JPH063164A - 回転位置検出装置 - Google Patents

回転位置検出装置

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JPH063164A
JPH063164A JP15939492A JP15939492A JPH063164A JP H063164 A JPH063164 A JP H063164A JP 15939492 A JP15939492 A JP 15939492A JP 15939492 A JP15939492 A JP 15939492A JP H063164 A JPH063164 A JP H063164A
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JP
Japan
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light
signal
polarizing
rotational position
polarizing plates
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JP15939492A
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English (en)
Inventor
Toshio Sano
野 俊 夫 佐
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 分解能の高いアブソリュ−トエンコ−ダを安
価に提供する。 【構成】 2つの偏光板40,50を対向させ、一方を
ロ−タとする。一方の偏光板には、互いに方向をπ/3
ずらした偏光部31,32,33と、透明部70とグレ
イスケ−ル81,82を設け、各々を透過した光を受光
してそのレベルを検出する。偏光部と透明部との受光強
度の比から逆余弦を計算し角度を求める。3つの偏光部
によって得られた3種類の信号のうち、常にレベルが中
間のものを選択して計算に利用し、精度を上げる。2つ
のグレイスケ−ルは互いに90度ずらして配置し、これ
らを通った光によって得られる各々の信号の状態(高,
中間,低)を判別し、角度の範囲を識別する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、回転位置の検出に関す
る。
【0002】
【従来の技術】回転角度を検出する装置、即ちロ−タリ
−エンコ−ダは、次の2種類に大別される。即ち、一方
は微小回転毎に例えばパルス信号を出力するものでイン
クリメンタル型と呼ばれ、他方は絶対角度の信号を出力
するものでアブソリュ−ト型と呼ばれている。
【0003】インクリメンタル型のエンコ−ダは、回転
量検出に関しては分解能の高い装置を安価で提供しうる
が、絶対的な回転位置が分からないので、絶対位置の検
出を必要とする用途では、一般に、回転方向を検出する
ために互いに位相をずらしたエンコ−ダを2組設け、更
に位置検出センサと組合せ、それらが出力する信号を、
カウンタ,メモリ,比較器等を含む装置によって、電子
的に処理して絶対位置を求めている。
【0004】またアブソリュ−ト型のエンコ−ダは、絶
対的な回転位置の信号を出力するので、信号処理が容易
であるという利点があるが、構造が複雑になり高い機械
的精度も要求されるので、分解能を上げることが困難で
ある。
【0005】なお、インクリメンタル型のエンコ−ダの
従来技術として、特開平1−282424号公報が公知
である。この技術では、回析格子の位相を分離するため
に、偏向板を用いている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、分解能が高
くアブソリュ−ト型のエンコ−ダとして使用可能な回転
位置検出装置を安価に提供することを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の回転位置検出装置は、光源(10);該光
源に対向して配置された少なくとも1つの受光素子(2
1,22,23);前記光源と前記受光素子との間に配
置され、それぞれが少なくとも1つの偏光手段(31,
32,33,34)を含み、互いに対向して配置され、
少なくとも一方が回動自在な第1及び第2の偏光板(4
0,50);及び前記受光素子が出力する信号を処理
し、前記第1の偏光板と第2の偏光板との相対的な回転
