JPH0631271A - 膜処理装置 - Google Patents
膜処理装置Info
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- JPH0631271A JPH0631271A JP4189429A JP18942992A JPH0631271A JP H0631271 A JPH0631271 A JP H0631271A JP 4189429 A JP4189429 A JP 4189429A JP 18942992 A JP18942992 A JP 18942992A JP H0631271 A JPH0631271 A JP H0631271A
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Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＲＯ装置を利用して高純度水を製造する膜処
理装置において、シリカ等の膜汚染物質を、ＲＯ装置の
機能を阻害することなく濃縮して系外に排出し、ＲＯ装
置からの処理水の回収率を向上すること。 【構成】 ＲＯ装置（６）を有する膜処理装置におい
て、ＲＯ装置（６）の濃縮水中の膜汚染物質を、固液分
離装置（８）又は前処理装置（３）により濃縮して系外
に排出し、各装置（３）、（８）の処理水をＲＯ装置に
再供給して、処理水の回収率を向上する。
理装置において、シリカ等の膜汚染物質を、ＲＯ装置の
機能を阻害することなく濃縮して系外に排出し、ＲＯ装
置からの処理水の回収率を向上すること。 【構成】 ＲＯ装置（６）を有する膜処理装置におい
て、ＲＯ装置（６）の濃縮水中の膜汚染物質を、固液分
離装置（８）又は前処理装置（３）により濃縮して系外
に排出し、各装置（３）、（８）の処理水をＲＯ装置に
再供給して、処理水の回収率を向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、給水中の不純物を効率
的かつ経済的に除去し、半導体製造等の使用に供し得る
高純度水を製造する膜処理装置に関する。
的かつ経済的に除去し、半導体製造等の使用に供し得る
高純度水を製造する膜処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、原水を前処理装置により前処理
し、次いで逆浸透膜装置（以下「ＲＯ装置」という）に
より処理して高純度水を製造する膜処理装置は公知であ
る。その一例を図５に示す。図５において、原水１は、
凝集剤２を必要量添加され、前処理装置３により前処理
される。前処理装置３は、凝集沈殿・濾過装置、凝集濾
過装置、砂濾過装置、活性炭濾過装置等の公知手段１つ
又はそれ以上の組合せからなる。前処理装置３において
は必要に応じてｐＨや温度のコントロールを行う。前処
理装置３において濁質を除去された処理水３．１は次い
で濾過水タンク（図示せず）に貯溜される。一方前処理
装置３は、必要に応じ逆洗され、系内に蓄積した濁質
３．２をブローする。
し、次いで逆浸透膜装置（以下「ＲＯ装置」という）に
より処理して高純度水を製造する膜処理装置は公知であ
る。その一例を図５に示す。図５において、原水１は、
凝集剤２を必要量添加され、前処理装置３により前処理
される。前処理装置３は、凝集沈殿・濾過装置、凝集濾
過装置、砂濾過装置、活性炭濾過装置等の公知手段１つ
又はそれ以上の組合せからなる。前処理装置３において
は必要に応じてｐＨや温度のコントロールを行う。前処
理装置３において濁質を除去された処理水３．１は次い
で濾過水タンク（図示せず）に貯溜される。一方前処理
装置３は、必要に応じ逆洗され、系内に蓄積した濁質
３．２をブローする。
【０００３】前処理装置３により処理された前記処理水
３．１は、安全フィルター４を経て、高圧ポンプ５によ
り加圧され、ＲＯ装置６に供給される。ＲＯ装置６にお
いては、前処理装置３により除去できなかった残余の不
純物を除去し、高純度の透過水６．１が得られる。ＲＯ
装置６において除去される不純物は、濃縮水６．２とし
て系外に排出される。
３．１は、安全フィルター４を経て、高圧ポンプ５によ
り加圧され、ＲＯ装置６に供給される。ＲＯ装置６にお
いては、前処理装置３により除去できなかった残余の不
純物を除去し、高純度の透過水６．１が得られる。ＲＯ
