JPH0672964B2 - 導波形光干渉計 - Google Patents
導波形光干渉計Info
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- JPH0672964B2 JPH0672964B2 JP2527386A JP2527386A JPH0672964B2 JP H0672964 B2 JPH0672964 B2 JP H0672964B2 JP 2527386 A JP2527386 A JP 2527386A JP 2527386 A JP2527386 A JP 2527386A JP H0672964 B2 JPH0672964 B2 JP H0672964B2
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- Japan
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- optical
- waveguide
- waveguides
- substrate
- directional couplers
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- Optical Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、導波形光干渉計に関するものであり、更に詳
述するならば、低挿入損失で且つ結合率を正確に設定可
能な導波形光干渉計に関するものである。
述するならば、低挿入損失で且つ結合率を正確に設定可
能な導波形光干渉計に関するものである。
従来の技術 ２個の光結合器、例えば方向性結合器を２本の光導波路
で連結して構成される光干渉計は、マッハ・ツェンダー
形光干渉計とも呼ばれ、光スイッチ、光センサ及び最近
では周波数多重光通信用合分波器に使用されている。こ
の光干渉計は、その構成により、（１）バルク形、
（２）ファイバ形、（３）導波形の３種類に分類できる
が、信頼性、生産性、及びコンパクト性等の理由から、
平面基板上に構成する導波形が最有望視されている。
で連結して構成される光干渉計は、マッハ・ツェンダー
形光干渉計とも呼ばれ、光スイッチ、光センサ及び最近
では周波数多重光通信用合分波器に使用されている。こ
の光干渉計は、その構成により、（１）バルク形、
（２）ファイバ形、（３）導波形の３種類に分類できる
が、信頼性、生産性、及びコンパクト性等の理由から、
平面基板上に構成する導波形が最有望視されている。
第４図は、光スイッチへの応用を目的として構成された
従来の導波形光干渉計の構成説明図である。
従来の導波形光干渉計の構成説明図である。
基板１上に形成された方向性結合器２、３は、近接した
２本の光導波路からなり、その結合率はいずれも50％
（完全結合長の1/2）になるように設定されている。方
向性結合器２、３の間を連結する２本の光導波路４、５
の光路長は、該２本の光導波路途上に位置する位相シフ
タ4a、5aを動作させない状態で同一になるように設定さ
れている。
２本の光導波路からなり、その結合率はいずれも50％
（完全結合長の1/2）になるように設定されている。方
向性結合器２、３の間を連結する２本の光導波路４、５
の光路長は、該２本の光導波路途上に位置する位相シフ
タ4a、5aを動作させない状態で同一になるように設定さ
れている。
入力ポート1aから入射された信号光は、上記の状態では
出力ポート2bから出射されるが、光導波路４、５の間に
180゜光位相に相当する光路長差が生じるように位相シ
フタ4a、5aの少なくとも一方を作動させれば、信号光は
出力ポート1bから出射され光スイッチとして動作する。
ただし、光スイッチとしての消光比特性を高めるために
は、方向性結合器２、３の結合率を精度良く50％に設定
する必要がある。
出力ポート2bから出射されるが、光導波路４、５の間に
180゜光位相に相当する光路長差が生じるように位相シ
フタ4a、5aの少なくとも一方を作動させれば、信号光は
出力ポート1bから出射され光スイッチとして動作する。
ただし、光スイッチとしての消光比特性を高めるために
は、方向性結合器２、３の結合率を精度良く50％に設定
する必要がある。
方向性結合器や光導波路がLiNbO3結晶基板にTiイオンを
選択的に拡散させて形成される導波形光干渉計では、方
