JPH06313845A

JPH06313845A - 投影レンズ系

Info

Publication number: JPH06313845A
Application number: JP10235893A
Authority: JP
Inventors: Koichi Takahashi; 高橋浩一
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1993-04-28
Filing date: 1993-04-28
Publication date: 1994-11-08

Abstract

(57)【要約】【目的】少ない枚数のレンズ構成によって、数μｍ以
下の高い解像力と比較的広い露光領域とを両立できる高
性能な投影レンズ系。【構成】負の第１群Ｉと、正の第２群ＩＩと、負の第
３群ＩＩＩと、正の第４群ＩＶとからなり、第１群Ｉ
は、物体側に凸面を向けた正の屈折力を有するレンズ
と、互いに凹面を向かい合わせた２つの負レンズと、こ
れらの負レンズを間に挟んで互いに凹面を向かい合わせ
た２つの外側のメニスカスレンズとを有し、この外側の
メニスカスレンズの中、少なくとも１つは負の屈折力を
持つ接合レンズであり、第２群ＩＩは少なくとも２つの
正の屈折力のレンズからなり、第３群ＩＩＩは負の屈折
力を持つ接合レンズからなり、第４群ＩＶは少なくとも
２つの正の屈折力のレンズと最も像面側に配置された負
レンズとからなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、投影レンズ系に関し、
特に、投影露光装置によってＩＣ、ＬＳＩ等の集積回路
や液晶等のフラットディスプレイ等を製造する際に用い
られる投影レンズ系に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＩＣ、ＬＳＩ等の集積回路のパタ
ーンをシリコンウエーハ等の基板上に転写するための投
影露光装置としては、主に縮小露光法が用いられてい
る。この方法は、マスクを適当な倍率（数分の１程度）
で基板上に縮小投影することにより、パターンを転写す
るものである。

【０００３】この投影露光装置によって投影されるパタ
ーンの線幅は数μｍからサブミクロンであり、投影レン
ズ系には非常に高い解像力が要求されている。そのた
め、投影光学系には、収差がほぼ完全に補正された理論
限界値に近い解像力が要求される。縮小投影法によれ
ば、ステップ・アンド・リピートと呼ばれる転写によ
り、パターンを接ぎ合わせて回路を形成する方法がとら
れるため、解像力は画面中心に限らず、画面全体におい
てほぼ理論限界値が得られるように収差が補正されてお
り、光学的諸収差の中、歪曲収差は特に補正されていな
ければならない。

【０００４】また、この縮小投影する方法では、回路パ
ターンが描かれたマスク等と投影された像（基板）との
距離を調整することによって、投影倍率を任意に変化さ
せ、環境の変化（温度、気圧等）に対しての補正が可能
である。また、投影レンズの像側開口数を大きな値にす
ることによって解像力を高めることができるという特徴
がある。

【０００５】

【本発明が解決しようとする課題】しかし、数μｍ以下
の解像力を有し、広い露光領域を持つ投影露光装置に用
いられる従来の投影レンズ系は、構成するレンズ枚数が
多く、非常に高価なものであった。

【０００６】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、少ない枚数のレンズ構成によ
って、数μｍ以下の高い解像力と比較的広い露光領域と
を両立できる高性能な投影レンズ系を提供することであ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の投影レンズ系は、マスクが配置される物体側より順
に、負の屈折力の第１レンズ群と、正の屈折力の第２レ
ンズ群と、負の屈折力の第３レンズ群と、正の屈折力の
第４レンズ群とからなり、前記第１レンズ群は、物体側
に凸面を向けた正の屈折力を有するレンズと、互いに凹
面を向かい合わせた２つの負レンズと、これらの負レン
ズを間に挟んで互いに凹面を向かい合わせた２つの外側
のメニスカスレンズとを有し、前記外側のメニスカスレ
ンズの中、少なくとも１つは負の屈折力を持つ接合レン
ズであり、前記第２レンズ群は少なくとも２つの正の屈
折力のレンズからなり、前記第３レンズ群は負の屈折力
を持つ接合レンズからなり、前記第４レンズ群は少なく
とも２つの正の屈折力のレンズと最も像面側に配置され
た負レンズとからなる、ことを特徴とするものである。

【０００８】

【作用】以下、上記構成をとる理由と作用について説明
する。上記構成の第１レンズ群の負の屈折力によって、
入射瞳は第２レンズ群である正レンズ群の中に位置され
る。全レンズ系の主な正の屈折力を持つレンズ群の中心
付近に入射瞳を位置させることで、軸外物点の上側光束
及び下側光束の対称性が保たれ、正の屈折力を有するレ
ンズ群でのコマ収差の発生を抑え、十分な露光領域を確
保することができる。