装置６において除去される不純物は、濃縮水６．２とし
て系外に排出される。
【０００４】ところで、上記のような従来の膜処理装置
において、その運転上、ＲＯ装置からの透過水の回収率
を高めて、その運転効率を高めると共に、経済性を高め
ることが望まれており、そのためには、ＲＯ装置の濃縮
側水の濃度を可及的に高くして、透過水を増加するよう
にすればよい。この回収率を向上させるために、従来技
術として、ＲＯ給水に分散剤を添加し、例えばシリカの
膜装置内での析出を防止する方法、ＲＯ給水を膜処理す
ることにより微粒子を除去しシリカの析出を防止する方
法などが提案されている。
において、その運転上、ＲＯ装置からの透過水の回収率
を高めて、その運転効率を高めると共に、経済性を高め
ることが望まれており、そのためには、ＲＯ装置の濃縮
側水の濃度を可及的に高くして、透過水を増加するよう
にすればよい。この回収率を向上させるために、従来技
術として、ＲＯ給水に分散剤を添加し、例えばシリカの
膜装置内での析出を防止する方法、ＲＯ給水を膜処理す
ることにより微粒子を除去しシリカの析出を防止する方
法などが提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来技術には、次のような問題点があった。即
ち、ＲＯ給水に分散剤を添加したり、或いは微粒子の除
去を行ったとしても、回収率を向上させるには、膜装置
内で回収率を制限する物質を適切に処理する必要があっ
た。前記物質は、例えばシリカ、濁度等であるが、これ
ら物質はＲＯ膜を汚染する膜汚染物質であり、回収率を
向上するためには、膜汚染物質、例えばシリカの濃度を
析出限界以上に濃縮する必要があった。しかし析出限界
以上に濃縮された物質は、分散剤等が添加されていて
も、不安定な状態に変わりはなく、例えば給水温度の変
化、運転停止等の運転状態の変化により、膜装置内で析
出し、膜処理装置の運転に支障を来たすことがあり、実
質的に採用することはできなかった。
ような従来技術には、次のような問題点があった。即
ち、ＲＯ給水に分散剤を添加したり、或いは微粒子の除
去を行ったとしても、回収率を向上させるには、膜装置
内で回収率を制限する物質を適切に処理する必要があっ
た。前記物質は、例えばシリカ、濁度等であるが、これ
ら物質はＲＯ膜を汚染する膜汚染物質であり、回収率を
向上するためには、膜汚染物質、例えばシリカの濃度を
析出限界以上に濃縮する必要があった。しかし析出限界
以上に濃縮された物質は、分散剤等が添加されていて
も、不安定な状態に変わりはなく、例えば給水温度の変
化、運転停止等の運転状態の変化により、膜装置内で析
出し、膜処理装置の運転に支障を来たすことがあり、実
質的に採用することはできなかった。
【０００６】本発明は、上記のような従来の問題点を解
決しようとするもので、シリカ等の膜汚染物質を適切に
除去し、回収率を向上した膜処理装置を提供することを
目的とする。
決しようとするもので、シリカ等の膜汚染物質を適切に
除去し、回収率を向上した膜処理装置を提供することを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段及び作用】前記目的を達成
するために、本発明による解決手段は、特許請求の範囲
の各請求項に記載のとおりであり、その作用は次のとお
りである。
するために、本発明による解決手段は、特許請求の範囲
の各請求項に記載のとおりであり、その作用は次のとお
りである。
【０００８】請求項１の発明によれば、ＲＯ装置の濃縮
水系をＲＯ装置の給水系に固液分離装置を介して接続す
ることにより、ＲＯ装置の濃縮水中の膜汚染物質を固液
分離装置により除去し、膜汚染物質の除去された水をＲ
Ｏ装置に再供給して処理し、結果的に膜処理装置の系全
体としての回収率を向上せしめる。また請求項２の発明
によれば、ＲＯ装置の濃縮水系を前処理装置の給水系に
配管接続することにより、ＲＯ装置の濃縮水中の膜汚染
物質を前処理装置により除去し、このようにして処理し
た水をＲＯ装置に再供給して処理することにより、膜処
理装置全体としての回収率を向上する。
水系をＲＯ装置の給水系に固液分離装置を介して接続す
ることにより、ＲＯ装置の濃縮水中の膜汚染物質を固液
分離装置により除去し、膜汚染物質の除去された水をＲ
Ｏ装置に再供給して処理し、結果的に膜処理装置の系全
体としての回収率を向上せしめる。また請求項２の発明