向性結合器近傍に電極を設けて、電気光学効果による屈
折率変化を利用して方向性結合器の結合率を50％にチュ
ーニングする手段を用いることができる。しかし、LiNb
O3系光導波路を用いた導波形光干渉計では、光ファイバ
接続損や導波路損が比較的大きく、結果として挿入損失
が３〜6dB程度と大きくなる欠点があった。
選択的に拡散させて形成される導波形光干渉計では、方
向性結合器近傍に電極を設けて、電気光学効果による屈
折率変化を利用して方向性結合器の結合率を50％にチュ
ーニングする手段を用いることができる。しかし、LiNb
O3系光導波路を用いた導波形光干渉計では、光ファイバ
接続損や導波路損が比較的大きく、結果として挿入損失
が３〜6dB程度と大きくなる欠点があった。
光ファイバと同質の材料からなる石英系ガラス光導波路
を用いて導波形光干渉計を構成すると、光ファイバ接続
損や導波路損は低下するが、石英系ガラスでは電気光学
効果が小さいので、初めから上記結合率が正確に50％に
なるように方向性結合器を石英ガラス基板あるいはシリ
コン基板上に精度良く形成する必要があった。
を用いて導波形光干渉計を構成すると、光ファイバ接続
損や導波路損は低下するが、石英系ガラスでは電気光学
効果が小さいので、初めから上記結合率が正確に50％に
なるように方向性結合器を石英ガラス基板あるいはシリ
コン基板上に精度良く形成する必要があった。
しかし、方向性結合器の結合率は結合器を構成する導波
路の寸法や間隔、屈折率差等にきわめて敏感であり、さ
らに製造条件のわずかな変化によっても結合率が大きく
変化するため、正確に50％の結合率を実現することは困
難であり、光干渉計としての製造歩留りがきわめて低い
という根本的な問題点があった。
路の寸法や間隔、屈折率差等にきわめて敏感であり、さ
らに製造条件のわずかな変化によっても結合率が大きく
変化するため、正確に50％の結合率を実現することは困
難であり、光干渉計としての製造歩留りがきわめて低い
という根本的な問題点があった。
発明が解決しようとする問題点 このように、従来のLiNbO3系光導波路のような電気光学
効果による屈折率変化を利用した導波形光干渉計では、
挿入損失が大きいという問題があった。
効果による屈折率変化を利用した導波形光干渉計では、
挿入損失が大きいという問題があった。
一方、石英系ガラス光導波路を用いた導波形光干渉計で
は、挿入損失は改善されるものの、上述のように、上記
結合率を正確に設定することは困難であった。
は、挿入損失は改善されるものの、上述のように、上記
結合率を正確に設定することは困難であった。
そこで、本発明は、低挿入損失で且つ上記結合率を正確
に設定可能な導波形光干渉計を提供せんとするものであ
る。
に設定可能な導波形光干渉計を提供せんとするものであ
る。
問題点を解決するための手段 すなわち、本発明によるならば、基板と、該基板に設け
られた２本の光導波路と、該２本の光導波路をそれぞれ
光導波路の異なる位置で結合する２つの光結合部と、該
２つの光結合部の間の前記光導波路に設けられ該光導波
路の光路長を微調する光位相シフタ部とを具備する導波
形光干渉計において、前記２つの光結合部の各々は、前
記２本の光導波路をそれぞれ光導波路の異なる位置で結
合するように前記基板に形成された２つの方向性結合器
と、該２つの方向性結合器の間を連結している光導波路
の少なくとも１方の光導波路に設けられて光路長を微調
するように前記基板に形成された光位相シフタとから構
成される。
られた２本の光導波路と、該２本の光導波路をそれぞれ
光導波路の異なる位置で結合する２つの光結合部と、該
２つの光結合部の間の前記光導波路に設けられ該光導波
路の光路長を微調する光位相シフタ部とを具備する導波
形光干渉計において、前記２つの光結合部の各々は、前
記２本の光導波路をそれぞれ光導波路の異なる位置で結
合するように前記基板に形成された２つの方向性結合器
と、該２つの方向性結合器の間を連結している光導波路
の少なくとも１方の光導波路に設けられて光路長を微調
するように前記基板に形成された光位相シフタとから構
成される。
作 用 以上のような本発明による導波形光干渉計においては、
２つの光結合部の各々は、２本の光導波路で連結された
２つの方向性結合器と、その２つの方向性結合器の間の
連結光導波路の光路長を微調整する光位相シフタとから
構成されている。
２つの光結合部の各々は、２本の光導波路で連結された
