JPH06314456A - ディスクのクランプ装置 - Google Patents
ディスクのクランプ装置Info
- Publication number
- JPH06314456A JPH06314456A JP5105420A JP10542093A JPH06314456A JP H06314456 A JPH06314456 A JP H06314456A JP 5105420 A JP5105420 A JP 5105420A JP 10542093 A JP10542093 A JP 10542093A JP H06314456 A JPH06314456 A JP H06314456A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chuck
- shaft
- diaphragm
- disk
- chuck head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Holding Or Fastening Of Disk On Rotational Shaft (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 チャックヘッドを駆動するための気体の漏れ
を防止する。 【構成】 クランプ時には、ダイヤフラム１５が偏位せ
ず、スプリング１７のスプリング力によってピストン７
も変位しない。チャックヘッド６がチャックリング１３
を下方に押圧し、拡大させ、ディスクＷをクランプす
る。一方、アンクランプ時は、空気を供給すれば、ダイ
ヤフラム１５が上方に偏位し、それによってスプリング
１７のスプリング力に抗してピストン７を上方変位させ
る。空気が漏れることなく、チャックヘッド６が上昇
し、その傾斜面６ａがチャックリング１３から離れる。
これによって、チャックリング１３が収縮し、ディスク
Ｗとの係合が解除され、ディスクＷを取り外すことが可
能となる。
を防止する。 【構成】 クランプ時には、ダイヤフラム１５が偏位せ
ず、スプリング１７のスプリング力によってピストン７
も変位しない。チャックヘッド６がチャックリング１３
を下方に押圧し、拡大させ、ディスクＷをクランプす
る。一方、アンクランプ時は、空気を供給すれば、ダイ
ヤフラム１５が上方に偏位し、それによってスプリング
１７のスプリング力に抗してピストン７を上方変位させ
る。空気が漏れることなく、チャックヘッド６が上昇
し、その傾斜面６ａがチャックリング１３から離れる。
これによって、チャックリング１３が収縮し、ディスク
Ｗとの係合が解除され、ディスクＷを取り外すことが可
能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、主としてクリーンな環
境で用いられ、磁気あるいは光ディスクの検査に使用さ
れるディスクのクランプ装置に関する。
境で用いられ、磁気あるいは光ディスクの検査に使用さ
れるディスクのクランプ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば特開平２−２６０２７１号公報に
記載されるように、スピンドルに固定されディスクが載
置される中空のターンテーブルと、該ターンテーブルの
中空部を貫通し上下動可能であるシャフトと、該シャフ
トの上端部に固定され最大径がディスクの中心孔より小
さく外周に下側になるほど径が小さくなる傾斜面を有す
るチャックヘッドと、該チャックヘッドの傾斜面とター
ンテーブルの上面との間に挟持され、チャックヘッドの
上下動により上記傾斜面に沿って拡縮し拡張によりワー
クを拘束するチャックリングとを備えたディスクのクラ
ンプ装置が知られている。
記載されるように、スピンドルに固定されディスクが載
置される中空のターンテーブルと、該ターンテーブルの
中空部を貫通し上下動可能であるシャフトと、該シャフ
トの上端部に固定され最大径がディスクの中心孔より小
さく外周に下側になるほど径が小さくなる傾斜面を有す
るチャックヘッドと、該チャックヘッドの傾斜面とター
ンテーブルの上面との間に挟持され、チャックヘッドの
上下動により上記傾斜面に沿って拡縮し拡張によりワー
クを拘束するチャックリングとを備えたディスクのクラ
ンプ装置が知られている。
【０００３】そして、そのようなクランプ装置におい
