JPH06310585A - 半導体製造装置におけるウェーハ一括搬送用ロボットアームのフィンガ取付構造 - Google Patents
半導体製造装置におけるウェーハ一括搬送用ロボットアームのフィンガ取付構造Info
- Publication number
- JPH06310585A JPH06310585A JP11761293A JP11761293A JPH06310585A JP H06310585 A JPH06310585 A JP H06310585A JP 11761293 A JP11761293 A JP 11761293A JP 11761293 A JP11761293 A JP 11761293A JP H06310585 A JPH06310585 A JP H06310585A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体製造装置において、キャリヤステ−ジ
からボートへウェーハをロボットで自動的に移載・装填
する場合及び逆に戻す場合に、ウェーハを一括搬送する
ためにロボットアームに複数個のフィンガを取り付け、
フィンガの厚みの累積誤差などにより締付不良のフィン
ガのふらつきを生ずるのを防止する。 【構成】 上表面に設けられ、一方向が開いた四角形の
くぼみ３８の底部に複数個のフィンガ取付ねじ用の通し
穴４１及びねじ穴４０を配設した矩形状の第一のブラケ
ット３５と、前記通し穴がねじ穴に、前記ねじ穴が通し
穴に変えられ、その他は第一のブラケット３５と同一形
状の第二のブラケット３５Ａとを、フィンガを前記くぼ
み３８に挿入した後、前記通し穴に通した取付ねじを当
該フィンガの取付穴を介して直下のねじ穴にねじ込むこ
とにより前記フィンガを取付けつつ、交互に所定枚数を
重ねる構造とする。
からボートへウェーハをロボットで自動的に移載・装填
する場合及び逆に戻す場合に、ウェーハを一括搬送する
ためにロボットアームに複数個のフィンガを取り付け、
フィンガの厚みの累積誤差などにより締付不良のフィン
ガのふらつきを生ずるのを防止する。 【構成】 上表面に設けられ、一方向が開いた四角形の
くぼみ３８の底部に複数個のフィンガ取付ねじ用の通し
穴４１及びねじ穴４０を配設した矩形状の第一のブラケ
ット３５と、前記通し穴がねじ穴に、前記ねじ穴が通し
穴に変えられ、その他は第一のブラケット３５と同一形
状の第二のブラケット３５Ａとを、フィンガを前記くぼ
み３８に挿入した後、前記通し穴に通した取付ねじを当
該フィンガの取付穴を介して直下のねじ穴にねじ込むこ
とにより前記フィンガを取付けつつ、交互に所定枚数を
重ねる構造とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体の単結晶を材料で
あるウェーハ上に形成する半導体製造装置（以下ＣＶＤ
装置と略称する）に関し、更に詳しくはキャリヤステー
ジからボートへウェーハを一括して自動的に移載・装填
するロボットアームのフィンガ取付構造に関する。
あるウェーハ上に形成する半導体製造装置（以下ＣＶＤ
装置と略称する）に関し、更に詳しくはキャリヤステー
ジからボートへウェーハを一括して自動的に移載・装填
するロボットアームのフィンガ取付構造に関する。
【０００２】
【産業上の利用分野】従来、半導体の単結晶を材料ウェ
ーハの上に形成するＣＶＤ装置は内部概要を示す側面図
の図９のような構成になっている。１はＣＶＤ装置であ
って無塵室を形成しており、２は移載装置であるロボッ
トであって、このロボットのアーム２１の先端に設けた
フィンガ２３によって、材料であるウェーハ３をキャリ
ヤステージ４からボート５の内部の溝棚６に移載・装填
し、ウェーハ３の装填を完了したボート５は上昇して、
この材料ウェーハ３を所要の熱処理を行う反応装置７に
収納する。又、８はこのＣＶＤ装置の制御装置、９はそ
の操作盤で無塵室外に置かれる。
ーハの上に形成するＣＶＤ装置は内部概要を示す側面図
の図９のような構成になっている。１はＣＶＤ装置であ
って無塵室を形成しており、２は移載装置であるロボッ
トであって、このロボットのアーム２１の先端に設けた
フィンガ２３によって、材料であるウェーハ３をキャリ
ヤステージ４からボート５の内部の溝棚６に移載・装填
し、ウェーハ３の装填を完了したボート５は上昇して、
この材料ウェーハ３を所要の熱処理を行う反応装置７に
収納する。又、８はこのＣＶＤ装置の制御装置、９はそ
の操作盤で無塵室外に置かれる。
【０００３】図９に示すようにボート５の内部は複数個