位置に応じた信号を生成する信号処理手段(60);を
備える。
【0008】また第2番の発明では、前記第1及び第2
の偏光板の一方は、互いに異る偏光状態で配置された3
以上の偏光手段(31,32,33)を含み、それらの
偏光手段の各々を通った光を同時に受光する3以上の受
光素子(21,22,23)を備える。
【0009】また第3番の発明では、前記第1及び第2
の偏光板の少なくとも一方は、偏光手段と異る位置に配
置された透明部分(70)を含み、該透明部分を通った
光を受光する基準光検出手段(75)を備え、前記信号
処理手段を、前記基準光検出手段が出力する信号レベル
に基づいて回転位置に応じた信号を生成するように構成
する。
【0010】また第4番の発明では、前記第1及び第2
の偏光板の一方は、互いにπ/3の位相差をもつ偏光状
態で配置された3つの偏光手段(31,32,33)
と、該偏光手段と異る位置に配置された透明部分(7
0)を含み、それらの偏光手段の各々を通った光を同時
に受光する3個の受光素子(21,22,23)、及び
透明部分を通った光を受光する基準光検出手段(75)
を備え、前記信号処理手段を、前記基準光検出手段が出
力する信号レベルと、3個の受光素子がそれぞれ出力す
る信号とに基づいて回転位置に応じた信号を生成するよ
うに構成する。
【0011】また第5番の発明では、前記第1及び第2
の偏光板の一方は、互いに位相をずらして配置され、そ
の光透過率が連続的に変化する2以上のグレイスケ−ル
手段(81,82)を含み、該グレイスケ−ル手段を通
った各々の光を受光する2以上のグレイ光検出手段(9
1,92)を備え、前記信号処理手段を、前記グレイ光
検出手段が出力する信号に基づいて回転位置に応じた信
号を生成するように構成する。
【0012】なお上記括弧内に示した記号は、後述する
実施例中の対応する要素の符号を参考までに示したもの
であるが、本発明の各構成要素は実施例中の具体的な要
素のみに限定されるものではない。
【0013】
【作用】本発明においては、光源と受光素子との間に配
置される第1及び第2の偏光板は、それぞれが偏光手段
を含んでいるので、第1及び第2の偏光板の両者を透過
して光源から受光素子に達する光の強度は、第1の偏光
板と第2の偏光板との相対的な回転位置に応じて連続的
に変化する。従って、受光素子が出力する信号のレベル
によって、絶対的な回転位置を識別可能である。また、
受光素子が出力する信号のレベルはアナログ量であるの
で、例えば高精度のA/D変換器を用いることによって
分解能を上げることができる。
【0014】光源から受光素子に達する光の強度は、回
転角度に関して余弦関数に応じた変化を示す。このた
め、0,π,2π[rad]の各角度の近傍において
は、角度変化に対する受光強度変化が小さくなり、位置
検出の分解能が低下する。しかし第2番の発明では、前
記第1及び第2の偏光板の一方に、互いに異る偏光状態
で配置された3以上の偏光手段を設け、それらの偏光手
段の各々を通った光を同時に受光する3以上の受光素子
を設けるので、互いに強度変化パタ−ンの位相が異なる
3以上の信号が同時に得られる。つまり、複数の信号の
うち、その時に角度変化に対する受光強度変化が大きい
信号を選択して使用することによって、位置検出の分解
能を常時高く維持しうる。
【0015】光源から受光素子に達する光の強度は、光
源の発光強度が変化すればそれに伴なって変化するの
で、受光素子に達した光の強度だけに基づいて回転位置
を求めると、検出誤差が生じる場合がある。しかし第3
番の発明においては、第1及び第2の偏光板の少なくと
も一方が、偏光手段と異る位置に配置された透明部分を
含み、該透明部分を通った光を受光する基準光検出手段
を備えるので、基準光検出手段が出力する信号レベルに
基づいて、光源の発光強度の変動に応じた受光強度変化
を補償し、回転位置を正確に求めることができる。
【0016】光源から受光素子に達する光の強度は、回
転角度に関して余弦関数に応じた変化を示す。従って単
一の信号だけでは、複数の回転位置に対して同一のレベ
ルが現われることになり、広い回転範囲の絶対位置を識
別することはできない。しかし第4番の発明において
は、第1及び第2の偏光板の一方が、互いにπ/3の位
相差をもつ偏光状態で配置された3つの偏光手段を含
み、それらの偏光手段の各々を通った光を同時に受光す
る3個の受光素子を備えるので、3個の受光素子が出力
する3種類の信号レベルの組合せは、複数の回転位置に
対して同一にならず、それらに基づいて、広い回転範囲
