JPH06326182A - 円盤状物品用キャリア及びこれを用いた自動搬送装置 - Google Patents
円盤状物品用キャリア及びこれを用いた自動搬送装置Info
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- JPH06326182A JPH06326182A JP11332893A JP11332893A JPH06326182A JP H06326182 A JPH06326182 A JP H06326182A JP 11332893 A JP11332893 A JP 11332893A JP 11332893 A JP11332893 A JP 11332893A JP H06326182 A JPH06326182 A JP H06326182A
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- disc
- shaped article
- disk
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 半導体ウエハをキャリアに収納して、その内
部で固定すること。 【構成】 この発明のキャリア１Ａは、ウエハＳの出し
入れができる開口部７を有する本体２に複数枚のウエハ
Ｓを収納した状態で、その本体２の前記開口部７付近
に、収納された各ウエハＳに当接してそれらを固定する
押圧部材１３、１４を設け、またその押圧部材１３、１
４の解除機構４０を本体２に組み込んだ構成を採ってい
る。 【効果】 異常振動によるウエハピッチングまたはクラ
ックの発生を防止でき、キャリアとその中に収納されて
いるウエハとの位置的な相関関係が保たれているため、
不良の解析に有効であり、またキャリアからのウエハの
飛び出しがない。
部で固定すること。 【構成】 この発明のキャリア１Ａは、ウエハＳの出し
入れができる開口部７を有する本体２に複数枚のウエハ
Ｓを収納した状態で、その本体２の前記開口部７付近
に、収納された各ウエハＳに当接してそれらを固定する
押圧部材１３、１４を設け、またその押圧部材１３、１
４の解除機構４０を本体２に組み込んだ構成を採ってい
る。 【効果】 異常振動によるウエハピッチングまたはクラ
ックの発生を防止でき、キャリアとその中に収納されて
いるウエハとの位置的な相関関係が保たれているため、
不良の解析に有効であり、またキャリアからのウエハの
飛び出しがない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、円盤状物品用キャリ
ア、特に半導体ウエハ用キャリア（以下、単に「キャリ
ア」と記す）に関し、円盤状物品の一つである半導体ウ
エハ（以下、単に「ウエハ」と記す）をキャリアに収納
して搬送する場合に生じる振動などを防止できる手段を
備えたキャリアに関するものである。
ア、特に半導体ウエハ用キャリア（以下、単に「キャリ
ア」と記す）に関し、円盤状物品の一つである半導体ウ
エハ（以下、単に「ウエハ」と記す）をキャリアに収納
して搬送する場合に生じる振動などを防止できる手段を
備えたキャリアに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】先ず、円盤状物品の一つとしてウエハを
挙げ、そのウエハを収納し、移送するための従来技術の
キャリアの構成を図７乃至図９を用いて説明する。図７
は従来技術のキャリアの上面図であり、図８は図７に示
したキャリアの正面図であり、そして図９は図７に示し
たキャリアの側面図である。
挙げ、そのウエハを収納し、移送するための従来技術の
キャリアの構成を図７乃至図９を用いて説明する。図７
は従来技術のキャリアの上面図であり、図８は図７に示
したキャリアの正面図であり、そして図９は図７に示し
たキャリアの側面図である。
【０００３】これらの図において、符号１は全体として
キャリアを指す。通常、このキャリア１の本体２は、相
対する側壁３、４（図９）と、これらを平行に支持して
いるＨ型形状の支持側板５とこれと相対する四辺形の支
持側板６（図８）とから構成されており、これらの側壁
３、４及び支持側板５、６とで、それらの上方にウエハ
Ｓを出し入れできる開口７が形成されている。
キャリアを指す。通常、このキャリア１の本体２は、相
対する側壁３、４（図９）と、これらを平行に支持して
