JPH063171A - 流体振動検出装置 - Google Patents
流体振動検出装置Info
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- JPH063171A JPH063171A JP15708992A JP15708992A JPH063171A JP H063171 A JPH063171 A JP H063171A JP 15708992 A JP15708992 A JP 15708992A JP 15708992 A JP15708992 A JP 15708992A JP H063171 A JPH063171 A JP H063171A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】圧電膜支持の緩み、圧電膜の潰れ，弛みを防止
して温度特性に優れる差圧検出端を備える流体振動検出
装置を提供する。 【構成】第一のハウジング１と、第二のハウジング２
と、接合部４と、圧電膜３と、第一の圧力室７と、第二
の圧力室８とからなり、第一のハウジング１は第一の圧
力室７を形成する凹部とこの凹部に外部と繋がる連通孔
５とがあり、第二のハウジング２は第二の圧力室８を形
成する凹部とこの凹部に外部と繋がる連通孔６があり、
接合部４は第一と第二のハウジングを前記第一と第二の
凹部が相対向するように且つ前記両凹部を除いて相互に
接着するとともに前記相対向する凹部により形成された
空間部において圧電膜３を支持し、圧電膜３は第一およ
び第二のハウジングとその熱膨張率が整合するとともに
その周縁部が前記接合部に支持固定される。
して温度特性に優れる差圧検出端を備える流体振動検出
装置を提供する。 【構成】第一のハウジング１と、第二のハウジング２
と、接合部４と、圧電膜３と、第一の圧力室７と、第二
の圧力室８とからなり、第一のハウジング１は第一の圧
力室７を形成する凹部とこの凹部に外部と繋がる連通孔
５とがあり、第二のハウジング２は第二の圧力室８を形
成する凹部とこの凹部に外部と繋がる連通孔６があり、
接合部４は第一と第二のハウジングを前記第一と第二の
凹部が相対向するように且つ前記両凹部を除いて相互に
接着するとともに前記相対向する凹部により形成された
空間部において圧電膜３を支持し、圧電膜３は第一およ
び第二のハウジングとその熱膨張率が整合するとともに
その周縁部が前記接合部に支持固定される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は流体中に圧力振動を発
生させその周波数により流体の速度や流量を計測するフ
ルイディク流量計等の流体振動検出装置の差圧検出端に
関する。
生させその周波数により流体の速度や流量を計測するフ
ルイディク流量計等の流体振動検出装置の差圧検出端に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の流体振動検出装置としては特開昭
６２−３０９１７号公報に開示されたフルイディク流量
計が知られている。図４は従来のフルイディク流量計を
示す原理図である。フルイディク流量計はコアンダ効果
によって流体内に圧力振動を発生する。流路４１、４２
を流れる流体はノズル４４より噴出する。ノズル４４よ
り噴出した主噴流はターゲット４５により流れの方向を
曲げられ、側壁４６に沿って流れ次いでフィードバック
流路４７により還流し主噴流と衝突する。衝突によって
流体はその流れ方向を曲げられ側壁４６Ａに沿って流れ
るようになる。側壁４６Ａを流れる流体は次にフィード
バック流路４７Ａを還流し再度、主噴流と衝突する。こ
のようにして主噴流の流路が二値的に切り換えられフィ
ードバック流路内には変動周期が等しく且つ逆位相の関
係にある二つの振動圧力Ｐ1,Ｐ2 が発生する。このよう
なフルイディック素子の二つの振動圧力を圧力室４９、
４９Ａを有する差圧検出端５０に導いてその内部の圧電
膜により差圧を電圧に変換して増幅装置５１で増幅し、
流量算定装置５２で所要の流体物性を算出する。
６２−３０９１７号公報に開示されたフルイディク流量
計が知られている。図４は従来のフルイディク流量計を
示す原理図である。フルイディク流量計はコアンダ効果
によって流体内に圧力振動を発生する。流路４１、４２
を流れる流体はノズル４４より噴出する。ノズル４４よ
り噴出した主噴流はターゲット４５により流れの方向を
曲げられ、側壁４６に沿って流れ次いでフィードバック
流路４７により還流し主噴流と衝突する。衝突によって
流体はその流れ方向を曲げられ側壁４６Ａに沿って流れ
るようになる。側壁４６Ａを流れる流体は次にフィード
バック流路４７Ａを還流し再度、主噴流と衝突する。こ
のようにして主噴流の流路が二値的に切り換えられフィ
ードバック流路内には変動周期が等しく且つ逆位相の関
係にある二つの振動圧力Ｐ1,Ｐ2 が発生する。このよう
なフルイディック素子の二つの振動圧力を圧力室４９、
４９Ａを有する差圧検出端５０に導いてその内部の圧電
膜により差圧を電圧に変換して増幅装置５１で増幅し、
流量算定装置５２で所要の流体物性を算出する。
【０００３】図５は従来の流体検出装置３０を示す断面
図である。従来の差圧検出端３０は圧電膜２１の周辺部
の表裏対抗する部分を同一寸法の鉄製リングワッシャ２
２，２３、鉄製スプリングワッシャ２４，２５、鉄製ス
ペーサリング２６，２７、表面アルマイト処理したアル
ミニウム製絶縁体ケース２８，２９により順次挟持して
構成される。差圧検出端３０は第一の連通孔３１に繋が
る第一の圧力室３３、第二の連通孔３２に繋がる第二の
圧力室３４に区画される。
図である。従来の差圧検出端３０は圧電膜２１の周辺部
の表裏対抗する部分を同一寸法の鉄製リングワッシャ２
２，２３、鉄製スプリングワッシャ２４，２５、鉄製ス
ペーサリング２６，２７、表面アルマイト処理したアル
ミニウム製絶縁体ケース２８，２９により順次挟持して
構成される。差圧検出端３０は第一の連通孔３１に繋が
る第一の圧力室３３、第二の連通孔３２に繋がる第二の
圧力室３４に区画される。
【０００４】鉄製スペーサリング２６，２７には図示し
ないがリード線がろう付けされ圧電膜２１の両面に形成
された電極（図示せず）と組み立てられた状態で導通状
態となる。圧電膜の信号は差圧検出端外部の増幅装置に
導かれる。流体振動検出装置はフルイディク流量計のコ
アンダ効果により側壁を流れる流体の一部をフィードバ
ック回路により噴出流の基部に帰還させることによりこ
の噴出流の流路が二値的に切り換えられて生じる変動周
期が等しく且つ互いに逆位相の関係にある二つの振動圧
力Ｐ1,Ｐ2 を圧電膜の表裏に導き、この圧電膜が前記圧
力によって厚さ方向に変位することにより差圧に応じた
電圧Ｅを圧電膜に発生させる。
ないがリード線がろう付けされ圧電膜２１の両面に形成
された電極（図示せず）と組み立てられた状態で導通状
態となる。圧電膜の信号は差圧検出端外部の増幅装置に
導かれる。流体振動検出装置はフルイディク流量計のコ
アンダ効果により側壁を流れる流体の一部をフィードバ
ック回路により噴出流の基部に帰還させることによりこ
の噴出流の流路が二値的に切り換えられて生じる変動周
期が等しく且つ互いに逆位相の関係にある二つの振動圧
力Ｐ1,Ｐ2 を圧電膜の表裏に導き、この圧電膜が前記圧
力によって厚さ方向に変位することにより差圧に応じた
電圧Ｅを圧電膜に発生させる。
【０００５】発生した電圧の周波数は流体の流速Ｖや流
量Ｑと所定の範囲内で比例関係にあり、差圧検出端の周
波数を検出することで流速や流量を測定することができ
る。
量Ｑと所定の範囲内で比例関係にあり、差圧検出端の周
波数を検出することで流速や流量を測定することができ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述のよ
うな従来の差圧検出端にあっては環境の温度変化による
使用部材の熱膨張、熱収縮により次に述べるような問題
を発生する。即ち常温より高温度の領域においてはアル
マイト処理をしたアルミニウムからなる絶縁体ケース２
８，２９と鉄製リングワッシャ２２，２３、鉄製スプリ
ングワッシャ２４，２５、鉄製スペーサリング２６，２
７の熱膨張率の差により上記各部材の接合部に緩みが発
生する。アルミニウムの方が鉄よりも熱膨張が大きいか
らである。この緩みを防止するために鉄製スプリングワ
ッシャが用いられており、スプリング圧を高くすること
により熱膨張率の差を吸収することができるがこの場合
は圧電膜がつぶれることとなるのでスプリング圧力は大
きくすることができず、従って上記のような熱膨張率の
差を吸収することができない。
うな従来の差圧検出端にあっては環境の温度変化による
使用部材の熱膨張、熱収縮により次に述べるような問題
を発生する。即ち常温より高温度の領域においてはアル
マイト処理をしたアルミニウムからなる絶縁体ケース２
８，２９と鉄製リングワッシャ２２，２３、鉄製スプリ
ングワッシャ２４，２５、鉄製スペーサリング２６，２
７の熱膨張率の差により上記各部材の接合部に緩みが発
生する。アルミニウムの方が鉄よりも熱膨張が大きいか
らである。この緩みを防止するために鉄製スプリングワ
ッシャが用いられており、スプリング圧を高くすること
により熱膨張率の差を吸収することができるがこの場合
は圧電膜がつぶれることとなるのでスプリング圧力は大
きくすることができず、従って上記のような熱膨張率の
差を吸収することができない。
【０００７】上述のような緩みが発生すると第一の圧力
室と第二の圧力室に導入された流体に漏れが発生して流
体圧力Ｐ1,Ｐ2 に変化を生じ、出力レベルが変動して正
確な差圧を検出することが不可能となる。また室温より
低い温度領域に変化する場合は鉄の収縮よりもアルミニ
ウムの収縮のほうが大きくなるため圧電膜２１に対する
圧縮力が増加して圧電膜が潰れる等の損傷が生ずる。圧
電膜が潰れると圧電膜が本来持っている振動変位におけ
る圧電機能が不能になり、流体振動検出装置として動作
しなくなる。
室と第二の圧力室に導入された流体に漏れが発生して流
体圧力Ｐ1,Ｐ2 に変化を生じ、出力レベルが変動して正
確な差圧を検出することが不可能となる。また室温より
低い温度領域に変化する場合は鉄の収縮よりもアルミニ
ウムの収縮のほうが大きくなるため圧電膜２１に対する
圧縮力が増加して圧電膜が潰れる等の損傷が生ずる。圧
電膜が潰れると圧電膜が本来持っている振動変位におけ
る圧電機能が不能になり、流体振動検出装置として動作
しなくなる。
【０００８】環境の温度変化による使用部材の熱膨張、
熱収縮により発生する他の問題は圧電膜の弛みである。
この弛みは圧電膜の熱膨張が鉄製リングワッシャ２２，
２３の熱膨張より大きいため起こる。圧電膜２１に弛み
が発生すると圧電特性が変化する。図６は従来の流体振
動検出装置の出力につきその温度特性を示す線図であ
る。Ｙ軸は出力レベル比、Ｘ軸は環境温度を示す。流体
振動検出装置の室温２０℃における出力レベルを１．０
とした場合、室温より低い温度領域、室温より高い温度
領域のいずれにおいても出力レベルが低下する。特に高
温度領域における出力レベルの低下が大きい。
熱収縮により発生する他の問題は圧電膜の弛みである。
この弛みは圧電膜の熱膨張が鉄製リングワッシャ２２，
２３の熱膨張より大きいため起こる。圧電膜２１に弛み
が発生すると圧電特性が変化する。図６は従来の流体振
動検出装置の出力につきその温度特性を示す線図であ
る。Ｙ軸は出力レベル比、Ｘ軸は環境温度を示す。流体
振動検出装置の室温２０℃における出力レベルを１．０
とした場合、室温より低い温度領域、室温より高い温度
領域のいずれにおいても出力レベルが低下する。特に高
温度領域における出力レベルの低下が大きい。
【０００９】この発明は上述の点に鑑みてなされその目
的は、圧電膜支持の緩み、圧電膜の潰れ，弛みを防止し
て温度特性に優れる差圧検出端を備える流体振動検出装
置を提供することにある。
的は、圧電膜支持の緩み、圧電膜の潰れ，弛みを防止し
て温度特性に優れる差圧検出端を備える流体振動検出装
置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上述の目的はこの発明に
よれば、第一のハウジングと、第二のハウジングと、接
合部と、圧電膜と、第一の圧力室と、第二の圧力室とを
有し、第一のハウジングは第一の圧力室を形成する凹部
とこの凹部に外部と繋がる連通孔を備え、第二のハウジ
ングは第二の圧力室を形成する凹部とこの凹部に外部と
繋がる連通孔を備え、接合部は第一と第二のハウジング
を前記第一と第二の凹部が相対向する関係位置において
且つ前記両凹部を除いて相互に接着するとともに、前記
相対向する凹部により形成された空間部において圧電膜
を支持し、圧電膜は第一および第二のハウジングとその
熱膨張率が整合するとともにその周縁部において前記接
合部に支持固定されるものであり、第一の圧力室は第一
のハウジングと圧電膜と接合部により囲まれた領域であ
り、第二の圧力室は第二のハウジングと圧電膜と接合部
により囲まれた領域であるとすることにより達成され
る。
よれば、第一のハウジングと、第二のハウジングと、接
合部と、圧電膜と、第一の圧力室と、第二の圧力室とを
有し、第一のハウジングは第一の圧力室を形成する凹部
とこの凹部に外部と繋がる連通孔を備え、第二のハウジ
ングは第二の圧力室を形成する凹部とこの凹部に外部と
繋がる連通孔を備え、接合部は第一と第二のハウジング
を前記第一と第二の凹部が相対向する関係位置において
且つ前記両凹部を除いて相互に接着するとともに、前記
相対向する凹部により形成された空間部において圧電膜
を支持し、圧電膜は第一および第二のハウジングとその
熱膨張率が整合するとともにその周縁部において前記接
合部に支持固定されるものであり、第一の圧力室は第一
のハウジングと圧電膜と接合部により囲まれた領域であ
り、第二の圧力室は第二のハウジングと圧電膜と接合部
により囲まれた領域であるとすることにより達成され
る。
【００１１】圧電膜としてはポリフッ化ビニリデンの
他、フッ化ビニリデン・テトラフロロエチレン共重合体
やビニリデンシアナイド・ビニルアセテート共重合体等
が用いられる。接着剤としてはエポキシ系、アクリル系
のものが用いられる。
他、フッ化ビニリデン・テトラフロロエチレン共重合体
やビニリデンシアナイド・ビニルアセテート共重合体等
が用いられる。接着剤としてはエポキシ系、アクリル系
のものが用いられる。
【００１２】
【作用】第一のハウジング、圧電膜を含む接合部、第二
のハウジングの積層方向においては各部材の熱膨張、熱
収縮は自由であり圧電膜の支持の緩みや圧電膜の潰れは
発生しない。接着剤の硬化を使用温度範囲の高温度領域
で行うと支持の緩み防止は一層確実となる。また圧電膜
の主面と並行な面内おける熱膨張、熱収縮は第一、第二
のハウジングと圧電膜が熱膨張率を整合させているので
圧電膜に緩みは発生しない。圧電膜を熱エージングする
こと、張力を懸けながら支持することで弛みは一層起こ
り難くなる。
のハウジングの積層方向においては各部材の熱膨張、熱
収縮は自由であり圧電膜の支持の緩みや圧電膜の潰れは
発生しない。接着剤の硬化を使用温度範囲の高温度領域
で行うと支持の緩み防止は一層確実となる。また圧電膜
の主面と並行な面内おける熱膨張、熱収縮は第一、第二
のハウジングと圧電膜が熱膨張率を整合させているので
圧電膜に緩みは発生しない。圧電膜を熱エージングする
こと、張力を懸けながら支持することで弛みは一層起こ
り難くなる。
【００１３】
【実施例】次にこの発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１はこの発明の実施例に係る流体振動検出装置
を示す平面図である。図２はこの発明の実施例に係る流
体振動検出装置を示す図１のＡ−Ａ矢視断面図である。
流体振動検出装置は第一の圧力室が圧電膜を介して第二
の圧力室と区画された構造である。第一の圧力室には連
通孔５を介して流体の圧力Ｐ1 が加えられる。第二の圧
力室には連通孔６を介して圧力Ｐ2 が加えられる。
する。図１はこの発明の実施例に係る流体振動検出装置
を示す平面図である。図２はこの発明の実施例に係る流
体振動検出装置を示す図１のＡ−Ａ矢視断面図である。
流体振動検出装置は第一の圧力室が圧電膜を介して第二
の圧力室と区画された構造である。第一の圧力室には連
通孔５を介して流体の圧力Ｐ1 が加えられる。第二の圧
力室には連通孔６を介して圧力Ｐ2 が加えられる。
【００１４】流体振動検出装置は取り付け穴９によりフ
ルイディク素子に固定される。本発明の流体振動検出装
置１０は黄銅を切削加工した第一のハウジング１と、同
様な方法で製作した第二のハウジング２と、厚さ９μｍ
のポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ，商品名カイナー圧
電フィルム）に極薄の電極を付けた圧電膜（ＡＴＯＣＨ
ＥＭ社製）３とを反応型接着剤からなるシート型接着剤
である接合部４により接着する。圧電膜３は組み立てる
前に予め７０℃で２４ｈの熱エージングが行われる。
ルイディク素子に固定される。本発明の流体振動検出装
置１０は黄銅を切削加工した第一のハウジング１と、同
様な方法で製作した第二のハウジング２と、厚さ９μｍ
のポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ，商品名カイナー圧
電フィルム）に極薄の電極を付けた圧電膜（ＡＴＯＣＨ
ＥＭ社製）３とを反応型接着剤からなるシート型接着剤
である接合部４により接着する。圧電膜３は組み立てる
前に予め７０℃で２４ｈの熱エージングが行われる。
【００１５】シート型接着剤としては例えば商品名ＣＡ
Ｔ−１８Ａ（東洋インキ製造（株））を用いて接着を行
い、７０℃で２ｈの条件で接着剤の硬化を行う。また圧
電膜に対しては延伸方向の一軸方向Ｂに対して張力付加
治具（図示せず）を用いて張力をかけながら接着を行
う。流体振動検出装置１０は第一と第二のハウジング
１，２を圧電膜３を介してシート型接着剤である接合部
４により接着することにより、第一の連通孔５と連通し
た第一の圧力室７，第二の連通孔６と連通した第二の圧
力室８とに区画される。
Ｔ−１８Ａ（東洋インキ製造（株））を用いて接着を行
い、７０℃で２ｈの条件で接着剤の硬化を行う。また圧
電膜に対しては延伸方向の一軸方向Ｂに対して張力付加
治具（図示せず）を用いて張力をかけながら接着を行
う。流体振動検出装置１０は第一と第二のハウジング
１，２を圧電膜３を介してシート型接着剤である接合部
４により接着することにより、第一の連通孔５と連通し
た第一の圧力室７，第二の連通孔６と連通した第二の圧
力室８とに区画される。
【００１６】圧電膜３には両面に形成された電極８（図
示せず）にリード（図示せず）が接続され導通状態を維
持しつつ、流体振動検出装置の外部にある電圧検出回路
に接続される。流体振動検出回路は取り付け孔９により
フルイディック装置等に接続固定される。
示せず）にリード（図示せず）が接続され導通状態を維
持しつつ、流体振動検出装置の外部にある電圧検出回路
に接続される。流体振動検出回路は取り付け孔９により
フルイディック装置等に接続固定される。
【００１７】熱エージングを行うと、一軸延伸時の応力
が開放され、後工程で熱収縮を起こすことがなくなる。
接着剤の硬化を使用温度範囲の上限付近に設定すると使
用温度範囲の下限温度に対して圧電膜は熱収縮方向とな
り、安定した動作が期待される。圧電膜の延伸方向に対
して一軸方向の張力を加えながら固定すると、流体振動
検出装置の使用温度範囲の上限温度において接着する場
合の圧電膜の弛みが防止され安定した特性が得られる。
が開放され、後工程で熱収縮を起こすことがなくなる。
接着剤の硬化を使用温度範囲の上限付近に設定すると使
用温度範囲の下限温度に対して圧電膜は熱収縮方向とな
り、安定した動作が期待される。圧電膜の延伸方向に対
して一軸方向の張力を加えながら固定すると、流体振動
検出装置の使用温度範囲の上限温度において接着する場
合の圧電膜の弛みが防止され安定した特性が得られる。
【００１８】圧電膜の支持工程における作業性について
はシート型接着剤を用いることにより液状接着剤に固有
のべたつきやはみ出しが防止され、量産性が向上する。
図３は本発明の実施例に係る流体振動検出装置の温度特
性を示す線図である。環境温度の変化に左右されず６０
℃まで安定であることがわかる。反応型接着剤としては
上述のシート型接着剤の他エポキシ系接着剤を用いるこ
とができる。エポキシ系接着剤としては商品名アラルダ
イトＡＶ−１３８（チバガイギー社）の１００重量部と
商品名アラルダイトＨＶ−９９８（チバガイギー社）の
４０重量部とを混合して７０℃で接着硬化させる。
はシート型接着剤を用いることにより液状接着剤に固有
のべたつきやはみ出しが防止され、量産性が向上する。
図３は本発明の実施例に係る流体振動検出装置の温度特
性を示す線図である。環境温度の変化に左右されず６０
℃まで安定であることがわかる。反応型接着剤としては
上述のシート型接着剤の他エポキシ系接着剤を用いるこ
とができる。エポキシ系接着剤としては商品名アラルダ
イトＡＶ−１３８（チバガイギー社）の１００重量部と
商品名アラルダイトＨＶ−９９８（チバガイギー社）の
４０重量部とを混合して７０℃で接着硬化させる。
【００１９】圧電膜に使用されるポリフッ化ビニリデン
は膜状に成形したあと、一軸延伸状態でポーリング処理
を行い、圧電特性を付与する。圧電膜は一軸延伸した方
向とその垂直方向とでは物性を異にして異方性を示す。
流体振動検出装置で重要な圧電特性については圧電膜の
延伸方向での張力が重要であり圧電膜の延伸方向での弛
みを防止することが必要である。
は膜状に成形したあと、一軸延伸状態でポーリング処理
を行い、圧電特性を付与する。圧電膜は一軸延伸した方
向とその垂直方向とでは物性を異にして異方性を示す。
流体振動検出装置で重要な圧電特性については圧電膜の
延伸方向での張力が重要であり圧電膜の延伸方向での弛
みを防止することが必要である。
【００２０】圧電膜の延伸方向での熱膨張率は１．９×
１０-5（１／℃）（−３０ないし＋７０℃）であって高
分子としては非常に小さい熱膨張率を示す。このため構
成材料としては熱膨張率が１．９×１０-5（１／℃）で
ある黄銅を使用して圧電膜の弛みを防止することができ
る。
１０-5（１／℃）（−３０ないし＋７０℃）であって高
分子としては非常に小さい熱膨張率を示す。このため構
成材料としては熱膨張率が１．９×１０-5（１／℃）で
ある黄銅を使用して圧電膜の弛みを防止することができ
る。
【００２１】
【発明の効果】この発明によれば第一のハウジングと、
第二のハウジングと、接合部と、圧電膜と、第一の圧力
室と、第二の圧力室とを有し、第一のハウジングは第一
の圧力室を形成する凹部とこの凹部に外部と繋がる連通
孔を備え、第二のハウジングは第二の圧力室を形成する
凹部とこの凹部に外部と繋がる連通孔を備え、接合部は
第一と第二のハウジングを前記第一と第二の凹部が相対
向する関係位置において且つ前記両凹部を除いて相互に
接着するとともに、前記相対向する凹部により形成され
た空間部において圧電膜を支持し、圧電膜は第一および
第二のハウジングとその熱膨張率が整合するとともにそ
の周縁部において前記接合部に支持固定されるものであ
り、第一の圧力室は第一のハウジングと圧電膜と接合部
により囲まれた領域であり、第二の圧力室は第二のハウ
ジングと圧電膜と接合部により囲まれた領域であるの
で、第一のハウジングと、圧電膜を含む接合部と、第二
のハウジングはその積層方向において各部材の熱膨張、
熱収縮は自由であり圧電膜の支持の緩みや圧電膜の潰れ
は発生しない。また圧電膜の主面と並行な面内おける熱
膨張、熱収縮については第一、第二のハウジングと圧電
膜が熱膨張率を整合させているので圧電膜の緩みが防止
される。このようにして温度特性に優れる差圧検出端を
備えた流量振動検出装置が得られる。
第二のハウジングと、接合部と、圧電膜と、第一の圧力
室と、第二の圧力室とを有し、第一のハウジングは第一
の圧力室を形成する凹部とこの凹部に外部と繋がる連通
孔を備え、第二のハウジングは第二の圧力室を形成する
凹部とこの凹部に外部と繋がる連通孔を備え、接合部は
第一と第二のハウジングを前記第一と第二の凹部が相対
向する関係位置において且つ前記両凹部を除いて相互に
接着するとともに、前記相対向する凹部により形成され
た空間部において圧電膜を支持し、圧電膜は第一および
第二のハウジングとその熱膨張率が整合するとともにそ
の周縁部において前記接合部に支持固定されるものであ
り、第一の圧力室は第一のハウジングと圧電膜と接合部
により囲まれた領域であり、第二の圧力室は第二のハウ
ジングと圧電膜と接合部により囲まれた領域であるの
で、第一のハウジングと、圧電膜を含む接合部と、第二
のハウジングはその積層方向において各部材の熱膨張、
熱収縮は自由であり圧電膜の支持の緩みや圧電膜の潰れ
は発生しない。また圧電膜の主面と並行な面内おける熱
膨張、熱収縮については第一、第二のハウジングと圧電
膜が熱膨張率を整合させているので圧電膜の緩みが防止
される。このようにして温度特性に優れる差圧検出端を
備えた流量振動検出装置が得られる。
【図１】この発明の実施例に係る流体振動検出装置を示
す平面図
す平面図
【図２】この発明の実施例に係る流体振動検出装置を示
すＡ−Ａ断面図
すＡ−Ａ断面図
【図３】この発明の実施例に係る流体振動振動検出装置
につきその出力温度特性を示す線図
につきその出力温度特性を示す線図
【図４】従来のフルイディク流量計を示す原理図
【図５】従来の差圧検出端を示す断面図
【図６】従来の流体振動検出装置の出力につきその温度
特性を示す線図
特性を示す線図
１ 第一のハウジング ２ 第二のハウジング ３ 圧電膜 ４ 接合部 ５ 連通孔 ６ 連通孔 ７ 第一の圧力室 ８ 第二の圧力室 ９ 取り付け穴１０ 流体振動検出装置 ２１ 圧電膜 ２２ リングワッシャ ２３ リングワッシャ ２４ スプリングワッシャ ２５ スプリングワッシャ ２６ スペーサーリング ２７ スペーサーリング ２８ 絶縁体ケース ２９ 絶縁体ケース３０ 流体振動検出装置 ３１ 第一の連通孔 ３２ 第二の連通孔 ３３ 第一の圧力室 ３４ 第二の圧力室 ４１ 流路 ４２ 流路 ４４ ノズル ４５ ターゲット ４６ 側壁 ４６Ａ 側壁 ４７ フィードバック流路 ４７Ａ フィードバック流路 ４８ 圧電膜 ４９ 圧力室 ４９Ａ 圧力室 ５０ 差圧検出端 ５１ 増幅装置 ５２ 流量算定装置
Claims (10)
- 【請求項１】第一のハウジングと、第二のハウジング
と、接合部と、圧電膜と、第一の圧力室と、第二の圧力
室とを有し、 第一のハウジングは第一の圧力室を形成する凹部とこの
凹部に外部と繋がる連通孔を備え、 第二のハウジングは第二の圧力室を形成する凹部とこの
凹部に外部と繋がる連通孔を備え、 接合部は第一と第二のハウジングを前記第一と第二の凹
部が相対向する関係位置において且つ前記両凹部を除い
て相互に接着するとともに、前記相対向する凹部により
形成された空間部において圧電膜を支持し、 圧電膜は第一および第二のハウジングとその熱膨張率が
整合するとともにその周縁部において前記接合部に支持
固定されるものであり、 第一の圧力室は第一のハウジングと圧電膜と接合部によ
り囲まれた領域であり、 第二の圧力室は第二のハウジングと圧電膜と接合部によ
り囲まれた領域であることを特徴とする流体振動検出装
置。 - 【請求項２】請求項１記載の検出装置において、接合部
は反応型接着剤からなることを特徴とする流体振動検出
装置。 - 【請求項３】請求項１記載の検出装置において、接合部
は流体振動検出装置の使用温度範囲の高温度領域で硬化
させた接着剤であることを特徴とする流体振動検出装
置。 - 【請求項４】請求項１記載の検出装置において、接合部
はシート型接着剤からなることを特徴とする流体振動検
出装置。 - 【請求項５】請求項１記載の検出装置において、接合部
はエポキシ系接着剤からなることを特徴とする流体振動
検出装置。 - 【請求項６】請求項１記載の検出装置において、圧電膜
は高分子圧電膜であることを特徴とする流体振動検出装
置。 - 【請求項７】請求項１記載の検出装置において、圧電膜
は一軸延伸された高分子圧電膜であることを特徴とする
流体振動検出装置。 - 【請求項８】請求項１記載の検出装置において、圧電膜
は熱処理された高分子圧電膜であることを特徴とする流
体振動検出装置。 - 【請求項９】請求項１記載の検出装置において、圧電膜
は張力を加えて第一と第二のハウジングに支持固定され
るものであることを特徴とする流体振動検出装置。 - 【請求項１０】請求項１記載の検出装置において、ハウ
ジングは黄銅からなを特徴とする流体振動検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15708992A JPH063171A (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | 流体振動検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15708992A JPH063171A (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | 流体振動検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH063171A true JPH063171A (ja) | 1994-01-11 |
Family
ID=15642010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15708992A Pending JPH063171A (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | 流体振動検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH063171A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08170508A (ja) * | 1994-06-21 | 1996-07-02 | Cummins Engine Co Inc | 内燃機関用エレファンツ・フット式調整ネジ組立部品 |
| EP0872740A1 (fr) * | 1997-04-18 | 1998-10-21 | Thomson-Csf | Dispositif d'auto-test de la chaíne d'émission et de réception d'un radar notamment pour automobile |
-
1992
- 1992-06-17 JP JP15708992A patent/JPH063171A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08170508A (ja) * | 1994-06-21 | 1996-07-02 | Cummins Engine Co Inc | 内燃機関用エレファンツ・フット式調整ネジ組立部品 |
| EP0872740A1 (fr) * | 1997-04-18 | 1998-10-21 | Thomson-Csf | Dispositif d'auto-test de la chaíne d'émission et de réception d'un radar notamment pour automobile |
| FR2762397A1 (fr) * | 1997-04-18 | 1998-10-23 | Thomson Csf | Dispositif d'auto test de la chaine d'emission et de reception d'un radar, notamment pour automobile |
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