によれば、ＲＯ装置の濃縮水系を前処理装置の給水系に
配管接続することにより、ＲＯ装置の濃縮水中の膜汚染
物質を前処理装置により除去し、このようにして処理し
た水をＲＯ装置に再供給して処理することにより、膜処
理装置全体としての回収率を向上する。
【０００９】
【実施例】本発明の一実施例を図１に参照して説明す
る。図１に示される各要素で、前記従来例を例示する図
５に示された要素と同一のものには、同一の符号を付
す。
る。図１に示される各要素で、前記従来例を例示する図
５に示された要素と同一のものには、同一の符号を付
す。
【００１０】原水１は、凝集剤２を必要量添加され、前
処理装置３に供給される。前処理装置３は、前記従来例
で説明したように、凝集沈殿・濾過装置、凝集濾過装
置、砂濾過装置、活性炭濾過装置等の周知手段の１つ又
はそれ以上の組合せからなる。前処理装置３において、
必要に応じてｐＨや温度のコントロールを行う。前処理
装置３で濁質を除去された処理水３．１は次いで濾過水
タンク（図示せず）に貯溜される。前処理装置は必要に
応じ逆洗され、系内に蓄積した濁質３．２をブローす
る。処理水は、安全フィルター４を経て、高圧ポンプ５
で加圧され、膜モジュール等で構成されるＲＯ装置に供
給される。ＲＯ装置６で処理された透過水６．１は所要
個所に供給される。
処理装置３に供給される。前処理装置３は、前記従来例
で説明したように、凝集沈殿・濾過装置、凝集濾過装
置、砂濾過装置、活性炭濾過装置等の周知手段の１つ又
はそれ以上の組合せからなる。前処理装置３において、
必要に応じてｐＨや温度のコントロールを行う。前処理
装置３で濁質を除去された処理水３．１は次いで濾過水
タンク（図示せず）に貯溜される。前処理装置は必要に
応じ逆洗され、系内に蓄積した濁質３．２をブローす
る。処理水は、安全フィルター４を経て、高圧ポンプ５
で加圧され、膜モジュール等で構成されるＲＯ装置に供
給される。ＲＯ装置６で処理された透過水６．１は所要
個所に供給される。
【００１１】ＲＯ装置で例えばシリカの析出限界近くま
で濃縮された濃縮水６．２は、凝集沈殿・濾過装置、凝
集濾過装置、砂濾過装置、精密濾過装置、限外濾過膜装
置、ＲＯ装置等で構成される固液分離装置８に供給され
る。図１に示した固液分離装置８は精密濾過膜、限外濾
過膜、逆浸透膜等を用いる膜分離装置であり、その供給
過程で、濃縮水６．２に凝集剤７が添加され、シリカが
凝集される。凝集されたシリカは固液分離装置８で分離
濃縮し、濃縮液８．２は系外に排出される。凝集したシ
リカを除去された、固液分離装置８の透過水８．１は、
例えば濾過水タンク（図示せず）に送液される。該透過
水８．１は、前処理装置３による処理水３．１と該濾過
水タンクにおいて混合され、ＲＯ装置への給水として利
用される。
で濃縮された濃縮水６．２は、凝集沈殿・濾過装置、凝
集濾過装置、砂濾過装置、精密濾過装置、限外濾過膜装
置、ＲＯ装置等で構成される固液分離装置８に供給され
る。図１に示した固液分離装置８は精密濾過膜、限外濾
過膜、逆浸透膜等を用いる膜分離装置であり、その供給
過程で、濃縮水６．２に凝集剤７が添加され、シリカが
凝集される。凝集されたシリカは固液分離装置８で分離
濃縮し、濃縮液８．２は系外に排出される。凝集したシ
リカを除去された、固液分離装置８の透過水８．１は、
例えば濾過水タンク（図示せず）に送液される。該透過
水８．１は、前処理装置３による処理水３．１と該濾過
水タンクにおいて混合され、ＲＯ装置への給水として利
用される。
【００１２】上記実施例の試験を行うための実験装置の
例を図３に示す。図３に示す実験装置は、上記実施例と
実質的に同一の構成である。ただ実験装置は、当然のこ
とながら実際の設備に比してかなり小規模であり、ＲＯ
装置の給水及び濃縮側の配管は、実際の物に比し小径、
短尺となり、凝集剤７の混合時間が不足する等の理由
で、タンク２１が付設され、タンク２１内の水を送給す
るためにポンプＰが付設される。タンク２２は、図１の
実施例において図示省略したものを明示したものであ
る。
例を図３に示す。図３に示す実験装置は、上記実施例と
実質的に同一の構成である。ただ実験装置は、当然のこ
とながら実際の設備に比してかなり小規模であり、ＲＯ
装置の給水及び濃縮側の配管は、実際の物に比し小径、
短尺となり、凝集剤７の混合時間が不足する等の理由
で、タンク２１が付設され、タンク２１内の水を送給す