２つの方向性結合器と、その２つの方向性結合器の間の
連結光導波路の光路長を微調整する光位相シフタとから
構成されている。
従って、各光結合部がそれ自体１つの光干渉計を構成し
ているので、光干渉計としての原理により各光結合部の
結合率をそれぞれ正確に設定できる。それ故、従来の方
向性結合器では正確に50％の結合率を実現することが困
難であった石英系ガラス光導波路などのガラス光導波路
で、導波形光干渉計の光導波路を構成しても、結合部の
結合率を正確にチューニングすることができる。
ているので、光干渉計としての原理により各光結合部の
結合率をそれぞれ正確に設定できる。それ故、従来の方
向性結合器では正確に50％の結合率を実現することが困
難であった石英系ガラス光導波路などのガラス光導波路
で、導波形光干渉計の光導波路を構成しても、結合部の
結合率を正確にチューニングすることができる。
従って、石英系ガラス光導波路を用いて導波形光干渉計
を構成すれば、従来のLiNbO3系光導波路を用いたものに
比して、光ファイバ接続損及び導波路損が低下し、結果
として挿入損失の改善が実現できる。
を構成すれば、従来のLiNbO3系光導波路を用いたものに
比して、光ファイバ接続損及び導波路損が低下し、結果
として挿入損失の改善が実現できる。
それ故、上記した本発明による導波形光干渉計は、挿入
損失が低く、且つ光結合部の正確にチューニングされた
結合率により正確な光分岐、光合分波、光スイッチ動作
を実現することができる。
損失が低く、且つ光結合部の正確にチューニングされた
結合率により正確な光分岐、光合分波、光スイッチ動作
を実現することができる。
実施例 以下添付図面を参照して本発明による導波形光干渉計の
実施例を説明する。
実施例を説明する。
実施例１ 第１図は、本発明の第１の実施例の導波形光干渉計の構
成を示す概略図である。
成を示す概略図である。
第１図に示すように、図示の導波形光干渉計は、基板１
を有しており、その基板１の一方の端には光入力ポート
1a及び2aが形成され、それら光入力ポート1a及び2aから
２本の光導波路が互い離れてほぼ平行に延びている。そ
れら２本の光導波路が、エバネッセント結合するように
互いに近接して形成される分布結合導波路部分が第１の
方向性結合器21aを構成している。そして、その方向性
結合器21aからは再び２つの光導波路に別れ、それぞれ
光路長を微調する光位相シフタ21c及び21dが形成されて
いる。更に、２本の光導波路は、再びエバネッセント結
合するように互いに近接した分布結合導波路部分で第２
の方向性結合器21bを形成している。これら方向性結合
器21a及び21b並びに光位相シフタ21c及び21dが全体とし
て１つの光結合部21を形成する。
を有しており、その基板１の一方の端には光入力ポート
1a及び2aが形成され、それら光入力ポート1a及び2aから
２本の光導波路が互い離れてほぼ平行に延びている。そ
れら２本の光導波路が、エバネッセント結合するように
互いに近接して形成される分布結合導波路部分が第１の
方向性結合器21aを構成している。そして、その方向性
結合器21aからは再び２つの光導波路に別れ、それぞれ
光路長を微調する光位相シフタ21c及び21dが形成されて
いる。更に、２本の光導波路は、再びエバネッセント結
合するように互いに近接した分布結合導波路部分で第２
の方向性結合器21bを形成している。これら方向性結合
器21a及び21b並びに光位相シフタ21c及び21dが全体とし
て１つの光結合部21を形成する。
更に、第２の方向性結合器21bから分かれた２つの光導
波路４及び５には、それぞれ光位相シフタ4a及び5aが設
けられており、それら光位相シフタが設けられた部分に
続いて光導波路４及び４は、エバネッセント結合するよ
うに互いに近接して第３の方向性結合器22aを形成して
いる。そして、その方向性結合器22aに続き再び２つの
光導波路に別れ、それぞれ光位相シフタ22c及び22dが形
成されている。そして更に、２本の光導波路は再びエバ
ネッセント結合するように互いに近接して第２の方向性
結合器22bを形成している。その後、光導波路は再び分
かれて、光出力ポート1b及び2bまでそれぞれ延びてい
る。これら方向性結合器22a及び22b並びに光位相シフタ
22c及び22dは全体としてもう１つの光結合部22を形成す
る。
波路４及び５には、それぞれ光位相シフタ4a及び5aが設