（通常２５個）の溝棚６が設けられ、キャリヤステージ
４にあるカセット（図示せず）に通常５段に置かれたウ
ェーハ３をロボット２のアーム２１の先端に設けられた
フィンガ２３により複数個一括して（この例では５個、
図６参照）キャリヤステージ４からボート５へ移載・装
填を行い、反応装置７で処理が完了したウェーハは上記
と逆に例えば５個宛フィンガ２３でキャリヤステージ４
へ戻される。
（通常２５個）の溝棚６が設けられ、キャリヤステージ
４にあるカセット（図示せず）に通常５段に置かれたウ
ェーハ３をロボット２のアーム２１の先端に設けられた
フィンガ２３により複数個一括して（この例では５個、
図６参照）キャリヤステージ４からボート５へ移載・装
填を行い、反応装置７で処理が完了したウェーハは上記
と逆に例えば５個宛フィンガ２３でキャリヤステージ４
へ戻される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図６にフィンガ２３を
複数個（この例では５個）スペーサ２５を介してアーム
２１の先端部のフィンガ保持部２２に取り付けた状態を
示し、スペーサ２５の平面図、正面図をそれぞれ図７，
図８に示すが、矩形のスペーサ２５の四隅に通し穴２５
ａが明けられ、フィンガ２３の対応する位置にも通し穴
が設けられ、図６に示すように下から順にスペーサ２
５、フィンガ２３、スペーサ２５と重ねられ、最終にス
ペーサ２５と同形で厚さだけが薄いフィンガ抑え２４が
置かれて、四隅の通し穴に取付ボルトを通して全体を締
め付けているが、フィンガ２３はシリコン製なので、強
く締め付けると破損の恐れがあって、余り強く締められ
ない。その上に、各フィンガ取付端部の厚みの累積誤差
が加わって、例えば５個の中１個が締付不良でふらつき
を生ずることがある。この場合、そのフィンガにはウェ
ーハは移載されないが、ウェーハの履歴管理上そのまま
ボートへの移載・装填作業を続け、反応装置７の能率
上、ボート５の未装填の溝棚６は図６の右側に示す１個
の取付フィンガを使用して満杯にする。このような余分
の工数を掛けないで済むように、ふらつきフィンガがな
い複数個のウェーハの一括搬送用のロボットアームのフ
ィンガ取付構造を提供するのが本発明の目的である。
複数個（この例では５個）スペーサ２５を介してアーム
２１の先端部のフィンガ保持部２２に取り付けた状態を
示し、スペーサ２５の平面図、正面図をそれぞれ図７，
図８に示すが、矩形のスペーサ２５の四隅に通し穴２５
ａが明けられ、フィンガ２３の対応する位置にも通し穴
が設けられ、図６に示すように下から順にスペーサ２
５、フィンガ２３、スペーサ２５と重ねられ、最終にス
ペーサ２５と同形で厚さだけが薄いフィンガ抑え２４が
置かれて、四隅の通し穴に取付ボルトを通して全体を締
め付けているが、フィンガ２３はシリコン製なので、強
く締め付けると破損の恐れがあって、余り強く締められ
ない。その上に、各フィンガ取付端部の厚みの累積誤差
が加わって、例えば５個の中１個が締付不良でふらつき
を生ずることがある。この場合、そのフィンガにはウェ
ーハは移載されないが、ウェーハの履歴管理上そのまま
ボートへの移載・装填作業を続け、反応装置７の能率
上、ボート５の未装填の溝棚６は図６の右側に示す１個
の取付フィンガを使用して満杯にする。このような余分
の工数を掛けないで済むように、ふらつきフィンガがな
い複数個のウェーハの一括搬送用のロボットアームのフ
ィンガ取付構造を提供するのが本発明の目的である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明では、上表面に設
けられ、一方向が開いた四角形のくぼみの底部に複数個
のフィンガ取付ねじ用の通し穴及びねじ穴を配設した矩
形状の第一のブラケットと、前記通し穴がねじ穴に、前
記ねじ穴が通し穴に変えられ、その他は前記第一のブラ
ケットと同一形状の第二のブラケットとを、フィンガを
前記くぼみに挿入した後、前記通し穴に通した取付ねじ
を当該フィンガの取付穴を介して直下のねじ穴にねじ込
むことにより前記フィンガを取付けつつ、交互に所定枚
数を重ねる構造としたことによって課題を解決した。
けられ、一方向が開いた四角形のくぼみの底部に複数個
のフィンガ取付ねじ用の通し穴及びねじ穴を配設した矩
形状の第一のブラケットと、前記通し穴がねじ穴に、前
記ねじ穴が通し穴に変えられ、その他は前記第一のブラ
ケットと同一形状の第二のブラケットとを、フィンガを
