／Ｉo)・Ｋ｝ …(１) ここで、 Ｌ：測定光路長 Ｋ：Ｉs'／Ｉo'であらかじめ測定しておく Ｉs'：基準水(０ppm)を流したときの基準光検出用フォ
トダイオードに流れる基準光電流 Ｉo'：基準水(０ppm)を流したときの測定光検出用フォ
トダイオードに流れる測定光電流 α：モル吸光係数 からオゾン水Ｓの濃度Ｃを算出し、表示部１４０へ出力
する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のオゾン水濃
度計５００において、処理回路６６ａ，６６ｂ，６６ｃ
の出力値Ｄｓ，Ｄｏは、 Ｄｓ＝Ｉｓ＊Ｇs(ｔs)＋Ｄf(ｔs) …(２) Ｄｏ＝Ｉｏ＊Ｇo(ｔo)＋Ｄf(ｔo) …(３) Ｇs(ｔs) ：処理回路６６ａのゲイン（電流／電圧の変
換も含む） Ｄf(ｔs)：処理回路６６ａのオフセット値 (ｔs)は、処理回路６６ａの温度ｔsにより変動すること
を表わす。 Ｇo(ｔo) ：処理回路６６ｂのゲイン（電流／電圧の変
換も含む） Ｄf(ｔo)：処理回路６６ｂのオフセット値 (ｔo)は、処理回路６６ｂの温度ｔoにより変動すること
を表わす。である。
度計５００において、処理回路６６ａ，６６ｂ，６６ｃ
の出力値Ｄｓ，Ｄｏは、 Ｄｓ＝Ｉｓ＊Ｇs(ｔs)＋Ｄf(ｔs) …(２) Ｄｏ＝Ｉｏ＊Ｇo(ｔo)＋Ｄf(ｔo) …(３) Ｇs(ｔs) ：処理回路６６ａのゲイン（電流／電圧の変
換も含む） Ｄf(ｔs)：処理回路６６ａのオフセット値 (ｔs)は、処理回路６６ａの温度ｔsにより変動すること
を表わす。 Ｇo(ｔo) ：処理回路６６ｂのゲイン（電流／電圧の変
換も含む） Ｄf(ｔo)：処理回路６６ｂのオフセット値 (ｔo)は、処理回路６６ｂの温度ｔoにより変動すること
を表わす。である。
【０００６】ＣＰＵ６７は、上記(１)式のＩs／Ｉoの計
算を、実際には、 Ｄｓ／Ｄｏ …(５) で行っている。しかし、処理回路６６ａ，６６ｂが別の
回路であるため、Ｇs(ｔs)，Ｇo(ｔo)が異なり、Ｄf(ｔ
s)，Ｄf(ｔo)も異なるから、上記(５)式中に温度ｔs，
ｔoの影響が入ってくる。これは、ゲインやオフセット
値に温度ドリフトが生じると、測定誤差を生じることを
意味している。
算を、実際には、 Ｄｓ／Ｄｏ …(５) で行っている。しかし、処理回路６６ａ，６６ｂが別の
回路であるため、Ｇs(ｔs)，Ｇo(ｔo)が異なり、Ｄf(ｔ
s)，Ｄf(ｔo)も異なるから、上記(５)式中に温度ｔs，
ｔoの影響が入ってくる。これは、ゲインやオフセット
値に温度ドリフトが生じると、測定誤差を生じることを
意味している。
【０００７】すなわち、従来の光計測装置では、各信号
を別の処理回路で処理しているため、温度ドリフト特性
により、測定誤差を生じる問題点がある。そこで、この
発明の目的は、温度ドリフト特性に起因する測定誤差を
生じないように改良した光計測装置およびオゾン水濃度
計を提供することにある。
を別の処理回路で処理しているため、温度ドリフト特性
により、測定誤差を生じる問題点がある。そこで、この
発明の目的は、温度ドリフト特性に起因する測定誤差を
生じないように改良した光計測装置およびオゾン水濃度
計を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】第１の観点では、この発
明は、試料を透過した光を検出する光検出器を含む複数
の光検出器と、それら光検出器からの信号を処理する処
理手段とを具備してなる光計測装置において、前記処理
手段は、前記複数の光検出器のいずれか一つを選択する
スイッチ回路と、そのスイッチ回路で選択された光検出
器からの信号を処理する処理回路とからなり、１つの処
理回路を複数の光検出器で共有することを特徴とする光
計測装置を提供する。
明は、試料を透過した光を検出する光検出器を含む複数
の光検出器と、それら光検出器からの信号を処理する処
理手段とを具備してなる光計測装置において、前記処理
手段は、前記複数の光検出器のいずれか一つを選択する
スイッチ回路と、そのスイッチ回路で選択された光検出
器からの信号を処理する処理回路とからなり、１つの処
理回路を複数の光検出器で共有することを特徴とする光
計測装置を提供する。
【０００９】第２の観点では、この発明は、オゾン水を
