JPH06308338A - 導波路型光部品 - Google Patents
導波路型光部品Info
- Publication number
- JPH06308338A JPH06308338A JP9752893A JP9752893A JPH06308338A JP H06308338 A JPH06308338 A JP H06308338A JP 9752893 A JP9752893 A JP 9752893A JP 9752893 A JP9752893 A JP 9752893A JP H06308338 A JPH06308338 A JP H06308338A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- waveguides
- lead
- optical component
- type optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 導波路の構成材料における微小な複屈折の影
響を消去して、結合効率の偏波変動と伝搬損失の偏波変
動とを同時に低減できる導波路型光部品を提供する。 【構成】 互いに近接して平行配置されている複数本の
導波路１，２から成る結合部Ｃと、前記導波路１，２の
それぞれに接続されるリード導波路３，３，４，４とを
有する方向性結合器において、前記結合部Ｃにおける導
波路１，２の路幅は互いに相違し、かつ前記リード導波
路３，３，４，４の路幅は全て同一であり、また、前記
結合部Ｃにおける導波路２と前記リード導波路４，４の
間には、路幅が連続的に変化するテーパ導波路５，５が
介装されている導波路型光部品。
響を消去して、結合効率の偏波変動と伝搬損失の偏波変
動とを同時に低減できる導波路型光部品を提供する。 【構成】 互いに近接して平行配置されている複数本の
導波路１，２から成る結合部Ｃと、前記導波路１，２の
それぞれに接続されるリード導波路３，３，４，４とを
有する方向性結合器において、前記結合部Ｃにおける導
波路１，２の路幅は互いに相違し、かつ前記リード導波
路３，３，４，４の路幅は全て同一であり、また、前記
結合部Ｃにおける導波路２と前記リード導波路４，４の
間には、路幅が連続的に変化するテーパ導波路５，５が
介装されている導波路型光部品。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は方向性結合器タイプの導
波路型光部品に関し、更に詳しくは、導波路を構成する
材料それ自体にわずかな自然複屈折があった場合であっ
ても、結合効率の偏波変動と伝搬損失の偏波変動が小さ
い導波路型光部品に関する。
波路型光部品に関し、更に詳しくは、導波路を構成する
材料それ自体にわずかな自然複屈折があった場合であっ
ても、結合効率の偏波変動と伝搬損失の偏波変動が小さ
い導波路型光部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】光通信の分野においては、導波路型の各
種光部品が大きな期待を集めているが、それらのうち、
方向性結合器は、スターカップラや光合分波器などの構
成部品として重要な位置を占めている。この方向性結合
器は、通常、図４に示したような平面パターンを有する
光回路である。すなわち、等幅な路幅を有する導波路
７，８が、そこを伝搬する光のエバネッセントフィール
ドが互いに影響しあう程度に近接して平行配置されるこ
とにより、伝搬光の結合を実現するための結合部Ｃが構
成されている。そして、導波路７の端部７ａ，７ｂおよ
び導波路８の端部８ａ，８ｂには、それぞれ、導波路
７，８と等幅な路幅を有し、曲がりパターンを形づくる
リード導波路９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄが接続されてい
る。
種光部品が大きな期待を集めているが、それらのうち、
方向性結合器は、スターカップラや光合分波器などの構
成部品として重要な位置を占めている。この方向性結合
器は、通常、図４に示したような平面パターンを有する
光回路である。すなわち、等幅な路幅を有する導波路
７，８が、そこを伝搬する光のエバネッセントフィール
ドが互いに影響しあう程度に近接して平行配置されるこ
とにより、伝搬光の結合を実現するための結合部Ｃが構
成されている。そして、導波路７の端部７ａ，７ｂおよ
び導波路８の端部８ａ，８ｂには、それぞれ、導波路
７，８と等幅な路幅を有し、曲がりパターンを形づくる
リード導波路９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄが接続されてい
る。
【０００３】なお、上記構造の方向性結合器では、結合
部Ｃにおける導波路の本数が３本以上である場合も伝搬
光の結合は発現するので、近接する導波路の本数は格別
限定されることはない。このような平面パターンを有す
る方向性結合器は、通常、次のようにして製造されてい
る。
部Ｃにおける導波路の本数が３本以上である場合も伝搬