【０００９】第１レンズ群の物体面側に最も近い位置に
配備される正の屈折力を持つレンズと負レンズによっ
て、適当な負の歪曲収差を発生させ、第４レンズ群にお
ける正の歪曲収差を良好に補正している。

【００１０】第１レンズ群は、お互いに向かい合った凹
面を持つ２枚の負レンズと、その外側にさらにもう１組
の凹面を向かい合わせたメニスカスレンズとの組み合せ
を持つ構造を有することで、各面の屈折力は小さくても
レンズ群の屈折力を大きくすることができる。また、向
かい合った凹面を複数個別々に設けるよりも、光線の屈
折の仕方がより滑らかになり、通常のガウスタイプの組
み合わせでは補正しきれない高次のコマフレアー及び像
面湾曲を良好に補正している。

【００１１】上述の内側と外側にお互いに向かい合った
凹面を有するレンズ群は、強い負の屈折力を持つため、
全系の屈折力を必要な強さにするは、正の屈折力を持つ
レンズ群である第２レンズ群の焦点距離は短くなる。し
たがって、全レンズ系の主力となる第２レンズ群は正の
屈折力を持ち、レンズ群の焦点距離は短いために、負の
球面収差が大きくなる。本発明では、このレンズ群を少
なくとも２枚の正レンズで構成することで、その発生を
ある程度抑える一方、この負の球面収差を第１レンズ
群、第３レンズ群の接合レンズの正の球面収差によって
良好に補正している。第２レンズ群が１枚の正レンズで
あれば、負の球面収差が非常に大きくなり、第１レンズ
群と第３レンズ群の接合レンズにおける正の球面収差発
生量が大きくなり、接合レンズで補正している色収差と
のバランスが崩れ、フレアーを大きくしてしまう。

【００１２】縮小投影法では、基板の平面度によって部
分的な像歪みが生じないように、射出瞳位置を無限遠に
近づけることが必要である。像面に近い位置において正
の屈折力を有する第４レンズ群は、投影レンズ系の物体
面と像面の間にある入射瞳を無限遠に結像するために重
要な役目を果たしている。しかし、軸外主光線が光軸よ
り離れていること、並びに、像面に近い位置に正レンズ
群を配備することは、ペッツバール和が悪化すると共
に、他のレンズ群では補正しきれないコマ収差がこの正
レンズ群によって発生する。このペッツバール和とコマ
収差を良好に補正するためには、像面により近い位置に
負の屈折力を持つレンズを配備することが収差補正上必
要となる。以上のことから、上記したような構成をとっ
ている。

【００１３】本発明の投影レンズ系は、次の条件を満た
すことが望ましい。前記第１、第２並びに第４レンズ群
の焦点距離をそれぞれｆ₁、ｆ₂、ｆ₄として、物像間
距離をＬとした場合に、（１）０．２＞｜ｆ₁／Ｌ｜（２）０．７＜｜ｆ₂／ｆ₁｜＜１．３（３）０．８＜｜ｆ₄／ｆ₁｜＜１．５なる条件を満足することである。

【００１４】上記（１）式は、像面湾曲及びコマ収差を
良好に補正するための条件であり、この条件を満たさな
いで、｜ｆ₁／Ｌ｜が０．２以上になると、第１レンズ
群の正の屈折力のレンズ以外のレンズ群の負の屈折力が
不足し、第２レンズ群から入射瞳位置が外れることにな
るために、第２レンズ群でのコマフレアーの発生が大き
くなり、他のレンズ群では補正することが不可能とな
る。

【００１５】（２）式は、第１レンズ群、第２レンズ群
の焦点距離の関係を与えたものであり、下限の０．７を
越えると、第２レンズ群の焦点距離が第１レンズ群に対
して短くなるため、第２レンズ群で発生する球面収差が
他のレンズ群で補正できなくなるほど大きくなる。この
第２レンズ群の球面収差を第１レンズ群及び第３レンズ
群の接合レンズで補正しようとすると、球面収差と色収
差のバランスが崩れ、良い結果が得られない。また、上
限の１．３を越えると、主力となる正の屈折力が不足す
るため、物像間距離が大きくなり、レンズ系をコンパク
トに構成することができない。さらに、入射瞳の位置が
近くなり、物体面を射出する主光線の傾角が大きくなる
ため、物体面であるマスクの反りによる歪曲収差が発生
しやすくなり、均質なディストーションを得ることが難
しくなる。