けられており、それら光位相シフタが設けられた部分に
続いて光導波路４及び４は、エバネッセント結合するよ
うに互いに近接して第３の方向性結合器22aを形成して
いる。そして、その方向性結合器22aに続き再び２つの
光導波路に別れ、それぞれ光位相シフタ22c及び22dが形
成されている。そして更に、２本の光導波路は再びエバ
ネッセント結合するように互いに近接して第２の方向性
結合器22bを形成している。その後、光導波路は再び分
かれて、光出力ポート1b及び2bまでそれぞれ延びてい
る。これら方向性結合器22a及び22b並びに光位相シフタ
22c及び22dは全体としてもう１つの光結合部22を形成す
る。
以上の２つの光導波路は石英系ガラス光導波路で構成さ
れる。また、光結合部21、22は全く同じ構成をとってお
り、以上の説明から明らかなように、それぞれ２つの方
向性結合器を設けた一種の光干渉計を構成している。
れる。また、光結合部21、22は全く同じ構成をとってお
り、以上の説明から明らかなように、それぞれ２つの方
向性結合器を設けた一種の光干渉計を構成している。
従って、以上の構成の導波形光干渉計において、光結合
部21、22を構成する方向性結合器21a、21b、22a、22bは
必ずしも正確に50％の結合率に設定されている必要はな
い。位相シフタ21c、21dおよび22c、22dを駆使して連結
光路の光路長差を微調することにより、光結合部21、22
の全体としての結合率をそれぞれ50％にチューニングで
きるからである。このチューニングが可能であるために
は個々の方向性結合器21a、21b、22a、22bの結合長は完
全結合長の少なくとも1/4を越えていれば良く、製造上
の許容精度は大幅に緩和される。
部21、22を構成する方向性結合器21a、21b、22a、22bは
必ずしも正確に50％の結合率に設定されている必要はな
い。位相シフタ21c、21dおよび22c、22dを駆使して連結
光路の光路長差を微調することにより、光結合部21、22
の全体としての結合率をそれぞれ50％にチューニングで
きるからである。このチューニングが可能であるために
は個々の方向性結合器21a、21b、22a、22bの結合長は完
全結合長の少なくとも1/4を越えていれば良く、製造上
の許容精度は大幅に緩和される。
このように、光結合器部21、22の結合率が50％にチュー
ニングされた第１図の光干渉計は、消光比の優れた光ス
イッチとして動作する。
ニングされた第１図の光干渉計は、消光比の優れた光ス
イッチとして動作する。
第１図における位相シフタ4a、5a、21c、21d、22c及び2
2dにおいて、石英系ガラス等の材料で光導波路を形成し
ている場合には、結合率をチューニングするのに電気光
学効果原理を利用することはできない。しかしながら、
必要な位相シフト量は２π程度すなわち光路長変化とし
て１波長程度であるので、すべての材料に見られる熱光
学効果を利用することができる。石英系ガラスの熱光学
係数dn/dTは＋10-5/℃程度であるので、5mm長の石英系
ガラス光導波路の温度を20℃程度上昇させると１μｍ程
度の光路長変化を得ることができる。
2dにおいて、石英系ガラス等の材料で光導波路を形成し
ている場合には、結合率をチューニングするのに電気光
学効果原理を利用することはできない。しかしながら、
必要な位相シフト量は２π程度すなわち光路長変化とし
て１波長程度であるので、すべての材料に見られる熱光
学効果を利用することができる。石英系ガラスの熱光学
係数dn/dTは＋10-5/℃程度であるので、5mm長の石英系
ガラス光導波路の温度を20℃程度上昇させると１μｍ程
度の光路長変化を得ることができる。
第２図は、温度上昇のためのヒータを石英系ガラス光導
波路に装荷して位相シフタを構成した例であり、第２図
ａは平面図、第２図ｂは線分AA′における断面図を示
す。
波路に装荷して位相シフタを構成した例であり、第２図
ａは平面図、第２図ｂは線分AA′における断面図を示
す。
第２図に示すように、基板31上に石英系ガラスクラッド
層33cが形成されており、そのクラッド層33cの中に形成
された２本の石英系ガラスコア部が、２本の光導波路33
a、33bを構成している。第２図において、それら２本の
石英系ガラス光導波路33a、33bは、両端において、エバ
ネッセント結合するように近接して方向性結合器32a、3
2bを形成している。それら方向性結合器32a、32bの間を