いるＨ型形状の支持側板５とこれと相対する四辺形の支
持側板６（図８）とから構成されており、これらの側壁
３、４及び支持側板５、６とで、それらの上方にウエハ
Ｓを出し入れできる開口７が形成されている。
【０００４】また前記側壁３、４の内面には、複数のウ
エハＳが互いに平行に収納できるように、楔形状の案内
溝８が複数形成されている（図７）。そしてこれらの案
内溝８はそれらの下端部９で終端し、収納されたウエハ
Ｓが下方に落下しないような構造に形成されている（図
８）。なお、符号１０はキャリアＩＤである。
エハＳが互いに平行に収納できるように、楔形状の案内
溝８が複数形成されている（図７）。そしてこれらの案
内溝８はそれらの下端部９で終端し、収納されたウエハ
Ｓが下方に落下しないような構造に形成されている（図
８）。なお、符号１０はキャリアＩＤである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような構造のキャ
リア１では、単にウエハＳが前記案内溝７に挿入されて
いるだけで、固定されていない。従って、キャリア１の
移送時に生じる異常振動によりウエハチッピングやクラ
ックが発生することがある。また、作業時のハンドリン
グミスなどにより、ウエハＳがキャリア１内で旋回して
オリフラの位置が狂うことがあり、更にまた、これは最
悪であるが、落下することもある。この発明はこのよう
な諸問題を解決することを課題とするものである。
リア１では、単にウエハＳが前記案内溝７に挿入されて
いるだけで、固定されていない。従って、キャリア１の
移送時に生じる異常振動によりウエハチッピングやクラ
ックが発生することがある。また、作業時のハンドリン
グミスなどにより、ウエハＳがキャリア１内で旋回して
オリフラの位置が狂うことがあり、更にまた、これは最
悪であるが、落下することもある。この発明はこのよう
な諸問題を解決することを課題とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】従って、この発明のウエ
ハの収納用キャリアは、ウエハの出し入れができる開口
部を有するキャリア本体に同一の直径の複数枚の円盤状
物品を収納した状態で、そのキャリアの前記開口部付近
に、収納された各ウエハに当接してそれらを固定する押
圧部材を設け、またその押圧部材のロック機構をキャリ
ア本体に組み込んだ。
ハの収納用キャリアは、ウエハの出し入れができる開口
部を有するキャリア本体に同一の直径の複数枚の円盤状
物品を収納した状態で、そのキャリアの前記開口部付近
に、収納された各ウエハに当接してそれらを固定する押
圧部材を設け、またその押圧部材のロック機構をキャリ
ア本体に組み込んだ。
【０００７】更に、キャリアが或るウエハの処理装置に
セットされた時、この処理装置の解除機構により前記押
圧部材が自動的に開放状態にされ、この状態で必要枚数
のウエハがこのキャリアに収納され、収納が完了し、そ
してこのようなウエハが収納されたキャリアを前記ウエ
ハの処理装置からリリースする時、前記押圧部材が前記
解除機構との係合が解除されて、前記押圧部材が前記ウ
エハを自動的に押圧、固定できる構成を採った。
セットされた時、この処理装置の解除機構により前記押
圧部材が自動的に開放状態にされ、この状態で必要枚数
のウエハがこのキャリアに収納され、収納が完了し、そ
してこのようなウエハが収納されたキャリアを前記ウエ
ハの処理装置からリリースする時、前記押圧部材が前記
解除機構との係合が解除されて、前記押圧部材が前記ウ
エハを自動的に押圧、固定できる構成を採った。
【０００８】更にまた、複数枚のウエハが押圧部材によ
り押圧、固定され、収納された状態のキャリアが、ウエ
ハの処理装置にセットされた時、前記各ウエハの前記押
圧部材による押圧が自動的に解除される構成を採った。
り押圧、固定され、収納された状態のキャリアが、ウエ
ハの処理装置にセットされた時、前記各ウエハの前記押
圧部材による押圧が自動的に解除される構成を採った。
【０００９】従って、前記の各構成を採ったことによ
り、キャリアが或るウエハの処理装置にセットされた
時、この処理装置の解除機構により前記押圧部材が自動
的に開放状態にされ、この状態で必要枚数のウエハがこ
のキャリアに収納され、必要枚数のウエハの収納が完了
し、次工程の他のウエハの処理装置に搬送する時、前記
押圧部材が前記解除機構との係合が解除されて、前記押