るためにポンプＰが付設される。タンク２２は、図１の
実施例において図示省略したものを明示したものであ
る。
【００１３】図３に示す実験設備により実験を行ったと
ころ、図４に示すような結果が得られた。図４のグラフ
において、横軸に週単位の時間をとり、縦軸に圧力（ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 ）をとり、ＲＯ装置６の給水側圧力Ｐ1 と
濃縮側の圧力Ｐ2 との差、即ち、ΔＰ＝Ｐ1 −Ｐ2 の経
時変化をプロットした。図４に示すように、差圧ΔＰ
は、ＲＯ装置に好適な差圧が長期に亘り維持され、即ち
膜汚染物質によりＲＯ装置は汚染されることなく良好な
運転を続け、前処理装置３からの給水とＲＯ装置の濃縮
側からの固液分離装置の透過水とをタンク２２により混
合して、ＲＯ装置に送給することにより、処理水の回収
率を向上せしめることが確認された。
ころ、図４に示すような結果が得られた。図４のグラフ
において、横軸に週単位の時間をとり、縦軸に圧力（ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 ）をとり、ＲＯ装置６の給水側圧力Ｐ1 と
濃縮側の圧力Ｐ2 との差、即ち、ΔＰ＝Ｐ1 −Ｐ2 の経
時変化をプロットした。図４に示すように、差圧ΔＰ
は、ＲＯ装置に好適な差圧が長期に亘り維持され、即ち
膜汚染物質によりＲＯ装置は汚染されることなく良好な
運転を続け、前処理装置３からの給水とＲＯ装置の濃縮
側からの固液分離装置の透過水とをタンク２２により混
合して、ＲＯ装置に送給することにより、処理水の回収
率を向上せしめることが確認された。
【００１４】そして、上記実験例における差圧ΔＰは、
図４に示すように、ＲＯ装置の運転停止の際に僅かに変
動するのみであった。一方図５に示す従来法において実
験した結果を図６に示す。図６の横軸、縦軸の単位は、
図５のそれと同じである。同図に示すように、従来法で
は連続運転の場合、約３週間でＲＯ装置は汚染されて、
差圧ΔＰが使用限度に達し、エレメント交換して破線の
如くΔＰを降下させる必要があり、その後に間欠運転し
た場合は、運転停止中にシリカが析出してΔＰが上昇
し、前記連続運転の場合よりも更に短期で、ΔＰが使用
可能上限に達する。
図４に示すように、ＲＯ装置の運転停止の際に僅かに変
動するのみであった。一方図５に示す従来法において実
験した結果を図６に示す。図６の横軸、縦軸の単位は、
図５のそれと同じである。同図に示すように、従来法で
は連続運転の場合、約３週間でＲＯ装置は汚染されて、
差圧ΔＰが使用限度に達し、エレメント交換して破線の
如くΔＰを降下させる必要があり、その後に間欠運転し
た場合は、運転停止中にシリカが析出してΔＰが上昇
し、前記連続運転の場合よりも更に短期で、ΔＰが使用
可能上限に達する。
【００１５】上記のように、本発明の一実施例は、従来
例に比して、膜モジュール内での膜汚染物質であるシリ
カの濃度を上昇させることなく、透過水の回収率を向上
し且つ長期に亘り良好な運転を行うことができる。
例に比して、膜モジュール内での膜汚染物質であるシリ
カの濃度を上昇させることなく、透過水の回収率を向上
し且つ長期に亘り良好な運転を行うことができる。
【００１６】図２に本発明の他の実施例を示す。同図に
おける要素で図１に示す要素と同一のものには同一の符
号を付す。図３に示す実施例においては、ＲＯ装置では
除去し難い炭酸ガスを脱炭酸ガス塔９で除去し、更に、
第１ＲＯ装置６の透過水６．１を第２ＲＯ装置１０で処
理することにより、高品質の透過水１０．１を製造す
る。本実施例では、凝集剤７を添加された第１ＲＯ装置
６の濃縮水６．２は、給水１に合流し、前処理装置３で
処理される。必要に応じて第１ＲＯ装置６の濃縮水の一
部６．３は系外にブローされるが、これは、その他の不
純物の濃縮を防止するためである。第２ＲＯ装置の濃縮
水１０．２は好ましくは全量例えば脱炭酸ガス塔９の前
段に給水として回収される。
おける要素で図１に示す要素と同一のものには同一の符
号を付す。図３に示す実施例においては、ＲＯ装置では
除去し難い炭酸ガスを脱炭酸ガス塔９で除去し、更に、
第１ＲＯ装置６の透過水６．１を第２ＲＯ装置１０で処
理することにより、高品質の透過水１０．１を製造す
る。本実施例では、凝集剤７を添加された第１ＲＯ装置