【００１６】（３）式は、第４レンズ群の屈折力の範囲
を与えたものであり、（２）式の条件と共に、射出瞳位
置を無限遠にするために必要な条件である。条件（３）
の上限の１．５を越えると、ペッツバール和が大きくな
り、像面湾曲が補正不足になる。また、下限の０．８を
越えると、像面湾曲の補正が過剰になるため、画面全体
の収差補正が困難になる。

【００１７】前記（１）ないし（３）の条件の他に、以
下に示す条件を満たすことがより望ましい。第３レンズ
群は、第１レンズ群の接合レンズと共に、負レンズと正
レンズのアッベ数が異なる組み合わせにしているため、
光源の発光スペクトル幅に対する色収差を補正してい
る。第１レンズ群及び第３レンズ群のそれぞれの接合レ
ンズの負レンズのアッベ数をν_a、正レンズのアッベ数
をν_bとしたとき、（４）０．５＜ν_a／ν_b＜０．６なる条件を満足することが望ましい。

【００１８】（４）式の上限の０．６を越えると、色収
差が補正不足になると共に、第２レンズ群で発生する球
面収差の補正が不足になる。また、下限の０．５を越え
ると、球面収差が補正過剰になる。

【００１９】前述のように、第４レンズ群は正の屈折力
を有し、この正のレンズ群によって発生するペッツバー
ル和の悪化、及び、他のレンズ群では補正しきれないコ
マ収差を良好に補正するために、像面により近い位置に
負の屈折力を持つレンズを配備することが、収差補正上
必要となる。第４レンズ群の物体側より最終負レンズの
前までのレンズ群の焦点距離をｆ₄₁、像面に最も近い負
レンズの焦点距離をｆ₄₂としたとき、（５）０．２＜｜ｆ₄₁／ｆ₄₂｜＜０．７なる条件を満足することが望ましい。

【００２０】（５）式の上限の０．７を越えると、ペッ
ツバール和が大きくなり、像面湾曲が補正不足になる。
その下限の０．２を越えると、コマ収差、特にタンジェ
ンシャルコマの発生が増大し、また、像面湾曲が補正過
剰になる。

【００２１】

【実施例】以下に、本発明の投影レンズ系の実施例１〜
３を示す。各実施例のレンズデータは後記するが、実施
例１〜３のレンズ断面図をそれぞれ図１〜図３に示す。

【００２２】実施例１においては、第１レンズ群Ｉは、
両凸レンズ、像面側に凹面を向けた２枚の負メニスカス
レンズ、両凹レンズ、両凹レンズと両凸レンズの接合レ
ンズの６枚からなり、第２レンズ群ＩＩは、２枚の両凸
レンズからなり、第３レンズ群ＩＩＩは、両凸レンズと
両凹レンズの接合レンズからなり、第４レンズ群ＩＶ
は、像面側に凹面を向けた負メニスカスレンズ、両凸レ
ンズ、像面側に凹面を向けた正メニスカスレンズ、両凹
レンズの４枚からなり、レンズ全系では１４枚からな
る。

【００２３】実施例２においては、第１レンズ群Ｉは、
両凸レンズ、像面側に凹面を向けた２枚の負メニスカス
レンズ、両凹レンズ、両凹レンズと両凸レンズの接合レ
ンズの６枚からなり、第２レンズ群ＩＩは、２枚の両凸
レンズ、凸平レンズの３枚からなり、第３レンズ群ＩＩ
Ｉは、両凸レンズと両凹レンズの接合レンズからなり、
第４レンズ群ＩＶは、物体側に凹面を向けた負メニスカ
スレンズ、両凸レンズ、凸平レンズ、凹平レンズの４枚
からなり、レンズ全系では１５枚からなる。

【００２４】実施例３においては、第１レンズ群Ｉは、
両凸レンズ、像面側に凹面を向けた２枚の負メニスカス
レンズ、両凹レンズ、両凹レンズと両凸レンズの接合レ
ンズの６枚からなり、第２レンズ群ＩＩは、２枚の両凸
レンズ、凸平レンズの３枚からなり、第３レンズ群ＩＩ
Ｉは、両凸レンズと両凹レンズの接合レンズからなり、
第４レンズ群ＩＶは、両凹レンズ、３枚の両凸レンズ、
両凹レンズの５枚からなり、レンズ全系では１６枚から
なる。