前記くぼみに挿入した後、前記通し穴に通した取付ねじ
を当該フィンガの取付穴を介して直下のねじ穴にねじ込
むことにより前記フィンガを取付けつつ、交互に所定枚
数を重ねる構造としたことによって課題を解決した。
【０００６】
【作用】ブラケットのくぼみの深さはフィンガ取付端部
の厚さより少し大きいので、各フィンガは一枚毎にそれ
ぞれのブラケットのくぼみ内に確実に取付ねじで締め付
けられてフィンガの厚みの誤差が累積することがなく、
第一のブラケットに使用した取付ねじの頭部は上に取り
付けられる第二のブラケットの通し穴内に収容され（図
４参照）、以下同様にしてブラケットが重ねられ、四隅
の取付ボルトで複数個のブラケットをフィンガ保持部に
強く締め付けることができる。
の厚さより少し大きいので、各フィンガは一枚毎にそれ
ぞれのブラケットのくぼみ内に確実に取付ねじで締め付
けられてフィンガの厚みの誤差が累積することがなく、
第一のブラケットに使用した取付ねじの頭部は上に取り
付けられる第二のブラケットの通し穴内に収容され（図
４参照）、以下同様にしてブラケットが重ねられ、四隅
の取付ボルトで複数個のブラケットをフィンガ保持部に
強く締め付けることができる。
【０００７】
【実施例】本発明による第一，第二のブラケット３５，
３５Ａを使用してフィンガ２３をロボット２のアーム２
１の先端にあるフィンガ保持部２２に取り付けた一実施
例の正面図を図１に、第一のブラケット３５の平面図を
図２に、図２のＡーＡ断面正面図を図３に、フィンガ取
付ねじ付近の拡大断面図を図４に、又図１の部分展開図
を図５に示す。図２及び図３に示すように矩形状の第一
のブラケット３５の上表面３６にはフィンガ取付端部２
３Ａ（図１及び図５参照）が嵌まる一方向３７が開いた
四角なくぼみ３８が設けられ、その深さはフィンガ取付
端部２３Ａの厚さより少く大きく、底部３９には複数個
（この例ではそれぞれ３個）のねじ穴４０と通し穴４１
が交互に配設されて、フィンガ取付ねじ４２（図４、図
５参照）でフィンガ端部２３Ａが取り付けられるように
なっており、又ブラケット３５の四隅には取付ボルト４
３が貫通する通し穴４４が、更に通し穴４４の取り付け
られたフィンガの長手方向の中間には位置決め平行ピン
４５が通る通し穴４６が設けられている。第二のブラケ
ット３５Ａ（図５参照）は第一のブラケット３５のねじ
穴４０と通し穴４１とが入れ換えられた以外は全く同様
である。
３５Ａを使用してフィンガ２３をロボット２のアーム２
１の先端にあるフィンガ保持部２２に取り付けた一実施
例の正面図を図１に、第一のブラケット３５の平面図を
図２に、図２のＡーＡ断面正面図を図３に、フィンガ取
付ねじ付近の拡大断面図を図４に、又図１の部分展開図
を図５に示す。図２及び図３に示すように矩形状の第一
のブラケット３５の上表面３６にはフィンガ取付端部２
３Ａ（図１及び図５参照）が嵌まる一方向３７が開いた
四角なくぼみ３８が設けられ、その深さはフィンガ取付
端部２３Ａの厚さより少く大きく、底部３９には複数個
（この例ではそれぞれ３個）のねじ穴４０と通し穴４１
が交互に配設されて、フィンガ取付ねじ４２（図４、図
５参照）でフィンガ端部２３Ａが取り付けられるように
なっており、又ブラケット３５の四隅には取付ボルト４
３が貫通する通し穴４４が、更に通し穴４４の取り付け
られたフィンガの長手方向の中間には位置決め平行ピン
４５が通る通し穴４６が設けられている。第二のブラケ
ット３５Ａ（図５参照）は第一のブラケット３５のねじ
穴４０と通し穴４１とが入れ換えられた以外は全く同様
である。
【０００８】次にフィンガ２３の取り付け及び作用につ
いて説明する。図２乃至図５を参照して、第一及び第二
のブラケット３５，３５Ａを、フィンガの取付穴２３Ｂ
を開けたフィンガ２３の取付端部２３Ａをくぼみ３８に
挿入した後、通し穴４１に通した取付ねじ４２を当該フ
ィンガ２３の取付穴２３Ｂを介して直下のねじ穴４０に
ねじ込むことにより前記フィンガを取付けつつ、フィン
ガ保持部２２に打ち込んだ平行ピン４５に沿って交互に
所定枚数を重ね、最後に輪郭がブラケット３５，３５Ａ
と同じで厚さが薄く四隅に通し穴が明けられたフィンガ
抑え２４をのせ、フィンガ抑え２４、ブラケット３５，
３５Ａの四隅の通し穴に取付ボルト４３（図５参照）を
通して固く締め付ける。このようにすれば、各フィンガ
２３は過大な締付力を受けることなく、又平行ピン４５
により各ブラケット３５，３５Ａのねじ穴４０、通し穴
４１は垂直線上に合致して、フィンガ取付ねじ４２の頭