て、シャフトを昇降させる機構として、例えば実開平２
−５０８５４号公報に記載されるように、シャフトの下
端部にピストンを設け、該ピストンの下側に空気を供給
することでシャフトを上昇させ、ピストンの下側から空
気を引き抜くことでシャフトをスプリングのスプリング
力によって下降させるシリンダ機構を採用することが考
えられる。
て、シャフトを昇降させる機構として、例えば実開平２
−５０８５４号公報に記載されるように、シャフトの下
端部にピストンを設け、該ピストンの下側に空気を供給
することでシャフトを上昇させ、ピストンの下側から空
気を引き抜くことでシャフトをスプリングのスプリング
力によって下降させるシリンダ機構を採用することが考
えられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、そのような
シリンダ機構を採用すると、供給エアがピストンとブッ
シュとの間隙等を経由して、チャックヘッドとターンテ
ーブルとの間の隙間から漏れるおそれがあり、その際、
ピストンやシャフトの摺動により発生する摩耗粉が共に
放出され、クリーンな環境に悪影響を与え、特にディス
ク等のワーク近傍のクリーン性が低下する。
シリンダ機構を採用すると、供給エアがピストンとブッ
シュとの間隙等を経由して、チャックヘッドとターンテ
ーブルとの間の隙間から漏れるおそれがあり、その際、
ピストンやシャフトの摺動により発生する摩耗粉が共に
放出され、クリーンな環境に悪影響を与え、特にディス
ク等のワーク近傍のクリーン性が低下する。
【０００５】また、例えばピストンの周囲にＯリングを
設けて供給エアの漏れを防止するようにすることも考え
られるが、Ｏリングは経年変化により徐々に摩耗するも
のであり、いつ供給エアが漏れ出すか不明であり、ま
た、供給エアが上方に漏れ出すと、前述した場合と同様
にワーク近傍のクリーン性が低下する。
設けて供給エアの漏れを防止するようにすることも考え
られるが、Ｏリングは経年変化により徐々に摩耗するも
のであり、いつ供給エアが漏れ出すか不明であり、ま
た、供給エアが上方に漏れ出すと、前述した場合と同様
にワーク近傍のクリーン性が低下する。
【０００６】本発明はかかる点に鑑みてなされたもの
で、チャックヘッド（シャフト）を駆動するための気体
の漏れを防止したものを提供するものである。
で、チャックヘッド（シャフト）を駆動するための気体
の漏れを防止したものを提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、スピンドルに
固定されディスクが載置される中空のターンテーブル
と、該ターンテーブルの中空部を貫通し上下動可能であ
るシャフトと、該シャフトの上端部に固定され外周に最
大径がディスクの中心孔より小さく下側になるほど径が
小さくなる傾斜面を有するチャックヘッドと、該チャッ
クヘッドの傾斜面とターンテーブルの上面との間に挟持
され、チャックヘッドの上下動により上記傾斜面に沿っ
て拡縮し拡張によりワークを拘束するチャックリングと
を備えたディスクのクランプ装置において、上記シャフ
トの下端部下側に配設されたダイヤフラムと、該ダイヤ
フラムの下側に気体を供給しダイヤフラムを介してシャ
フトを上下動させる駆動手段とを備える構成とする。
固定されディスクが載置される中空のターンテーブル
と、該ターンテーブルの中空部を貫通し上下動可能であ
るシャフトと、該シャフトの上端部に固定され外周に最
大径がディスクの中心孔より小さく下側になるほど径が
小さくなる傾斜面を有するチャックヘッドと、該チャッ
クヘッドの傾斜面とターンテーブルの上面との間に挟持
され、チャックヘッドの上下動により上記傾斜面に沿っ
て拡縮し拡張によりワークを拘束するチャックリングと
を備えたディスクのクランプ装置において、上記シャフ
トの下端部下側に配設されたダイヤフラムと、該ダイヤ
フラムの下側に気体を供給しダイヤフラムを介してシャ
フトを上下動させる駆動手段とを備える構成とする。
【０００８】
【作用】ダイヤフラムの下側に気体が供給されると、シ
ャフトが上昇し、それに伴ってチャックヘッドも上昇す
る。その結果、チャックリングを規制するチャックヘッ
ドの傾斜面の径が小さくなり、チャックヘッドによる押
圧が解除され、チャックリングが収縮して径が小さくな
り、チャッリングによるワークの拘束が解除される。