透過した光を検出する第１光検出器と、前記オゾン水を
透過しない光を検出する第２光検出器と、暗電流を検出
する第３光検出器と、それら検出器からの信号を処理す
る処理手段とを具備してなるオゾン水濃度計において、
前記処理手段は、前記光検出器のいずれか一つを選択す
るスイッチ回路と、そのスイッチ回路で選択された光検
出器からの信号を処理する処理回路とからなり、１つの
処理回路を前記第１光検出器と第２光検出器と第３検出
器とで共有することを特徴とするオゾン水濃度計を提供
する。
透過した光を検出する第１光検出器と、前記オゾン水を
透過しない光を検出する第２光検出器と、暗電流を検出
する第３光検出器と、それら検出器からの信号を処理す
る処理手段とを具備してなるオゾン水濃度計において、
前記処理手段は、前記光検出器のいずれか一つを選択す
るスイッチ回路と、そのスイッチ回路で選択された光検
出器からの信号を処理する処理回路とからなり、１つの
処理回路を前記第１光検出器と第２光検出器と第３検出
器とで共有することを特徴とするオゾン水濃度計を提供
する。
【００１０】
【作用】この発明の光計測装置およびオゾン水濃度計で
は、処理回路を１つとし、その処理回路を、スイッチ回
路で切り替えて複数の光検出器で共有する構成とした。
このため、処理回路に温度ドリフトを生じても、後述す
る(５’)式の分子／分母で打ち消されて影響されなくな
る。従って、安定性と精度を向上できる。
は、処理回路を１つとし、その処理回路を、スイッチ回
路で切り替えて複数の光検出器で共有する構成とした。
このため、処理回路に温度ドリフトを生じても、後述す
る(５’)式の分子／分母で打ち消されて影響されなくな
る。従って、安定性と精度を向上できる。
【００１１】
【実施例】以下、図に示す実施例によりこの発明をさら
に詳細に説明する。なお、これによりこの発明が限定さ
れるものではない。図１は、この発明の一実施例である
オゾン水濃度計１００を示す構成図である。このオゾン
水濃度計１００は、検出部１１０と、温度コントロール
部１２０と、処理部１３０と、表示部１４０とからなっ
ている。検出部１１０は、紫外線ランプ１と、干渉フィ
ルタ２と、セル３と、ガラス棒４，５，７と、測定光検
出用フォトダイオード６と、基準光検出用フォトダイオ
ード８と、光遮蔽箱９に収容された暗電流検出用フォト
ダイオード１０とを具備している。温度コントロール部
１２０は、各フォトダイオード６，８，１０を取り付け
たアルミブロック１１と、ヒータとして機能するＦＥＴ
１２と、サーミスタ１３と、温度制御回路１４とを具備
している。処理部１３０は、フォトダイオード６，８，
１０のいずれか一つを選択するスイッチ回路１５と、そ
のスイッチ回路１５で選択されたフォトダイオードから
の信号を処理する処理回路１６と、ＣＰＵ１７と、スイ
ッチ切換ドライバ１８とを具備している。表示部１４０
は、表示器ドライバ１９と、表示器２０とを具備してい
る。
に詳細に説明する。なお、これによりこの発明が限定さ
れるものではない。図１は、この発明の一実施例である
オゾン水濃度計１００を示す構成図である。このオゾン
水濃度計１００は、検出部１１０と、温度コントロール
部１２０と、処理部１３０と、表示部１４０とからなっ
ている。検出部１１０は、紫外線ランプ１と、干渉フィ
ルタ２と、セル３と、ガラス棒４，５，７と、測定光検
出用フォトダイオード６と、基準光検出用フォトダイオ
ード８と、光遮蔽箱９に収容された暗電流検出用フォト
ダイオード１０とを具備している。温度コントロール部
１２０は、各フォトダイオード６，８，１０を取り付け
たアルミブロック１１と、ヒータとして機能するＦＥＴ
１２と、サーミスタ１３と、温度制御回路１４とを具備
している。処理部１３０は、フォトダイオード６，８，
１０のいずれか一つを選択するスイッチ回路１５と、そ
のスイッチ回路１５で選択されたフォトダイオードから
の信号を処理する処理回路１６と、ＣＰＵ１７と、スイ
ッチ切換ドライバ１８とを具備している。表示部１４０
は、表示器ドライバ１９と、表示器２０とを具備してい
る。
【００１２】図２は、検出部１１０の詳細構成図であ
る。この検出部１１０では、５℃程度のオゾン水Ｓを流