【００２５】以下、実施例１〜３のレンズデータを示す
が、記号は、ｒ₁、ｒ₂…は各レンズ面の曲率半径、ｄ
₁、ｄ₂…は各レンズ面間の間隔、ｎ_d1、ｎ_d2…は各レ
ンズのｄ線の屈折率、ν_d1、ν_d2…は各レンズのアッベ
数である。また、ｆはレンズ全系の焦点距離、ＯＢは物
体位置、ＳＫは像位置、ｆ₁、ｆ₂、ｆ₄はそれぞれ第
１レンズ群Ｉ、第２レンズ群ＩＩ、第４レンズ群ＩＶの
焦点距離、Ｌは物像間距離、ν_a1は第１レンズ群Ｉの接
合レンズの負レンズのアッベ数、ν_b1は第１レンズ群Ｉ
の接合レンズの正レンズのアッベ数、ν_a2は第３レンズ
群ＩＩＩの接合レンズの負レンズのアッベ数、ν_b2は第
３レンズ群ＩＩＩの接合レンズの正レンズのアッベ数、
ｆ₄₁は第４レンズ群ＩＶの物体側より最終負レンズの前
までのレンズ群の焦点距離、ｆ₄₂は第４レンズ群ＩＶの
像面に最も近い負レンズの焦点距離である。

【００２６】何れの実施例においても、投影倍率は１／
５、像側開口数は０．３、画面範囲はφ４１．５、物像
間距離Ｌは１０００、基準波長は４３６ｎｍである。

【００２７】実施例１ｆ＝123.90 ＯＢ＝-374.00 ＳＫ＝20.64 ｒ₁= 563.854 ｄ₁= 20.336 ｎ_d1 =1.64217 ν_d1 =57.1 ｒ₂= -607.238 ｄ₂= 0.166 ｒ₃= 189.703 ｄ₃= 11.628 ｎ_d2 =1.51633 ν_d2 =64.1 ｒ₄= 108.5223 ｄ₄=114.389 ｒ₅= 205.800 ｄ₅= 22.149 ｎ_d3 =1.51633 ν_d3 =64.1 ｒ₆= 87.257 ｄ₆= 18.885 ｒ₇= -80.386 ｄ₇= 11.628 ｎ_d4 =1.51633 ν_d4 =64.1 ｒ₈= 14643.798 ｄ₈= 8.097 ｒ₉= -134.780 ｄ₉= 11.628 ｎ_d5 =1.63980 ν_d5 =34.5 ｒ₁₀= 179.847 ｄ₁₀= 27.487 ｎ_d6 =1.54117 ν_d6 =63.0 ｒ₁₁= -127.726 ｄ₁₁= 4.095 ｒ₁₂= 757.854 ｄ₁₂= 20.813 ｎ_d7 =1.72900 ν_d7 =55.5 ｒ₁₃= -203.967 ｄ₁₃= 0.166 ｒ₁₄= 269.867 ｄ₁₄= 24.878 ｎ_d8 =1.72216 ν_d8 =53.3 ｒ₁₅= -351.938 ｄ₁₅= 81.252 ｒ₁₆= 185.546 ｄ₁₆= 56.876 ｎ_d9 =1.51633 ν_d9 =64.1 ｒ₁₇= -87.282 ｄ₁₇= 11.628 ｎ_d10=1.63980 ν_d10=34.5 ｒ₁₈= 111.975 ｄ₁₈= 39.326 ｒ₁₉= 226.492 ｄ₁₉= 44.805 ｎ_d11=1.63980 ν_d11=34.5 ｒ₂₀= 168.595 ｄ₂₀= 0.166 ｒ₂₁= 86.573 ｄ₂₁= 33.090 ｎ_d12=1.70421 ν_d12=56.4 ｒ₂₂= -312.288 ｄ₂₂= 4.923 ｒ₂₃= 107.305 ｄ₂₃= 18.103 ｎ_d13=1.72916 ν_d13=45.7 ｒ₂₄= 272.511 ｄ₂₄= 7.220 ｒ₂₅= -122.626 ｄ₂₅= 11.628 ｎ_d14=1.63980 ν_d14=34.5 ｒ₂₆= 512.605 ｜ｆ₁／Ｌ｜＝0.119 ｜ｆ₂／ｆ₁｜＝0.918 ｜ｆ₄／ｆ₁｜＝0.936 ν_a1／ν_b1 ＝0.55 ν_a2／ν_b2 ＝0.54 ｜ｆ₄₁／ｆ₄₂｜＝0.549
。