連結している連結光導波路途上に装荷された位相シフタ
部は、光導波路33a、33bを加熱するために該光導波路上
のクラッド層33c上に設けられたヒータ34a、34bで構成
されている。ヒータ34a、34bにはリード35a、35bを通し
て電圧が印加される。
層33cが形成されており、そのクラッド層33cの中に形成
された２本の石英系ガラスコア部が、２本の光導波路33
a、33bを構成している。第２図において、それら２本の
石英系ガラス光導波路33a、33bは、両端において、エバ
ネッセント結合するように近接して方向性結合器32a、3
2bを形成している。それら方向性結合器32a、32bの間を
連結している連結光導波路途上に装荷された位相シフタ
部は、光導波路33a、33bを加熱するために該光導波路上
のクラッド層33c上に設けられたヒータ34a、34bで構成
されている。ヒータ34a、34bにはリード35a、35bを通し
て電圧が印加される。
光導波路33a、33bの断面寸法は光干渉計に接続すべき単
一モード光ファイバのコア径に合わせて約10μｍ程度に
設定されており、クラッド層33cの厚みは通常数10μｍ
である。このような石英系ガラス光導波路は、SiCl4、T
iCl4等の原料ガスの火炎加水分解反応によるガラス膜の
堆積技術と反応性イオンエッチング技術との組合せによ
る周知の方法で作製できる。
一モード光ファイバのコア径に合わせて約10μｍ程度に
設定されており、クラッド層33cの厚みは通常数10μｍ
である。このような石英系ガラス光導波路は、SiCl4、T
iCl4等の原料ガスの火炎加水分解反応によるガラス膜の
堆積技術と反応性イオンエッチング技術との組合せによ
る周知の方法で作製できる。
ヒータ34a、34bは例えば幅50μｍ、光導波路に沿った長
さ5mmとし、厚さ0.5mm程度にNiCr金属を蒸着することに
より形成することができる。
さ5mmとし、厚さ0.5mm程度にNiCr金属を蒸着することに
より形成することができる。
リード35aあるいは35bを通して、例えば数100mW程度の
電力を印加するとヒータ34a、34bの下部の光導波路の温
度が上昇し、２本の光導波路間で伝搬光に数π程度の位
相変化を与えることができる。すなわちリード35aある
いは35bの一方にのみ所要の電力を印加すれば２本の光
導波路間に伝搬光の１波長に相当する光路長変化が生じ
ることになる。
電力を印加するとヒータ34a、34bの下部の光導波路の温
度が上昇し、２本の光導波路間で伝搬光に数π程度の位
相変化を与えることができる。すなわちリード35aある
いは35bの一方にのみ所要の電力を印加すれば２本の光
導波路間に伝搬光の１波長に相当する光路長変化が生じ
ることになる。
このようにして構成した光干渉計の光スイッチとしての
挿入損失は、入出力ファイバ持続損を含めて１〜2dB程
度、消光比は25dB以上であった。
挿入損失は、入出力ファイバ持続損を含めて１〜2dB程
度、消光比は25dB以上であった。
なお、位相シフタとしては、上記の熱光学効果原理に基
づくものの他、光導波路に10μｍ程度のギャップを設け
液晶を封入して、適当な電極構成で液晶分子の配向を変
化させることによって生じる大きな屈折率変化を利用す
る方法を用いることも可能である。
づくものの他、光導波路に10μｍ程度のギャップを設け
液晶を封入して、適当な電極構成で液晶分子の配向を変
化させることによって生じる大きな屈折率変化を利用す
る方法を用いることも可能である。
なお、位相シフタは、２本の光導波路間にわずかな光路
長差を与えるものであるから、いずれか一方の光導波路
途上の位相シフタを省略することも可能である。
長差を与えるものであるから、いずれか一方の光導波路
途上の位相シフタを省略することも可能である。
実施例２ 第３図は、本発明による導波形光干渉計を周波数多重光
通信用合分波器に適用した実施例である。
通信用合分波器に適用した実施例である。
第１の実施例との相違点は光導波路４、５の間に光路長
差Δｌが設けられていることである。入力ポート1a、2a
から、それぞれ周波数f1、f2の光信号を入射させ、上記
光路長差Δｌを特定値に設定すれば、f1、f2の光信号は
すべて出力端子1bに合波される。例えば、 Δｆ＝|f1−f2|＝10GHz の場合には上記特定の光路長差Δｌは10mm程度である。
位相シフタ4aあるいは5aにより光路長差Δｌに数π程度