通させるセル３に、紫外線ランプ１側からガラス棒４を
挿入し、測定光検出用フォトダイオード６側からガラス
棒５を挿入し、両ガラス棒４，５の端面をセル３中で対
向させている。両者の距離が測定光路長Ｌとなる。オゾ
ン水Ｓが低濃度のときは測定光路長Ｌを大きくし、高濃
度のときは測定光路長Ｌを小さくするように、ガラス棒
４，５を動かせば、低濃度から高濃度までに容易に対応
することが出来る。また、ガラス棒４，５を十分長くす
れば、ガラス棒４，５の一端の温度がオゾン水Ｓの温度
まで冷却されても他端の温度はそれほど下がらないよう
になり、ガラス棒４，５の他端の端面に結露を生じるこ
とを防止できるようになる。ガラス棒４，５は、例えば
直径６ｍｍ，長さ５０ｍｍの合成石英製である。ガラス
棒７は、ガラス棒４，５と平行に置かれており、例えば
直径６ｍｍ，長さ１１０ｍｍの合成石英製である。ガラ
ス棒４，７と紫外線ランプ１の間には、干渉フィルタ２
が設置されている。また、ガラス棒５，７のフォトダイ
オード６，８側の端面は、測定光検出用フォトダイオー
ド６，基準光検出用フォトダイオード８に密接してい
る。なお、オゾン水Ｓの代りに他の液体試料または気体
試料を光計測するときは、紫外線ランプ１，干渉フィル
タ２，ガラス棒４，５，７に代えて、その試料に合せた
波長の光源，干渉フィルタ，光透過材を用いるのが好ま
しい。
る。この検出部１１０では、５℃程度のオゾン水Ｓを流
通させるセル３に、紫外線ランプ１側からガラス棒４を
挿入し、測定光検出用フォトダイオード６側からガラス
棒５を挿入し、両ガラス棒４，５の端面をセル３中で対
向させている。両者の距離が測定光路長Ｌとなる。オゾ
ン水Ｓが低濃度のときは測定光路長Ｌを大きくし、高濃
度のときは測定光路長Ｌを小さくするように、ガラス棒
４，５を動かせば、低濃度から高濃度までに容易に対応
することが出来る。また、ガラス棒４，５を十分長くす
れば、ガラス棒４，５の一端の温度がオゾン水Ｓの温度
まで冷却されても他端の温度はそれほど下がらないよう
になり、ガラス棒４，５の他端の端面に結露を生じるこ
とを防止できるようになる。ガラス棒４，５は、例えば
直径６ｍｍ，長さ５０ｍｍの合成石英製である。ガラス
棒７は、ガラス棒４，５と平行に置かれており、例えば
直径６ｍｍ，長さ１１０ｍｍの合成石英製である。ガラ
ス棒４，７と紫外線ランプ１の間には、干渉フィルタ２
が設置されている。また、ガラス棒５，７のフォトダイ
オード６，８側の端面は、測定光検出用フォトダイオー
ド６，基準光検出用フォトダイオード８に密接してい
る。なお、オゾン水Ｓの代りに他の液体試料または気体
試料を光計測するときは、紫外線ランプ１，干渉フィル
タ２，ガラス棒４，５，７に代えて、その試料に合せた
波長の光源，干渉フィルタ，光透過材を用いるのが好ま
しい。
【００１３】図３は、温度コントロール部１２０の一部
破断斜視図である。アルミブロック１１に、ガラス棒
５，７の端部と、フォトダイオード６，８，１０とを埋
設する。さらに、アルミブロック１１に、ＦＥＴ１２
と、サーミスタ１３を取り付ける。ＦＥＴ１２は、温度
制御回路１４から通電されて発熱し、アルミブロック１
１を加熱する。そのアルミブロック１１の温度は、サー
ミスタ１３で検知され、温度制御回路１４にフィードバ
ックされる。温度制御回路１４は、フィードバックされ
た検知温度と所与の目的温度（例えば５０℃）とを比較
し、検知温度が低ければゲート−ソース間電圧を変化さ
せてＦＥＴ１２での発熱量を増加させ、検知温度が高け
ればゲート−ソース間電圧を変化させてＦＥＴ１２での
発熱量を減少させ、アルミブロック１１の温度を目的温
度に維持する。この結果、フォトダイオード６，８，１
０は一定の温度に維持され、フォトダイオードの感度と
暗電流は周囲温度の影響を受けなくなる。従って、オゾ
ン水濃度計の安定性と精度が向上する。なお、ＦＥＴ１
２の代りに電子冷却板を用いて、アルミブロック１１を
冷却し、周囲温度より低温の目的温度（例えば５℃）に
維持するようにしてもよい。
破断斜視図である。アルミブロック１１に、ガラス棒
５，７の端部と、フォトダイオード６，８，１０とを埋
設する。さらに、アルミブロック１１に、ＦＥＴ１２
と、サーミスタ１３を取り付ける。ＦＥＴ１２は、温度