【００２８】実施例２ｆ＝126.98 ＯＢ＝-388.58 ＳＫ＝19.93 ｒ₁= 944.328 ｄ₁= 19.564 ｎ_d1 =1.62299 ν_d1 =58.1 ｒ₂= -501.713 ｄ₂= 25.472 ｒ₃= 185.592 ｄ₃= 19.680 ｎ_d2 =1.51633 ν_d2 =64.1 ｒ₄= 98.422 ｄ₄= 76.171 ｒ₅= 159.553 ｄ₅= 9.967 ｎ_d3 =1.51633 ν_d3 =64.1 ｒ₆= 90.619 ｄ₆= 20.386 ｒ₇= -87.201 ｄ₇= 11.628 ｎ_d4 =1.51633 ν_d4 =64.1 ｒ₈= 1857.407 ｄ₈= 13.876 ｒ₉= -118.443 ｄ₉= 11.628 ｎ_d5 =1.63980 ν_d5 =34.5 ｒ₁₀= 193.858 ｄ₁₀= 30.137 ｎ_d6 =1.55963 ν_d6 =61.1 ｒ₁₁= -127.535 ｄ₁₁= 0.830 ｒ₁₂= 1024.044 ｄ₁₂= 18.858 ｎ_d7 =1.72916 ν_d7 =54.7 ｒ₁₃= -278.070 ｄ₁₃= 9.896 ｒ₁₄= 323.889 ｄ₁₄= 25.221 ｎ_d8 =1.72916 ν_d8 =54.7 ｒ₁₅= -387.654 ｄ₁₅= 49.263 ｒ₁₆= 251.335 ｄ₁₆= 19.691 ｎ_d9 =1.72916 ν_d9 =54.7 ｒ₁₇= ∞ ｄ₁₇= 38.638 ｒ₁₈= 132.150 ｄ₁₈= 36.813 ｎ_d10=1.51633 ν_d10=64.1 ｒ₁₉= -121.169 ｄ₁₉= 12.051 ｎ_d11=1.63980 ν_d11=34.5 ｒ₂₀= 74.290 ｄ₂₀= 53.043 ｒ₂₁= -80.196 ｄ₂₁= 11.628 ｎ_d12=1.63980 ν_d12=34.5 ｒ₂₂= -103.454 ｄ₂₂= 0.831 ｒ₂₃= 86.830 ｄ₂₃= 26.652 ｎ_d13=1.51633 ν_d13=64.1 ｒ₂₄= -298.790 ｄ₂₄= 0.831 ｒ₂₅= 154.860 ｄ₂₅= 31.703 ｎ_d14=1.72916 ν_d14=54.7 ｒ₂₆= ∞ ｄ₂₆= 5.407 ｒ₂₇= -151.094 ｄ₂₇= 11.628 ｎ_d15=1.63980 ν_d15=34.5 ｒ₂₈= ∞ ｜ｆ₁／Ｌ｜＝0.123 ｜ｆ₂／ｆ₁｜＝0.925 ｜ｆ₄／ｆ₁｜＝0.994 ν_a1／ν_b1 ＝0.56 ν_a2／ν_b2 ＝0.54 ｜ｆ₄₁／ｆ₄₂｜＝0.389
。