はそれぞれの上にあるブラケットの通し穴４１に収容さ
れて（図４参照）、取付ボルト４３の締め付けに支障を
来さないようになっている。
いて説明する。図２乃至図５を参照して、第一及び第二
のブラケット３５，３５Ａを、フィンガの取付穴２３Ｂ
を開けたフィンガ２３の取付端部２３Ａをくぼみ３８に
挿入した後、通し穴４１に通した取付ねじ４２を当該フ
ィンガ２３の取付穴２３Ｂを介して直下のねじ穴４０に
ねじ込むことにより前記フィンガを取付けつつ、フィン
ガ保持部２２に打ち込んだ平行ピン４５に沿って交互に
所定枚数を重ね、最後に輪郭がブラケット３５，３５Ａ
と同じで厚さが薄く四隅に通し穴が明けられたフィンガ
抑え２４をのせ、フィンガ抑え２４、ブラケット３５，
３５Ａの四隅の通し穴に取付ボルト４３（図５参照）を
通して固く締め付ける。このようにすれば、各フィンガ
２３は過大な締付力を受けることなく、又平行ピン４５
により各ブラケット３５，３５Ａのねじ穴４０、通し穴
４１は垂直線上に合致して、フィンガ取付ねじ４２の頭
はそれぞれの上にあるブラケットの通し穴４１に収容さ
れて（図４参照）、取付ボルト４３の締め付けに支障を
来さないようになっている。
【０００９】
【発明の効果】上記のようなフィンガ取付構造なので、
フィンガがふらつくことがなく、従ってボートにウェー
ハが移載・装填されない溝棚を生じないので作業能率が
格段に向上し、ウェーハの管理も容易に行われる。
フィンガがふらつくことがなく、従ってボートにウェー
ハが移載・装填されない溝棚を生じないので作業能率が
格段に向上し、ウェーハの管理も容易に行われる。
【図１】本発明による第一、第二のブラケットを使用し
てフィンガをロボットのアームの先端に取り付けた一実
施例の正面図である。
てフィンガをロボットのアームの先端に取り付けた一実
施例の正面図である。
【図２】図１に使用される第一のブラケットの平面図で
ある。
ある。
【図３】図２のＡーＡ断面正面図である。
【図４】フィンガ取付ねじ付近の拡大断面図である。
【図５】図１の部分展開図である。
【図６】従来のスペーサにより複数個のフィンガをロボ
ットのアームの先端に取り付けた状態を示す正面図であ
る。
ットのアームの先端に取り付けた状態を示す正面図であ
る。
【図７】図６に使用されるスペーサの平面図である。
【図８】図６のスペーサの正面図である。
【図９】半導体製造装置の内部概要を示す側面図であ
る。
る。
１ 半導体製造装置 ２ ロボット ３ ウェーハ ４ キャリヤステージ ５ ボート ６ 溝棚 ７ 反応装置 ８ 制御装置 ９ 操作盤 ２１ アーム ２３ フィンガ ３５ 第一のブラケット ３５Ａ 第二のブラケット ３８ くぼみ ３９ 底部 ４０ ねじ穴 ４１ 通し穴
Claims (1)
- 【請求項１】 上表面に設けられ、一方向が開いた四角
形のくぼみの底部に複数個のフィンガ取付ねじ用の通し
穴及びねじ穴を配設した矩形状の第一のブラケットと、
前記通し穴がねじ穴に、前記ねじ穴が通し穴に変えら
れ、その他は前記第一のブラケットと同一形状の第二の
ブラケットとを、フィンガを前記くぼみに挿入した後、
前記通し穴に通した取付ねじを当該フィンガの取付穴を
介して直下のねじ穴にねじ込むことにより前記フィンガ
を取付けつつ、交互に所定枚数を重ねる構造としたこと
を特徴とする半導体製造装置におけるウェーハ一括搬送
用ロボットアームのフィンガ取付構造。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11761293A JP2970308B2 (ja) | 1993-04-22 | 1993-04-22 | 半導体製造装置におけるウェーハ一括搬送用ロボットアームのフィンガ取付構造 |
| MYPI9400964 MY121923A (en) | 1993-04-22 | 1994-04-20 | Finger mounting structure for a robot arm adapted to collectively conveying wafers in a semiconductor manufacturing system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11761293A JP2970308B2 (ja) | 1993-04-22 | 1993-04-22 | 半導体製造装置におけるウェーハ一括搬送用ロボットアームのフィンガ取付構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06310585A true JPH06310585A (ja) | 1994-11-04 |