制御回路１４から通電されて発熱し、アルミブロック１
１を加熱する。そのアルミブロック１１の温度は、サー
ミスタ１３で検知され、温度制御回路１４にフィードバ
ックされる。温度制御回路１４は、フィードバックされ
た検知温度と所与の目的温度（例えば５０℃）とを比較
し、検知温度が低ければゲート−ソース間電圧を変化さ
せてＦＥＴ１２での発熱量を増加させ、検知温度が高け
ればゲート−ソース間電圧を変化させてＦＥＴ１２での
発熱量を減少させ、アルミブロック１１の温度を目的温
度に維持する。この結果、フォトダイオード６，８，１
０は一定の温度に維持され、フォトダイオードの感度と
暗電流は周囲温度の影響を受けなくなる。従って、オゾ
ン水濃度計の安定性と精度が向上する。なお、ＦＥＴ１
２の代りに電子冷却板を用いて、アルミブロック１１を
冷却し、周囲温度より低温の目的温度（例えば５℃）に
維持するようにしてもよい。
【００１４】図４は、処理部１３０の詳細回路図であ
る。この処理部１３０の処理回路１６は、電流電圧変換
回路１６１と，アンプ１６２と，Ａ／Ｄ変換器１６３と
を具備し、スイッチ回路１５で測定光検出用フォトダイ
オード６を選択したときは、測定光検出用フォトダイオ
ード６に流れる測定光電流Ｉｓを表わすデジタル値をＣ
ＰＵ１７へ出力する。また、スイッチ回路１５で基準光
検出用フォトダイオード８を選択したときは、基準光検
出用フォトダイオード８に流れる基準光電流Ｉｏを表わ
すデジタル値をＣＰＵ１７へ出力する。また、スイッチ
回路１５で暗電流検出用フォトダイオード１０を選択し
たときは、暗電流検出用フォトダイオード１０に流れる
暗電流Ｉｄを表わすデジタル値をＣＰＵ１７へ出力す
る。スイッチ回路１５は、例えばアナログスイッチであ
る。ＣＰＵ１７は、スイッチ切換ドライバ１８を介して
スイッチ回路１５を切り替えて、測定光電流Ｉｓ，基準
光電流Ｉｏ，暗電流Ｉｄを得ると、ランバート＝ベール
の法則より、 Ｃ＝−(１／α・Ｌ)・ln[｛(Ｉs−Ｉd)／(Ｉo−Ｉd)｝・Ｋ'] …(１’) ここで、 Ｌ：測定光路長 Ｋ'：(Ｉs'−Ｉd')／(Ｉo'−Ｉd'）であらかじめ測定し
ておく Ｉs'：基準水(０ppm)を流したときの基準光検出用フォ
トダイオードに流れる基準光電流 Ｉo'：基準水(０ppm)を流したときの測定光検出用フォ
トダイオードに流れる測定光電流 Ｉd'：基準水(０ppm)を流したときの暗電流検出用フォ
トダイオードに流れる暗電流 α：モル吸光係数 からオゾン水Ｓの濃度Ｃを算出し、表示部１４０へ出力
する。さて、処理回路１６の出力値Ｄは、 Ｄｓ＝Ｉｓ＊Ｇ(ｔ)＋Ｄf(ｔ) …(２’) Ｄｏ＝Ｉｏ＊Ｇ(ｔ)＋Ｄf(ｔ) …(３’) Ｄｄ＝Ｉｄ＊Ｇ(ｔ)＋Ｄf(ｔ) …(４’) Ｇ(ｔ) ：処理回路１６のゲイン（電流／電圧の変換も
含む） Ｄf(ｔ)：処理回路１６のオフセット値 (ｔ)は、処理回路１６の温度ｔにより変動することを表
わす。である。
る。この処理部１３０の処理回路１６は、電流電圧変換
回路１６１と，アンプ１６２と，Ａ／Ｄ変換器１６３と
を具備し、スイッチ回路１５で測定光検出用フォトダイ
オード６を選択したときは、測定光検出用フォトダイオ
ード６に流れる測定光電流Ｉｓを表わすデジタル値をＣ
ＰＵ１７へ出力する。また、スイッチ回路１５で基準光
検出用フォトダイオード８を選択したときは、基準光検
出用フォトダイオード８に流れる基準光電流Ｉｏを表わ
すデジタル値をＣＰＵ１７へ出力する。また、スイッチ
回路１５で暗電流検出用フォトダイオード１０を選択し
たときは、暗電流検出用フォトダイオード１０に流れる
暗電流Ｉｄを表わすデジタル値をＣＰＵ１７へ出力す
る。スイッチ回路１５は、例えばアナログスイッチであ
る。ＣＰＵ１７は、スイッチ切換ドライバ１８を介して
スイッチ回路１５を切り替えて、測定光電流Ｉｓ，基準
光電流Ｉｏ，暗電流Ｉｄを得ると、ランバート＝ベール
の法則より、 Ｃ＝−(１／α・Ｌ)・ln[｛(Ｉs−Ｉd)／(Ｉo−Ｉd)｝・Ｋ'] …(１’) ここで、 Ｌ：測定光路長 Ｋ'：(Ｉs'−Ｉd')／(Ｉo'−Ｉd'）であらかじめ測定し
ておく Ｉs'：基準水(０ppm)を流したときの基準光検出用フォ
トダイオードに流れる基準光電流 Ｉo'：基準水(０ppm)を流したときの測定光検出用フォ