ャフトが上昇し、それに伴ってチャックヘッドも上昇す
る。その結果、チャックリングを規制するチャックヘッ
ドの傾斜面の径が小さくなり、チャックヘッドによる押
圧が解除され、チャックリングが収縮して径が小さくな
り、チャッリングによるワークの拘束が解除される。
【０００９】一方、ダイヤフラムの下側より気体が引き
抜かれると、シャフトが下降し、それに伴いチャックヘ
ッドも下降する。その結果、チャックリングを規制する
チャックヘッドの傾斜面の径が大きくなり、その径が大
きい傾斜面によってチャックリングが押圧されてチャッ
クリングが拡張されてリング径が大きくなり、チャック
リングによりワークがターンテーブル上に拘束される。
抜かれると、シャフトが下降し、それに伴いチャックヘ
ッドも下降する。その結果、チャックリングを規制する
チャックヘッドの傾斜面の径が大きくなり、その径が大
きい傾斜面によってチャックリングが押圧されてチャッ
クリングが拡張されてリング径が大きくなり、チャック
リングによりワークがターンテーブル上に拘束される。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に沿って詳細に
説明する。
説明する。
【００１１】概略構成を示す図１において、１は中心孔
Ｗ1 を有するディスクＷをクランプするためのディスク
のクランプ装置で、スピンドルモータ２のスピンドル３
のフランジ部３ａにボルト４，４によって、ディスクＷ
が載置される中空のターンテーブル５が取付固定されて
いる。
Ｗ1 を有するディスクＷをクランプするためのディスク
のクランプ装置で、スピンドルモータ２のスピンドル３
のフランジ部３ａにボルト４，４によって、ディスクＷ
が載置される中空のターンテーブル５が取付固定されて
いる。
【００１２】ターンテーブル５は、フランジ部３ａに取
付けられるフランジ部５ａと、該フランジ部５ａより同
軸状に立設された軸部５ｂとを有する。フランジ部５ａ
には、大径の空間部５ｃが形成され、該空間部５ｃに軸
部５ｂ内に延びる小径の空間部５ｄが連設されている。
また、軸部５ｂの上端部に凹所５ｅが形成され、該凹所
５ｅが貫通孔５ｆを通じて空間部５ｄに連通されてい
る。
付けられるフランジ部５ａと、該フランジ部５ａより同
軸状に立設された軸部５ｂとを有する。フランジ部５ａ
には、大径の空間部５ｃが形成され、該空間部５ｃに軸
部５ｂ内に延びる小径の空間部５ｄが連設されている。
また、軸部５ｂの上端部に凹所５ｅが形成され、該凹所
５ｅが貫通孔５ｆを通じて空間部５ｄに連通されてい
る。
【００１３】上記凹所５ｅ内には、最大径がディスクＷ
の中心孔Ｗ1 より小さく外周に下側になるほど径が小さ
くなる傾斜面６ａを有するチャックヘッド６が配設され
ている。空間部５ｄ内には、ピストン７が上下動可能に
配設されている。そして、チャックヘッド６とピストン
７とがシャフト８にて連結されている。尚、９，１０は
それぞれシャフト８及びピストン７に対するブッシュ、
１１はチャックヘッド６をシャフト８に固定するボル
ト、１２はピストン７をシャフト８に固定するナットで
ある。
の中心孔Ｗ1 より小さく外周に下側になるほど径が小さ
くなる傾斜面６ａを有するチャックヘッド６が配設され
ている。空間部５ｄ内には、ピストン７が上下動可能に
配設されている。そして、チャックヘッド６とピストン
７とがシャフト８にて連結されている。尚、９，１０は
それぞれシャフト８及びピストン７に対するブッシュ、
１１はチャックヘッド６をシャフト８に固定するボル
ト、１２はピストン７をシャフト８に固定するナットで
ある。
【００１４】また、チャックヘッド６の外周の傾斜面６
ａとターンテーブル５上面との間には、チャックヘッド
６の上下動により上記傾斜面６ａとの係合関係で拡縮し
拡張によりディスクＷを拘束するチャックリング１３が
挟持されている。チャックリング１３は、図２及び図３
に示すように、内周部上側に拡縮の際チャックヘッド６
の傾斜面６ａと当接係合する傾斜面１３ａが形成される
と共に、一部が切除かれて空隙部１３ｂが形成されてい
る。また、チャックリング１３の外周部には周回溝１３
ｃが形成され、該周回溝１３ｃには、チャックリング１
３をその径が小さくなる方向に常時付勢するスチールリ
ング１４が嵌合されている。
ａとターンテーブル５上面との間には、チャックヘッド