圧部材が前記ウエハを押圧、固定し、このように収納さ
れた各ウエハを固定した状態のキャリアが搬送されて前
記次工程の他のウエハの処理装置にセットされた時、こ
の処理装置の解除機構により前記押圧部材が自動的に開
放状態にされ、この状態で収納されているウエハをこの
キャリアから取り出せるウエハの自動搬送装置を構成す
ることができる。この発明はこのような各手段を用いる
ことにより、前記課題を解決することができた。
り、キャリアが或るウエハの処理装置にセットされた
時、この処理装置の解除機構により前記押圧部材が自動
的に開放状態にされ、この状態で必要枚数のウエハがこ
のキャリアに収納され、必要枚数のウエハの収納が完了
し、次工程の他のウエハの処理装置に搬送する時、前記
押圧部材が前記解除機構との係合が解除されて、前記押
圧部材が前記ウエハを押圧、固定し、このように収納さ
れた各ウエハを固定した状態のキャリアが搬送されて前
記次工程の他のウエハの処理装置にセットされた時、こ
の処理装置の解除機構により前記押圧部材が自動的に開
放状態にされ、この状態で収納されているウエハをこの
キャリアから取り出せるウエハの自動搬送装置を構成す
ることができる。この発明はこのような各手段を用いる
ことにより、前記課題を解決することができた。
【００１０】
【作用】従って、この発明のウエハ収納用キャリア及び
これを用いた自動搬送装置は複数枚のウエハをキャリア
内に確実に固定できるので、そのキャリアの移送時の振
動や作業時に生じがちなキャリアの旋回、落下を防止す
ることができる。
これを用いた自動搬送装置は複数枚のウエハをキャリア
内に確実に固定できるので、そのキャリアの移送時の振
動や作業時に生じがちなキャリアの旋回、落下を防止す
ることができる。
【００１１】
【実施例】次に、図１乃至図５を用いて、この発明のキ
ャリアを説明する。図１はこの発明のキャリアの上面図
であり、図２は図１に示したキャリアの正面図であり、
図３は図１に示したキャリアの側面図であり、図４は図
１及び図２の矢印Ｂで示した押圧機構の動作を説明する
ための片方の押圧機構のみを示した拡大側面図であっ
て、同図Ａはウエハを押圧、固定する場合の状態あり、
同図Ｂはウエハの押圧、固定を解除する場合の状態であ
り、図５は図２の矢印Ｂで示したロック機構の動作を説
明するためのロック機構の拡大図であって、同図Ａはそ
の上面図、同図Ｂはその正面図、そして同図Ｃはその側
面図であり、そして図６はこの発明のキャリアを或るウ
エハ処理装置に移載した場合のそのキャリアの前記ロッ
ク機構の解除機構を示していて、同図Ａはそのロック機
構を解除している状態を示した側面図であり、同図Ｂは
同図Ａの矢印Ｃで示した要部拡大である。なお、以下の
説明では、従来技術のキャリアと同一の構成部分には同
一の符号を付して、それらの部分の説明を省略する。
ャリアを説明する。図１はこの発明のキャリアの上面図
であり、図２は図１に示したキャリアの正面図であり、
図３は図１に示したキャリアの側面図であり、図４は図
１及び図２の矢印Ｂで示した押圧機構の動作を説明する
ための片方の押圧機構のみを示した拡大側面図であっ
て、同図Ａはウエハを押圧、固定する場合の状態あり、
同図Ｂはウエハの押圧、固定を解除する場合の状態であ
り、図５は図２の矢印Ｂで示したロック機構の動作を説
明するためのロック機構の拡大図であって、同図Ａはそ
の上面図、同図Ｂはその正面図、そして同図Ｃはその側
面図であり、そして図６はこの発明のキャリアを或るウ
エハ処理装置に移載した場合のそのキャリアの前記ロッ
ク機構の解除機構を示していて、同図Ａはそのロック機
構を解除している状態を示した側面図であり、同図Ｂは
同図Ａの矢印Ｃで示した要部拡大である。なお、以下の
説明では、従来技術のキャリアと同一の構成部分には同
一の符号を付して、それらの部分の説明を省略する。
【００１２】先ず、図１乃至図５を用いて、この発明の
キャリアの構成を説明する。これらの図において、符号
１Ａは全体としてこの発明のキャリア１Ａを指す。この
キャリア１Ａの開口７付近に在って、その本体２を構成
する側壁３、４の内面に、それらの幅方向に、かつ少な
くとも複数枚のウエハが収納できる有効幅にわたって、
即ち、前記側壁３、４の全幅よりは狭いがほぼ全幅にわ
たって、互いに平行で相対する凹溝１１、１２が各案内
溝８を横切るようにして形成されている（図１及び図
２）。
キャリアの構成を説明する。これらの図において、符号