の絶対位置を識別することができる。しかも、第1及び
第2の偏光板の少なくとも一方が、偏光手段と異る位置
に配置された透明部分を含み、該透明部分を通った光を
受光する基準光検出手段を備えるので、基準光検出手段
が出力する信号レベルに基づいて、光源の発光強度の変
動に応じた受光強度変化を補償し、回転位置を正確に求
めることができる。
【0017】光源から受光素子に達する光の強度は、回
転角度に関して余弦関数に応じた変化を示すが、実際に
受光素子から出力される信号のレベルは、0〜πの範囲
とπ〜2πの範囲とで同一になる。このため、受光素子
が出力する信号レベルを用いるだけでは、0〜πの範囲
の回転位置は検出できるが、0〜2πの範囲の回転位置
は識別できない。しかし第5番の発明においては、第1
及び第2の偏光板の一方が、互いに位相をずらして配置
され、その光透過率が連続的に変化する2以上のグレイ
スケ−ル手段を含み、該グレイスケ−ル手段を通った各
々の光を受光する2以上のグレイ光検出手段を備えるの
で、グレイ光検出手段が出力する信号に基づいて、回転
位置の0〜πの範囲とπ〜2πの範囲とを識別でき、こ
れを利用することによって、0〜2πの全ての範囲の回
転位置を識別しうる。
【0018】
【実施例】本発明の一実施例である、アブソリュ−ト型
ロ−タリ−エンコ−ダの物理的な構成を図1に示す。検
出対象である電気モ−タMの駆動軸3は、軸受け4を介
して回動自在にフレ−ム1に支持されている。駆動軸3
の先端には、円板状の偏光板40が固定されており、該
偏光板40は駆動軸3と共に回動する。偏光板40の近
傍には、フレ−ム1に固定されたもう1つの偏光板50
が配置されており、偏光板50に隣接する位置に、フレ
−ム1に固定された拡散板2が配置されている。またこ
の拡散板2に隣接する位置に、ランプ10が設置されて
いる。
【0019】拡散板2は、それを透過する光を拡散す
る。従って、ランプ10から出る光は、拡散板2を通っ
て、強度の均一な光となって偏光板50に入射する。偏
光板50は、透明なガラス上に所定の偏光特性を有する
偏光材料34を貼り付けて構成してある。従って、偏光
板50に入射した光は、それを透過し偏光を受けて次の
偏光板40に入射する。
【0020】偏光板40は、図2に示すようにリング状
に形成された様々な部分で構成されている。即ち、偏光
板40の最外周側から内側に向かって順番に、各々リン
グ形状の偏光部31,32,33,透明部70,グレイ
スケ−ル81及び82が同心円状に配置されている。3
つの偏光部31,32及び33は、互いに偏光方向がπ
/3[ラジアン]ずれている(図3参照)。透明部70
は、光透過率の高い透明な部分であり、偏光は生じな
い。グレイスケ−ル81及び82は、その光透過率(明
暗)が同周方向の位置の違いによって滑らかに変化する
光学パタ−ンであり、この例では2つのグレイスケ−ル
81,82の間に90度の位相差をもたせるように回転
方向の位置を互いに90度ずらして配置してある。
【0021】偏光板40上の偏光部31,32,33,
透明部70,グレイスケ−ル81及び82と対向する位
置には、それらの部分を透過した光を検出するために、
それぞれ、フレ−ム1に固定された受光素子(フォトダ
イオ−ド)21,22,23,75,91及び92が配
置されている。つまり、ランプ10から出た光は、拡散
板2を透過し、偏光板50を透過し、偏光板40上の偏
光部31,32,33,透明部70,グレイスケ−ル8
1又は82を透過して、それぞれ受光素子21,22,
23,75,91又は92で受光される。
【0022】図3を参照すると分かるように、偏光部3
1を通って受光素子21に入射する光の強度Va,偏光
部32を通って受光素子22に入射する光の強度Vb,
及び偏光部33を通って受光素子23に入射する光の強
度Vcは、偏光の影響を受けるので、次のように計算さ
れる。
【0023】 Va=(V/α)・Cos θ ・・・(1) Vb=(V/β)・Cos(θ−π/3) ・・・(2) Vc=(V/γ)・Cos(θ−2π/3) ・・・(3) 但し、α,β及びγは、各々受光系の特性に応じた係数
である。
【0024】また偏光板40に入射する光の強度Vは、
ランプ10の光量に応じて変化するので、ランプ10の
光量が変動する場合には、それによって回転角度とは別
に、受光量Va,Vb及びVcが変化する。この変化を
補償するために、受光素子75が設けられている。即
ち、ランプ10から出た光は、拡散板2を通り、偏光板
50を通り、偏光板40の透明部70を透過して受光素
子75に入射するので、受光素子75の入射光量は、回
転位置とは無関係であり、ランプ10から出た光の強度
に応じて変化する。即ち受光素子75に入射する光の強
度Vrは、次のようになる。
【0025】 Vr=V/ε ・・・(4) 但し、εは1より大きく、かつ1とほぼ等しい。
【0026】従って、例えば前記第(1)式と第(4)式から
次式が得られる。
【0027】 Va/(ε・Vr/α)= Cos θ ・・・(5) θ= arcCos((Va/Vr)(α/ε)) ・・・(6) つまり、VaとVrから、回転角度θを求めることがで
きる。この実施例で、互いに偏光方向の異なる3系統の
受光量Va,Vb及びVcを検出しているのには、2つ
の理由がある。即ち、第(6)式のように、余弦関数から
角度θを求めるので、1つの関数だけでは、パラメ−タ
((Va/Vr)(α/ε))が1に近い領域では、角度θの
変化に対してパラメ−タの変化が小さくなり、検出誤差
が生じ易い。また、1種類の検出値に対して、複数種類
の角度が計算により得られるが、いずれの結果が真であ
るか判定できない。
【0028】上記各受光素子が出力する信号を処理する
信号処理ユニットの構成を図4に示す。図4を参照する
と、受光素子21,22,23,75,91及び92が
出力する電気信号は、それぞれ増幅器A1,A2,A
3,A4,A5及びA6に印加されて増幅され、それぞ
れ信号Sa,Sb,Sc,Sr,Sp及びSqになる。
この例では、増幅器A1,A2,A3及びA4の増幅率
は、それぞれk・α/ε,k・β/ε,k・γ/ε及び
kになっており(k:定数)、増幅器A5及びA6は所
定の増幅率に設定してある。従って、信号Sa,Sb,
Sc及びSrの各レベルについては、受光系の違いによ
る差はなく、それらを対等の条件で扱うことができる。
つまり、例えば前記第(6)式は次のように変形しうる。
【0029】 θ= arcCos(Sa/Sr) ・・・(7) 信号Sa,Sb,Sc,Sp及びSqの各波形が図5に
示されているので参照されたい。信号Sa,Sb及びS
cは比較回路61及びA/D変換器63に入力され、信
号SrはA/D変換器63及び比較回路62に印加さ
れ、信号Sp及びSqは比較回路62に印加される。
【0030】比較回路61の構成を図6に示し、比較回
路62の構成を図7に示す。まず、図6を参照して比較
回路61を説明する。この回路は、3つの信号Sa,S
b,Scの互いのレベルの大小関係を3つの比較器を使
用して識別し、その比較結果に基づいて、4つの信号A
cnv,Bcnv,Ccnv及びGrを生成する。この実施例に
おいては、角度θの計算に使用する信号として、3つの
信号Sa,Sb及びScの中で、その時のレベルが中間
のものを常時選択するようにしている。比較回路61が
出力する信号Acnv,Bcnv及びCcnvは、それが高レベ
ルHである時に、それぞれ、信号Sa,Sb及びScが
選択すべきもの(中間レベルのもの)であることを示
す。
【0031】信号Acnv,Bcnv及びCcnvによって選択
された信号、即ち信号Sa,Sb及びScを合成した中
間レベル信号Sabcの波形が、図5に示されているので
参照されたい。また、信号Grは、信号Sabcのレベル
が単調増加している時には高レベルH、単調減少してい
る時には低レベルLになる。CLKは、ラッチのタイミ
ングを決定するクロックパルスである。比較回路61が
出力する信号Acnv,Bcnv,Ccnv及びGrは、A/D
変換器63及び制御回路64に印加される。即ち、A/
D変換器63は通常は、3つの信号Sa,Sb及びSc
の中で、その時のレベルが中間のもの、つまり信号Sab
cのレベルをサンプリングしてデジタル量に変換する。
信号Srのレベルは、必要に応じて時々サンプリングさ
れ、デジタル量に変換される。
【0032】次に、図7を参照して比較回路62を説明
する。この回路は、信号Spを2つのしきい値レベルP
H及びPLと比較して、その結果を示す信号P1,P2
及びP3を出力し、また信号Sqを2つのしきい値レベ
ルQH及びQLと比較して、その結果を示す信号Q1,
Q2及びQ3を出力する。つまり、信号P1,P2及び
P3が高レベルHである時には、それぞれ、Spのレベ
ルがPHより高い,PHとPLの間にある,及びPLよ
り低い状態を示し、信号Q1,Q2及びQ3が高レベル
である時には、それぞれ、SqのレベルがQHより高
い,QHとQLの間にある,及びQLより低い状態を示
す。
【0033】この実施例では、信号Srのレベルをそれ
ぞれ可変抵抗器により分圧し、各しきい値レベルPH,
PL,QH及びQLを作成している。このため、ランプ
10に光量変化が生じて信号Sp及びSqのレベルが変
化すると、それに伴って自動的にしきい値レベルPH,
PL,QH及びQLが補正される。即ち、ランプ10の
光量変化は、信号P1〜P3及びQ1〜Q3の位相に影
響を及ぼさない。比較回路62が出力する信号P1〜P
3及びQ1〜Q3は、制御回路64に入力される。
【0034】偏光によって変化する3つの信号Sa,S
b及びScの各々が選択状態(アクティブ)か否かを、
それぞれCa,Cb及びCcとして、またグレイスケ−
ルの信号Sp及びSqが3種類の状態のいずれであるか
を、それぞれCp及びCqとして図5に示すので、それ
らを参照されたい。
【0035】図4に示す制御回路64は、この例ではマ
イクロコンピュ−タで構成されており、上記比較回路6
1,62及びA/D変換器63から出力される情報を入
力し、それらを処理してその時の回転角度θを求め、角
度θの情報を必要に応じてインタ−フェ−ス65を介し
て外部に出力する。制御回路64は、次のようにして回
転角度θを求める。
【0036】まず、θsを次式により求める。
【0037】 θs= arcCos(Sabc/Sr) ・・・(8) 次に、θcを次の条件により決定する。即ち、比較回路
61が出力する信号Acnvが高レベルH(アクティブ)
ならθc=0とし、信号Bcnvが高レベルHならθc=
π/3とし、信号Ccnvが高レベルHならθc=2π/
3とする。
【0038】そして次に、θnを求める。比較回路61
が出力する信号Grを参照し、 Grが高レベルHならθn=θc+θsとし、 ・・・(9) Grが低レベルLならθn=θc−θsとする。 ・・・(10) ここまでの処理では、0〜πの範囲とπ〜2πの範囲と
を識別できず、半回転の範囲でしか絶対角度θを検出で
きない。そこで、検出可能範囲を広くするために、更
に、グレイスケ−ルの信号P1〜P3及びQ1〜Q3を
も参照して処理を続ける。
【0039】即ち、比較回路61が出力する信号Acnv
が高レベルH(Caがアクティブ)の時に、比較回路6
2が出力する信号Q3が高レベルH(CqがLow状
態)なら、次の条件を適用する。
【0040】 GrがHの時:θ=θn ・・・(11) GrがLの時:θ=π+θn ・・・(12) また、比較回路61が出力する信号Acnvが高レベルH
(Caがアクティブ)の時に、比較回路62が出力する
信号Q1が高レベルH(CqがHigh状態)なら、次
の条件を適用する。
【0041】 GrがHの時:θ=θn+π ・・・(13) GrがLの時:θ=2π+θn ・・・(14) また、比較回路61が出力する信号Bcnvが高レベルH
(Cbがアクティブ)の時に、比較回路62が出力する
信号Q2が高レベルH(Cqが中間レベル状態)であっ
て、しかもP3が低レベルL(CpがLowでない)な
ら、次の条件を適用する。
【0042】 θ=θn ・・・(15) また、比較回路61が出力する信号Bcnvが高レベルH
(Cbがアクティブ)の時に、比較回路62が出力する
信号Q2が低レベルL(Cqが中間レベルでない)か、
又はP3が高レベルH(CpがLow)なら、次の条件
を適用する。
【0043】 θ=π+θn ・・・(16) また、比較回路61が出力する信号Ccnvが高レベルH
(Ccがアクティブ)の時に、比較回路62が出力する
信号Q1が低レベルL(CqがHighでない)であっ
て、しかもP1が高レベルH(CpがHigh)で、か
つQ2が低レベルL(Cqが中間レベルでない)なら、
次の条件を適用する。
【0044】 θ=θn ・・・(17) また、比較回路61が出力する信号Ccnvが高レベルH
(Ccがアクティブ)の時に、比較回路62が出力する
信号Q1が高レベルH(CqがHigh)か、又はP1
が低レベルL(CpがHighでない)か、又はQ2が
高レベルH(Cqが中間レベル)なら、次の条件を適用
する。
【0045】 θ=π+θn ・・・(18) 上述の判定条件は、図5に示すような信号が得られる場
合に適用しうるが、各グレイスケ−ル等の位置が変われ
ば変更する必要がある。
【0046】なお上記実施例では、制御回路64にマイ
クロコンピュ−タを用いたが、それに必要とされる処理
は比較的単純な判定処理と演算処理だけであるので、こ
れを一般の論理回路に置き代えることは容易である。ま
た上記実施例では、複数の受光系の特性の違いを増幅器
A1〜A4の増幅度の調整によって補償しているが、こ
の補償は例えば制御回路64のマイクロコンピュ−タ内
部の演算処理によって行なってもよい。
【0047】また上記実施例では、0〜2πの全ての位
置の絶対角度が検出できるエンコ−ダを示したが、用途
によっては0〜πの範囲だけしか検出を必要としない場
合もある。そのような時には、グレイスケ−ル81,8
2ならびにそれに付随する各種の構成要素は省略しても
よい。また更に狭い角度範囲の検出しか必要としない用
途においては、偏光板40には最小限1つの偏光部を設
け、それ以外の偏光部及びそれらに関連する構成要素を
省略してもよい。
【0048】
【発明の効果】以上のとおり本発明によれば、光源と受
光素子との間に配置される第1及び第2の偏光板は、そ
れぞれが偏光手段を含んでいるので、第1及び第2の偏
光板の両者を透過して光源から受光素子に達する光の強
度は、第1の偏光板と第2の偏光板との相対的な回転位
置に応じて連続的に変化する。このため、受光素子が出
力する信号のレベルによって、絶対的な回転位置を識別
可能である。また、受光素子が出力する信号のレベルは
アナログ量であるので、例えば高精度のA/D変換器を
用いることによって分解能を上げることができる。
【0049】また第2番の発明では、常時、角度変化に
対する受光強度変化が大きい信号を選択して使用するこ
とによって、位置検出の分解能を常時高く維持しうる。
【0050】また第3番の発明においては、光源の発光
強度の変動に応じた受光強度変化を補償し、回転位置を
正確に求めることができる。
【0051】また第4番の発明においては、3個の受光
素子が出力する3種類の信号レベルの組合せは、複数の
回転位置に対して同一にならず、それらに基づいて、広
い回転範囲の絶対位置を識別することができる。しか
も、光源の発光強度の変動に応じた受光強度変化を補償
し、回転位置を正確に求めることができる。
【0052】また第5番の発明によれば、グレイ光検出
手段が出力する信号に基づいて、回転位置の0〜πの範
囲とπ〜2πの範囲とを識別でき、これを利用すること
によって、0〜2πの全ての範囲の回転位置を識別しう
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施例のロ−タリ−エンコ−ダの機構部分を
示す正面図である。
【図2】 図1の装置に備わった偏光板40を示す平面
図である。
【図3】 偏光板40に入射する光とそれを透過した3
種類の光を示すベクトル図である。
【図4】 図1の装置の電気回路を示すブロック図であ
る。
【図5】 図4の回路各部の信号波形及び信号状態を示
す波形図である。
【図6】 図4の比較回路61の構成を示すブロック図
である。
【図7】 図4の比較回路62の構成を示すブロック図
である。
【符号の説明】
1:フレ−ム 2:拡散板 3:駆動軸 4:軸受け 10:ランプ 21,22,23,75,91,92:受光素子 31,32,33:偏光部 40:偏光板 50:偏光板 60:信号処理ユニ
ット 61,62:比較回路 63:A/D変換器 64:制御回路 65:インタ−フェ
−ス 70:透明部 81,82:グレイ
スケ−ル A1〜A6:増幅器 PH,PL,QH,QL:しきい値レベル

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源;該光源に対向して配置された少な
    くとも1つの受光素子;前記光源と前記受光素子との間
    に配置され、それぞれが少なくとも1つの偏光手段を含
    み、互いに対向して配置され、少なくとも一方が回動自
    在な第1及び第2の偏光板;及び前記受光素子が出力す
    る信号を処理し、前記第1の偏光板と第2の偏光板との
    相対的な回転位置に応じた信号を生成する信号処理手
    段;を備える回転位置検出装置。
  2. 【請求項2】 前記第1及び第2の偏光板の一方は、互
    いに異る偏光状態で配置された3以上の偏光手段を含
    み、それらの偏光手段の各々を通った光を同時に受光す
    る3以上の受光素子を備える、前記請求項1記載の回転
    位置検出装置。
  3. 【請求項3】 前記第1及び第2の偏光板の少なくとも
    一方は、偏光手段と異る位置に配置された透明部分を含
    み、該透明部分を通った光を受光する基準光検出手段を
    備え、前記信号処理手段は、前記基準光検出手段が出力
    する信号レベルに基づいて回転位置に応じた信号を生成
    する、前記請求項1記載の回転位置検出装置。
  4. 【請求項4】 前記第1及び第2の偏光板の一方は、互
    いにπ/3の位相差をもつ偏光状態で配置された3つの
    偏光手段と、該偏光手段と異る位置に配置された透明部
    分を含み、それらの偏光手段の各々を通った光を同時に
    受光する3個の受光素子、及び透明部分を通った光を受
    光する基準光検出手段を備え、前記信号処理手段は、前
    記基準光検出手段が出力する信号レベルと、3個の受光
    素子がそれぞれ出力する信号とに基づいて回転位置に応
    じた信号を生成する、前記請求項1記載の回転位置検出
    装置。
  5. 【請求項5】 前記第1及び第2の偏光板の一方は、互
    いに位相をずらして配置され、その光透過率が連続的に
    変化する2以上のグレイスケ−ル手段を含み、該グレイ
    スケ−ル手段を通った各々の光を受光する2以上のグレ
    イ光検出手段を備え、前記信号処理手段は、前記グレイ
    光検出手段が出力する信号に基づいて回転位置に応じた
    信号を生成する、前記請求項1記載の回転位置検出装
    置。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4947158A (en) * 1987-03-13 1990-08-07 Ricoh Company, Ltd. Method and apparatus for filling in an inner region of a pattern
US7381598B2 (en) 1993-08-12 2008-06-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Insulated gate semiconductor device and process for fabricating the same
JP2013231661A (ja) * 2012-04-27 2013-11-14 Nsk Ltd 光学式エンコーダ
JP2016507050A (ja) * 2013-01-15 2016-03-07 レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company 周期的偏光ナノ構造によって表されるデータを読み取る方法
US9945697B2 (en) 2013-01-15 2018-04-17 Renishaw Plc Measurement scale with periodic nanostructure
KR20180075682A (ko) 2015-11-17 2018-07-04 얀마 가부시키가이샤 연료 분사 펌프
JP2018115895A (ja) * 2017-01-17 2018-07-26 株式会社ニコン エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4947158A (en) * 1987-03-13 1990-08-07 Ricoh Company, Ltd. Method and apparatus for filling in an inner region of a pattern
US7381598B2 (en) 1993-08-12 2008-06-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Insulated gate semiconductor device and process for fabricating the same
JP2013231661A (ja) * 2012-04-27 2013-11-14 Nsk Ltd 光学式エンコーダ
JP2016507050A (ja) * 2013-01-15 2016-03-07 レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company 周期的偏光ナノ構造によって表されるデータを読み取る方法
US9945697B2 (en) 2013-01-15 2018-04-17 Renishaw Plc Measurement scale with periodic nanostructure
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