JPH06322541A - 成膜装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 構成を簡単にして小型にし、安価にする。 【構成】 成膜室１の回転軸２により回転する搬送アー
ム１４と、基部１７が搬送アーム１４の先端部に枢支さ
れた回転自在の回転アーム１５と、回転アーム１５の先
端部に形成された基板支持部４と両アーム１４，１５間
に張架され搬送アーム１４に対し回転アーム１５を直線
状に位置させるばね１８と、成膜室１に設けられ，移行
してきた回転アーム１５の基部１７が当接し，ばね１８
に抗して回転アーム１５を回転するストッパ１９とを備
える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、成膜室とロード室又は
アンロード室との間に基板を移行するようにした成膜装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の成膜装置は、図５に示すようにな
っている。同図において、１は成膜室、２は成膜室１に
立設された回転軸、３は回転軸２の回転により回転する
搬送アーム、４は搬送アーム３の先端部に形成された基
板５の支持部、６，７は成膜室１の両側にそれぞれ角型
のゲートバルブ８を介して設けられたロード室及びアン
ロード室、９は成膜位置である。そして、ロード室６に
おいて、支持部４に基板５を載置し、搬送アーム３によ
り基板５を成膜位置８に搬送し、成膜後、搬送アーム３
により基板５をアンロード室７に搬送する。

【０００３】また、他の従来の成膜装置は、図６に示す
ようになっており、４本の杆１０からなるリンク機構１
１の一端が回転軸２に支持され、リンク機構１１の他端
に基板５の支持部４が形成され、リンク機構１１は、ベ
ルト，プーリ，ギヤ等により接続され、回転軸２とは別
のアクチュエータにより駆動され、リンク機構１１の伸
縮により支持部４が回転軸２の放射方向に直進して移行
するようになっている。この場合、ゲートバルブ８に対
し支持部４が垂直方向に移行するため、ゲートバルブ８
が小型になる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の図５の成膜装置
の場合、成膜室１とロード室６，アンロード室７との間
の移行を、１本の搬送アーム３により行っているため、
アーム３が長く、アーム３の回転角度が大きく、搬送ス
ペースが大になり、ロード室６，アンロード室７及びゲ
ートバルブ８が大きくなり、装置が大型になり、コスト
高になるという問題点がある。

【０００５】また、図６の成膜装置の場合、リンク機構
１１自体が複雑である上、リンク機構１１の連係にベル
ト，ギヤ，プーリ等多数の構成部材を要し、部品点数が
多く、その上、回転軸２の回転用とリンク機構１１の伸
縮用に、別個のアクチュエータ又は切換機構を要し、コ
スト高になる。さらに、機構が複雑であり、かつ、摺動
部が多いため、長期の信頼性が得られないという問題点
がある。本発明は、前記の点に留意し、構成が簡単で小
型になり、安価な成膜装置を提供することを目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の成膜装置は、成膜室の回転軸により回転す
る搬送アームと、基部が前記搬送アームの先端部に枢支
された回転自在の回転アームと、該回転アームの先端部
に形成された基板支持部と、前記両アーム間に張架され
前記搬送アームに対し前記回転アームを直線状に位置さ
せるばねと、前記成膜室に設けられ，移行してきた前記
回転アームの基部が当接し，前記ばねに抗して前記回転
アームを回転するストッパとを備えたものである。

【０００７】

【作用】前記のように構成された本発明の成膜装置は、
搬送アームの先端部に、先端部に基板支持部を形成した
回転アームの基部を枢支し、ばねにより搬送アームに対
し回転アームが直線状に位置し、ストッパにより移行し
てきた回転アームが回転し、回転アームのみがロード
室，アンロード室に出入することになり、ロード室，ア
ンロード室の容積が小さくなり、各室の真空排気時間が
短く、ゲートバルブが小になる。さらに、搬送アームの
回転角度が小さく、搬送スペースが小になり、装置が小
型になり、構成が簡単で安価になる。

【０００８】

【実施例】１実施例について図１ないし図３を参照して
説明する。それらの図において図５と同一符号は同一も
しくは相当するものを示し、１２は磁気シール１３を介
して成膜室１に導入された回転軸２を回転するロータリ
ーアクチュエータ、１４は基部が回転軸２の固着された
搬送アーム、１５はベアリング１６により基部１７が搬
送アーム１４の先端部に回転自在に枢支された回転アー
ムであり、基部１７の上部外形が四角形状になってお
り、先端部に基板５の支持部４が形成されている。

【０００９】１８は搬送アーム１４の中間部と回転アー
ム１４の基部端との間に張架された引張ばねであり、搬
送アーム１４に対し回転アーム１５を直線状に位置させ
ている。１９は成膜室１のロード室６，アンロード室７
の近傍に立設されたストッパである。

【００１０】そして、基板支持部４が成膜位置９に位置
した状態から回転軸２が回転すると、搬送アーム１４と
ともに直線状に位置した回転アーム１５が回転し、回転
アーム１５の基部１７の枢支点より回転軸２側がストッ
パ１９に当接し、回転アーム１５がばね１８に抗して回
転し、支持部４がゲートバルブ８を介してロード室６に
挿入される。

【００１１】つぎに、支持部４をロード室６から成膜室
１に移行する場合は、前記と逆であり、搬送アーム１４
が逆回転すると、ばね１８により回転アーム１５が搬送
アーム１４に対し直線状になり、直線状を維持して移行
する。また、高速搬送の場合は、図４に示すように、ス
トッパ１９としてストッパ兼ダンパのショックアブソー
バ２０を用いるのが効果的である。

【００１２】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載する効果を奏する。本発明の成
膜装置は、搬送アーム１４の先端部に、先端部に基板支
持部４を形成した回転アーム１５の基部１７を枢支し、
ばね１８により搬送アーム１４に対し回転アーム１５が
直線状に位置し、ストッパ１９により移行してきた回転
アーム１５が回転し、回転アーム１５のみをロード室
６，アンロード室７に出入させることができ、ロード室
６，アンロード室７の容積が小さくなり、各室の真空排
気時間が短く、ゲートバルブ８が小になり、さらに、搬
送アーム１４の回転角度が小さく、搬送スペースが小に
なり、装置を小型にすることができ、構成が簡単で安価
にすることができる。その上、従来のような伸縮機構を
備えず、発塵箇所が減り、耐久性を向上させることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例の切断平面図である。

【図２】図１の一部の動作説明図である。

【図３】図２の切断正面図である。

【図４】本発明の他の実施例の一部の平面図である。

【図５】従来例の切断平面図である。

【図６】他の従来例の切断平面図である。

【符号の説明】

１ 成膜室 ２ 回転軸 ４ 基板支持部 １４ 搬送アーム １５ 回転アーム １７ 基部 １８ ばね １９ ストッパ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 成膜室の回転軸により回転する搬送アー
   ムと、基部が前記搬送アームの先端部に枢支された回転
   自在の回転アームと、該回転アームの先端部に形成され
   た基板支持部と、前記両アーム間に張架され前記搬送ア
   ームに対し前記回転アームを直線状に位置させるばね
   と、前記成膜室に設けられ，移行してきた前記回転アー
   ムの基部が当接し，前記ばねに抗して前記回転アームを
   回転するストッパとを備えた成膜装置。