１Ａは全体としてこの発明のキャリア１Ａを指す。この
キャリア１Ａの開口７付近に在って、その本体２を構成
する側壁３、４の内面に、それらの幅方向に、かつ少な
くとも複数枚のウエハが収納できる有効幅にわたって、
即ち、前記側壁３、４の全幅よりは狭いがほぼ全幅にわ
たって、互いに平行で相対する凹溝１１、１２が各案内
溝８を横切るようにして形成されている（図１及び図
２）。
【００１３】これらの凹溝１１、１２には、それらのほ
ぼ全幅にわたる押圧部材１３、１４が埋設されている。
これらの押圧部材１３、１４は前記のように前記各凹溝
１１、１２のほぼ全幅（凹溝１１、１２の幅より短い。
図１）の長さを有する偏平な板で、その各ウエハＳを押
圧する押圧面１５、１６は曲面に形成されており（図
２）、そしてウエハＳの側縁に衝撃を与えないような柔
軟な部材（図示していない）で構成されている。
ぼ全幅にわたる押圧部材１３、１４が埋設されている。
これらの押圧部材１３、１４は前記のように前記各凹溝
１１、１２のほぼ全幅（凹溝１１、１２の幅より短い。
図１）の長さを有する偏平な板で、その各ウエハＳを押
圧する押圧面１５、１６は曲面に形成されており（図
２）、そしてウエハＳの側縁に衝撃を与えないような柔
軟な部材（図示していない）で構成されている。
【００１４】このような各押圧部材１３、１４の各両端
部は前記各凹溝１１、１２の側面に固定された軸１７で
軸支され（図２）、前記各押圧部材１３、１４はこれら
の軸１７を支点にして回動できるように構成されてい
る。
部は前記各凹溝１１、１２の側面に固定された軸１７で
軸支され（図２）、前記各押圧部材１３、１４はこれら
の軸１７を支点にして回動できるように構成されてい
る。
【００１５】前記各押圧部材１３、１４の前記軸支され
た下端部とは反対側の上端部の上面中央部と前記各凹溝
１１、１２の底面との間にはそれぞれコイルバネ１８、
１９を介在させてあり、図４Ａに示したように（側壁
３、押圧部材１３のみを示した）、各コイルバネ１８、
１９は、通常、各押圧部材１３、１４をキャリア１Ａの
本体２の内方に向かって押圧している。
た下端部とは反対側の上端部の上面中央部と前記各凹溝
１１、１２の底面との間にはそれぞれコイルバネ１８、
１９を介在させてあり、図４Ａに示したように（側壁
３、押圧部材１３のみを示した）、各コイルバネ１８、
１９は、通常、各押圧部材１３、１４をキャリア１Ａの
本体２の内方に向かって押圧している。
【００１６】更にまた、これらの押圧部材１３、１４の
中央上端先端部には、例えば、ナイロン製の強靱なケー
ブル２０、２１の一端が係留されていて、これらのケー
ブル２０、２１の他端はそれぞれ前記側壁３、４に形成
した孔２２、２３（図３。孔２３は図示されていない）
に挿通され、それらの孔２２、２３の部分に設けられ
た、例えば、樹脂製のローラー２４、２５により下方に
方向転換され（図３）、更に、各側壁３、４の中央部に
設けられたローラー２６、２７（図３。ローラー２７は
図示されていない）により正面方向へ水平状態に方向転
換され、更にまた、前記各側壁３、４と支持側板５との
コーナーに配置されたローラー２８、２９（図１〜図
３）により方向転換されて、支持側板５の中央部に導か
れ、この中央部に少々の間隔を開けて平行に配置された
一対のローラー３０、３１（図１、図２、図５Ａ）で終
端し、それぞれに係留、固定されている。
中央上端先端部には、例えば、ナイロン製の強靱なケー
ブル２０、２１の一端が係留されていて、これらのケー
ブル２０、２１の他端はそれぞれ前記側壁３、４に形成
した孔２２、２３（図３。孔２３は図示されていない）
に挿通され、それらの孔２２、２３の部分に設けられ
た、例えば、樹脂製のローラー２４、２５により下方に
方向転換され（図３）、更に、各側壁３、４の中央部に
設けられたローラー２６、２７（図３。ローラー２７は
図示されていない）により正面方向へ水平状態に方向転
換され、更にまた、前記各側壁３、４と支持側板５との
コーナーに配置されたローラー２８、２９（図１〜図
３）により方向転換されて、支持側板５の中央部に導か
れ、この中央部に少々の間隔を開けて平行に配置された
一対のローラー３０、３１（図１、図２、図５Ａ）で終
端し、それぞれに係留、固定されている。
【００１７】次に、図２で矢印Ｂで示した前記押圧部材
１３、１４の解除機構４０を図５に拡大して示した。こ
の図５を用いてその解除機構４０を説明する。この解除
機構４０は前記各ローラー３０、３１の軸３２、３３の
延長軸に各ローラー３０、３１の中心最小径より小径で
あるが両者は同一径で、それぞれ前記各ローラー３０、
３１と一体的に回動できるように軸支されているピニオ
ン４１、４２と、これら両ピニオン４１、４２の間で、
それら両者と噛み合うラック４３と、前記支持側板５に
開けられ、このラック４３が挿通できる貫通孔５５とか
ら構成されている。
１３、１４の解除機構４０を図５に拡大して示した。こ
の図５を用いてその解除機構４０を説明する。この解除
機構４０は前記各ローラー３０、３１の軸３２、３３の
延長軸に各ローラー３０、３１の中心最小径より小径で
あるが両者は同一径で、それぞれ前記各ローラー３０、
３１と一体的に回動できるように軸支されているピニオ
ン４１、４２と、これら両ピニオン４１、４２の間で、
それら両者と噛み合うラック４３と、前記支持側板５に
開けられ、このラック４３が挿通できる貫通孔５５とか
ら構成されている。
【００１８】先ず、この解除機構４０の動作を説明する
と、図５Ｂに示したように、通常、ラック４３は本体２
の支持側板５から外方に突出しており、この図５Ｂに示
した状態において、ラック４３を上方に押圧すると、こ
のラック４３の上方への移動に伴って前記一対のピニオ
ン４１、４２の内、ピニオン４１は時計方向に、ピニオ
ン４２は半時計方向に回動し、これらと同期して前記各
ローラー３０、３１も回転し、それぞれに係留されてい
るケーブル２０、２１を巻き取る。
と、図５Ｂに示したように、通常、ラック４３は本体２
の支持側板５から外方に突出しており、この図５Ｂに示
した状態において、ラック４３を上方に押圧すると、こ
のラック４３の上方への移動に伴って前記一対のピニオ
ン４１、４２の内、ピニオン４１は時計方向に、ピニオ
ン４２は半時計方向に回動し、これらと同期して前記各
ローラー３０、３１も回転し、それぞれに係留されてい
るケーブル２０、２１を巻き取る。
【００１９】この巻取り動作、即ち、ラック４３の押圧
は手動で行うこともでき、またロボットなど自動化装置
による搬送手段でこの発明のキャリア１Ａをウエハ処理
装置に載置することにより自動的に押圧することもでき
る。後者の手段については図６を用いて後述する。いず
れにしても前記押圧したラック４３の戻りはそのラック
４３から手を離すなど押圧力を外すと、自動的に図５Ｂ
の元の状態に復帰する。
は手動で行うこともでき、またロボットなど自動化装置
による搬送手段でこの発明のキャリア１Ａをウエハ処理
装置に載置することにより自動的に押圧することもでき
る。後者の手段については図６を用いて後述する。いず
れにしても前記押圧したラック４３の戻りはそのラック
４３から手を離すなど押圧力を外すと、自動的に図５Ｂ
の元の状態に復帰する。
【００２０】次に、前記のような押圧部材１３、１４及
びそれらの解除機構４０を備えたこの発明のキャリア１
Ａの使用方法、そして自動搬送装置を図６も加えて説明
する。符号５０で示した装置はウエハ処理装置であっ
て、例えば、ウエハの表面への各種薄膜生成装置であっ
たり、ウエハの洗浄処理装置であったり、ウエハのスト
ッカーであったり、或いは完成ウエハの出荷処理装置で
あったりする。
びそれらの解除機構４０を備えたこの発明のキャリア１
Ａの使用方法、そして自動搬送装置を図６も加えて説明
する。符号５０で示した装置はウエハ処理装置であっ
て、例えば、ウエハの表面への各種薄膜生成装置であっ
たり、ウエハの洗浄処理装置であったり、ウエハのスト
ッカーであったり、或いは完成ウエハの出荷処理装置で
あったりする。
【００２１】今、この発明のキャリア１Ａを前記解除機
構４０が設けられてある支持側板５を下方にして、或る
ウエハ処理装置５０のキャリアガイド５１に載置したと
する。このウエハ処理装置５０には、図６Ａの矢印Ｃで
したように、そしてその矢印Ｃの部分を図５Ｂに拡大し
て示したように、前記キャリアガイド５１内の適当な箇
所に突起状のアクチュエーター５２が設けられており、
前記のようにキャリア１Ａを載置すると、このアクチュ
エーター５２が前記解除機構４０のラック４３をキャリ
ア１Ａの自重で押圧することになる。
構４０が設けられてある支持側板５を下方にして、或る
ウエハ処理装置５０のキャリアガイド５１に載置したと
する。このウエハ処理装置５０には、図６Ａの矢印Ｃで