６の上下動により上記傾斜面６ａとの係合関係で拡縮し
拡張によりディスクＷを拘束するチャックリング１３が
挟持されている。チャックリング１３は、図２及び図３
に示すように、内周部上側に拡縮の際チャックヘッド６
の傾斜面６ａと当接係合する傾斜面１３ａが形成される
と共に、一部が切除かれて空隙部１３ｂが形成されてい
る。また、チャックリング１３の外周部には周回溝１３
ｃが形成され、該周回溝１３ｃには、チャックリング１
３をその径が小さくなる方向に常時付勢するスチールリ
ング１４が嵌合されている。
【００１５】上記ピストン７の下側の空間部５ｃにはダ
イヤフラム１５が配設され、止め輪１６にて固定されて
いる。ピストン７とターンテーブル５との間にはスプリ
ング１７が介装され、ピストン７を常時下方に付勢して
いる。
イヤフラム１５が配設され、止め輪１６にて固定されて
いる。ピストン７とターンテーブル５との間にはスプリ
ング１７が介装され、ピストン７を常時下方に付勢して
いる。
【００１６】そして、ダイヤフラム１５の下側の空間部
５ｃには、スピンドルモータ２及びスピンドル３に形成
された通路２ａ，３ａを通じて気体が供給されるように
なっており、ダイヤフラム１５を介してシャフト８（チ
ャックヘッド６）を上下動させる駆動手段を構成してい
る。
５ｃには、スピンドルモータ２及びスピンドル３に形成
された通路２ａ，３ａを通じて気体が供給されるように
なっており、ダイヤフラム１５を介してシャフト８（チ
ャックヘッド６）を上下動させる駆動手段を構成してい
る。
【００１７】上記のように構成すれば、ディスクＷのク
ランプ時には、ダイヤフラム１５の下側の空間部５ｃに
空気を供給しなければ、ダイヤフラム１５が偏位せず、
スプリング１７のスプリング力によってピストン７が下
方に変位した状態となり、シャフト８を介してピストン
７に連結されたチャックヘッド６がチャックリング１３
を下方に押圧して、傾斜面６ａ，１３ａの当接係合関係
でチャックリング１３をその径が大きくなるように拡張
させ（即ち押し拡げ）、チャックリング１３が中心孔Ｗ
1 の周縁部を拘束してディスクＷをクランプする。
ランプ時には、ダイヤフラム１５の下側の空間部５ｃに
空気を供給しなければ、ダイヤフラム１５が偏位せず、
スプリング１７のスプリング力によってピストン７が下
方に変位した状態となり、シャフト８を介してピストン
７に連結されたチャックヘッド６がチャックリング１３
を下方に押圧して、傾斜面６ａ，１３ａの当接係合関係
でチャックリング１３をその径が大きくなるように拡張
させ（即ち押し拡げ）、チャックリング１３が中心孔Ｗ
1 の周縁部を拘束してディスクＷをクランプする。
【００１８】一方、アンクランプ時には、ダイヤフラム
１５の下側の空間部５ｃに通路２ａ，３ａを通じて空気
を供給すれば、ダイヤフラム１５が上方に偏位し、それ
によってスプリング１７のスプリング力に抗してピスト
ン７を上方変位させる。それによって、ピストン８従っ
てチャックヘッド６が上昇し、傾斜面６ａ，１３ａの係
合関係が解除され、チャックヘッド６の傾斜面６ａがチ
ャックリング１３から離れる。その結果、チャックリン
グ１３が径が小さくなる方向に収縮し、ティスクＷの中
心孔Ｗ1 よりも径が小さくなり、ディスクＷのチャック
リング１３による拘束が解除され、ディスクＷをターン
テーブル５より取り外すことができる。
１５の下側の空間部５ｃに通路２ａ，３ａを通じて空気
を供給すれば、ダイヤフラム１５が上方に偏位し、それ
によってスプリング１７のスプリング力に抗してピスト
ン７を上方変位させる。それによって、ピストン８従っ
てチャックヘッド６が上昇し、傾斜面６ａ，１３ａの係
合関係が解除され、チャックヘッド６の傾斜面６ａがチ
ャックリング１３から離れる。その結果、チャックリン
グ１３が径が小さくなる方向に収縮し、ティスクＷの中
心孔Ｗ1 よりも径が小さくなり、ディスクＷのチャック
リング１３による拘束が解除され、ディスクＷをターン
テーブル５より取り外すことができる。
【００１９】
【発明の効果】本発明は、上記のように、ダイヤフラム
を利用してシャフト、チャックヘッドを昇降するように
したので、構造を複雑とすることなく、ダイヤフラムに
よってチャックヘッドを昇降させる気体の漏れを防止す
ることが可能となる。よって、その気体の漏れに伴う、
摺動部より生ずる摩耗粉等の放出が防止され、クリーン
環境で使用しても、クリーン性を損なうことがない。
を利用してシャフト、チャックヘッドを昇降するように
したので、構造を複雑とすることなく、ダイヤフラムに
よってチャックヘッドを昇降させる気体の漏れを防止す
ることが可能となる。よって、その気体の漏れに伴う、
摺動部より生ずる摩耗粉等の放出が防止され、クリーン
環境で使用しても、クリーン性を損なうことがない。
【図１】ディスクのクランプ装置の全体構成図である。
【図２】図１のＡ部拡大断面図である。
【図３】チャックリングの平面図である。
1 ディスクのクランプ装置 3 スピンドル 5 ターンテーブル 6 チャックヘッド 6a 傾斜面 8 シャフト 13 チャックリング 15 ダイヤフラム W ディスク W1 中心孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷口 勝則 兵庫県西宮市田近野町６番107号 新明和 工業株式会社開発技術本部内
Claims (1)
- 【請求項１】 スピンドルに固定されディスクが載置さ
れる中空のターンテーブルと、該ターンテーブルの中空
部を貫通し上下動可能であるシャフトと、該シャフトの
上端部に固定され外周に最大径がディスクの中心孔より
小さく下側になるほど径が小さくなる傾斜面を有するチ
ャックヘッドと、該チャックヘッドの傾斜面とターンテ
ーブルの上面との間に挟持され、チャックヘッドの上下
動により上記傾斜面に沿って拡縮し拡張によりワークを
拘束するチャックリングとを備えたディスクのクランプ
装置において、 上記シャフトの下端部下側に配設されたダイヤフラム
と、 該ダイヤフラムの下側に気体を供給しダイヤフラムを介
してシャフトを上下動させる駆動手段とを備えることを
特徴とするディスクのクランプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5105420A JPH06314456A (ja) | 1993-05-06 | 1993-05-06 | ディスクのクランプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5105420A JPH06314456A (ja) | 1993-05-06 | 1993-05-06 | ディスクのクランプ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06314456A true JPH06314456A (ja) | 1994-11-08 |
Family
ID=14407114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5105420A Pending JPH06314456A (ja) | 1993-05-06 | 1993-05-06 | ディスクのクランプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06314456A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010063002A (ko) * | 1999-12-21 | 2001-07-09 | 이형도 | 디스크 플레이어의 척킹 어셈블리 |
| US8099747B2 (en) | 2008-07-15 | 2012-01-17 | Showa Denko K.K. | Disk chucking device for holding a disk |
-
1993
- 1993-05-06 JP JP5105420A patent/JPH06314456A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010063002A (ko) * | 1999-12-21 | 2001-07-09 | 이형도 | 디스크 플레이어의 척킹 어셈블리 |
| US8099747B2 (en) | 2008-07-15 | 2012-01-17 | Showa Denko K.K. | Disk chucking device for holding a disk |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20011023 |