| JP2970308B2 JP2970308B2 (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=14716074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11761293A Expired - Fee Related JP2970308B2 (ja) | 1993-04-22 | 1993-04-22 | 半導体製造装置におけるウェーハ一括搬送用ロボットアームのフィンガ取付構造 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2970308B2 (ja) |
| MY (1) | MY121923A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000005761A1 (en) * | 1998-07-24 | 2000-02-03 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Wafer holding hand |
| JP2010251790A (ja) * | 1998-07-10 | 2010-11-04 | Brooks Automation Inc | バッチローダーを有する二本アーム・サブストレート取扱いロボット |
| JP2021197374A (ja) * | 2020-06-09 | 2021-12-27 | 川崎重工業株式会社 | 基板保持装置 |
| CN115763331A (zh) * | 2022-11-28 | 2023-03-07 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | 晶圆传输装置 |
| KR102876268B1 (ko) * | 2024-08-30 | 2025-10-28 | 주식회사 원익아이피에스 | 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
-
1993
- 1993-04-22 JP JP11761293A patent/JP2970308B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-04-20 MY MYPI9400964 patent/MY121923A/en unknown
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010251790A (ja) * | 1998-07-10 | 2010-11-04 | Brooks Automation Inc | バッチローダーを有する二本アーム・サブストレート取扱いロボット |
| WO2000005761A1 (en) * | 1998-07-24 | 2000-02-03 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Wafer holding hand |
| US6216883B1 (en) | 1998-07-24 | 2001-04-17 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Wafer holding hand |
| JP2021197374A (ja) * | 2020-06-09 | 2021-12-27 | 川崎重工業株式会社 | 基板保持装置 |
| CN115763331A (zh) * | 2022-11-28 | 2023-03-07 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | 晶圆传输装置 |
| KR102876268B1 (ko) * | 2024-08-30 | 2025-10-28 | 주식회사 원익아이피에스 | 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| MY121923A (en) | 2006-03-31 |
| JP2970308B2 (ja) | 1999-11-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |