JPH06312116A - 排気ガスの乾式除害装置 - Google Patents
排気ガスの乾式除害装置Info
- Publication number
- JPH06312116A JPH06312116A JP5102240A JP10224093A JPH06312116A JP H06312116 A JPH06312116 A JP H06312116A JP 5102240 A JP5102240 A JP 5102240A JP 10224093 A JP10224093 A JP 10224093A JP H06312116 A JPH06312116 A JP H06312116A
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- JP
- Japan
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- exhaust gas
- abatement
- tower
- dry
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 排気ガスの乾式除害装置を提供する。
【構成】 排気ガス１中に含まれる毒性ガスを除害する
除害剤５を充填した除害塔６の前段に粒径が20〜50mmの
多孔質粒子９を充填した充填塔８を配することにより、
除害塔６における反応生成物の詰まりを抑制し、除害剤
５の寿命を延ばすことを可能にする。
除害剤５を充填した除害塔６の前段に粒径が20〜50mmの
多孔質粒子９を充填した充填塔８を配することにより、
除害塔６における反応生成物の詰まりを抑制し、除害剤
５の寿命を延ばすことを可能にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、排気ガスの乾式除害装
置に係り、特に集積回路製造時に排気される排気ガスの
乾式除害装置に関する。
置に係り、特に集積回路製造時に排気される排気ガスの
乾式除害装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】集積回路製造時に排気される毒性ガス
は、一般に湿式または乾式除害装置で許容濃度以下に処
理されたのち大気中に排出される。ここで、乾式の場合
について説明すると、図３に示すように、製造装置から
排出された排気ガス１をたとえば８メッシュのフィルタ
２を装着した除塵塔３で除塵されたのち、この排気ガス
１を配管４を介して除害剤５としてたとえば活性炭など
が詰められた除害塔６内に導いて毒性成分を吸着させた
後、排気管７から放出する。なお、除害剤５に用いられ
る活性炭は、その吸着性を高めるために約３〜10mmと小
さい粒径とされ、しかも密度を高めて隙間を小さくして
いる。
は、一般に湿式または乾式除害装置で許容濃度以下に処
理されたのち大気中に排出される。ここで、乾式の場合
について説明すると、図３に示すように、製造装置から
排出された排気ガス１をたとえば８メッシュのフィルタ
２を装着した除塵塔３で除塵されたのち、この排気ガス
１を配管４を介して除害剤５としてたとえば活性炭など
が詰められた除害塔６内に導いて毒性成分を吸着させた
後、排気管７から放出する。なお、除害剤５に用いられ
る活性炭は、その吸着性を高めるために約３〜10mmと小
さい粒径とされ、しかも密度を高めて隙間を小さくして
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、製造装
置によってはその装置内で反応生成した粒子が排気ガス
１とともに除害塔６にまで到達して、除害剤５の粒子間
を埋めてしまい通気性を損なってその圧力を上昇させる
ことになる。通常、除害剤５は吸着能力が低下すると変
色するメカニズムになっているのが一般的であるが、こ
の詰まりが発生すると除害剤５の寿命を全うせずに短い
周期で交換しなければならず、手間やコストが嵩むとい
う欠点がある。
置によってはその装置内で反応生成した粒子が排気ガス
１とともに除害塔６にまで到達して、除害剤５の粒子間
を埋めてしまい通気性を損なってその圧力を上昇させる
ことになる。通常、除害剤５は吸着能力が低下すると変
色するメカニズムになっているのが一般的であるが、こ
の詰まりが発生すると除害剤５の寿命を全うせずに短い
周期で交換しなければならず、手間やコストが嵩むとい
う欠点がある。
【０００４】そこで、フィルタ２をたとえば数十メッシ
ュないし数百メッシュのものを用いるようにすれば、反
応生成物を除去することが容易に考えられるが、しか
し、フィルタ２が数日の間で目詰まりしてしまい、かえ
って実用的でないのである。本発明は、上記のような従
来技術の有する課題を解決した排気ガスの乾式除害装置
を提供することを目的とする。
ュないし数百メッシュのものを用いるようにすれば、反
応生成物を除去することが容易に考えられるが、しか
し、フィルタ２が数日の間で目詰まりしてしまい、かえ
って実用的でないのである。本発明は、上記のような従
来技術の有する課題を解決した排気ガスの乾式除害装置
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、排気ガス中に
含まれる毒性ガスを除害する乾式除害装置において、除
害剤を充填した除害塔の前段に粒径が20〜50mmの多孔質
粒子を充填する充填部を配することを特徴とする排気ガ
スの乾式除害装置である。なお、前記充填部は前記除害
塔の前段に配された充填塔でもよく、あるいは除害剤の
充填された前記除害塔内の上段部であってもよい。
含まれる毒性ガスを除害する乾式除害装置において、除
害剤を充填した除害塔の前段に粒径が20〜50mmの多孔質
粒子を充填する充填部を配することを特徴とする排気ガ
スの乾式除害装置である。なお、前記充填部は前記除害
塔の前段に配された充填塔でもよく、あるいは除害剤の
充填された前記除害塔内の上段部であってもよい。
【０００６】
【作 用】本発明によれば、除害剤の前段に粒径が20〜
50mmの多孔質粒子の充填部を配して、排気ガスを付着表
面積の大きい多孔質粒子と接触させて反応生成物を付着
させるようにしたので、反応生成物の除害剤への侵入を
抑制することができ、これによって長期間にわたって所
定の通気性を維持することが可能となる。
50mmの多孔質粒子の充填部を配して、排気ガスを付着表
面積の大きい多孔質粒子と接触させて反応生成物を付着
させるようにしたので、反応生成物の除害剤への侵入を
抑制することができ、これによって長期間にわたって所
定の通気性を維持することが可能となる。
【０００７】なお、この多孔質粒子としてはたとえば軽
石などのように貫通孔を有するものが好ましいが、その
ほかにはたとえば溶鋼スラグを粉砕したものなどを用い
るようにしてもよい。ここで、多孔質粒子の粒径を20〜
50mmにした理由について説明すると、粒径が20mm未満で
は多孔質粒子での詰まりが発生することになり、また50
mmを越えると粒子間隙間が大きくなって反応生成物を除
去する効果が減少するから、20〜50mmの範囲に限る必要
がある。
石などのように貫通孔を有するものが好ましいが、その
ほかにはたとえば溶鋼スラグを粉砕したものなどを用い
るようにしてもよい。ここで、多孔質粒子の粒径を20〜
50mmにした理由について説明すると、粒径が20mm未満で
は多孔質粒子での詰まりが発生することになり、また50
mmを越えると粒子間隙間が大きくなって反応生成物を除
去する効果が減少するから、20〜50mmの範囲に限る必要
がある。
【０００８】
【実施例】以下に、本発明の実施例について図面を参照
して説明する。図１は本発明の一実施例の構成を示す概
要図である。なお、この図中において、従来例と同一部
材は同一符号を付して説明を省略する。図１において、
８は除害塔６の前段に設けられた充填塔であり、９は粒
径が20〜50mmの多孔質粒子で、充填塔８の下部に張られ
た金網10の上に所定の深さｈで充填される。
して説明する。図１は本発明の一実施例の構成を示す概
要図である。なお、この図中において、従来例と同一部
材は同一符号を付して説明を省略する。図１において、
８は除害塔６の前段に設けられた充填塔であり、９は粒
径が20〜50mmの多孔質粒子で、充填塔８の下部に張られ
た金網10の上に所定の深さｈで充填される。
【０００９】そこで、多孔質粒子９として粒径が20〜50
mmの軽石を用いて、充填深さｈをそれぞれ100 mm, 200
mm, 400 mmの３通りに敷き詰めて、集積回路製造時に排
気される排気ガスの除害テストを行った。このとき用い
た除害塔６および充填塔８の内径はいずれも600 mmφで
あり、除害剤５として活性炭を用いた。その結果、軽石
の充填深さが100 mmの場合は４週間で圧力が上昇したの
で、分解したところ除害剤５の表面に反応生成物が溜ま
っていることが判明した。また充填深さが200 mmの場合
は圧力が上昇するまでに３ヶ月かかり、400 mmの充填深
さの場合も200 mmの場合と同様であった。
mmの軽石を用いて、充填深さｈをそれぞれ100 mm, 200
mm, 400 mmの３通りに敷き詰めて、集積回路製造時に排
気される排気ガスの除害テストを行った。このとき用い
た除害塔６および充填塔８の内径はいずれも600 mmφで
あり、除害剤５として活性炭を用いた。その結果、軽石
の充填深さが100 mmの場合は４週間で圧力が上昇したの
で、分解したところ除害剤５の表面に反応生成物が溜ま
っていることが判明した。また充填深さが200 mmの場合
は圧力が上昇するまでに３ヶ月かかり、400 mmの充填深
さの場合も200 mmの場合と同様であった。
【００１０】上記の本発明例の圧力上昇期間はいずれ
も、軽石の充填深さに若干の違いはあるものの、前出の
図３に示した８メッシュのフィルタを用いた従来例の２
週間に比して長寿命であった。なお、上記実施例におい
て、除害塔６の前段に充填塔８を設けるとして説明した
が、本発明はこれに限定されるものではなく、たとえば
図２に示すように、除害塔６に充填された除害剤５の上
段に金網10を介して粒径が20〜50mmの多孔質粒子９を所
定の深さｈで充填するようにしても、同等の作用効果を
得ることができる。
も、軽石の充填深さに若干の違いはあるものの、前出の
図３に示した８メッシュのフィルタを用いた従来例の２
週間に比して長寿命であった。なお、上記実施例におい
て、除害塔６の前段に充填塔８を設けるとして説明した
が、本発明はこれに限定されるものではなく、たとえば
図２に示すように、除害塔６に充填された除害剤５の上
段に金網10を介して粒径が20〜50mmの多孔質粒子９を所
定の深さｈで充填するようにしても、同等の作用効果を
得ることができる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
除害剤の前段に粒径が20〜50mmの多孔質粒子の充填部を
配して排気ガスが除害剤に接触する前に多孔質粒子と接
触させるようにしたので、除害塔における詰まりを抑制
することが可能となり、これによって除害剤の寿命を延
ばすことができるから、コストの低減や省力化に寄与す
る。
除害剤の前段に粒径が20〜50mmの多孔質粒子の充填部を
配して排気ガスが除害剤に接触する前に多孔質粒子と接
触させるようにしたので、除害塔における詰まりを抑制
することが可能となり、これによって除害剤の寿命を延
ばすことができるから、コストの低減や省力化に寄与す
る。
【図１】本発明の一実施例の構成を示す概要図である。
【図２】本発明の他の実施例の構成を示す概要図であ
る。
る。
【図３】除害装置の従来例を示す概要図である。
１ 排気ガス ５ 除害剤 ６ 除害塔 ８ 充填塔 ９ 多孔質粒子
Claims (3)
- 【請求項１】 排気ガス中に含まれる毒性ガスを除害
する乾式除害装置において、除害剤を充填した除害塔の
前段に粒径が20〜50mmの多孔質粒子を充填した充填部を
配することを特徴とする排気ガスの乾式除害装置。 - 【請求項２】 前記充填部は前記除害塔の前段に配さ
れる充填塔とされることを特徴とする請求項１記載の排
気ガスの乾式除害装置。 - 【請求項３】 前記充填部は除害剤の充填された前記
除害塔内の上段部とされることを特徴とする請求項１記
載の排気ガスの乾式除害装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5102240A JPH06312116A (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | 排気ガスの乾式除害装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5102240A JPH06312116A (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | 排気ガスの乾式除害装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06312116A true JPH06312116A (ja) | 1994-11-08 |
Family
ID=14322113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5102240A Pending JPH06312116A (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | 排気ガスの乾式除害装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06312116A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014082460A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-05-08 | Ube Ind Ltd | ガスの処理装置、ガスの処理カートリッジ及びガスの処理方法 |
-
1993
- 1993-04-28 JP JP5102240A patent/JPH06312116A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014082460A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-05-08 | Ube Ind Ltd | ガスの処理装置、ガスの処理カートリッジ及びガスの処理方法 |
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