トダイオードに流れる測定光電流 Ｉd'：基準水(０ppm)を流したときの暗電流検出用フォ
トダイオードに流れる暗電流 α：モル吸光係数 からオゾン水Ｓの濃度Ｃを算出し、表示部１４０へ出力
する。さて、処理回路１６の出力値Ｄは、 Ｄｓ＝Ｉｓ＊Ｇ(ｔ)＋Ｄf(ｔ) …(２’) Ｄｏ＝Ｉｏ＊Ｇ(ｔ)＋Ｄf(ｔ) …(３’) Ｄｄ＝Ｉｄ＊Ｇ(ｔ)＋Ｄf(ｔ) …(４’) Ｇ(ｔ) ：処理回路１６のゲイン（電流／電圧の変換も
含む） Ｄf(ｔ)：処理回路１６のオフセット値 (ｔ)は、処理回路１６の温度ｔにより変動することを表
わす。である。
【００１５】ＣＰＵ１７は、上記(１’)式の（Ｉs−Ｉ
d）／（Ｉo−Ｉd）の計算を、実際には、 （Ｄｓ−Ｄｄ）／（Ｄｏ−Ｄｄ） …(５’) で行っている。この(５’)式に、上記(２’)(３’)
(４’)式を代入すれば、 {Is*G(t)+Df(t)}-{Id*G(t)+Df(t)}／{Io*G(t)+Df(t)}-
{Id*G(t)+Df(t)}＝（Ｉs−Ｉd）／（Ｉo−Ｉd） となり、Ｇ(ｔ) ，Ｄf(ｔ)が完全に消える。これは、ゲ
インやオフセット値に温度ドリフトが生じても、その影
響を全く受けないことを意味している。このように、処
理部１３０は、同一の処理回路１６を用いて、測定光電
流Ｉｓ，基準光電流Ｉｏ，暗電流Ｉｄの処理を行ってい
るため、温度ドリフトの影響を全く受けず、従って、安
定性と精度が向上する。なお、部品点数を低減できる利
点もある。
d）／（Ｉo−Ｉd）の計算を、実際には、 （Ｄｓ−Ｄｄ）／（Ｄｏ−Ｄｄ） …(５’) で行っている。この(５’)式に、上記(２’)(３’)
(４’)式を代入すれば、 {Is*G(t)+Df(t)}-{Id*G(t)+Df(t)}／{Io*G(t)+Df(t)}-
{Id*G(t)+Df(t)}＝（Ｉs−Ｉd）／（Ｉo−Ｉd） となり、Ｇ(ｔ) ，Ｄf(ｔ)が完全に消える。これは、ゲ
インやオフセット値に温度ドリフトが生じても、その影
響を全く受けないことを意味している。このように、処
理部１３０は、同一の処理回路１６を用いて、測定光電
流Ｉｓ，基準光電流Ｉｏ，暗電流Ｉｄの処理を行ってい
るため、温度ドリフトの影響を全く受けず、従って、安
定性と精度が向上する。なお、部品点数を低減できる利
点もある。
【００１６】
【発明の効果】この発明の光計測装置およびオゾン水濃
度計によれば、１つの処理回路を複数の光検出器で共有
する構成としたので、処理回路の温度ドリフトの影響を
全く受けず、安定性と精度が向上する。なお、部品点数
を低減できる効果もある。
度計によれば、１つの処理回路を複数の光検出器で共有
する構成としたので、処理回路の温度ドリフトの影響を
全く受けず、安定性と精度が向上する。なお、部品点数
を低減できる効果もある。
【図１】この発明の一実施例であるオゾン水濃度計を示
す構成図である。
す構成図である。
【図２】図１のオゾン水濃度計にかかる検出部を示す詳
細構成図である。
細構成図である。
【図３】図１のオゾン水濃度計にかかる温度コントロー
ル部を示す一部破断斜視図である。
ル部を示す一部破断斜視図である。
【図４】図１のオゾン水濃度計にかかる処理部を示す回
路図である。
路図である。
【図５】従来のオゾン水濃度計の一例を示す構成図であ
る。
る。
【図６】図５のオゾン水濃度計にかかる検出部を示す詳
細構成図である。
細構成図である。
【図７】図５のオゾン水濃度計にかかる処理部を示す回
路図である。
路図である。
１００ オゾン水濃度計 １１０ 検出部 １２０ 温度コントロール部 １３０ 処理部 １４０ 表示部 １ 紫外線ランプ ２ 干渉フィルタ ４，５，７ ガラス棒 ６，８，１０ フォトダイオード １１ アルミブロック １２ ＦＥＴ １３ サーミスタ １４ 温度制御回路 １５ スイッチ回路 １６ 処理回路 １７ ＣＰＵ １８ スイッチ切換ドライバ １９ 表示器ドライバ ２０ 表示器
Claims (2)
- 【請求項１】 試料を透過した光を検出する光検出器を
含む複数の光検出器と、それら光検出器からの信号を処
理する処理手段とを具備してなる光計測装置において、 前記処理手段は、前記複数の光検出器のいずれか一つを
選択するスイッチ回路と、そのスイッチ回路で選択され
た光検出器からの信号を処理する処理回路とからなり、
１つの処理回路を複数の光検出器で共有することを特徴
とする光計測装置。 - 【請求項２】 オゾン水を透過した光を検出する第１光
検出器と、前記オゾン水を透過しない光を検出する第２
光検出器と、暗電流を検出する第３光検出器と、それら
検出器からの信号を処理する処理手段とを具備してなる
オゾン水濃度計において、 前記処理手段は、前記光検出器のいずれか一つを選択す
るスイッチ回路と、そのスイッチ回路で選択された光検
出器からの信号を処理する処理回路とからなり、１つの
処理回路を前記第１光検出器と第２光検出器と第３検出
器とで共有することを特徴とするオゾン水濃度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10145393A JPH06308028A (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | 光計測装置およびオゾン水濃度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10145393A JPH06308028A (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | 光計測装置およびオゾン水濃度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06308028A true JPH06308028A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14301121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10145393A Pending JPH06308028A (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | 光計測装置およびオゾン水濃度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06308028A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000171395A (ja) * | 1998-12-02 | 2000-06-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 水中溶存物質検出器及び水中溶存物質測定方法 |
| JP2006162385A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Nomura Micro Sci Co Ltd | オゾン水中のオゾン濃度の測定方法及び測定装置 |
| JP2013050335A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Yokogawa Electric Corp | 色・濁度計 |
-
1993
- 1993-04-27 JP JP10145393A patent/JPH06308028A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000171395A (ja) * | 1998-12-02 | 2000-06-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 水中溶存物質検出器及び水中溶存物質測定方法 |
| JP2006162385A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Nomura Micro Sci Co Ltd | オゾン水中のオゾン濃度の測定方法及び測定装置 |
| JP2013050335A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Yokogawa Electric Corp | 色・濁度計 |
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