JPH06320084A - 超音波噴霧振動板 - Google Patents
超音波噴霧振動板Info
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- JPH06320084A JPH06320084A JP11311493A JP11311493A JPH06320084A JP H06320084 A JPH06320084 A JP H06320084A JP 11311493 A JP11311493 A JP 11311493A JP 11311493 A JP11311493 A JP 11311493A JP H06320084 A JPH06320084 A JP H06320084A
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- ultrasonic
- ultrasonic spray
- hole
- vibration
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- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
- B05B17/0638—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices
- B05B17/0646—Vibrating plates, i.e. plates being directly subjected to the vibrations, e.g. having a piezoelectric transducer attached thereto
Landscapes
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Special Spraying Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧電振動子から機械振動が伝達されることに
より、超音波振動をする超音波噴霧振動板を提供する。 【構成】 多数の貫通穴２を有し矩形板状構造を成す超
音波噴霧振動板１には貫通穴２が設けられ、その形状は
すり鉢状である。一実施例として、一方の開口の直径は
１００μｍ、他方は１０μｍであり、１４０μｍの等間
隔で配列されている。幅１ｍｍにわたって設けられてい
る周縁部３には貫通穴２は開けられていない。従って、
側面には凹凸が存在せず、長時間の使用によっても亀裂
が生じない。また、金メッキを施すことにより耐薬品性
を向上させることも可能である。 【効果】 超音波噴霧装置に応用された場合、耐久性を
向上できる。
より、超音波振動をする超音波噴霧振動板を提供する。 【構成】 多数の貫通穴２を有し矩形板状構造を成す超
音波噴霧振動板１には貫通穴２が設けられ、その形状は
すり鉢状である。一実施例として、一方の開口の直径は
１００μｍ、他方は１０μｍであり、１４０μｍの等間
隔で配列されている。幅１ｍｍにわたって設けられてい
る周縁部３には貫通穴２は開けられていない。従って、
側面には凹凸が存在せず、長時間の使用によっても亀裂
が生じない。また、金メッキを施すことにより耐薬品性
を向上させることも可能である。 【効果】 超音波噴霧装置に応用された場合、耐久性を
向上できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は室内の湿度調整をする加
湿器などに利用される超音波噴霧装置に採用され、高周
波電圧で励振されて機械振動をする圧電振動子からその
機械振動を伝達されて超音波振動をする振動板に関す
る。
湿器などに利用される超音波噴霧装置に採用され、高周
波電圧で励振されて機械振動をする圧電振動子からその
機械振動を伝達されて超音波振動をする振動板に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】矩形板状の圧電振動子に穴あき振動板を
固着してなる構造を超音波励振器とする超音波霧化装置
は特願平２−２７３００１により特許出願されている。
また、その超音波霧化装置を応用することにより生成さ
れた「超音波カラーオルガン」が平成３年４月２２日に
特許出願されている（特願平３−１１９１９１）。これ
ら従来の超音波霧化装置に用いられている振動板には霧
化効率を向上させるための手段として板面にほぼ垂直な
方向に多数の貫通穴が設けられている。
固着してなる構造を超音波励振器とする超音波霧化装置
は特願平２−２７３００１により特許出願されている。
