JPH06323457A - 圧電形圧力制御弁 - Google Patents

圧電形圧力制御弁

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JPH06323457A
JPH06323457A JP6066266A JP6626694A JPH06323457A JP H06323457 A JPH06323457 A JP H06323457A JP 6066266 A JP6066266 A JP 6066266A JP 6626694 A JP6626694 A JP 6626694A JP H06323457 A JPH06323457 A JP H06323457A
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JP
Japan
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valve
bimorph
pressure control
control valve
piezoelectric pressure
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JP6066266A
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Shunso F Watanabe
フランク ワタナベ シュンソ
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Ford Motor Co
Original Assignee
Ford Motor Co
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 被制御デバイスへ供給する液圧用流体の圧力
を入力信号に応答して連続的に調整する低コストかつ高
い周波数応答を持つ弁を提供する。 【構成】 供給口１４と吐出し口１８との間において弁
本体１２内の室に挿入された上側弁板２２と底側弁板２
４とにそれぞれ設けられた調整開口部４０、４２内に座
着可能の二重ポペット弁ヘッド４４は、常時閉位置にお
いてその鋭い調整エッジ４６で以て、開口部４０、４２
と適切に調整して流体流を阻止する。圧電ウェーハ５
０、５２で形成されるバイモルフ４８は、電位差を印加
されると、振れて弁ヘッド４４を開位置へ変位させる。
バイアス手段５８は、流体圧に抗して弁ヘッド４４を通
常の閉位置へ戻す。検出入力信号応答して発生される入
力信号に従って、電気回路５６が、バイモルフ４８に電
位差を印加する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電形圧力制御弁、特
に、高い周波数の作動能力を必要とするアンチロックブ
レーキシステムのようなシステムに関連して使用される
弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電効果は、１８８０年にジャック及び
ピーエル・キュリー（Ｊａｃｑｕｅｓａｎｄ Ｐｉｅｒ
ｒｅ Ｃｕｒｉｅ）によって発見された。彼らは、或る
種の材料が電界に晒されると変形することを発見した。
これは、逆圧電効果として知られるようになった。この
効果は、実用上、直線的である、すなわち、その変形が
その印加電位差に正比例して変動する。これは、また、
もしその材料が電界に晒されるならば、その電界の極性
に従ってその長さを増減させる弾性ひずみを経験すると
云うように、方向異存性である。この振舞いは圧電セラ
ミックのような材料に証示され、これらの材料は硬く、
化学的に不活性であり、湿気及び他の大気的影響に完全
に不感応性である。
【０００３】通常的な圧電現象の例としては、１９８７