【００２９】実施例３ｆ＝119.69 ＯＢ＝-352.16 ＳＫ＝19.93 ｒ₁= 309.518 ｄ₁= 21.988 ｎ_d1 =1.72900 ν_d1 =55.5 ｒ₂= -1068.728 ｄ₂= 0.166 ｒ₃= 329.193 ｄ₃= 11.628 ｎ_d2 =1.51633 ν_d2 =64.1 ｒ₄= 115.527 ｄ₄= 80.463 ｒ₅= 170.378 ｄ₅= 9.209 ｎ_d3 =1.51500 ν_d3 =64.0 ｒ₆= 89.759 ｄ₆= 22.240 ｒ₇= -87.068 ｄ₇= 11.628 ｎ_d4 =1.51633 ν_d4 =64.1 ｒ₈= 1518.756 ｄ₈= 22.240 ｒ₉= -126.292 ｄ₉= 11.628 ｎ_d5 =1.63980 ν_d5 =34.5 ｒ₁₀= 184.336 ｄ₁₀= 31.183 ｎ_d6 =1.58950 ν_d6 =61.5 ｒ₁₁= -138.604 ｄ₁₁= 0.166 ｒ₁₂= 1284.791 ｄ₁₂= 21.668 ｎ_d7 =1.72873 ν_d7 =55.4 ｒ₁₃= -205.229 ｄ₁₃=111.705 ｒ₁₄= 389.038 ｄ₁₄= 21.136 ｎ_d8 =1.72898 ν_d8 =55.5 ｒ₁₅= -850.486 ｄ₁₅= 18.804 ｒ₁₆= 164.305 ｄ₁₆= 24.570 ｎ_d9 =1.68685 ν_d9 =57.1 ｒ₁₇= ∞ ｄ₁₇= 25.156 ｒ₁₈= 106.768 ｄ₁₈= 26.512 ｎ_d10=1.51633 ν_d10=64.1 ｒ₁₉= -274.829 ｄ₁₉= 11.628 ｎ_d11=1.64000 ν_d11=34.5 ｒ₂₀= 67.470 ｄ₂₀= 49.776 ｒ₂₁= -99.114 ｄ₂₁= 11.628 ｎ_d12=1.64000 ν_d12=34.5 ｒ₂₂= 200.734 ｄ₂₂= 4.4208 ｒ₂₃= 3828.756 ｄ₂₃= 17.264 ｎ_d13=1.72900 ν_d13=55.5 ｒ₂₄= -177.653 ｄ₂₄= 0.166 ｒ₂₅= 79.610 ｄ₂₅= 36.777 ｎ_d14=1.51500 ν_d14=64.0 ｒ₂₆= -469.061 ｄ₂₆= 0.166 ｒ₂₇= 98.8484 ｄ₂₇= 19.323 ｎ_d15=1.58793 ν_d15=61.6 ｒ₂₈= -4775.692 ｄ₂₈= 3.631 ｒ₂₉= -210.153 ｄ₂₉= 11.628 ｎ_d16=1.72192 ν_d16=53.2 ｒ₃₀= 1466.094 ｜ｆ₁／Ｌ｜＝0.129 |f₂／ｆ₁｜＝1.087 ｜ｆ₄／ｆ₁｜＝1.064 ν_a1／ν_b1 ＝0.56 ν_a2／ν_b2 ＝0.54 ｜ｆ₄₁／ｆ₄₂｜＝0.364
。

【００３０】以上の実施例１〜３の球面収差、非点収
差、歪曲収差、横収差を表す収差図をそれぞれ図４〜図
６に示す。

【００３１】

【発明の効果】本発明によれば、比較的少ない枚数のレ
ンズ構成によって、高い解像力と広い露光領域とを両立
させることができる高性能な投影レンズ系を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１の投影レンズ系のレンズ断面
図である。

【図２】実施例２の投影レンズ系のレンズ断面図であ
る。

【図３】実施例３の投影レンズ系のレンズ断面図であ
る。

【図４】実施例１の球面収差、非点収差、歪曲収差、横
収差を表す収差図である。

【図５】実施例２の球面収差、非点収差、歪曲収差、横
収差を表す収差図である。

【図６】実施例３の球面収差、非点収差、歪曲収差、横
収差を表す収差図である。

【符号の説明】

Ｉ …第１レンズ群ＩＩ …第２レンズ群ＩＩＩ…第３レンズ群ＩＶ …第４レンズ群

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】物体側より順に、負の屈折力の第１レン
ズ群と、正の屈折力の第２レンズ群と、負の屈折力の第
３レンズ群と、正の屈折力の第４レンズ群とからなり、前記第１レンズ群は、物体側に凸面を向けた正の屈折力
を有するレンズと、互いに凹面を向かい合わせた２つの
負レンズと、これらの負レンズを間に挟んで互いに凹面
を向かい合わせた２つの外側のメニスカスレンズとを有
し、前記外側のメニスカスレンズの中、少なくとも１つは負
の屈折力を持つ接合レンズであり、前記第２レンズ群は少なくとも２つの正の屈折力のレン
ズからなり、前記第３レンズ群は負の屈折力を持つ接合レンズからな
り、前記第４レンズ群は少なくとも２つの正の屈折力のレン
ズと最も像面側に配置された負レンズとからなる、ことを特徴とする投影レンズ系。
【請求項２】前記第１、第２並びに第４レンズ群の焦
点距離をそれぞれｆ₁、ｆ₂、ｆ₄として、物像間距離
をＬとした場合に、（１）０．２＞｜ｆ₁／Ｌ｜（２）０．７＜｜ｆ₂／ｆ₁｜＜１．３（３）０．８＜｜ｆ₄／ｆ₁｜＜１．５なる条件を満足することを特徴とする請求項１記載の投
影レンズ系。