光の結合は発現するので、近接する導波路の本数は格別
限定されることはない。このような平面パターンを有す
る方向性結合器は、通常、次のようにして製造されてい
る。
【０００４】まず、Ｓｉ単結晶や石英の基板の上に、火
炎堆積法，プラズマＣＶＤ法，真空蒸着法などの成膜方
法を適用して、例えば、ＳｉＯ2 から成る下部クラッド
層と、その上に、ＳｉＯ2 にＴｉＯ2 などをドープして
前記下部クラッド層よりも屈折率を大きくしたスラブコ
アを形成する。ついで、このスラブコアに、反応性イオ
ンエッチング法などを用いたホトリソグラフィー技術を
適用することにより、不要部分を除去して図４で示した
ような平面パターンの導波路コアを形成する。そして、
前記した下部クラッド層の形成と同じようにして、Ｓｉ
Ｏ2 から成る上部クラッド層を形成し、上記導波路コア
を埋設する。
炎堆積法，プラズマＣＶＤ法，真空蒸着法などの成膜方
法を適用して、例えば、ＳｉＯ2 から成る下部クラッド
層と、その上に、ＳｉＯ2 にＴｉＯ2 などをドープして
前記下部クラッド層よりも屈折率を大きくしたスラブコ
アを形成する。ついで、このスラブコアに、反応性イオ
ンエッチング法などを用いたホトリソグラフィー技術を
適用することにより、不要部分を除去して図４で示した
ような平面パターンの導波路コアを形成する。そして、
前記した下部クラッド層の形成と同じようにして、Ｓｉ
Ｏ2 から成る上部クラッド層を形成し、上記導波路コア
を埋設する。
【０００５】なお、構成材料は、上記したＳｉＯ2 に限
られるものではなく、例えば各種の化合物半導体や多成
分ガラスであってもよい。
られるものではなく、例えば各種の化合物半導体や多成
分ガラスであってもよい。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記したよ
うな方法で製造された導波路光部品においては、その導
波路の内部に、線膨張係数の違いなどに基づく内部応力
を有することがある。そのため、本来は、自然複屈折を
有していないはずの材料で導波路が形成されたにもかか
わらず、その導波路には、非常に多くの場合、微小の複
屈折が観察されるようになる。
うな方法で製造された導波路光部品においては、その導
波路の内部に、線膨張係数の違いなどに基づく内部応力
を有することがある。そのため、本来は、自然複屈折を
有していないはずの材料で導波路が形成されたにもかか
わらず、その導波路には、非常に多くの場合、微小の複
屈折が観察されるようになる。
【０００７】このような微小な複屈折が生じている導波
路で構成されている方向性結合器の場合、その結合効率
は、伝搬光の偏波状態によって変動するという問題が生
じて不都合である。この不都合を解消するためには、導
波路やクラッドの製造時における条件を、自然複屈折が
起こらないような条件に適正化すればよい。しかしなが
ら、導波路の製造プロセスは数多くのユニットプロセス
の集積であるため、個々のプロセスを適正化しても各プ
ロセス間の整合性が乱れるなどの問題が不可避に発生す
る。したがって、実際の製造プロセスにおいては、条件
の適性化を追求することによって自然複屈折を解消する
ことは非常に困難であり、かつ、現実的な対策とはいい
がたい。
路で構成されている方向性結合器の場合、その結合効率
は、伝搬光の偏波状態によって変動するという問題が生
じて不都合である。この不都合を解消するためには、導
波路やクラッドの製造時における条件を、自然複屈折が
起こらないような条件に適正化すればよい。しかしなが
ら、導波路の製造プロセスは数多くのユニットプロセス
の集積であるため、個々のプロセスを適正化しても各プ
ロセス間の整合性が乱れるなどの問題が不可避に発生す
る。したがって、実際の製造プロセスにおいては、条件
の適性化を追求することによって自然複屈折を解消する
ことは非常に困難であり、かつ、現実的な対策とはいい
がたい。
【０００８】本発明は上記した問題を解決し、製造され
た導波路に微小な複屈折が生じていたとしても、結合効
率の偏波変動を緩和することができる新規構造の導波路
光部品の提供を目的とする。
た導波路に微小な複屈折が生じていたとしても、結合効
率の偏波変動を緩和することができる新規構造の導波路
光部品の提供を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明者は上記目的を達
成すべく鋭意研究を重ねた結果、結合部における導波路
の路幅が異なっている非対象の方向性結合器は、路幅が
等しい導波路から成る結合部を有する方向性結合器の場
合に比べて、結合効率の偏波変動が緩和されるという事
実を見出した。
成すべく鋭意研究を重ねた結果、結合部における導波路
の路幅が異なっている非対象の方向性結合器は、路幅が
等しい導波路から成る結合部を有する方向性結合器の場
合に比べて、結合効率の偏波変動が緩和されるという事
実を見出した。
【００１０】同時に、一方の導波路の路幅を狭幅にする
と、結合部の導波路と接続しているリード導波路が図４