以下の変位を与え調節することにより、出力端を2bに切
換えることも可能である。第３図の構成で逆方向に使用
することにより分波器としての作用を持たせることもで
きる。
差Δｌが設けられていることである。入力ポート1a、2a
から、それぞれ周波数f1、f2の光信号を入射させ、上記
光路長差Δｌを特定値に設定すれば、f1、f2の光信号は
すべて出力端子1bに合波される。例えば、 Δｆ＝|f1−f2|＝10GHz の場合には上記特定の光路長差Δｌは10mm程度である。
位相シフタ4aあるいは5aにより光路長差Δｌに数π程度
以下の変位を与え調節することにより、出力端を2bに切
換えることも可能である。第３図の構成で逆方向に使用
することにより分波器としての作用を持たせることもで
きる。
上記の動作は、光結合部21、22の結合率が正確に50％に
チューニングされていることを前提とするが、これが確
実に達成できることは実施例１の場合と同様である。
チューニングされていることを前提とするが、これが確
実に達成できることは実施例１の場合と同様である。
このような分合波器においては、光路長差Δｌの異なる
ものを多段に接続して、さらに４波用、８波用等の合分
波器を構成することもできる。
ものを多段に接続して、さらに４波用、８波用等の合分
波器を構成することもできる。
なお、第３図において、光導波路伝搬損が無限小でない
ため光路長差Δｌに起因して光干渉計全体のバランスが
くずれることも想定されるが、このアンバランスは位相
シフタ21c、21d、22c、22dの調整により、光結合部21、
22の結合率を50％よりわずかにずらすことにより吸収す
ることができる。
ため光路長差Δｌに起因して光干渉計全体のバランスが
くずれることも想定されるが、このアンバランスは位相
シフタ21c、21d、22c、22dの調整により、光結合部21、
22の結合率を50％よりわずかにずらすことにより吸収す
ることができる。
以上２つの実施例において、本発明は、石英ガラス光導
波路より構成される光干渉計のみならず、多成分系ガラ
ス光導波路やプラスチック系光導波路等による導波形光
干渉計に適用することもできる。
波路より構成される光干渉計のみならず、多成分系ガラ
ス光導波路やプラスチック系光導波路等による導波形光
干渉計に適用することもできる。
発明の効果 以上の説明から明らかなように、本発明による導波形光
干渉計は、挿入損失が低く、且つ光結合部の結合率の正
確なチューニングが可能である。
干渉計は、挿入損失が低く、且つ光結合部の結合率の正
確なチューニングが可能である。
また、光干渉計製作時に必要とされる方向性結合器の結
合率設定精度が大幅に緩和されるので、製造歩留りが大
きく向上する。このことは、光スイッチマトリックスや
周波数多重光合分波器等のように光干渉計を単一基板上
に多数個集積して構成する場合に極めて有利である。
合率設定精度が大幅に緩和されるので、製造歩留りが大
きく向上する。このことは、光スイッチマトリックスや
周波数多重光合分波器等のように光干渉計を単一基板上
に多数個集積して構成する場合に極めて有利である。
従って、本発明による導波形光干渉計は、光スイッチ、
光センサ及び周波数多重光通信用合分波器等広い範囲に
わたって活用することができる。
光センサ及び周波数多重光通信用合分波器等広い範囲に
わたって活用することができる。
第１図は、本発明による導波形光干渉計の第１の実施例
の構成を示す概略図である。 第２図は、本発明による導波形光干渉計に装荷する位相
シフタの構造の１例を示す概略図であり、第２図ａは、
上記位相シフタの平面図を、第２図ｂは同じく断面図を
それぞれ示す。 第３図は、本発明による導波形光干渉計の第２の実施例
の概略図であり、周波数多重光合分波器の構成を示す。 第４図は、従来の導波形光干渉計の構成概略図である。 （主な参照番号） １……基板、２、３……方向性結合器、 ４、５……光導波路、1a、2a……入力ポート、 1b、2b……出力ポート、 4a、5a……位相シフタ、 21、22……光結合部、 21a、21b、22a、22b……方向性結合器、 21c、21d、22c、22d……位相シフタ、 31……基板、 32a、32b……方向性結合器、 33a、33b……光導波路、33cクラッド層、 34a,34b……ヒータ、 35a,35b……リード
の構成を示す概略図である。 第２図は、本発明による導波形光干渉計に装荷する位相