また、その超音波霧化装置を応用することにより生成さ
れた「超音波カラーオルガン」が平成３年４月２２日に
特許出願されている（特願平３−１１９１９１）。これ
ら従来の超音波霧化装置に用いられている振動板には霧
化効率を向上させるための手段として板面にほぼ垂直な
方向に多数の貫通穴が設けられている。
【０００３】図６は従来の霧化装置における振動板を一
方の板面から見たときの一実施例を示す部分拡大平面図
である。本実施例は電鋳により得られる大判サイズのニ
ッケル製シートを切断することにより作成されている。
板面に垂直な方向に設けられたそれぞれの貫通穴の形状
はすり鉢状であって、一方の板面における開口面積は他
方の板面における開口面積より大きく、一方の開口の直
径は１００μｍ、他方は１０μｍである。それぞれの貫
通穴は１４０μｍの間隔をおいて、等しいピッチで配列
されている。
方の板面から見たときの一実施例を示す部分拡大平面図
である。本実施例は電鋳により得られる大判サイズのニ
ッケル製シートを切断することにより作成されている。
板面に垂直な方向に設けられたそれぞれの貫通穴の形状
はすり鉢状であって、一方の板面における開口面積は他
方の板面における開口面積より大きく、一方の開口の直
径は１００μｍ、他方は１０μｍである。それぞれの貫
通穴は１４０μｍの間隔をおいて、等しいピッチで配列
されている。
【０００４】図７は図６に示す振動板の側面図である。
但し、前記ニッケル製シートを切断することにより得ら
れる振動板の側面は前記貫通穴の中心を通らない切断面
で成る。前記側面には不定形の凹凸が存在することか
ら、長時間駆動する場合には機械的強度に問題を残し、
噴霧機能の低下を招くこととなる。すなわち、耐久性に
問題があった。
但し、前記ニッケル製シートを切断することにより得ら
れる振動板の側面は前記貫通穴の中心を通らない切断面
で成る。前記側面には不定形の凹凸が存在することか
ら、長時間駆動する場合には機械的強度に問題を残し、
噴霧機能の低下を招くこととなる。すなわち、耐久性に
問題があった。
【０００５】図８は図６に示す振動板の側面図である。
但し、前記ニッケル製シートを切断することにより得ら
れる振動板の側面は前記貫通穴の中心を通る切断面で成
る。前記側面には前記貫通穴の径に対応する亀裂が存在
することから、長時間駆動により機械的強度が低下す
る。この亀裂は繰り返し駆動することによりさらに拡大
するので、噴霧機能の低下を招くこととなる。すなわ
ち、耐久性に問題があった。従って、切断面に凹凸がで
きないようにするためには切断部分に前記貫通穴が含ま
れないようにする等の工夫が必要となるが、これにはか
なりの精密さが要求され困難を伴う。しかも、切断によ
り振動板自身に曲げ変形を生ずる可能性もある。前記ニ
ッケル製シートを切断するもう１つの方法として切削が
挙げられるが、切削は切削粉が前記貫通穴を閉塞するの
で、その切削粉を除去するために洗浄工程が必要とな
る。従って、生産技術的な面を考慮すると、大量生産を
するには長時間の労力を必要とした。
但し、前記ニッケル製シートを切断することにより得ら
れる振動板の側面は前記貫通穴の中心を通る切断面で成
る。前記側面には前記貫通穴の径に対応する亀裂が存在
することから、長時間駆動により機械的強度が低下す
る。この亀裂は繰り返し駆動することによりさらに拡大
するので、噴霧機能の低下を招くこととなる。すなわ
ち、耐久性に問題があった。従って、切断面に凹凸がで
きないようにするためには切断部分に前記貫通穴が含ま
れないようにする等の工夫が必要となるが、これにはか
なりの精密さが要求され困難を伴う。しかも、切断によ
り振動板自身に曲げ変形を生ずる可能性もある。前記ニ
ッケル製シートを切断するもう１つの方法として切削が
挙げられるが、切削は切削粉が前記貫通穴を閉塞するの
で、その切削粉を除去するために洗浄工程が必要とな
る。従って、生産技術的な面を考慮すると、大量生産を
するには長時間の労力を必要とした。
【０００６】図６〜８に示す従来の振動板はニッケル製
であることから、耐薬品性に問題があった。生理食塩水
に浸漬した場合、ほぼ２５００時間で腐食の進行が始ま
り、振動板としての機能の低下を招いた。
であることから、耐薬品性に問題があった。生理食塩水
に浸漬した場合、ほぼ２５００時間で腐食の進行が始ま
り、振動板としての機能の低下を招いた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の超音波噴霧振動
板は耐久性に問題を有し、生産技術的には大量生産に長
時間の労力を必要とした。また、耐薬品性にも問題があ
った。
板は耐久性に問題を有し、生産技術的には大量生産に長
時間の労力を必要とした。また、耐薬品性にも問題があ
った。
【０００８】本発明の目的は長時間駆動にも耐えられる
機械的強度を有し、長時間の労力を必要とすることなし
に大量生産をすることが可能で、しかも表面が耐薬品性
の薄膜で覆われた超音波噴霧振動板を提供することにあ
る。
機械的強度を有し、長時間の労力を必要とすることなし
に大量生産をすることが可能で、しかも表面が耐薬品性
の薄膜で覆われた超音波噴霧振動板を提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の超音波
噴霧振動板は、互いにほぼ平行な板面ＡおよびＢを有す
る板状構造を成し、周縁部と該周縁部に取り囲まれた噴
霧部とから成り、高周波電圧で励振されて機械振動をす
る圧電振動子に前記板面Ａの一部が固着されることによ
り前記機械振動を前記圧電振動子から伝達されて超音波
振動をする超音波噴霧振動板であって、前記板面Ａから
Ｂにかけて多数の貫通穴が設けられており、前記貫通穴
は前記噴霧部に設けられていて、前記貫通穴の入口にス
ポンジ、繊維束その他の親水性保液材が接近させられる
ことにより該保液材に含まれる液体が霧化されることを
特徴とする。
噴霧振動板は、互いにほぼ平行な板面ＡおよびＢを有す
る板状構造を成し、周縁部と該周縁部に取り囲まれた噴
霧部とから成り、高周波電圧で励振されて機械振動をす
る圧電振動子に前記板面Ａの一部が固着されることによ
り前記機械振動を前記圧電振動子から伝達されて超音波
振動をする超音波噴霧振動板であって、前記板面Ａから
Ｂにかけて多数の貫通穴が設けられており、前記貫通穴
は前記噴霧部に設けられていて、前記貫通穴の入口にス
ポンジ、繊維束その他の親水性保液材が接近させられる
ことにより該保液材に含まれる液体が霧化されることを
特徴とする。
【００１０】請求項２に記載の超音波噴霧振動板は金、
白金、パラジウム、ロジウムその他の金属またはテフロ
ン等で成る薄膜で表面が覆われていることを特徴とす
る。
白金、パラジウム、ロジウムその他の金属またはテフロ
ン等で成る薄膜で表面が覆われていることを特徴とす
る。
【００１１】
【作用】本発明の超音波噴霧振動板は板面にほぼ垂直な
方向に多数の貫通穴が設けられている。しかもその貫通
穴は板面の周縁部を除く所定の範囲内に設けられてい
る。つまり、振動板の側面には凹凸がない。このように
して、本発明の超音波噴霧振動板はその側面に亀裂が存
在しないので、長時間駆動により機械的強度が低下する
ことがない。従って、このような振動板を用いた噴霧装
置の噴霧機能を持続することが可能となる。また、表面
を金、白金、パラジウム、ロジウムその他の金属または
テフロン等で成る薄膜で覆うことにより、耐薬品性を向
上させることができる。従って、このような本発明の超
音波噴霧振動板を用いれば、水以外の薬品を噴霧するこ
とが容易になる。
方向に多数の貫通穴が設けられている。しかもその貫通
穴は板面の周縁部を除く所定の範囲内に設けられてい
る。つまり、振動板の側面には凹凸がない。このように
して、本発明の超音波噴霧振動板はその側面に亀裂が存
在しないので、長時間駆動により機械的強度が低下する
ことがない。従って、このような振動板を用いた噴霧装
置の噴霧機能を持続することが可能となる。また、表面
を金、白金、パラジウム、ロジウムその他の金属または
テフロン等で成る薄膜で覆うことにより、耐薬品性を向
上させることができる。従って、このような本発明の超
音波噴霧振動板を用いれば、水以外の薬品を噴霧するこ
とが容易になる。
【００１２】
【実施例】図１は本発明の超音波噴霧振動板を一方の板
面から見たときの一実施例を示す部分拡大平面図であ
る。本実施例に示す超音波噴霧振動板１はニッケル製
で、多数の貫通穴２を有する矩形板状構造を成す。貫通
穴２は板面に垂直な方向に設けられ、その形状はすり鉢
状であって、一方の板面における開口面積は他方の板面
における開口面積より大きく、一方の開口の直径は１０
０μｍ、他方は１０μｍである。貫通穴２は１４０μｍ
の間隔をおいて、等しいピッチで配列されている。板面
には幅１ｍｍにわたって周縁部３が設けられ、周縁部３
には貫通穴２は開けられていない。
面から見たときの一実施例を示す部分拡大平面図であ
る。本実施例に示す超音波噴霧振動板１はニッケル製
で、多数の貫通穴２を有する矩形板状構造を成す。貫通
穴２は板面に垂直な方向に設けられ、その形状はすり鉢
状であって、一方の板面における開口面積は他方の板面
における開口面積より大きく、一方の開口の直径は１０
０μｍ、他方は１０μｍである。貫通穴２は１４０μｍ
の間隔をおいて、等しいピッチで配列されている。板面
には幅１ｍｍにわたって周縁部３が設けられ、周縁部３
には貫通穴２は開けられていない。
【００１３】図２は図１の超音波噴霧振動板１の側面図
である。側面には凹凸が存在せず、２つの側面の隣接部
は曲線で成り、該曲線は円弧状を成す。
である。側面には凹凸が存在せず、２つの側面の隣接部
は曲線で成り、該曲線は円弧状を成す。
【００１４】図３は図１の超音波噴霧振動板１を電極板
からフォトレジストにより成形する場合の一実施例を示
す平面図である。本実施例では厚さ５０μｍの電極板４
から長さ１７ｍｍ、幅２０ｍｍの超音波噴霧振動板１が
４枚成形されている。それぞれの超音波噴霧振動板１に
は幅１ｍｍの周縁部３が設けられている。また、図３で
は矩形板状の超音波噴霧振動板１を成形する例を示した
が、円板状やその他の形状の超音波噴霧振動板も同様に
してフォトレジストによって成形することができる。
からフォトレジストにより成形する場合の一実施例を示
す平面図である。本実施例では厚さ５０μｍの電極板４
から長さ１７ｍｍ、幅２０ｍｍの超音波噴霧振動板１が
４枚成形されている。それぞれの超音波噴霧振動板１に
は幅１ｍｍの周縁部３が設けられている。また、図３で
は矩形板状の超音波噴霧振動板１を成形する例を示した
が、円板状やその他の形状の超音波噴霧振動板も同様に
してフォトレジストによって成形することができる。
【００１５】図４は図１の超音波噴霧振動板１の表面が
金メッキされた場合の一実施例を示す断面図である。本
実施例に示す超音波噴霧振動板５における金メッキは表
層部では約１μｍ、貫通穴２の内部では０．１〜０．２
μｍの厚さである。超音波噴霧振動板５をフラックス
（イソプロピルアルコールを主体とした半田付性向上用
の溶剤）に浸漬した場合、腐食の発生を見るまでに２１
８４時間を要した。金メッキが施されていない場合の腐
食発生時間が８００時間であることから、金メッキによ
り耐食性が向上することが確認された。超音波噴霧振動
板５の耐食性が向上すれば、噴霧機能を低下させること
なく薬液を噴霧することができるだけでなく、超音波噴
霧振動板５の原材料（本実施例ではニッケル）と噴霧す
る薬液との化学反応を防止することができる。また、本
実施例ではメッキに使用される金属として金を用いた
が、金以外には白金、パラジウム、ロジウム等を用いる
ことが可能である。金属だけでなく、旭ガラス製のサイ
トップ（製品名）等のテフロンで成る薄膜を用いること
も可能である。
金メッキされた場合の一実施例を示す断面図である。本
実施例に示す超音波噴霧振動板５における金メッキは表
層部では約１μｍ、貫通穴２の内部では０．１〜０．２
μｍの厚さである。超音波噴霧振動板５をフラックス
（イソプロピルアルコールを主体とした半田付性向上用
の溶剤）に浸漬した場合、腐食の発生を見るまでに２１
８４時間を要した。金メッキが施されていない場合の腐
食発生時間が８００時間であることから、金メッキによ
り耐食性が向上することが確認された。超音波噴霧振動
板５の耐食性が向上すれば、噴霧機能を低下させること
なく薬液を噴霧することができるだけでなく、超音波噴
霧振動板５の原材料（本実施例ではニッケル）と噴霧す
る薬液との化学反応を防止することができる。また、本
実施例ではメッキに使用される金属として金を用いた
が、金以外には白金、パラジウム、ロジウム等を用いる
ことが可能である。金属だけでなく、旭ガラス製のサイ
トップ（製品名）等のテフロンで成る薄膜を用いること
も可能である。
【００１６】図５は図４の超音波噴霧振動板５と圧電振
動子６とから成る超音波噴霧装置の一実施例を示す斜視
図である。圧電振動子６は矩形板状の圧電磁器７を有
し、圧電磁器７の材質はＴＤＫ７２Ａ材（製品名）で、
その長さは２２ｍｍ、幅は２０ｍｍ、厚さは１ｍｍであ
る。ＴＤＫ７２Ａ材は電気機械結合係数が大きいことか
ら、ここでの実施例に用いている。圧電磁器７の分極軸
の方向は厚さ方向に一致しており、この厚さ方向に垂直
な両端面にＡｕ電極８および９が形成されている。Ａｕ
電極８は圧電磁器７の一方の面を覆い、Ａｕ電極９は圧
電磁器７のもう一方の面を覆っている。圧電振動子６
は、Ａｕ電極８を介して超音波噴霧振動板５の一方の端
面に、超音波噴霧振動板５と一体的に連なって半田接合
されている。この半田接合の際、圧電振動子６における
超音波噴霧振動板５との接合部にはクリーム半田を施し
ておく。超音波噴霧振動板５に関しては、超音波噴霧振
動板５に予め施してある金メッキが半田メッキを兼ねる
ことから、超音波噴霧振動板５と圧電振動子６との接合
時間を短縮できる。
動子６とから成る超音波噴霧装置の一実施例を示す斜視
図である。圧電振動子６は矩形板状の圧電磁器７を有
し、圧電磁器７の材質はＴＤＫ７２Ａ材（製品名）で、
その長さは２２ｍｍ、幅は２０ｍｍ、厚さは１ｍｍであ
る。ＴＤＫ７２Ａ材は電気機械結合係数が大きいことか
ら、ここでの実施例に用いている。圧電磁器７の分極軸
の方向は厚さ方向に一致しており、この厚さ方向に垂直
な両端面にＡｕ電極８および９が形成されている。Ａｕ
電極８は圧電磁器７の一方の面を覆い、Ａｕ電極９は圧
電磁器７のもう一方の面を覆っている。圧電振動子６
は、Ａｕ電極８を介して超音波噴霧振動板５の一方の端
面に、超音波噴霧振動板５と一体的に連なって半田接合
されている。この半田接合の際、圧電振動子６における
超音波噴霧振動板５との接合部にはクリーム半田を施し
ておく。超音波噴霧振動板５に関しては、超音波噴霧振
動板５に予め施してある金メッキが半田メッキを兼ねる
ことから、超音波噴霧振動板５と圧電振動子６との接合
時間を短縮できる。
【００１７】図５の超音波噴霧装置の駆動時、超音波噴
霧振動板５と圧電振動子６との複合体の共振周波数にほ
ぼ等しい周波数を有する交流信号を圧電振動子６に印加
すると圧電振動子６が励振される。このとき、その交流
信号の周波数は圧電振動子６単体の共振周波数のうちの
１つにほぼ一致している。超音波噴霧振動板５を圧電振
動子６の少なくとも一方の端面上に一体的に連なって固
着させる構造を採用していることから、圧電振動子６の
励振に伴って超音波噴霧振動板５は超音波噴霧振動板５
と圧電振動子６との固着部を固定端とする形で振動され
る。超音波噴霧振動板５に液体を供給すると、該液体は
毛細管現象により超音波噴霧振動板５に設けられた貫通
穴２に導かれる。前記液体は微小でかつ均一な粒子とな
って貫通穴２の出口側に流出し、効率良く霧化される。
霧振動板５と圧電振動子６との複合体の共振周波数にほ
ぼ等しい周波数を有する交流信号を圧電振動子６に印加
すると圧電振動子６が励振される。このとき、その交流
信号の周波数は圧電振動子６単体の共振周波数のうちの
１つにほぼ一致している。超音波噴霧振動板５を圧電振
動子６の少なくとも一方の端面上に一体的に連なって固
着させる構造を採用していることから、圧電振動子６の
励振に伴って超音波噴霧振動板５は超音波噴霧振動板５
と圧電振動子６との固着部を固定端とする形で振動され
る。超音波噴霧振動板５に液体を供給すると、該液体は
毛細管現象により超音波噴霧振動板５に設けられた貫通
穴２に導かれる。前記液体は微小でかつ均一な粒子とな
って貫通穴２の出口側に流出し、効率良く霧化される。
【００１８】
【発明の効果】本発明の超音波噴霧振動板によれば、板
面にほぼ垂直な方向に設けられた多数の貫通穴は板面の
周縁部を除く所定の範囲内に限られている。つまり、振
動板の側面には凹凸がない。このようにして、本発明の
超音波噴霧振動板はその側面に亀裂が存在せず、機械的
強度が低下することがない。従って、本発明の超音波噴
霧振動板を用いた噴霧装置は長時間使用しても噴霧機能
を持続することが可能となる。また、表面を金、白金、
パラジウム、ロジウムその他の金属またはテフロン等で
成る薄膜で覆うことにより、耐薬品性を向上させること
ができる。従って、本発明の超音波噴霧振動板を用いれ
ば、水以外の薬品をその品質を損なうことなく噴霧する
ことが容易になる。また、生産技術的な面で見れば、表
面を前記金属や前記テフロンで成る薄膜で覆われた超音
波噴霧振動板を圧電振動子に半田接合して噴霧装置を構
成するとき、前記超音波噴霧振動板に半田メッキを施す
必要がなくなることから、噴霧装置の大量生産を容易に
することが可能となる。
面にほぼ垂直な方向に設けられた多数の貫通穴は板面の
周縁部を除く所定の範囲内に限られている。つまり、振
動板の側面には凹凸がない。このようにして、本発明の
超音波噴霧振動板はその側面に亀裂が存在せず、機械的
強度が低下することがない。従って、本発明の超音波噴
霧振動板を用いた噴霧装置は長時間使用しても噴霧機能
を持続することが可能となる。また、表面を金、白金、
パラジウム、ロジウムその他の金属またはテフロン等で
成る薄膜で覆うことにより、耐薬品性を向上させること
ができる。従って、本発明の超音波噴霧振動板を用いれ
ば、水以外の薬品をその品質を損なうことなく噴霧する
ことが容易になる。また、生産技術的な面で見れば、表
面を前記金属や前記テフロンで成る薄膜で覆われた超音
波噴霧振動板を圧電振動子に半田接合して噴霧装置を構
成するとき、前記超音波噴霧振動板に半田メッキを施す
必要がなくなることから、噴霧装置の大量生産を容易に
することが可能となる。
【図１】本発明の超音波噴霧振動板を一方の板面から見
たときの一実施例を示す部分拡大平面図。
たときの一実施例を示す部分拡大平面図。
【図２】図１の超音波噴霧振動板１の側面図。
【図３】図１の超音波噴霧振動板１を電極板からフォト
レジストにより成形する場合の一実施例を示す平面図。
レジストにより成形する場合の一実施例を示す平面図。
【図４】図１の超音波噴霧振動板１の表面が金メッキさ
れた場合の一実施例を示す断面図。
れた場合の一実施例を示す断面図。
【図５】図４の超音波噴霧振動板５と圧電振動子６とか
ら成る超音波噴霧装置の一実施例を示す斜視図。
ら成る超音波噴霧装置の一実施例を示す斜視図。
【図６】従来の霧化装置における振動板を一方の板面か
ら見たときの一実施例を示す部分拡大平面図。
ら見たときの一実施例を示す部分拡大平面図。
【図７】図６に示す振動板の側面図。
【図８】図６に示す振動板の側面図。
１ 超音波噴霧振動板 ２ 貫通穴 ３ 周縁部 ４ 電極板 ５ 超音波噴霧振動板 ６ 圧電振動子 ７ 圧電磁器 ８ Ａｕ電極 ９ Ａｕ電極
Claims (2)
- 【請求項１】 互いにほぼ平行な板面ＡおよびＢを有す
る板状構造を成し、周縁部と該周縁部に取り囲まれた噴
霧部とから成り、高周波電圧で励振されて機械振動をす
る圧電振動子に前記板面Ａの一部が固着されることによ
り前記機械振動を前記圧電振動子から伝達されて超音波
振動をする超音波噴霧振動板であって、 前記板面ＡからＢにかけて多数の貫通穴が設けられてお
り、 前記貫通穴は前記噴霧部に設けられていて、 前記貫通穴の入口にスポンジ、繊維束その他の親水性保
液材が接近させられることにより該保液材に含まれる液
体が霧化されることを特徴とする超音波噴霧振動板。 - 【請求項２】 金、白金、パラジウム、ロジウムその他
の金属またはテフロン等で成る薄膜で表面が覆われてい
ることを特徴とする請求項１に記載の超音波噴霧振動
板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11311493A JPH06320084A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 超音波噴霧振動板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11311493A JPH06320084A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 超音波噴霧振動板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06320084A true JPH06320084A (ja) | 1994-11-22 |
Family
ID=14603870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11311493A Pending JPH06320084A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 超音波噴霧振動板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06320084A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19707933A1 (de) * | 1997-02-27 | 1998-09-03 | Ifak Inst Fuer Automation Und | Ultraschallwandler |
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-
1993
- 1993-05-14 JP JP11311493A patent/JPH06320084A/ja active Pending
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| GB2524337B (en) * | 2014-03-17 | 2021-01-20 | Anthony Hope | A membrane and an ultrasonic atomiser using the membrane |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20011218 |