で示したような曲がり導波路９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄで
ある場合は、光の伝搬損失の偏波変動が大きくなるとい
う事実も見出した。したがって、結合部においても、リ
ード導波路においても、一方の導波路の路幅を狭幅にす
れば、結合効率の偏波変動を緩和することができる。し
かし、そのときには、リード導波路では伝搬損失の偏波
変動は大きくなるという問題が生じて、結合効率の偏波
変動に関する低減効果が事実上相殺されてしまう。
と、結合部の導波路と接続しているリード導波路が図４
で示したような曲がり導波路９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄで
ある場合は、光の伝搬損失の偏波変動が大きくなるとい
う事実も見出した。したがって、結合部においても、リ
ード導波路においても、一方の導波路の路幅を狭幅にす
れば、結合効率の偏波変動を緩和することができる。し
かし、そのときには、リード導波路では伝搬損失の偏波
変動は大きくなるという問題が生じて、結合効率の偏波
変動に関する低減効果が事実上相殺されてしまう。
【００１１】本発明者らは、上記した相反する効果を解
消するためには、結合部においてのみ導波路の路幅を相
違させ、リード導波路の路幅は全て等幅にし、かつ、結
合部における導波路の路幅はリード導波路との接続個所
で元の路幅に戻せば、結合効率の偏波変動，伝搬損失の
偏波変動のいずれをも低減させることができるとの着想
を抱き、本発明の導波路型光部品を開発するに至った。
消するためには、結合部においてのみ導波路の路幅を相
違させ、リード導波路の路幅は全て等幅にし、かつ、結
合部における導波路の路幅はリード導波路との接続個所
で元の路幅に戻せば、結合効率の偏波変動，伝搬損失の
偏波変動のいずれをも低減させることができるとの着想
を抱き、本発明の導波路型光部品を開発するに至った。
【００１２】すなわち、本発明の導波路光部品は、互い
に近接して平行配置されている複数本の導波路から成る
結合部と、前記導波路のそれぞれに接続されるリード導
波路とを有する方向性結合器において、前記結合部にお
ける導波路の路幅は互いに相違し、かつ前記リード導波
路の路幅は全て同一であり、また、前記結合部における
導波路と前記リード導波路の間には、路幅が連続的に変
化するテーパ導波路が介装されていることを特徴とする
導波路型光部品が提供される。
に近接して平行配置されている複数本の導波路から成る
結合部と、前記導波路のそれぞれに接続されるリード導
波路とを有する方向性結合器において、前記結合部にお
ける導波路の路幅は互いに相違し、かつ前記リード導波
路の路幅は全て同一であり、また、前記結合部における
導波路と前記リード導波路の間には、路幅が連続的に変
化するテーパ導波路が介装されていることを特徴とする
導波路型光部品が提供される。
【００１３】本発明の導波路光部品の基本構成を図１に
示す。図において、結合部Ｃでは、伝搬光のエバネッセ
ント結合が可能になるように、広幅の導波路１と狭幅の
導波路２が互いに近接して平行配置されている。広幅の
導波路１の両端部１ａ，１ｂには、この導波路１の路幅
と等幅の路幅を有する曲がり導波路３，３がリード導波
路として接続されている。狭幅の導波路２にも上記した
曲がり導波路３，３と等幅な路幅を有する曲がり導波路
４，４がテーパ導波路５，５を媒介にしてリード導波路
として接続されている。
示す。図において、結合部Ｃでは、伝搬光のエバネッセ
ント結合が可能になるように、広幅の導波路１と狭幅の
導波路２が互いに近接して平行配置されている。広幅の
導波路１の両端部１ａ，１ｂには、この導波路１の路幅
と等幅の路幅を有する曲がり導波路３，３がリード導波
路として接続されている。狭幅の導波路２にも上記した
曲がり導波路３，３と等幅な路幅を有する曲がり導波路
４，４がテーパ導波路５，５を媒介にしてリード導波路
として接続されている。
【００１４】ここで、テーパ導波路５，５の路幅は、狭
幅の導波路２の両端部２ａ，２ｂと接続している個所か
ら曲がり導波路４，４と接続している個所まで連続的に
拡幅している。なお、上記の光部品は、結合部における
一方の導波路の路幅を他方の導波路の路幅よりも狭幅に
したものであるが、導波路は単一モード動作するもので
あればどのような構成であっても許容されるので、本発
明の導波路型光部品においては、例えば導波路を太く変
化させたり、または双方の導波路の路幅を互いに変化さ
せて構成することもできる。
幅の導波路２の両端部２ａ，２ｂと接続している個所か
ら曲がり導波路４，４と接続している個所まで連続的に
拡幅している。なお、上記の光部品は、結合部における
一方の導波路の路幅を他方の導波路の路幅よりも狭幅に
したものであるが、導波路は単一モード動作するもので
あればどのような構成であっても許容されるので、本発
明の導波路型光部品においては、例えば導波路を太く変