６の濃縮水６．２は、給水１に合流し、前処理装置３で
処理される。必要に応じて第１ＲＯ装置６の濃縮水の一
部６．３は系外にブローされるが、これは、その他の不
純物の濃縮を防止するためである。第２ＲＯ装置の濃縮
水１０．２は好ましくは全量例えば脱炭酸ガス塔９の前
段に給水として回収される。
【００１７】図２に示す上記実施例においても、図１に
示す実施と同様に、透過水の回収率を向上することがで
きる。
示す実施と同様に、透過水の回収率を向上することがで
きる。
【００１８】なお上記各実施例は、膜汚染物質をシリカ
の例で説明したが、濁土等の膜汚染物質についても同様
の効果を奏することができ、又、図１における濃縮水
６．２を図２に示す如く、前処理装置３の給水系へ送給
してもよい。
の例で説明したが、濁土等の膜汚染物質についても同様
の効果を奏することができ、又、図１における濃縮水
６．２を図２に示す如く、前処理装置３の給水系へ送給
してもよい。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ＲＯ装
置の濃縮水に凝集剤を添加して、凝集沈殿・濾過装置、
凝集濾過装置、精密濾過装置、限外濾過膜装置、ＲＯ装
置等の固液分離手段により、膜汚染によって回収率を制
限するシリカ等を濃縮して系外に排出するので、ＲＯ装
置内での濃縮水の濃度を上昇させることなく、膜処理装
置全体での透過水回収率を向上することができる。
置の濃縮水に凝集剤を添加して、凝集沈殿・濾過装置、
凝集濾過装置、精密濾過装置、限外濾過膜装置、ＲＯ装
置等の固液分離手段により、膜汚染によって回収率を制
限するシリカ等を濃縮して系外に排出するので、ＲＯ装
置内での濃縮水の濃度を上昇させることなく、膜処理装
置全体での透過水回収率を向上することができる。
【図１】本発明による膜処理装置の一実施例を示す図
【図２】本発明による膜処理装置の他の実施例を示す図
【図３】図１の実施例の試験装置の一例を示す図
【図４】図３に示す試験装置による試験結果を示す図
【図５】従来の膜処理装置の例を示す図
【図６】従来の膜処理装置の運転状態を示す図
１…原水 ３…前処理装置 ５…ポンプ ６，１０…逆浸
透膜（ＲＯ）装置 ８…固液分離装置
透膜（ＲＯ）装置 ８…固液分離装置
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年７月１２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】ところで、上記のような従来の膜処理装置
において、その運転上、ＲＯ装置からの透過水の回収率
を高めて、その運転効率を高めると共に、経済性を高め
ることが望まれており、そのためには、ＲＯ装置の濃縮
水側の濃度を可及的に高くして、透過水を増加するよう
にすればよい。この回収率を向上させるために、従来技
術として、ＲＯ給水に分散剤を添加し、例えばシリカの
膜装置内での析出を防止する方法、ＲＯ給水を膜処理す
ることにより微粒子を除去しシリカの析出を防止する方
法などが提案されている。
において、その運転上、ＲＯ装置からの透過水の回収率
を高めて、その運転効率を高めると共に、経済性を高め
ることが望まれており、そのためには、ＲＯ装置の濃縮
水側の濃度を可及的に高くして、透過水を増加するよう
にすればよい。この回収率を向上させるために、従来技
術として、ＲＯ給水に分散剤を添加し、例えばシリカの
膜装置内での析出を防止する方法、ＲＯ給水を膜処理す
ることにより微粒子を除去しシリカの析出を防止する方
法などが提案されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】
【実施例】本発明の一実施例を図１を参照して説明す
る。図１に示される各要素で、前記従来例を例示する図
５に示された要素と同一のものには、同一の符号を付
す。
る。図１に示される各要素で、前記従来例を例示する図
５に示された要素と同一のものには、同一の符号を付
す。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】原水１は、凝集剤２を必要量添加され、前
処理装置３に供給される。前処理装置３は、凝集沈殿・
濾過装置、凝集濾過装置、砂濾過装置、精密濾過装置、
限外濾過膜装置、活性炭濾過装置等の周知手段の１つ又
はそれ以上の組合せからなる。前処理装置３において、
必要に応じてｐＨや温度のコントロールを行う。前処理
装置３で濁質を除去された処理水３．１は次いで濾過水
タンク（図示せず）に貯溜される。前処理装置は必要に
応じ逆洗され、系内に蓄積した濁質３．２をブローす
る。処理水は、安全フィルター４を経て、高圧ポンプ５
で加圧され、膜モジュール等で構成されるＲＯ装置に供
給される。ＲＯ装置６で処理された透過水６．１は所要
個所に供給される。
処理装置３に供給される。前処理装置３は、凝集沈殿・
濾過装置、凝集濾過装置、砂濾過装置、精密濾過装置、
限外濾過膜装置、活性炭濾過装置等の周知手段の１つ又
はそれ以上の組合せからなる。前処理装置３において、
必要に応じてｐＨや温度のコントロールを行う。前処理
装置３で濁質を除去された処理水３．１は次いで濾過水
タンク（図示せず）に貯溜される。前処理装置は必要に
応じ逆洗され、系内に蓄積した濁質３．２をブローす
る。処理水は、安全フィルター４を経て、高圧ポンプ５
で加圧され、膜モジュール等で構成されるＲＯ装置に供
給される。ＲＯ装置６で処理された透過水６．１は所要
個所に供給される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１６】図２に本発明の他の実施例を示す。同図に
おける要素で図１に示す要素と同一のものには同一の符
号を付す。図２に示す実施例においては、ＲＯ装置では
除去し難い炭酸ガスを脱炭酸ガス塔９で除去し、更に、
第１ＲＯ装置６の透過水６．１を第２ＲＯ装置１０で処
理することにより、高品質の透過水１０．１を製造す
る。本実施例では、凝集剤７を添加された第１ＲＯ装置
６の濃縮水６．２は、給水１に合流し、前処理装置３で
処理される。必要に応じて第１ＲＯ装置６の濃縮水の一
部６．３は系外にブローされるが、これは、その他の不
純物の濃縮を防止するためである。第２ＲＯ装置の濃縮
水１０．２は好ましくは全量例えば脱炭酸ガス塔９の前
段に給水として回収される。
おける要素で図１に示す要素と同一のものには同一の符
号を付す。図２に示す実施例においては、ＲＯ装置では
除去し難い炭酸ガスを脱炭酸ガス塔９で除去し、更に、
第１ＲＯ装置６の透過水６．１を第２ＲＯ装置１０で処
理することにより、高品質の透過水１０．１を製造す
る。本実施例では、凝集剤７を添加された第１ＲＯ装置
６の濃縮水６．２は、給水１に合流し、前処理装置３で
処理される。必要に応じて第１ＲＯ装置６の濃縮水の一
部６．３は系外にブローされるが、これは、その他の不
純物の濃縮を防止するためである。第２ＲＯ装置の濃縮
水１０．２は好ましくは全量例えば脱炭酸ガス塔９の前
段に給水として回収される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１８】なお上記各実施例は、膜汚染物質をシリカ
の例で説明したが、濁質等の膜汚染物質についても同様
の効果を奏することができ、又、図１における濃縮水
６．２を図２に示す如く、前処理装置３の給水系へ送給
してもよい。
の例で説明したが、濁質等の膜汚染物質についても同様
の効果を奏することができ、又、図１における濃縮水
６．２を図２に示す如く、前処理装置３の給水系へ送給
してもよい。
Claims (2)
- 【請求項１】 原水を前処理する前処理装置と、前処理
した水を更に処理する逆浸透膜装置とからなる膜処理装
置において、前記逆浸透膜装置の給水系と濃縮水系とを
固液分離装置を介して配管接続し、膜汚染物質を固液分
離装置により除去して前記逆浸透膜装置に再供給する構
成としたことを特徴とする膜処理装置。 - 【請求項２】 原水を前処理する前処理装置と、前処理
した水を更に処理する逆浸透膜装置とからなる膜処理装
置において、前記前処理装置の給水系と前記逆浸透膜装
置の濃縮水系とを配管接続し、膜汚染物質を前記前処理
装置により除去して前記逆浸透膜装置に再供給する構成
としたことを特徴とする膜処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4189429A JPH0631271A (ja) | 1992-07-16 | 1992-07-16 | 膜処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4189429A JPH0631271A (ja) | 1992-07-16 | 1992-07-16 | 膜処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0631271A true JPH0631271A (ja) | 1994-02-08 |
