JPH0631149U - ダイシング装置の切断刃 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ハブブレードの周縁の所定範囲に形成された
切断刃を確実にドレッシングできるダイシング装置の切
断刃を提供する。 【構成】 切断部１０を構成するブレード３４には、円
周に対して略１／３（θ＝１２０°）の周縁にダイヤモ
ンド砥粒から成る切断刃３８が形成される。また、前記
切断刃３８の形成位置を示すマーク（●）４０がハブ３
２側に形成されており、このマーク４０は切断刃３８の
形成位置の中心部に形成されている。切断部１０をフラ
ンジ２８に取り付けるには、ハブ３２に形成されたマー
ク４０をスピンドル２６に対して真下に位置するよう
に、切断部１０をフランジ２８の切断部取付部２８ｂに
嵌入してハブ固定用ナット３６で固定する。これによ
り、切断刃３８がハブ３２の下死点位置に位置するの
で、切断刃３８のドレッシング時に切断刃３８を確実に
ドレッシングできる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はダイシング装置の切断刃に係り、特に半導体ウエハを所定の通路に沿 ってダイス状に切断するダイシング装置の切断刃に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、この種のダイシング装置の切断刃は、その周縁の所定範囲にダイヤモン ド砥粒から成る切断刃が形成されたブレードを有するドーナツ状のハブが、スピ ンドルに嵌入して固定されている。この切断刃は、ウエハを切断する前工程でド レスボードで予めドレッシングされ、そして、ウエハ切断時には、ダイシング装 置のカッティングテーブルに吸着された半導体ウエハ（以下「ワーク」と称する ）を所定の通路に沿ってダイス状に切断する。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、従来のダイシング装置の切断刃は、ハブとスピンドルとのはめ あい公差によるがたで、ハブをスピンドルに嵌入した際にハブの自重でハブの中 心がスピンドルの中心軸に対して下がった位置に固定される。この下がった下死 点位置に、即ちスピンドルの下方に切断刃が位置している場合には、切断刃が確 実にドレッシングされるが、切断刃でない部分が位置した場合には、切断刃がド レッシングされない。ドレッシングが施されていない切断刃でワークを切断する と、ワークの切断面が蛇行してチッピングやワークにクラックが発生するという 欠点がある。

【０００４】 本考案はこのような事情に鑑みてなされたもので、ブレードの切断刃を確実に ドレッシングできるダイシング装置の切断歯を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決する為の手段】

本考案は、前記目的を達成する為に、その周縁の所定範囲にダイヤモンド砥粒 から成る切断刃が形成されたブレードを有するハブをスピンドルに固定し、この スピンドルで前記ハブを回転させることにより前記ブレードの切断刃でウエハを 所定の通路に沿って切断するダイシング装置の切断刃に於いて、前記ブレード、 若しくはハブに、前記切断刃の形成位置を示すマークが付されたことを特徴とし ている。

【０００６】

【作用】

本考案によれば、切断刃の形成位置を示すマークをブレード、若しくはハブに 付し、このマークに従って切断刃がスピンドルの下方に位置するようにハブをス ピンドルに固定する。これにより、ハブの下死点位置に切断刃を位置させること ができるので、切断刃を確実にドレッシングすることができる。

【０００７】

【実施例】

以下添付図面に従って本考案に係るダイシング装置の切断刃の好ましい実施例 について詳説する。 図１は、本考案に係るダイシング装置の切断刃が適用されたダイシング装置１ ０の斜視図である。ダイシング装置１０は、図２に示すカッティングテーブル１ ２にシート１４を介して吸着されたワーク１６をファインアライメントし、その 後時計回り方向に高速で回転する切断部１８でワーク１６を所定の通路に沿って ダイス状のチップに切断する。そして、切断時には、切削水噴射ノズル２０（図 １参照）、洗浄水噴射ノズル２２、２２から噴き出される切削水、洗浄水によっ て切断部１８の冷却、洗浄が行われる。

【０００８】 また、前記ダイシング装置１０は図２に示すように、駆動モータ２４にその表 面２６ａがテーパ状に形成されたスピンドル２６が連結され、このテーパ面２６ ａにフランジ２８の内周テーパ面２８ａが嵌入されてフランジ２８が取り付けら れる。また、前記フランジ２８は、スピンドル２６の先端部に螺合されたフラン ジ固定用ナット３０をねじ込むことによってスピンドル２６に位置決め固定され ている。

【０００９】 フランジ２８の切断部取付部２８ｂには、前記切断部１８が嵌入されて取り付 けられている。この切断部１８は、ドーナツ状に形成されたハブ３２の外周部に ブレード３４が固着されて構成される。前記ブレード３４は、フランジ２８の支 持面２８ｃに当接されており、また、ハブ３２はハブ固定用ナット３６をフラン ジ２８の雌ねじ２８ｄにねじ込むことによりフランジ２８に固定されている。

【００１０】 一方、前記ブレード３４は図３に示すように、円周に対して略１／３（θ＝１ ２０°）の周縁にダイヤモンド砥粒から成る切断刃３８が形成されている。また 、前記切断刃３８の形成位置を示すマーク（●）４０がハブ３２側に形成されて おり、このマーク４０は切断刃３８の形成位置の中心部に形成されている。尚、 Ｐ点はハブ３２の中心である。

【００１１】 次に、前記の如く構成されたダイシング装置１２の切断部１８をフランジ２８ に取り付けるには、ハブ３２に形成されたマーク４０をスピンドル２６に対して 真下に位置するように、切断部１８をフランジ２８の切断歯取付部２８ｂに嵌入 してハブ固定用ナット３６で固定する。 これにより、切断刃３８のダイヤモンド砥粒形成部分がハブ３２の下死点位置 に位置するので、切断刃３８のドレッシング時に切断刃３８が確実にドレッシン グされるようになる。

【００１２】 従って、本実施例では、切断部１８を前述したようにマーク４０に従って取り 付けることにより、切断刃３８のドレッシング不良で発生するワーク１８の蛇行 、チッピング、及びワーク１８のクラック発生を防止することができる。 尚、本実施例では、マーク４０をハブ３２に形成したが、ブレード３４に形成 しても良い。また、マーク４０は切断刃３８の形成位置を把握できる位置、例え ば、切断刃３８の反対側等に形成しても良い。

【００１３】

【考案の効果】 以上説明したように本考案に係るダイシング装置の切断刃によれば、切断刃の 形成位置を示すマークをブレード、若しくはハブに付し、このマークに従って切 断刃がスピンドルの下方に位置するようにハブをスピンドルに固定するようにし たので、切断刃を確実にドレッシングすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るダイシング装置の切断刃が適用さ
れたダイシング装置の斜視図

【図２】本考案に係るダイシング装置の切断刃が取り付
けられたダイシング装置の断面図

【図３】本考案に係るダイシング装置の切断刃の実施例
を示す正面図

【符号の説明】

１０…ダイシング装置 １６…ワーク １８…切断部 ２６…スピンドル ２８…フランジ ３２…ハブ ３４…ブレード ３８…切断刃 ４０…マーク

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 その周縁の所定範囲にダイヤモンド砥粒
   から成る切断刃が形成されたブレードを有するハブをス
   ピンドルに固定し、このスピンドルで前記ハブを回転さ
   せることにより前記ブレードの切断刃でウエハを所定の
   通路に沿って切断するダイシング装置の切断刃に於い
   て、 前記ブレード、若しくはハブに、前記切断刃の形成位置
   を示すマークが付されたことを特徴とするダイシング装
   置の切断刃。