化させたり、または双方の導波路の路幅を互いに変化さ
せて構成することもできる。
【００１５】また、３本以上の導波路を近接して平行配
置した方向性結合器においても、本発明の基本構成を適
用することができる。
置した方向性結合器においても、本発明の基本構成を適
用することができる。
【００１６】
【作用】図１に示した構成において、全体は非対称な方
向性結合器になっているので、その結合効率の偏波変動
は低減する。そして、結合部Ｃにおける一方の導波路２
を他方に比べて狭幅にしたことによって生起する曲がり
導波路４，４での伝搬損失の偏波変動の増大という現象
は、導波路２から導波路４，４の間に路幅が連続的に拡
幅しているテーパ導波路５，５を介装することによって
解消されている。
向性結合器になっているので、その結合効率の偏波変動
は低減する。そして、結合部Ｃにおける一方の導波路２
を他方に比べて狭幅にしたことによって生起する曲がり
導波路４，４での伝搬損失の偏波変動の増大という現象
は、導波路２から導波路４，４の間に路幅が連続的に拡
幅しているテーパ導波路５，５を介装することによって
解消されている。
【００１７】
実施例１ 図２は、図１で示した基本構成を組込んで成る非対称マ
ッハツェンダ干渉計型の波長平坦カップラを示す。この
カップラにおいては、広幅の導波路１と狭幅の導波路２
とから成る２個の結合部Ｃ1 ，Ｃ2 が形成され、結合部
Ｃ1 ，Ｃ2 の間に、広幅な曲がり導波路６を配置して移
相部Ｄが形成されている。そして、狭幅の導波路２と曲
がり導波路（リード導波路）３の間はテーパ導波路５ａ
を介して接続され、狭幅の導波路２と移相部Ｄにおける
曲がり導波路６の間もテーパ導波路５ｂによって接続さ
れている。
ッハツェンダ干渉計型の波長平坦カップラを示す。この
カップラにおいては、広幅の導波路１と狭幅の導波路２
とから成る２個の結合部Ｃ1 ，Ｃ2 が形成され、結合部
Ｃ1 ，Ｃ2 の間に、広幅な曲がり導波路６を配置して移
相部Ｄが形成されている。そして、狭幅の導波路２と曲
がり導波路（リード導波路）３の間はテーパ導波路５ａ
を介して接続され、狭幅の導波路２と移相部Ｄにおける
曲がり導波路６の間もテーパ導波路５ｂによって接続さ
れている。
【００１８】このカップラを火炎堆積法を適用して製造
した。このとき、広幅の導波路１の路高８μｍ，路幅８
μｍとし、狭幅の導波路２の路高８μｍ，路幅６μｍと
し、結合部Ｃ1 ，Ｃ2 の導波路間のピッチをいずれも１
３μｍとした。また、移相部Ｄにおける曲がり導波路６
を路高８μｍ，路幅８μｍとし、曲がり導波路３，４を
路高８μｍ，路幅８μｍ，曲率半径は５００００μｍと
した。
した。このとき、広幅の導波路１の路高８μｍ，路幅８
μｍとし、狭幅の導波路２の路高８μｍ，路幅６μｍと
し、結合部Ｃ1 ，Ｃ2 の導波路間のピッチをいずれも１
３μｍとした。また、移相部Ｄにおける曲がり導波路６
を路高８μｍ，路幅８μｍとし、曲がり導波路３，４を
路高８μｍ，路幅８μｍ，曲率半径は５００００μｍと
した。
【００１９】導波路の比屈折率差を約0.３％，移相部Ｄ
における導波路間の経路差を約0.６μｍに設定した。そ
して、テーパ導波路５ａ，５ｂの長さを約５００μｍに
設定した。このカップラは、波長1.２〜1.６５μｍの伝
搬光を用いたときの結合効率は２０±３％である。そし
て結合効率の偏波変動は約0.３ｄＢであり、従来構造の
ものが約１ｄＢであることに比べると、大幅に改善され
ていた。
における導波路間の経路差を約0.６μｍに設定した。そ
して、テーパ導波路５ａ，５ｂの長さを約５００μｍに
設定した。このカップラは、波長1.２〜1.６５μｍの伝
搬光を用いたときの結合効率は２０±３％である。そし
て結合効率の偏波変動は約0.３ｄＢであり、従来構造の
ものが約１ｄＢであることに比べると、大幅に改善され
ていた。
【００２０】また、伝搬損失の偏波変動は約0.１ｄＢ以
下と微小であり、従来構造のものと同一レベルであっ
た。 実施例２ 図３は別のカップラを示す。このカップラは、移相部Ｄ
における導波路が狭幅の導波路２と等幅な路幅を有する
直線導波路である。したがって、移相部Ｄにテーパ導波
路を含まない構造になっている。
下と微小であり、従来構造のものと同一レベルであっ
た。 実施例２ 図３は別のカップラを示す。このカップラは、移相部Ｄ
における導波路が狭幅の導波路２と等幅な路幅を有する
直線導波路である。したがって、移相部Ｄにテーパ導波
路を含まない構造になっている。
【００２１】このカップラの場合は、移相部Ｄにテーパ
導波路が含まれていないので全体の素子長を短縮するこ
とができる。図３のカップラを製造したところ、その移
相部Ｄにおける導波路間では伝搬定数差が生じるため、
経路差を小さくすることが可能であり、例えば、実施例
１と同様の特性のカップラの場合、素子長を実施例１に
比べて１〜５mm程度短縮することができた。
導波路が含まれていないので全体の素子長を短縮するこ
とができる。図３のカップラを製造したところ、その移
相部Ｄにおける導波路間では伝搬定数差が生じるため、
経路差を小さくすることが可能であり、例えば、実施例
１と同様の特性のカップラの場合、素子長を実施例１に
比べて１〜５mm程度短縮することができた。
【００２２】なお、結合効率の偏波変動，伝搬損失の偏
波変動は、いずれも実施例１のカップラと略同じであっ
た。
波変動は、いずれも実施例１のカップラと略同じであっ
た。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
導波路型光部品では、通常の方法で方向性結合器を製造
すると導波路における微小な複屈折が生じるために結合
効率の偏波変動が生じるという問題を解消し、導波路パ
ターンを変更するだけで方向性結合器の結合効率の偏波
変動と伝搬損失の偏波変動を低減させている。
導波路型光部品では、通常の方法で方向性結合器を製造
すると導波路における微小な複屈折が生じるために結合
効率の偏波変動が生じるという問題を解消し、導波路パ
ターンを変更するだけで方向性結合器の結合効率の偏波
変動と伝搬損失の偏波変動を低減させている。
【図１】本発明の光部品の基本構成を示す平面パターン
図である。
図である。
【図２】本発明の非対称マッハツェンダ干渉計型波長平
坦カップラを示す平面パターン図である。
坦カップラを示す平面パターン図である。
【図３】本発明の非対称マッハツェンダ干渉計型波長平
坦カップラの別の例を示す平面パターン図である。
坦カップラの別の例を示す平面パターン図である。
【図４】従来の方向性結合器を示す平面パターン図であ
る。
る。
１ 広幅の導波路 １ａ，１ｂ 広幅の導波路の端部 ２ 狭幅の導波路 ２ａ，２ｂ 狭幅の導波路の端部 ３，４ 曲がり導波路（リード導波路） ５，５ａ，５ｂ テーパ導波路 ６ 曲がり導波路 Ｃ，Ｃ1 ，Ｃ2 結合部 Ｄ 移相部
Claims (3)
- 【請求項１】 互いに近接して平行配置されている複数
本の導波路から成る結合部と、前記導波路のそれぞれに
接続されるリード導波路とを有する方向性結合器におい
て、前記結合部における導波路の路幅は互いに相違し、
かつ前記リード導波路の路幅は全て同一であり、また、
前記結合部における導波路と前記リード導波路の間に
は、路幅が連続的に変化するテーパ導波路が介装されて
いることを特徴とする導波路型光部品。 - 【請求項２】 ２つの結合部の間に移相部が配設されて
いるマッハツェンダ干渉計型の構造を有する導波路型光
部品において、前記結合部における導波路の路幅は互い
に相違し、かつ前記リード導波路の路幅は全て同一であ
り、また、前記結合部における導波路と前記リード導波
路の間には、路幅が連続的に変化するテーパ導波路が介
装されていることを特徴とする導波路型光部品。 - 【請求項３】 移相部の一方の導波路は、結合部の一方
の導波路と等幅の路幅を有する直線導波路であり、か
つ、移相部における他方の導波路の路幅は一定である請
求項２の導波路型光部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9752893A JPH06308338A (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | 導波路型光部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9752893A JPH06308338A (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | 導波路型光部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06308338A true JPH06308338A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14194757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9752893A Pending JPH06308338A (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | 導波路型光部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06308338A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004325474A (ja) * | 2003-04-21 | 2004-11-18 | Yokogawa Electric Corp | 高密度積層光集積回路素子 |
| US7546014B2 (en) | 2005-11-30 | 2009-06-09 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Optical directional coupler |