Family
ID=16241103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4189429A Pending JPH0631271A (ja) | 1992-07-16 | 1992-07-16 | 膜処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0631271A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0871567A (ja) * | 1994-09-01 | 1996-03-19 | Kobe Steel Ltd | 移動式浄水設備 |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5273555A (en) * | 1975-12-17 | 1977-06-20 | Ebara Infilco Co Ltd | Separating method |
| JPS5358974A (en) * | 1976-11-10 | 1978-05-27 | Ebara Infilco Co Ltd | Separating method by use of membrane |
| JPS5411882A (en) * | 1977-06-29 | 1979-01-29 | Ebara Infilco Co Ltd | Desalting process |
| JPS5518258A (en) * | 1978-07-28 | 1980-02-08 | Kurita Water Ind Ltd | Treatment apparatus for boiler supply water |
| JPS55109406A (en) * | 1979-02-14 | 1980-08-22 | Toray Ind Inc | Liquid separating system |
| JPS5966391A (ja) * | 1982-10-05 | 1984-04-14 | Hibiya Sogo Setsubi Kk | 逆浸透脱塩法 |
| JPS5992098A (ja) * | 1982-11-18 | 1984-05-28 | Kurushima Group Kyodo Gijutsu Kenkyusho:Kk | 有機物を含む廃液の処理法 |
| JPS61116695A (ja) * | 1984-11-12 | 1986-06-04 | 科学技術庁原子力局長 | 放射性ヨウ素含有水溶液の処理法 |
| JPS6211507A (ja) * | 1985-07-09 | 1987-01-20 | Mitsubishi Rayon Eng Co Ltd | 水中懸濁物質の処理方法及び処理装置 |
| JPS6295701U (ja) * | 1985-12-02 | 1987-06-18 |
-
1992
- 1992-07-16 JP JP4189429A patent/JPH0631271A/ja active Pending
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPS61116695A (ja) * | 1984-11-12 | 1986-06-04 | 科学技術庁原子力局長 | 放射性ヨウ素含有水溶液の処理法 |
| JPS6211507A (ja) * | 1985-07-09 | 1987-01-20 | Mitsubishi Rayon Eng Co Ltd | 水中懸濁物質の処理方法及び処理装置 |
| JPS6295701U (ja) * | 1985-12-02 | 1987-06-18 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0871567A (ja) * | 1994-09-01 | 1996-03-19 | Kobe Steel Ltd | 移動式浄水設備 |
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