したように、そしてその矢印Ｃの部分を図５Ｂに拡大し
て示したように、前記キャリアガイド５１内の適当な箇
所に突起状のアクチュエーター５２が設けられており、
前記のようにキャリア１Ａを載置すると、このアクチュ
エーター５２が前記解除機構４０のラック４３をキャリ
ア１Ａの自重で押圧することになる。
【００２２】そうすると、前記コイルバネ１８、１９で
それぞれキャリア１Ａの内方に押圧されていた押圧部材
１３、１４は、前記ラック４３の押圧による移動に従っ
て両ローラー３０、３１が前記のようにそれぞれ時計方
向及び反時計方向に回動し、ケーブル２０、２１をそれ
ぞれ巻き取り、それに従って前記コイルバネ１８、１９
に逆らい、各押圧部材１３、１４が、図４Ａに示した状
態から同図Ｂに示した状態に引き上げられ、前記キャリ
ア１Ａの開口部７（図１、図２）には何ら邪魔になるも
のが無くなり、即ち、開放され、従来技術のキャリア１
のような開口７（図７、図８）が形成されることにな
る。
それぞれキャリア１Ａの内方に押圧されていた押圧部材
１３、１４は、前記ラック４３の押圧による移動に従っ
て両ローラー３０、３１が前記のようにそれぞれ時計方
向及び反時計方向に回動し、ケーブル２０、２１をそれ
ぞれ巻き取り、それに従って前記コイルバネ１８、１９
に逆らい、各押圧部材１３、１４が、図４Ａに示した状
態から同図Ｂに示した状態に引き上げられ、前記キャリ
ア１Ａの開口部７（図１、図２）には何ら邪魔になるも
のが無くなり、即ち、開放され、従来技術のキャリア１
のような開口７（図７、図８）が形成されることにな
る。
【００２３】このような邪魔なものが無い状態になった
開口７が形成されると、従来通りの手法で、必要な枚数
のウエハＳをキャリア１Ａの案内溝８に沿って挿入し、
キャリア１Ａに収納することができる。
開口７が形成されると、従来通りの手法で、必要な枚数
のウエハＳをキャリア１Ａの案内溝８に沿って挿入し、
キャリア１Ａに収納することができる。
【００２４】このように必要枚数のウエハＳが収納され
ると、そのウエハＳを収納したキャリア１Ａをこのウエ
ハ処理装置５０から別のウエハ処理装置５０に移送しよ
うとして持ち上げると、前記解除機構４０のラック４３
が前記ウエハ処理装置５０のアクチュエーター５２から
離れるので、前記両押圧部材１３、１４はそれぞれコイ
ルバネ１８、１９の反発力で押圧されて、図４Ｂに示し
た状態から逆に自動的に同図Ａの状態になり、図２に示
したように、各押圧部材１３、１４が全ての収納された
ウエハＳの周縁部を斜め上方から下方に向かって押圧
し、各ウエハＳの下方の周縁部は各案内溝８の下端部９
に押圧されて、このように各ウエハＳは上下で固定され
ることになる。
ると、そのウエハＳを収納したキャリア１Ａをこのウエ
ハ処理装置５０から別のウエハ処理装置５０に移送しよ
うとして持ち上げると、前記解除機構４０のラック４３
が前記ウエハ処理装置５０のアクチュエーター５２から
離れるので、前記両押圧部材１３、１４はそれぞれコイ
ルバネ１８、１９の反発力で押圧されて、図４Ｂに示し
た状態から逆に自動的に同図Ａの状態になり、図２に示
したように、各押圧部材１３、１４が全ての収納された
ウエハＳの周縁部を斜め上方から下方に向かって押圧
し、各ウエハＳの下方の周縁部は各案内溝８の下端部９
に押圧されて、このように各ウエハＳは上下で固定され
ることになる。
【００２５】このように各ウエハＳが固定された状態で
収納されたキャリア１Ａを、図示していないが、次の工
程の他のウエハ処理装置５０にロボットなどで移送し、
そのウエハ処理装置５０のキャリアガイド５１に載置し
てアクチュエーター５２により前記ラック４３を押圧す
ると、前記のように押圧部材１３、１４が再び自動的に
解除され、収納されている各ウエハＳを容易に取り出す
ことができる。
収納されたキャリア１Ａを、図示していないが、次の工
程の他のウエハ処理装置５０にロボットなどで移送し、
そのウエハ処理装置５０のキャリアガイド５１に載置し
てアクチュエーター５２により前記ラック４３を押圧す
ると、前記のように押圧部材１３、１４が再び自動的に
解除され、収納されている各ウエハＳを容易に取り出す
ことができる。
【００２６】前記の説明ではロボットなどを使用してこ
の発明のキャリア１Ａを自動搬送装置に適用した場合に
おける押圧部材１３、１４の自動開閉ついて簡単に説明
したが、前記両押圧部材１３、１４の開閉を手動で行う