シフタの構造の１例を示す概略図であり、第２図ａは、
上記位相シフタの平面図を、第２図ｂは同じく断面図を
それぞれ示す。 第３図は、本発明による導波形光干渉計の第２の実施例
の概略図であり、周波数多重光合分波器の構成を示す。 第４図は、従来の導波形光干渉計の構成概略図である。 （主な参照番号） １……基板、２、３……方向性結合器、 ４、５……光導波路、1a、2a……入力ポート、 1b、2b……出力ポート、 4a、5a……位相シフタ、 21、22……光結合部、 21a、21b、22a、22b……方向性結合器、 21c、21d、22c、22d……位相シフタ、 31……基板、 32a、32b……方向性結合器、 33a、33b……光導波路、33cクラッド層、 34a,34b……ヒータ、 35a,35b……リード
Claims (6)
- 【請求項１】基板と、該基板に設けられた２本の光導波
路と、該２本の光導波路をそれぞれ光導波路の異なる位
置で結合する２つの光結合部と、該２つの光結合部の間
の前記光導波路に設けられ該光導波路の光路長を微調す
る光位相シフタ部とを具備する導波形光干渉計におい
て、前記２つの光結合部の各々は、前記２本の光導波路
をそれぞれ光導波路の異なる位置で結合するように前記
基板に形成された２つの方向性結合器と、該２つの方向
性結合器の間を連結している光導波路の少なくとも一方
の光導波路に設けられて光路長を微調するように前記基
板に形成された光位相シフタとを有することを特徴とす
る導波形光干渉計。 - 【請求項２】前記２つの方向性結合器の間を連結してい
る光導波路のそれぞれに付属して２つの光位相シフタが
前記基板に形成されていることを特徴とする特許請求の
範囲第（１）項記載の導波形光干渉計。 - 【請求項３】前記光導波路は、前記基板に形成されたガ
ラス光導波路またはプラスチック系光導波路であり、前
記方向性結合器の各々は、前記２つの光導波路がエバネ
ッセント結合するように近接された分布結合導波路部分
で構成されていることを特徴とする特許請求の範囲第
（１）項または第（２）項記載の導波形光干渉計。 - 【請求項４】前記光位相シフタは、前記２つの方向性結
合器の間を連結している前記光導波路の上に形成された
ヒータであることを特徴とする特許請求の範囲第（３）
項記載の導波形光干渉計。 - 【請求項５】前記ヒータは、前記２つの方向性結合器の
間を連結している前記光導波路を囲むクラッド層上に蒸
着された金属膜であることを特徴とする特許請求の範囲
第（４）項記載の導波形光干渉計。 - 【請求項６】前記光位相シフタは、前記２つの方向性結
合器の間を連結している前記光導波路の途中に設けられ
た液晶と、該液晶に電界を印加するための電極とから構
成されていることを特徴とする特許請求の範囲第（３）
項記載の導波形光干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2527386A JPH0672964B2 (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 | 導波形光干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2527386A JPH0672964B2 (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 | 導波形光干渉計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62183406A JPS62183406A (ja) | 1987-08-11 |
| JPH0672964B2 true JPH0672964B2 (ja) | 1994-09-14 |
Family