| JP2010134224A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光合分波素子 |
| JP2018022146A (ja) * | 2016-08-04 | 2018-02-08 | 三菱電機株式会社 | 光導波路干渉計 |
| JPWO2023100297A1 (ja) * | 2021-12-01 | 2023-06-08 |
-
1993
- 1993-04-23 JP JP9752893A patent/JPH06308338A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004325474A (ja) * | 2003-04-21 | 2004-11-18 | Yokogawa Electric Corp | 高密度積層光集積回路素子 |
| US7546014B2 (en) | 2005-11-30 | 2009-06-09 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Optical directional coupler |
| JP2010134224A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光合分波素子 |
| JP2018022146A (ja) * | 2016-08-04 | 2018-02-08 | 三菱電機株式会社 | 光導波路干渉計 |
| US10996400B2 (en) | 2016-08-04 | 2021-05-04 | Mitsubishi Electric Research Laboratories, Inc. | Optical waveguide interferometer |
| JPWO2023100297A1 (ja) * | 2021-12-01 | 2023-06-08 | ||
| WO2023100297A1 (ja) * | 2021-12-01 | 2023-06-08 | 日本電信電話株式会社 | 導波路型光カプラ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0304709B1 (en) | Waveguide type optical device | |
| US7343070B2 (en) | Optical splitter with tapered multimode interference waveguide | |
| US12541145B2 (en) | Photomask, optical-waveguide, optical circuit and method of manufacturing an optical-waveguide | |
| US8380023B2 (en) | Waveguide-type optical circuit | |
| JP3112193B2 (ja) | 光リング共振器 | |
| JPH0672964B2 (ja) | 導波形光干渉計 | |
| JP3023878B2 (ja) | 導波型光分岐素子 | |
| CN117434652A (zh) | 一种低串扰低温漂的粗波分复用器 | |
| JPH06308338A (ja) | 導波路型光部品 | |
| JP2961057B2 (ja) | 光分岐ディバイス | |
| JPH0660982B2 (ja) | 導波形マツハ・ツエンダ光干渉計 | |
| JPH08334639A (ja) | マッハツェンダ光回路 | |
| JP2804363B2 (ja) | 光方向性結合器 | |
| JP2625289B2 (ja) | 導波型光分岐素子 | |
| US7555180B2 (en) | Optical branching component with low polarisation sensitivity and increased process tolerance | |
| JP2000231026A (ja) | 光導波路型光分岐合波回路 | |
| JPH0561077A (ja) | 導波路型光スイツチ | |
| US5440656A (en) | Waveguide type optical component having optical coupling sections with different coupling efficiencies | |
| JP2000171652A (ja) | 光導波路型光分岐合波回路 | |
| JP5019649B2 (ja) | 導波路型光回路 | |
| JPH0660803B2 (ja) | マツハ・ツエンダ−形光干渉計 | |
| JP5053301B2 (ja) | 導波路型光回路 | |
| JPH05289121A (ja) | 導波型光分岐素子 | |
| JPH01231006A (ja) | 光合分波器 | |
| JP5333031B2 (ja) | 光分岐素子およびその製造方法 |