ことができることは前記した通りである。
の発明のキャリア１Ａを自動搬送装置に適用した場合に
おける押圧部材１３、１４の自動開閉ついて簡単に説明
したが、前記両押圧部材１３、１４の開閉を手動で行う
ことができることは前記した通りである。
【００２７】これまでの説明では、円盤状物品としてウ
エハを挙げたが、ウエハのみならず各種光ディスク、光
磁気ディスクばどを収納するキャリアにも応用できるこ
とは言うまでもない。
エハを挙げたが、ウエハのみならず各種光ディスク、光
磁気ディスクばどを収納するキャリアにも応用できるこ
とは言うまでもない。
【００２８】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、この発
明の円盤状物品用キャリア及びこれを用いた自動搬送装
置は、そのキャリア内に収納した円盤状物品を固定でき
るので、例えば、収納物がウエハである場合には、 １．異常振動によるウエハチッピングまたはクラックの
発生を防止できる ２．キャリアとその中に収納されているウエハとの位置
的な相関関係が保たれているため、不良の解析に有効で
ある ３．キャリアからのウエハの飛び出しがないため、生産
装置へキャリアをセットした後のウエハ搬送のトラブル
がなくなる ４．誤ってキャリアが傾斜しても、或る程度の衝撃まで
はウエハを固定できるため、ウエハの破損が防止できる など、数々の優れた効果が得られる。
明の円盤状物品用キャリア及びこれを用いた自動搬送装
置は、そのキャリア内に収納した円盤状物品を固定でき
るので、例えば、収納物がウエハである場合には、 １．異常振動によるウエハチッピングまたはクラックの
発生を防止できる ２．キャリアとその中に収納されているウエハとの位置
的な相関関係が保たれているため、不良の解析に有効で
ある ３．キャリアからのウエハの飛び出しがないため、生産
装置へキャリアをセットした後のウエハ搬送のトラブル
がなくなる ４．誤ってキャリアが傾斜しても、或る程度の衝撃まで
はウエハを固定できるため、ウエハの破損が防止できる など、数々の優れた効果が得られる。
【図１】 図１はこの発明のキャリアの上面図である。
【図２】 図１に示したキャリアの正面図である。
【図３】 図１に示したキャリアの側面図である。
【図４】 図１及び図２の矢印Ｂで示した押圧機構の動
作を説明するための片方の押圧機構のみを示した拡大側
面図であって、同図Ａはウエハを押圧、固定する場合の
状態あり、同図Ｂはウエハの押圧、固定を解除する場合
の状態である。
作を説明するための片方の押圧機構のみを示した拡大側
面図であって、同図Ａはウエハを押圧、固定する場合の
状態あり、同図Ｂはウエハの押圧、固定を解除する場合
の状態である。
【図５】 図２の矢印Ｂで示したロック機構の動作を説
明するためのロック機構の拡大図であって、同図Ａはそ
の上面図、同図Ｂはその正面図、そして同図Ｃはその側
面図である。
明するためのロック機構の拡大図であって、同図Ａはそ
の上面図、同図Ｂはその正面図、そして同図Ｃはその側
面図である。
【図６】 この発明のキャリアを或るウエハ処理装置に
移載した場合のそのキャリアの前記ロック機構の解除機
構を示していて、同図Ａはそのロック機構を解除してい
る状態を示した側面図であり、同図Ｂは同図Ａの矢印Ｃ
で示した要部拡大である。
移載した場合のそのキャリアの前記ロック機構の解除機
構を示していて、同図Ａはそのロック機構を解除してい
る状態を示した側面図であり、同図Ｂは同図Ａの矢印Ｃ
で示した要部拡大である。
【図７】 従来技術のキャリアの上面図である。
【図８】 図７に示したキャリアの正面図である。
【図９】 図７に示したキャリアの側面図である。
１Ａ 半導体ウエハ用キャリア（キャリア） ２ 本体 ３ 側壁 ４ 側壁 ５ 支持側板 ６ 支持側板 ７ 開口 ８ 案内溝 ９ 下端部 １０ キャリアＩＤ １１ 凹溝 １２ 凹溝 １３ 押圧部材 １４ 押圧部材 １５ 押圧面 １６ 押圧面 １７ 軸 １８ コイルバネ １９ コイルバネ ２０ ケーブル ２１ ケーブル ２２ 孔 ２４ ローラー ２５ ローラー ２６ ローラー ２７ ローラー ２８ ローラー ２９ ローラー ３０ ローラー ３１ ローラー ４０ 解除機構 ４１ ピニオン ４２ ピニオン ４３ ラック ５０ ウエハ処理装置 ５１ キャリアガイド ５２ アクチュエーター ５５ 貫通孔
Claims (5)
- 【請求項１】 円盤状物品の出し入れができる開口部を