ID=12161422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2527386A Expired - Lifetime JPH0672964B2 (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 | 導波形光干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0672964B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8254732B2 (en) | 2009-03-11 | 2012-08-28 | Citizen Holdings Co., Ltd. | Phase modulator and optical modulation device |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6470703A (en) * | 1987-09-11 | 1989-03-16 | Hitachi Ltd | Waveguide type optical multiplexer and demultiplexer |
| JPS6476012A (en) * | 1987-09-18 | 1989-03-22 | Nippon Telegraph & Telephone | Periodic type optical filter |
| JPH01129237A (ja) * | 1987-11-16 | 1989-05-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光論理回路 |
| JP2823872B2 (ja) * | 1988-12-21 | 1998-11-11 | 富士通株式会社 | 光送信装置 |
| JP2894716B2 (ja) * | 1989-03-14 | 1999-05-24 | 富士通株式会社 | 光変調器 |
| KR100204026B1 (ko) * | 1995-11-15 | 1999-06-15 | 이계철 | 광신호 스위칭 소자 |
| DE69621567T2 (de) * | 1995-11-27 | 2002-10-31 | Murata Mfg. Co., Ltd. | Nichtreziprokes Schaltungselement |
| JPH09211501A (ja) * | 1996-01-31 | 1997-08-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 熱光学光スイッチ |
| JP2002169104A (ja) | 2000-12-01 | 2002-06-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光デバイス |
| JP2009063835A (ja) * | 2007-09-06 | 2009-03-26 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光素子集積モジュール及び変調方法 |
| JP2010276897A (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | ２入力２出力の光スイッチ |
| JP5428987B2 (ja) | 2010-03-24 | 2014-02-26 | 住友電気工業株式会社 | マッハツェンダー型光変調素子 |
| JP5515927B2 (ja) | 2010-03-24 | 2014-06-11 | 住友電気工業株式会社 | 半導体光素子 |
| JP5573309B2 (ja) | 2010-04-01 | 2014-08-20 | 住友電気工業株式会社 | マッハツェンダー型光変調素子 |
| JP2013068909A (ja) * | 2011-09-26 | 2013-04-18 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光素子 |
-
1986
- 1986-02-07 JP JP2527386A patent/JPH0672964B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8254732B2 (en) | 2009-03-11 | 2012-08-28 | Citizen Holdings Co., Ltd. | Phase modulator and optical modulation device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62183406A (ja) | 1987-08-11 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |