JPH09323054A - 超音波噴霧振動板 - Google Patents
超音波噴霧振動板Info
- Publication number
- JPH09323054A JPH09323054A JP14248796A JP14248796A JPH09323054A JP H09323054 A JPH09323054 A JP H09323054A JP 14248796 A JP14248796 A JP 14248796A JP 14248796 A JP14248796 A JP 14248796A JP H09323054 A JPH09323054 A JP H09323054A
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- JP
- Japan
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- plate
- hole
- ultrasonic
- atomizing
- thickness
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- Withdrawn
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
Landscapes
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧電振動子から機械振動が伝達されることに
より超音波振動する超音波噴霧振動板で、酸性又は酸化
性液体を用いても腐食の起こらない超音波噴霧振動板を
提供する。 【解決方法】 厚さ20μｍ乃至 100μｍの白金板に多数
の貫通孔が設けられており、貫通孔の断面形状がすり鉢
状で、貫通孔開口の狭い方の開口直径が５μｍ乃至25μ
ｍである超音波噴霧振動板。
より超音波振動する超音波噴霧振動板で、酸性又は酸化
性液体を用いても腐食の起こらない超音波噴霧振動板を
提供する。 【解決方法】 厚さ20μｍ乃至 100μｍの白金板に多数
の貫通孔が設けられており、貫通孔の断面形状がすり鉢
状で、貫通孔開口の狭い方の開口直径が５μｍ乃至25μ
ｍである超音波噴霧振動板。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は室内の湿度調整をす
る加湿器などに利用される超音波噴霧装置に使用され、
高周波電圧で励起されて機械振動をする圧電振動子から
その機械振動を伝達されて超音波振動をする振動板に関
する。
る加湿器などに利用される超音波噴霧装置に使用され、
高周波電圧で励起されて機械振動をする圧電振動子から
その機械振動を伝達されて超音波振動をする振動板に関
する。
【０００２】
【従来の技術】加湿器などに利用される超音波噴霧装置
の振動板として板状構造体に多数の貫通孔が設けられた
振動板が用いられているが、これらは従来ニッケル製で
あることから、耐薬品性に問題があった。その耐薬品性
の向上について電鋳により得られたニッケル製板に金、
白金、パラジウム、ロジウムその他の金属またはテフロ
ン等で成る薄膜で表面を覆った超音波噴霧振動板が特願
平５−１１３１１４号により特許出願がなされている。
の振動板として板状構造体に多数の貫通孔が設けられた
振動板が用いられているが、これらは従来ニッケル製で
あることから、耐薬品性に問題があった。その耐薬品性
の向上について電鋳により得られたニッケル製板に金、
白金、パラジウム、ロジウムその他の金属またはテフロ
ン等で成る薄膜で表面を覆った超音波噴霧振動板が特願
平５−１１３１１４号により特許出願がなされている。
【０００３】噴霧する溶液に殺菌・抗菌の目的で含有さ
れた酸性、酸化性などの薬品や水道水中に含有される塩
素などにより、従来のニッケルの振動板は腐食し、その
機能を低下させるのみならず、溶出したニッケルイオン
が噴霧され、人体に付着し、金属アレルギーを生じる恐
れがある。耐食性の高い皮膜（薄膜）でニッケルの振動
板を覆うことは上述の問題の解決に有効ではあるが、微
小な孔を損なうこと無く孔側面などにも一様に皮膜を形
成させ、高周波機械振動に耐えうる密着強度を有する膜
を形成するのは多大な労力を要する。さらに金属の皮膜
の形成方法として一般的な湿式メッキは緻密な膜が得に
くく、ピンホールが存在し、薬品成分が浸透し、ニッケ
ルを腐食する。また真空蒸着やスパッタリングなどの乾
式メッキは膜の成長方向が特定化され、孔の側面に一様
に膜をつけることは難しい。
れた酸性、酸化性などの薬品や水道水中に含有される塩
素などにより、従来のニッケルの振動板は腐食し、その
機能を低下させるのみならず、溶出したニッケルイオン
が噴霧され、人体に付着し、金属アレルギーを生じる恐
れがある。耐食性の高い皮膜（薄膜）でニッケルの振動
板を覆うことは上述の問題の解決に有効ではあるが、微
小な孔を損なうこと無く孔側面などにも一様に皮膜を形
成させ、高周波機械振動に耐えうる密着強度を有する膜
を形成するのは多大な労力を要する。さらに金属の皮膜
の形成方法として一般的な湿式メッキは緻密な膜が得に
くく、ピンホールが存在し、薬品成分が浸透し、ニッケ
ルを腐食する。また真空蒸着やスパッタリングなどの乾
式メッキは膜の成長方向が特定化され、孔の側面に一様
に膜をつけることは難しい。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の超音波噴霧振動
板は耐薬品性、耐久性に問題を有し、生産技術的には大
量生産に多大な労力を必要とした。
板は耐薬品性、耐久性に問題を有し、生産技術的には大
量生産に多大な労力を必要とした。
【０００５】本発明の目的は、長時間に及ぶ使用にも耐
えられる耐久性、耐薬品性を有し、また多大な労力を必
要とすることなしに大量生産が可能な超音波噴霧振動板
を提供することにある。
えられる耐久性、耐薬品性を有し、また多大な労力を必
要とすることなしに大量生産が可能な超音波噴霧振動板
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の超音波噴霧振動板は、板状構造体に多数の貫
通孔が設けられ、高周波電圧で励起されて機械振動をす
る圧電振動子に一部が固着されることにより超音波振動
し、貫通孔に接している液体を噴霧する超音波噴霧振動
板において板状構造体の材質が白金であって、その厚さ
が20μｍ乃至100μｍ、設けられている貫通孔の断面形
状がすり鉢状であり、貫通孔の狭い方の開口直径が５μ
ｍ乃至25μｍであることを特徴とするものである。
の本発明の超音波噴霧振動板は、板状構造体に多数の貫
通孔が設けられ、高周波電圧で励起されて機械振動をす
る圧電振動子に一部が固着されることにより超音波振動
し、貫通孔に接している液体を噴霧する超音波噴霧振動
板において板状構造体の材質が白金であって、その厚さ
が20μｍ乃至100μｍ、設けられている貫通孔の断面形
状がすり鉢状であり、貫通孔の狭い方の開口直径が５μ
ｍ乃至25μｍであることを特徴とするものである。
【０００７】本発明の超音波噴霧振動板は材質が表面の
みならず内部も白金であることにより、従来品のような
めっき皮膜中のピンホールに起因する液体の浸透、さら
には長時間に及ぶ使用におけるめっき皮膜の剥落といっ
た問題がなく、耐薬品性を向上させ、極めて長寿命の耐
食性を得ることができる。従って、本発明の超音波噴霧
振動板を用いれば水以外の薬品を振動板を腐食すること
なく、またニッケルなどの混入もなく噴霧することが可
能になる。板の厚さは白金の板に強度を持たせる為に20
μｍ以上を必要とし、 100μｍを超えると、白金密度が
高く慣性質量が重くなり、超音波振動への追従性が悪く
なるため好ましくない。貫通孔の直径は噴霧したい液滴
の大きさで選ばれるが、上記の板厚に対しては25μｍよ
り大きい孔は板の強度を維持しにくく、５μｍ未満の円
形に近い孔の形成は極めて困難である。
みならず内部も白金であることにより、従来品のような
めっき皮膜中のピンホールに起因する液体の浸透、さら
には長時間に及ぶ使用におけるめっき皮膜の剥落といっ
た問題がなく、耐薬品性を向上させ、極めて長寿命の耐
食性を得ることができる。従って、本発明の超音波噴霧
振動板を用いれば水以外の薬品を振動板を腐食すること
なく、またニッケルなどの混入もなく噴霧することが可
能になる。板の厚さは白金の板に強度を持たせる為に20
μｍ以上を必要とし、 100μｍを超えると、白金密度が
高く慣性質量が重くなり、超音波振動への追従性が悪く
なるため好ましくない。貫通孔の直径は噴霧したい液滴
の大きさで選ばれるが、上記の板厚に対しては25μｍよ
り大きい孔は板の強度を維持しにくく、５μｍ未満の円
形に近い孔の形成は極めて困難である。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態を図１及び図２
に示す。図１は本発明の超音波噴霧振動板１を液体の接
液側より見た図であり、図２は図１のＡ−Ａ断面図であ
る。超音波噴霧振動板１は白金製の板でありそこには多
数の貫通孔４が設けられている。その貫通孔４の開口は
液体を噴霧する側は直径の小さな開口２であり、液体と
接触する側は直径の大きな開口３であり、貫通孔の断面
形状は図２のようなすり鉢状となっている。
に示す。図１は本発明の超音波噴霧振動板１を液体の接
液側より見た図であり、図２は図１のＡ−Ａ断面図であ
る。超音波噴霧振動板１は白金製の板でありそこには多
数の貫通孔４が設けられている。その貫通孔４の開口は
液体を噴霧する側は直径の小さな開口２であり、液体と
接触する側は直径の大きな開口３であり、貫通孔の断面
形状は図２のようなすり鉢状となっている。
【０００９】このような構造の本発明の超音波噴霧振動
板１はその一部を図示しない圧電振動子と、固着するこ
とにより超音波振動させ、貫通孔開口３に接する液体
（図示せず）を貫通孔開口２側へ霧状に噴霧するもので
あるが、超音波噴霧振動板１自体が白金でできているた
め、液体に酸性、酸化性の物を用いても腐食は一切起こ
らず、また長時間超音波振動を加えてもめっき被覆板の
ような被覆物の剥落といった危険性も全くない。本発明
の超音波噴霧振動板は、精密機械加工、エッチング及び
電鋳など、どのような方法で製造しても良いものであ
る。
板１はその一部を図示しない圧電振動子と、固着するこ
とにより超音波振動させ、貫通孔開口３に接する液体
（図示せず）を貫通孔開口２側へ霧状に噴霧するもので
あるが、超音波噴霧振動板１自体が白金でできているた
め、液体に酸性、酸化性の物を用いても腐食は一切起こ
らず、また長時間超音波振動を加えてもめっき被覆板の
ような被覆物の剥落といった危険性も全くない。本発明
の超音波噴霧振動板は、精密機械加工、エッチング及び
電鋳など、どのような方法で製造しても良いものであ
る。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例として図１及び図２に示す形
状の白金製超音波噴霧振動板を電鋳により製造した。板
の厚さは40μｍで噴霧側貫通孔開口２の直径は10μｍで
あった。なお貫通孔４は 140μｍの間隙をおいて図１の
ように等しいピッチで配列した。
状の白金製超音波噴霧振動板を電鋳により製造した。板
の厚さは40μｍで噴霧側貫通孔開口２の直径は10μｍで
あった。なお貫通孔４は 140μｍの間隙をおいて図１の
ように等しいピッチで配列した。
【００１１】比較例として、上記実施例と同じ寸法でニ
ッケル製の超音波噴霧振動板を電鋳により製造した。そ
の後金めっきを板表面部に約１μｍ、貫通孔の内側面部
に0.1〜 0.2μｍの厚さで施した。
ッケル製の超音波噴霧振動板を電鋳により製造した。そ
の後金めっきを板表面部に約１μｍ、貫通孔の内側面部
に0.1〜 0.2μｍの厚さで施した。
【００１２】本実施例と比較例の超音波噴霧振動板をフ
ラックス（イソプロピルアルコールを主体とした半田付
性向上用の溶剤）に浸漬し、腐食の発生を見るまでの時
間を計測した。比較例は2184時間で腐食が発生したが、
本実施例は8000時間を経ても腐食の発生が認められなか
った。これにより耐食性が著しく向上することが確認さ
れた。
ラックス（イソプロピルアルコールを主体とした半田付
性向上用の溶剤）に浸漬し、腐食の発生を見るまでの時
間を計測した。比較例は2184時間で腐食が発生したが、
本実施例は8000時間を経ても腐食の発生が認められなか
った。これにより耐食性が著しく向上することが確認さ
れた。
【００１３】
【発明の効果】本発明の超音波噴霧振動板によれば、そ
の材質をすべて白金で製作することにより耐薬品性を著
しく向上させることができる。従って、本発明の超音波
噴霧振動板を用いれば、水以外の薬品を用いてもニッケ
ルなどの溶出や腐食の発生による汚染をともなわずに噴
霧できる。大量生産の面で見れば、表面に金属やテフロ
ンで皮膜を形成する労力が不要である。
の材質をすべて白金で製作することにより耐薬品性を著
しく向上させることができる。従って、本発明の超音波
噴霧振動板を用いれば、水以外の薬品を用いてもニッケ
ルなどの溶出や腐食の発生による汚染をともなわずに噴
霧できる。大量生産の面で見れば、表面に金属やテフロ
ンで皮膜を形成する労力が不要である。
【図１】本発明の超音波噴霧振動板を液体の接液側から
見た図。
見た図。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図。
１ 超音波噴霧振動板 ２ 貫通孔開口（噴霧部） ３ 貫通孔開口（接液部） ４ 貫通孔
Claims (1)
- 【請求項１】 板状構造体に多数の貫通孔が設けられ、
高周波電圧で励起されて機械振動をする圧電振動子に一
部が固着されることにより超音波振動し、貫通孔に接し
ている液体を噴霧する超音波噴霧振動板において、板状
構造体の材質が白金であって、その厚さが20μｍ乃至 1
00μｍ、設けられている貫通孔の断面形状がすり鉢状で
あり、貫通孔の狭い方の開口直径が５μｍ乃至25μｍで
あることを特徴とする超音波噴霧振動板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14248796A JPH09323054A (ja) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | 超音波噴霧振動板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14248796A JPH09323054A (ja) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | 超音波噴霧振動板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09323054A true JPH09323054A (ja) | 1997-12-16 |
Family
ID=15316472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14248796A Withdrawn JPH09323054A (ja) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | 超音波噴霧振動板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09323054A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010102685A (ko) * | 2000-05-04 | 2001-11-16 | 윤영한 | 형광램프의 교체가 용이한 형광램프 소켓 |
| JP5157000B1 (ja) * | 2012-03-28 | 2013-03-06 | 田中貴金属工業株式会社 | 噴霧器用メッシュ |
| EP2644282A1 (en) | 2012-03-28 | 2013-10-02 | Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. | Mesh for nebulizer and production method thereof |
| JP2013202409A (ja) * | 2012-10-25 | 2013-10-07 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 噴霧器用メッシュの製造方法 |
| WO2014115771A1 (ja) | 2013-01-24 | 2014-07-31 | 田中貴金属工業株式会社 | 噴霧器用メッシュおよびその製造方法 |
| US8845785B2 (en) | 2010-11-26 | 2014-09-30 | Empire Technology Development Llc | Air purification system and method using an ultrasonic wave |
| JP2015096235A (ja) * | 2015-01-28 | 2015-05-21 | 田中貴金属工業株式会社 | 噴霧機用メッシュおよびその製造方法 |
| CN105942585A (zh) * | 2016-07-19 | 2016-09-21 | 云南中烟工业有限责任公司 | 一种基于mems雾化芯片的电子烟 |
| CN105962424A (zh) * | 2016-07-19 | 2016-09-28 | 云南中烟工业有限责任公司 | 一种用于电子烟的mems雾化芯片 |
-
1996
- 1996-06-05 JP JP14248796A patent/JPH09323054A/ja not_active Withdrawn
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010102685A (ko) * | 2000-05-04 | 2001-11-16 | 윤영한 | 형광램프의 교체가 용이한 형광램프 소켓 |
| US8845785B2 (en) | 2010-11-26 | 2014-09-30 | Empire Technology Development Llc | Air purification system and method using an ultrasonic wave |
| US9403114B2 (en) | 2010-11-26 | 2016-08-02 | Empire Technology Development Llc | Air purification system and method using an ultrasonic wave |
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| JP2014140524A (ja) * | 2013-01-24 | 2014-08-07 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 噴霧機用メッシュおよびその製造方法 |
| WO2014115771A1 (ja) | 2013-01-24 | 2014-07-31 | 田中貴金属工業株式会社 | 噴霧器用メッシュおよびその製造方法 |
| EP2949357A4 (en) * | 2013-01-24 | 2016-10-05 | Tanaka Precious Metal Ind | NETWORK FOR CRUSHERS AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
| US9700685B2 (en) | 2013-01-24 | 2017-07-11 | Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. | Nebulizer mesh and production method thereof |
| US9889261B2 (en) | 2013-01-24 | 2018-02-13 | Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. | Nebulizer mesh and production method thereof |
| JP2015096235A (ja) * | 2015-01-28 | 2015-05-21 | 田中貴金属工業株式会社 | 噴霧機用メッシュおよびその製造方法 |
| CN105942585A (zh) * | 2016-07-19 | 2016-09-21 | 云南中烟工业有限责任公司 | 一种基于mems雾化芯片的电子烟 |
| CN105962424A (zh) * | 2016-07-19 | 2016-09-28 | 云南中烟工业有限责任公司 | 一种用于电子烟的mems雾化芯片 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050425 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050428 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20050520 |