年９月１日に発行された米国特許第４，６９０，４６５
号があり、この特許は車両油圧ブレーキシステム用滑走
防止油圧調整器を開示している。このシステムは、圧電
動作する調整器を含み、この調整器は圧電アクチュエー
タによって開閉される流路を含む。その圧電素子は、電
圧印加及び電圧降下に応答してほどんど瞬間的に膨張及
び収縮する。しかしながら、このようなシステムにおい
ては、遮断弁が「オン」又は「オフ」位置のいずれかに
置かれることによって動作の応答性が制限される。この
ようなシステムは連続制御調整を示すことはない。
【０００４】アンチロックブレーキシステムは、圧力制
御弁によって制御されるデバイスの１例である。他のこ
のようなデバイスの例証は、エンジン吸気弁及び吐出し
弁、及びサスペンションシステムである。過去におい
て、このようなデバイスの有効性は、流体流が、例え
ば、（印加ブレーキ圧力のような）検出された状態に応
答して変化する際に伴う固有の緩慢性又は遅延によって
制限されてきた。
【０００５】大部分の圧電形圧力制御弁の構成要素は、
シリコンのような石英質材料で作られた可動スプール及
び弁座である。電気的に駆動されて動作力を供給するた
め、通常は閉じているダイヤフラム弁が、加熱されたバ
イメタルダイヤフラムを使用して製造されてきた。この
ような弁は、種々の入力圧力における流体流の比例制御
を提供するように設計されてきた。これらの弁は、シリ
コンマイクロ機械加工を使用して製造される。Ｈ・ジェ
ルマン（Ｈ．Ｊｅｒｍａｎ）による「電気的に駆動さ
れ、通常は閉じているダイヤフラム弁（Ｅｌｅｃｔｒｉ
ｃａｌｌｙ Ａｃｔｉｖａｔｅｄ，Ｎｏｒｍａｌｌｙ−
Ｃｌｏｓｅｄ Ｄｉａｐｈｒａｍ Ｖａｌｖｅｓ）」と
題する論文（９１ＣＨ２８１７−５／９１ ＩＥＥＥ）
に、著者は、流量制御用の従来の弁が、スプール弁を駆
動するソレノイド又はモータの形で電磁作動を使用して
いると云うことを認めている。この参考資料は、弁作動
が圧電励振器を使用して可能であるが、しかしこのよう
な材料の性質はボタン型アクチュエータの場合非常に小
さい振れで以て大きい力を生じることを挙げている。こ
の参考資料は、このような励振器を弁アクチュエータと
して報じているが、しかしその複雑な組立て及び高い動
作電圧は多くの商業応用にとって魅力に欠けると云われ
ると述べている。
【０００６】１９８８年９月６日に発行され共通に譲渡
された米国特許第４，７６８，７５１号はシリコンマイ
クロ機械加工非弾性流量調整弁を開示している。この参
考資料は、アクチュエータ及び流体を含み、流量を制御
する弁組立体を開示している。そのアクチュエータは、
ノズル板を弁板から分離し、これによって流体を流す。
また、流体流を阻止するために閉位置へこのノズル板を
バイアスするばね手段が、開示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】この様な背景と反対
に、大量に生産できかつ現在周知のものより高い周波数
応答を示し、弁に連絡する入力信号に応答して流体出力
を連続的に変調する低コストの圧力制御弁に対する要求
が、満足されないでままである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、アンチロック
ブレーキシステムのようなデバイスに油圧用流体を送出
する圧電形圧力制御弁であり、このデバイスはこの弁か
ら出る液圧流体の圧力に応答して動作する。
【０００９】バイモルフがこの弁内に含まれ、このバイ
モルフは圧電板を含む。この板は、電位差が印加される
に従い、１つの面を曲げる一方、他の面を収縮し、これ
によってこのバイモルフを振れさせる。
【００１０】鋭い調整エッジをなす外周を有する二重ポ
ペット弁ヘッドが、このバイモルフと協動的な関係にあ
る。このヘッドは、弁室内に具備される弁板の１対内に