有するキャリア本体に同一の直径の複数枚の円盤状物品
を収納した状態で、前記キャリアの前記入出開口部付近
に、収納された各円盤状物品に当接してそれらを固定す
る押圧部材を設けたことを特徴とする円盤状物品の収納
用キャリア。 - 【請求項２】 前記押圧部材のロック機構をキャリア本
体に組み込んだことを特徴とする請求項１に記載の円盤
状物品の収納用キャリア。 - 【請求項３】 請求項１に記載の円盤状物品の収納用キ
ャリアが或る円盤状物品の処理装置にセットされた時、
この処理装置の解除機構により前記押圧部材が自動的に
開放状態にされ、この状態で必要枚数の円盤状物品がこ
のキャリアに収納され、必要枚数の円盤状物品の収納が
完了し、そしてこのような円盤状物品が収納されたキャ
リアを前記円盤状物品の処理装置からリリースする時、
前記押圧部材が前記解除機構との係合が解除されて、前
記押圧部材が前記円盤状物品を自動的に押圧、固定する
ことを特徴とする円盤状物品の収納用キャリア。 - 【請求項４】 複数枚の円盤状物品が押圧部材により押
圧、固定され、収納された状態のキャリアが、円盤状物
品の処理装置にセットされた時、前記各円盤状物品の前
記押圧部材による押圧が自動的に解除されることを特徴
とする円盤状物品の収納用キャリア。 - 【請求項５】 請求項１に記載の円盤状物品の収納用キ
ャリアが或る円盤状物品の処理装置にセットされた時、
この処理装置の解除機構により前記押圧部材が自動的に
開放状態にされ、この状態で必要枚数の円盤状物品がこ
のキャリアに収納され、必要枚数の円盤状物品の収納が
完了し、次工程の他の円盤状物品の処理装置に搬送する
時、前記押圧部材が前記解除機構との係合が解除され
て、前記押圧部材が前記円盤状物品を押圧、固定し、こ
のように収納された各円盤状物品を固定した状態のキャ
リアが搬送されて前記次工程の他の円盤状物品の処理装
置にセットされた時、この処理装置の解除機構により前
記押圧部材が自動的に開放状態にされ、この状態で収納
されている円盤状物品をこのキャリアから取り出せるよ
うに構成されていることを特徴とする円盤状物品の自動
搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11332893A JPH06326182A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 円盤状物品用キャリア及びこれを用いた自動搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11332893A JPH06326182A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 円盤状物品用キャリア及びこれを用いた自動搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06326182A true JPH06326182A (ja) | 1994-11-25 |
Family
ID=14609461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11332893A Pending JPH06326182A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 円盤状物品用キャリア及びこれを用いた自動搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06326182A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN119660130A (zh) * | 2024-12-16 | 2025-03-21 | 宁波昌晖汽车零部件有限公司 | 一种电池箱 |
-
1993
- 1993-05-14 JP JP11332893A patent/JPH06326182A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN119660130A (zh) * | 2024-12-16 | 2025-03-21 | 宁波昌晖汽车零部件有限公司 | 一种电池箱 |
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