区画される方形開口部内に座着する。
【００１１】ばねが、これらの弁板及び二重ポペット弁
ヘッドに固定される。これらのばねは、バイモルフが印
加電位差によって振れた後にポペット弁ヘッドをその座
着（通常閉）位置に戻す様になっている。電位差を供給
するために、アナログ回路が、このバイモルフに接続さ
れる。この回路によって印加された電位差は、（自動車
のような）移動物体内で検出された（ブレーキ力のよう
な）状態に応答して発生される信号に従って変動する。
結果として、その液圧用流体の圧力は、この入力信号に
従って連続的に調整される。
【００１２】本発明の目的は、現在知られているよりも
高い周波数応答を示す圧力制御弁を提供することにあ
る。
【００１３】本発明の更に他の目的は、弁に伝達された
入力信号と直線関係である流体圧の連続調整を提供する
ことにある。
【００１４】更に、本発明の他の目的は、大量生産する
ことのできる低コストの圧力制御弁を提供することにあ
る。
【００１５】
【実施例】次に本発明について、図面を参照して説明す
る。図１は本発明による圧電形圧力制御弁の実施例の分
解斜視図であり、図２は弁をその閉位置において示す、
本発明の他の実施例の圧電形圧力制御弁の断面図であ
り、図３は図２の線３−３に沿い取られた、図２示され
た弁の断面図であり、図４は弁を開位置において示す、
本発明の代替実施例の断面図であり、図５は本発明の圧
電バイモルフの振れとその印加電圧との関係を示すグラ
フである。
【００１６】本発明は、圧電形圧力制御弁１０を開示
し、この弁は図１及び図２に描かれている。この弁は、
供給圧力（ＰS ）において液圧用流体をこの弁内へ導入
する供給口１４を備える。この供給口と連絡して室１６
及び吐出し口１８があり、後者の口は制御圧力（ＰC ）
においてこの液圧用流体を、この制御電圧に応答して動
作する装置へ送出する。このような装置には、アンチロ
ックブレーキ／牽引制御システム、車両伝達システム、
エンジン吸気／吐出し弁、及びサスペンションシステム
が含まれ、しかもこれらに限定されることはない。「ア
ンチロックブレーキ／牽引制御統合システム（Ｉｎｔｅ
ｇｒａｌ Ａｎｔｉ−Ｌｏｃｋ Ｂｒａｋｅ／Ｔｒａｃ
ｔｉｏｎ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｓｙｓｔｅｍ）」と題し共
通に所有する米国特許出願第０７／７６５，６１３号
は、１９９１年９月２５日に登録され、かつ参考資料と
して本明細書に編入される。
【００１７】室１６内に上側弁板２２及び底側弁板２４
が支持される。各弁板２２及び２４は、供給口１４の近
傍の室の壁（簡単のために図１には示されていない）に
固定される固定端２６、２８を有する。流体を流すため
に、上側弁板２２の固定端２６に吸込み流路３０（図２
及び３）が設けられ、これがこの供給口と連絡する。
【００１８】調整開口部４０、４２が、各弁板２２、２
４内に配置されている。各調整開口部内に座着可能の二
重ポペット弁ヘッド４４は、開位置と通常の閉位置との
間で連続的に変位可能である。この弁ヘッドは鋭い調整
エッジ４６を有し、この調整エッジはこの弁ヘッドが座
着しているときこの調整エッジが流体流を阻止するよう
に関連する調整開口部と協動する。
【００１９】室１６内にバイモルフ４８が配置され、こ
れは、好適には、一括接着された２つの圧電ウェーハ５
０、５２を含む。圧電セラミックは、既知であり、オラ
ンダに籍を置く、フィリップス白熱電灯製造株式会社
（Ｎ．Ｖ．Ｐｈｉｌｉｐｓ’Ｇｌｏｅｉｌａｍｐｅｎｆ
ａｂｒｉｅｋｅｎ）によってＰＸＥ（ＰＩＥＺＯＸＩＤ
Ｅ）と云う商品名の下に市販されている。このような材
料は、一般に、ジルコン酸塩及びチタン酸塩と云う化合
物である。圧電結晶は、ペロブスカイト結晶構造、すな
わち、正六面体に非常に近い正方／斜方面体構造を持つ
多結晶強誘電性材料である。圧電特性は、また水晶、電
気石、及び酒石酸カリウム／ナトリウムのようないくつ
かの天然産結晶によって示される。
【００２０】厚さ方向に分極された２つの圧電セラミッ
クのストリップ又はウェーハが一括接着されると、これ
らはバイモルフ４８を形成する。これらは反対方向に分
極されるならば、直列バイモルフと云われる。同方向に
分極されるならば、並列バイモルフと云われる。
【００２１】本発明においては、図１及び２に描かれて
いるように、好適には、ウェーハ５０、５２を含む圧電
梁は、これらのウェーハが互いに異なる圧電特性を有す
るように選択される。電位差がこれらのウェーハに印加
されるに従い、一方のウェーハは膨張し、他方のウェー
ハは収縮し、これによってこのバイモルフを振れさせ
る。振れは、事実上、瞬間的でありかつその電位差に比
例する。
【００２２】図２及び３に転じると、弁板２２の固定端
に吐出し口３０が設けられこれが供給口１４と連絡す
る。
【００２３】二重ポペット弁ヘッド４４は、弁板２２、
２４内に設けられた調整開口部４０、４２内に座着可能
である。弁ヘッド４４は、バイモルフ４８が曲がるとき
の開位置と常時閉位置との間に連続的に変位可能であ
る。弁ヘッド４４は、鋭い調整エッジ４６を有し、これ
らの調整エッジが調整開口部４０、４２と適切に調整し
て、この弁ヘッドが座着しているときこれらの調整エッ
ジで流体流を阻止する。
【００２４】この二重ポペット弁ヘッドをその通常の閉
位置へ戻すために、１対のばねのようなバイアス手段５
４が弁板２２、４４及びこの二重ポペット弁ヘッドに固
定される。このバイアス手段は、また、このポペット弁
ヘッドを関連する調整開口部内に保持するように働く。
【００２５】バイモルフ４８に接続された、好適には、
アナログ電荷励振回路５６によって電圧がこのバイモル
フに印加される。この電圧は、１つのウェーハが収縮す
る一方、他のウェーハが膨張するように印加される。こ
れらのウェーハは、一括に接合されているので、湾曲す
る。
【００２６】好適には、並列バイモルフ構成配置におい
て、両ウェーハは同じ方向に分極されかつ並列に接続さ
れる。これによって、高感度が与えられ、及び分極方向
に平行な電界を発生するバイアス電圧の印加の可能性が
与えられ、したがって、減極のおそれを除去する。この
構成配置における振れは大きく、阻止力は比較的小さ
い。
【００２７】アナログ電荷励振回路５６は、電位差をバ
イモルフ４８に印加し、このバイモルフはこの回路へ送
出される入力信号に従って調整される。この入力信号
は、検出状態のパラメータ特性に応答するマイクロプロ
セッサのような、信号発生手段５８によって供給され
る。このマイクロプロセッサの詳細については当業者の
了解範囲に属するので、簡単のために省略する。例え
ば、このマイクロプロセッサは、移動中の自動車内で検
出されるホイール回転速度のようなパラメータに応答し
てこの入力信号を発生する。
【００２８】結果として、弁からの液圧用流体の圧力
（ＰC ）が、入力信号と直線関係を保って連続的に調整
される。
【００２９】このアナログ電荷励振回路は、高パワーア
クチュエータの高速応答を利用する。この回路は、短期
間中に高い電圧レベルで強電流を送出する。本質的にこ
のバイモルフは、容量性デバイスである。したがって、
もしこのアクチュエータが高繰返し速度でスイッチされ
るならば、電力レベルは無視できない。
【００３０】好適には、このバイモルフは電荷励振回路
によって励振され、ここで誘電変位と変形との間には直
線関係が存在する（図５）。この図は、印加電圧の関数
としての圧電アクチュエータの振れの例である。図５の
曲線は、９×１８×１．５ｍｍ寸法の複数の方形板で組
み立てられたバイモルフ高パワーアクチュエータ上で測
定された。
【００３１】好適には、本発明のアナログ電荷励振回路
は、このバイモルフへ向け電流を発生し、この電流が抵
抗器（図示されていない）の両端間に電圧降下を起こさ
せる。これは、演算増幅器に対する帰還信号として使用
される。このバイモルフへの電流、したがって電荷は、
入力電圧に従って調整される。電荷励振回路は、この入
力電圧と出力電圧との間に直線応答を生じさせる。
【００３２】ここではバイモルフを開示したが、モノモ
ルフ、すなわち、単形態素子もまた適用可能であること
は明らかである。モノモルフにおいては、セラミック素
子を金属円板上に接着して、このセラミック素子と金属
円板に電位差が全く印加されないときにはその構成配置
が平坦であるようになっている。分極と反対方向に電圧
を印加する前に、この圧電セラミックは膨張する。もし
電圧を分極と反対方向に印加すると、この圧電セラミッ
クは収縮する。
【００３３】いま、図２を主として参照すると、上側弁
板２２は自由端３２を備え、これにより、供給口と連絡
する吐出し口３０を画定する。関連する流体流は、図２
及び３に描かれている。液圧流体は、供給口１４におい
て弁本体１２に入り、この供給口から流体は流体吐出し
流路３０に入り調整縁４６へ向かい、この縁４６は二重
ポペット弁ヘッド４４と適切に調整する。
【００３４】好適には、弁板２２、２４はシリコンで形
成され、及び調整縁４６は「マイクロ弁及び製造方法
（Ｍｉｃｒｏ−Ｖａｌｖｅ Ａｎｄ Ｍｅｔｈｏｄ ｏ
ｆ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ）」と題する、１９９２年
１２月７日登録の共通して所有する同時係属中の米国特
許出願第９８６，３１３号に開示されているような技術
によって製造され、この出願は参考資料として本明細書
に編入される。好適には、各弁板内に設けられた調整開
口部は方形である。
【００３５】図２に図解されているように、バイアス手
段５４は、その上側弁板の自由端と二重ポペット弁ヘッ
ド４４との間に延びる上側ばね６２、及びその底側弁板
の固定端とこの二重ポペット弁ヘッドとの間に延びる底
側ばね６４を含む。
【００３６】動作中、バイモルフ４８は、これが曲がっ
ているとき二重ポペット弁ヘッド４４が開位置へ向けて
力を加えられるようにこの弁ヘッドと適切に調整する。
この構成配置において、この圧電形圧力制御弁は開きか
つ圧液流体を吐出し口１８へ向けて流す。
【００３７】本発明の第２代替実施例が、図４に描かれ
ている。この実施例において、上側弁板２２及び下側弁
板２４は、弁板の第１対６６を規定する。弁板の第２対
６８は、バイモルフ４８と動作的に連絡して開示されて
いる。
【００３８】弁板の第２対６８は、上側弁板７０及び底
側弁板７２を含む。後者の弁板は系留端７４を有しこの
端に設けらた吐出し流路７６がこの弁本体内に区画され
た戻し口７８と連絡している。
【００３９】図４に描かれた実施例において、バイモル
フ４８はこれに電位差を印加されると振れるので、この
バイモルフが上側振れ位置へ向けて連続的に移動し、こ
の振れ位置においてこれらの弁板の上側対に関連した二
重ポペット弁ヘッドが開き、他方これらの弁板の底側対
に関連した二重ポペット弁ヘッドが閉じたままでいる。
この位置から、このバイモルフの振れは、通常の閉位置
へ戻ることができる。
【００４０】このバイモルフが下向きに振れるとき、弁
板の第２対６８に関連した二重ポペット弁ヘッドは開位
置向けて力を加えられ、第２対６８の底側弁板７２に関
連したばねによって発せられた座着させる力に抗してそ
の通常の閉位置から離れる。同時に、第１対６６の底側
弁板７２に関連した二重ポペット弁ヘッドがその通常の
閉位置へ座着し、これによって、液圧流体が吐出し口１
８へ向けて通過するのを阻止する。
【００４１】ブレーキ制御応用の場合、動作範囲の例を
挙げれば、供給圧力（ＰS ）については０から６．８９
ＭＰａ（１０００ｐｓｉ）、及び制御圧力（ＰC ）につ
いては１０．３４から１５．１６ＭＰａ（１５００〜２
２００ｐｓｉ）である。約５００Ｈｚを超える周波数応
答が実現される。
【００４２】この例では、調整圧力（ＰC ）の比例制御
が証明された。流体流量は最大４２．６ｃｍ3 ／ｓ
（２．６立方インチ／秒）と測定され、及び調整圧力
（ＰC ）は約１０．３４ＭＰａ（１５００ｐｓｉ）であ
った。流体流量の正規範囲は、最高８．２５ｃｍ3 ／ｓ
（０．５２立方インチ／秒）までであった。
【００４３】市販されているブレーキ流体が、５００セ
ーボルト秒（ＳＵＳ：Ｓａｙｂｏｌｔ Ｕｎｉｖｅｒｓ
ａｌ Ｓｅｃｏｎｄ）の粘度で使用された。流路断面積
は、約０．０４１ｃｍ2 （０．００６４平方インチ）で
あった。達成された応答時間は、１００Ｈｚ周波数応答
であった（定常状態の６３％に達するまで０．００２
秒）。使用された圧電材料は、ＮＴＫ又はＮＧＫであっ
た。
【００４４】
【発明の効果】この様に、現在知られているより高い周
波数応答を示す圧電形圧力制御弁が開示された。この弁
は、これに連絡された入力信号と直線関係を取って流体
圧力を連続的に変調させる。加えて、本発明の弁は、量
産を通して比較的低コストで製造できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による圧電形圧力制御弁の実施例の分解
斜視図。
【図２】圧電形圧力制御弁をその閉位置において示す、
本発明の他の実施例の圧電形圧力制御弁の断面図。
【図３】図２の線３−３に沿って取られた、図２示され
た弁の断面図。
【図４】圧電形圧力制御弁を開位置において示す、本発
明の代替実施例の圧電形圧力制御弁の断面図。
【図５】本発明の圧電バイモルフの振れとその印加電圧
との関係を示すグラフ。
【符号の説明】
１２ 弁本体 １４ 供給口 １６ 室 １８ 吐出し口 ２２ 上側弁板 ２４ 底側弁板 ２６、２８ 弁板の固定端 ３０ 吸込み流路 ４０、４２ 調整開口部 ４４ 二重ポペット弁ヘッド ４６ 調整エッジ ４８ バイモルフ（二形態素子） ５０、５２ 圧電ウェーハ ５４ バイアス手段 ５６ アナログ電荷励振回路 ５８ 信号発生手段 ６６、６８ 弁板の第１対、第２対 ７０ 上側弁板 ７２ 底側弁板 ７６ 吐出し流路 ７８ 戻し口

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 圧電形圧力制御弁であって、前記制御弁
    が、弁本体であって、 前記制御弁内へ液圧用流体を導入する供給口と、 前記弁本体内に区画された室と、 前記室と連絡する吐出し口であって、前記液圧用流体に
    応答して動作する被制御デバイスへ前記液圧用流体を送
    出する能力がある前記吐出し口と、を有する前記弁本体
    と、 前記室内に支持された上側弁板と隣接底側弁板であっ
    て、各弁板が、 前記供給口に隣接した前記室の壁に固定された固定端で
    あって、前記上側弁板の前記固定端が前記供給口と連絡
    する吸込み流路を備える、前記固定端と、 前記各弁板内に配置された調整開口部と、を有する前記
    弁板と、 関連する前記調整開口部内に座着可能である二重ポペッ
    ト弁ヘッドであって、開位置と通常の閉位置との間で連
    続的に変位可能であり、関連する調整開口部と協動する
    鋭い調整エッジを有し、前記調整エッジは前記二重ポペ
    ット弁ヘッドが座着しているとき流体流を阻止する、前
    記二重ポペット弁ヘッドと、 電位差が印加されるに従い１つの面が膨張し他の面が収
    縮することによって湾曲する特性を有するバイモルフ
    と、 前記各弁板に固定されたバイアス手段であって、流体圧
    に抗して通常閉位置に前記ポペット弁ヘッドを戻しかつ
    前記調整開口部内に前記ポペット弁ヘッドを整合させる
    前記バイアス手段と、 前記バイモルフに接続された電気回路であって、前記回
    路へ送出される入力信号に従って調整される電位差を前
    記バイモルフに供給する前記回路と、 検出された状態に応答して前記入力信号を発生する手段
    と、 前記検出された状態に応答して連続的に調整される前記
    吐出し口内の流体流と、を含む圧電形圧力制御弁。
  2. 【請求項２】 請求項１記載の圧電形圧力制御弁におい
    て、前記上側弁板は前記供給口と連絡する吸込み流路を
    区画する自由端を備える、圧電形圧力制御弁。
  3. 【請求項３】 請求項１記載の圧電形圧力制御弁におい
    て、前記弁板はシリコンで形成される、圧電形圧力制御
    弁。
  4. 【請求項４】 請求項１記載の圧電形圧力制御弁におい
    て、前記各弁板内に設けられる前記調整開口部と前記ポ
    ペット弁ヘッドとは方形である、圧電形圧力制御弁。
  5. 【請求項５】 請求項１記載の圧電形圧力制御弁におい
    て、前記バイモルフは、該バイモルフの振れが１つ又は
    複数の圧電ウェーハへの電位差の印加に際して起こるよ
    うに、前記１つ又は接着された複数の圧電ウェーハを含
    む、圧電形圧力制御弁。
  6. 【請求項６】 請求項１記載の圧電形圧力制御弁におい
    て、前記バイアス手段は前記上側弁板の自由端と前記二
    重ポペット弁ヘッドとの間に延びる上側ばねと、前記底
    側弁板の系留端と前記二重ポペット弁ヘッドとの間に延
    びる底側ばねとを含む、圧電形圧力制御弁。
  7. 【請求項７】 請求項１記載の圧電形圧力制御弁におい
    て、前記バイモルフは、該バイモルフが曲げられるとき
    前記二重ポペット弁ヘッドが開位置に向けて力を加えら
    れる結果、前記圧電形圧力制御弁を開きかつ前記吐出し
    口に向けて液圧流体を流すように、前記二重ポペット弁
    ヘッドと協動する、圧電形圧力制御弁。
  8. 【請求項８】 請求項１記載の圧電形圧力制御弁におい
    て、前記電気回路はアナログ電荷励振回路を有するアナ
    ログ励振回路を含む、圧電形圧力制御弁。
  9. 【請求項９】 請求項１記載の圧電形圧力制御弁におい
    て、前記検出状態はブレーキ圧力でありかつ前記被制御
    デバイスはアンチロックブレーキ／牽引制御システムで
    ある、圧電形圧力制御弁。
  10. 【請求項１０】 請求項１記載の圧電形圧力制御弁にお
    いて、前記上側弁板と前記底側弁板とは弁板の第１対を
    規定し、前記制御弁は前記バイモルフの反対面と動作的
    に連絡して配置される弁板の第２対を更に含む、圧電形
    圧力制御弁。
  11. 【請求項１１】 請求項１０記載の圧電形圧力制御弁に
    おいて、前記弁板の前記第２対は前記弁本体内に区画さ
    れた戻し口と連絡する吐出し流路を備える固定端を有す
    る上側弁板と底側弁板とを含む、圧電形圧力制御弁。
  12. 【請求項１２】 請求項１１記載の圧電形圧力制御弁に
    おいて、前記バイモルフは、前記弁板の上側対に関連し
    た二重ポペット弁ヘッドが開かれ、他方、前記弁板の底
    側対に関連した二重ポペット弁ヘッドが閉じられる上側
    振れ位置までの間で前記バイモルフが連続的に運動でき
    るように電位差を与えて振られる、圧電形圧力制御弁。
  13. 【請求項１３】 請求項１２記載の圧電形圧力制御弁に
    おいて、前記バイモルフは、前記弁板の底側対に関連し
    た二重ポペット弁ヘッドが開かれ、他方、前記弁板の上
    側対に関連した二重ポペット弁ヘッドが閉じられる底側
    振れ位置までの間で前記バイモルフが連続的に運動でき
    るように振られる、圧電形圧力制御弁。
  14. 【請求項１４】 請求項１記載の圧電形圧力制御弁にお
    いて、前記バイモルフは２つの圧電ウェーハを含む、圧
    電形圧力制御弁。
  15. 【請求項１５】 請求項１記載の圧電形圧力制御弁にお
    いて、前記バイモルフは圧電セラミック板を含む、圧電
    形圧力制御弁。
  16. 【請求項１６】 請求項１記載の圧電形圧力制御弁にお
    いて、前記バイモルフは直列バイモルフを含む、圧電形
    圧力制御弁。
  17. 【請求項１７】 請求項１記載の圧電形圧力制御弁にお
    いて、前記バイモルフは並列バイモルフを含む、圧電形
    圧力制御弁。
  18. 【請求項１８】 請求項１記載の圧電形圧力制御弁にお
    いて、前記バイモルフの振れは前記入力信号と直線関係
    を保って変化する、圧電形圧力制御弁。
  19. 【請求項１９】 圧電形圧力制御弁であって、前記制御
    弁が、弁本体であって、 前記制御弁内へ液圧用流体を導入する供給口と、 前記弁本体内に区画された室と、 前記室と連絡する吐出し口であって、前記液圧用流体に
    応答して動作する被制御デバイスへ前記液圧用流体を送
    出する能力がある前記吐出し口と、を有する前記弁本体
    と、 前記室内に支持された上側弁板と隣接底側弁板とを含む
    弁板の第１対と、 前記室内に支持された上側弁板と隣接底側弁板とを含む
    弁板の第２対と、を含み、各弁板が前記供給口の近傍の
    前記室の壁に固定された固定端であって、前記第１対の
    上側弁板の前記固定端と前記第２対の底側弁板の前記固
    定端とが吸込み流路と吐出し流路とをそれぞれ備える、
    前記固定端と、 前記各弁板内に区画された調整開口部と、を有し、前記
    制御弁が、さらに、 関連する前記調整開口部内に座着可能の二重ポペット弁
    ヘッドの対であって、開位置と通常閉位置との間で連続
    的に変位可能であり、各前記二重ポペット弁ヘッドは前
    記関連する調整開口部と協動する鋭い調整エッジを有
    し、前記調整エッジは前記二重ポペット弁ヘッドが座着
    しているとき流体流を阻止する、前記二重ポペット弁ヘ
    ッドの対と、 前記弁板の前記第１対と前記第２対との間に配置されか
    つ前記第１対と第２対と動作的に連絡するバイモルフで
    あって、電位差が印加されるに従い１つの面が膨張し他
    の面が収縮することによって前記電位差に比例して湾曲
    する特性を有する前記バイモルフと、 前記各弁板に固定されたバイアス手段であって、流体圧
    に抗して通常閉位置に前記ポペット弁ヘッドを戻しかつ
    前記関連調整開口部内に前記二重ポペット弁ヘッドを整
    合させる前記バイアス手段と、 前記バイモルフに接続された電気回路であって、前記回
    路へ送出される入力信号に従って調整される電位差を前
    記バイモルフに供給する前記電気回路と、 検出された状態に応答して前記入力信号を発生する手段
    と、 前記検出された状態に応答して連続的に調整される前記
    吐出し口と逃し口内の流体流と、を含む圧電形圧力制御
    弁。
  20. 【請求項２０】 請求項１９記載の圧電形圧力制御弁に
    おいて、前記バイモルフは、該バイモルフの振れが１つ
    又は複数の圧電ウェーハへの電位差の印加に直線的に比
    例して起こるように前記１つ又は接着された複数の圧電
    ウェーハを含む、圧電形圧力制御弁。
JP6066266A 1993-04-05 1994-04-04 圧電形圧力制御弁 Pending JPH06323457A (ja)

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