JPH1010705A - レチクルケース - Google Patents
レチクルケースInfo
- Publication number
- JPH1010705A JPH1010705A JP16415496A JP16415496A JPH1010705A JP H1010705 A JPH1010705 A JP H1010705A JP 16415496 A JP16415496 A JP 16415496A JP 16415496 A JP16415496 A JP 16415496A JP H1010705 A JPH1010705 A JP H1010705A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reticle
- case
- fixing member
- fixing
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- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Library & Information Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体の製造工程で使用されるレチクルを保
管するレチクルケースにおいて、上下双方に置くことが
できるケースを提供する。 【解決手段】 レチクルケース５０は底板５２と上面蓋
５８の双方にレチクル１の保持部材６０を備える。保持
部材６０はテーパー面６２を有し、このテーパー部６２
でレチクル１の端面を支持する。レバー状の固定部材７
０は支柱８０により回動自在に支持されており、先端部
にＶ字形の溝７２を有する。固定部材７０は引張りバネ
によりＶ字溝７２がレチクルを挾持する方向に付勢され
ており、レチクルの端面を両側から挾持固定する。固定
部材７０を解放し、前面ゲート５６を開いて、レチクル
１を出し入れする。
管するレチクルケースにおいて、上下双方に置くことが
できるケースを提供する。 【解決手段】 レチクルケース５０は底板５２と上面蓋
５８の双方にレチクル１の保持部材６０を備える。保持
部材６０はテーパー面６２を有し、このテーパー部６２
でレチクル１の端面を支持する。レバー状の固定部材７
０は支柱８０により回動自在に支持されており、先端部
にＶ字形の溝７２を有する。固定部材７０は引張りバネ
によりＶ字溝７２がレチクルを挾持する方向に付勢され
ており、レチクルの端面を両側から挾持固定する。固定
部材７０を解放し、前面ゲート５６を開いて、レチクル
１を出し入れする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造に用いら
れるレチクルあるいはマスク等のガラス基板を収納する
ケースに関するものである。
れるレチクルあるいはマスク等のガラス基板を収納する
ケースに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のレチクルケースは各装置専用に設
計されている。たとえばレチクル検査機ではレチクルの
膜面は上向きで収納されるが、ステッパーにおいてはレ
チクルケース内にレチクルの膜面は下向きに収納され
る。また従来のレチクルケースにおいて、レチクルはレ
チクルのガラス面に接触する保持部材により保持・固定
されている。具体的に従来のレチクルケースの例を説明
する。
計されている。たとえばレチクル検査機ではレチクルの
膜面は上向きで収納されるが、ステッパーにおいてはレ
チクルケース内にレチクルの膜面は下向きに収納され
る。また従来のレチクルケースにおいて、レチクルはレ
チクルのガラス面に接触する保持部材により保持・固定
されている。具体的に従来のレチクルケースの例を説明
する。
【０００３】図８は従来の方式によるレチクルケースで
あり、図８はレチクルケース内部を示す平面図であり、
図９は図８の断面図である。全体を符号１０で示すレチ
クルケースは、略正方形の底板１２と、側壁板１４で囲
まれた箱状のケース本体を有し、側壁板のうちの前面の
ゲート１８は、底板１２に対して、例えばヒンジにより
とりつけられており、ケース本体に対して開閉自在に支
持されている。ケース本体の上面には、上面蓋１６が開
閉自在にとりつけられている。
あり、図８はレチクルケース内部を示す平面図であり、
図９は図８の断面図である。全体を符号１０で示すレチ
クルケースは、略正方形の底板１２と、側壁板１４で囲
まれた箱状のケース本体を有し、側壁板のうちの前面の
ゲート１８は、底板１２に対して、例えばヒンジにより
とりつけられており、ケース本体に対して開閉自在に支
持されている。ケース本体の上面には、上面蓋１６が開
閉自在にとりつけられている。
【０００４】底板１２上には、例えば５個の保持部材２
０が設けられる。この保持部材２０は、平坦面２１を有
し、レチクル１の一方の平面１ａの周縁部を面接触によ
り支持する。上面蓋１６には、複数の固定ピン２２がス
プリング２４を介してとりつけられていて、レチクル１
の他方の平面１ｂに予圧をかけて押圧される。
０が設けられる。この保持部材２０は、平坦面２１を有
し、レチクル１の一方の平面１ａの周縁部を面接触によ
り支持する。上面蓋１６には、複数の固定ピン２２がス
プリング２４を介してとりつけられていて、レチクル１
の他方の平面１ｂに予圧をかけて押圧される。
【０００５】したがって、レチクル１は保持部材２０に
対してピン２２により押圧固定されて保持される。この
固定ピン２２は前面ゲート１８を開くと、レチクル１の
固定を解除するように構成されている。またレチクルケ
ース１０にレチクル１を出し入れする場合は、上面蓋１
６を開いて行う。さらに装置が自動でレチクル１をレチ
クルケースから搬入・搬出を行う場合には、装置のレチ
クル自動搬送装置が前面ゲート１８を自動で開けて行
う。
対してピン２２により押圧固定されて保持される。この
固定ピン２２は前面ゲート１８を開くと、レチクル１の
固定を解除するように構成されている。またレチクルケ
ース１０にレチクル１を出し入れする場合は、上面蓋１
６を開いて行う。さらに装置が自動でレチクル１をレチ
クルケースから搬入・搬出を行う場合には、装置のレチ
クル自動搬送装置が前面ゲート１８を自動で開けて行
う。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このように従来のレチ
クルケースでは、構造上レチクルケースを上下逆さまに
設置したまま、レチクル１を取り出すことは不可能であ
る。このためレチクル１の一方の平面に形成される膜面
を下にして利用するステッパーなどの装置と、膜面を上
にして利用するＥＢ装置や検査装置とでは、レチクルケ
ースを共通に使用することは不可能であった。また従来
のレチクルケースでは、レチクル１のガラス研磨面に保
持部材２０が直接接触するように構成されているので、
接触部分から発生するゴミがガラス研磨面に付着しやす
く、超精密に描画されているパターンにも悪影響を及ぼ
すこともあった。さらにレチクル１は上下方向からのみ
固定されているので、レチクル１の側面１ｄ方向には動
きやすく、このことがゴミの発生に拍車をかけていると
いう欠点もあった。
クルケースでは、構造上レチクルケースを上下逆さまに
設置したまま、レチクル１を取り出すことは不可能であ
る。このためレチクル１の一方の平面に形成される膜面
を下にして利用するステッパーなどの装置と、膜面を上
にして利用するＥＢ装置や検査装置とでは、レチクルケ
ースを共通に使用することは不可能であった。また従来
のレチクルケースでは、レチクル１のガラス研磨面に保
持部材２０が直接接触するように構成されているので、
接触部分から発生するゴミがガラス研磨面に付着しやす
く、超精密に描画されているパターンにも悪影響を及ぼ
すこともあった。さらにレチクル１は上下方向からのみ
固定されているので、レチクル１の側面１ｄ方向には動
きやすく、このことがゴミの発生に拍車をかけていると
いう欠点もあった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記のような従来のレチ
クルケースの欠点を解決するために、本発明においては
レチクルケースを上下逆にしても使用でき、ゴミ対策と
して、レチクル１の端面により保持する保持部材をレチ
クルの上面および下面の両方に上下対称に設置した。さ
らにレチクル固定部材に関してもレチクルの端面を左右
から挟み込むように工夫して、従来のレチクルケースの
欠点を克服した。
クルケースの欠点を解決するために、本発明においては
レチクルケースを上下逆にしても使用でき、ゴミ対策と
して、レチクル１の端面により保持する保持部材をレチ
クルの上面および下面の両方に上下対称に設置した。さ
らにレチクル固定部材に関してもレチクルの端面を左右
から挟み込むように工夫して、従来のレチクルケースの
欠点を克服した。
【０００８】このように本発明によると、レチクルケー
スを上下逆さまにしても使用できるので、全てのレチク
ル関連の装置に利用することが可能となり、工程ごとに
異なったレチクルケースあるいはレチクルキャリアなど
にレチクルを入れ替えたりする必要もなくなる。このた
めオペレータがレチクルに介在する機会が大幅に減少
し、レチクルに付着するゴミは格段に減少する。また、
本発明によるレチクルケースでは、レチクルケース内部
で発生するゴミをも抑制するように構成されているの
で、超クリーンな環境を提供できる。
スを上下逆さまにしても使用できるので、全てのレチク
ル関連の装置に利用することが可能となり、工程ごとに
異なったレチクルケースあるいはレチクルキャリアなど
にレチクルを入れ替えたりする必要もなくなる。このた
めオペレータがレチクルに介在する機会が大幅に減少
し、レチクルに付着するゴミは格段に減少する。また、
本発明によるレチクルケースでは、レチクルケース内部
で発生するゴミをも抑制するように構成されているの
で、超クリーンな環境を提供できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明によるレチクルケースの実
施例を図１〜図４を用いて説明する。図１は本発明によ
るレチクルケースの斜視図であり、レチクルケースの上
面蓋５８および前面ゲート５６が開いた状態を描いてい
る。図２はレチクル１を固定部材７０により固定してい
る状態を示す平面図、図３は図２のＡ−Ａ矢視図、図４
は図２のＢ−Ｂ矢視図である。
施例を図１〜図４を用いて説明する。図１は本発明によ
るレチクルケースの斜視図であり、レチクルケースの上
面蓋５８および前面ゲート５６が開いた状態を描いてい
る。図２はレチクル１を固定部材７０により固定してい
る状態を示す平面図、図３は図２のＡ−Ａ矢視図、図４
は図２のＢ−Ｂ矢視図である。
【００１０】全体を符号５０で示すレチクルケースは、
略正方形の底板５２と、底板５２の３方の辺を囲む側壁
板５４を有し、残りの辺には不図示のヒンジにより前面
ゲート５６が開閉自在にとりつけられる。
略正方形の底板５２と、底板５２の３方の辺を囲む側壁
板５４を有し、残りの辺には不図示のヒンジにより前面
ゲート５６が開閉自在にとりつけられる。
【００１１】底板５２上には保持部材６０が固着され
る。保持部材６０は、例えば５個配設され、各保持部材
６０は、テーパー部６２を有し、このテーパー部６２で
レチクル１の円周部を支持する。
る。保持部材６０は、例えば５個配設され、各保持部材
６０は、テーパー部６２を有し、このテーパー部６２で
レチクル１の円周部を支持する。
【００１２】レチクル１は、研磨平面１ａ，１ｂと側面
１ｄを有するガラス材料でつくられる略正方形の板材で
あって、一般的に研磨平面１ａ，１ｂと側面１ｄとの間
には約４５度の面取り部が形成されている。従ってレチ
クル１は、レチクル１の面取り部で保持部材６０のテー
パー部６２により線接触又は面接触にて支持されてい
る。
１ｄを有するガラス材料でつくられる略正方形の板材で
あって、一般的に研磨平面１ａ，１ｂと側面１ｄとの間
には約４５度の面取り部が形成されている。従ってレチ
クル１は、レチクル１の面取り部で保持部材６０のテー
パー部６２により線接触又は面接触にて支持されてい
る。
【００１３】本発明のレチクルケース５０は、ケース本
体に不図示のヒンジにより開閉自在にとりつけられる上
面蓋５８を有し、上面蓋５８の裏面にも保持部材６０が
配設される。
体に不図示のヒンジにより開閉自在にとりつけられる上
面蓋５８を有し、上面蓋５８の裏面にも保持部材６０が
配設される。
【００１４】したがって、上面蓋５８を閉じた状態にあ
っては、レチクルケース５０を底板５２を下においた状
態にあっても、又は上面蓋５８を下に置いた状態にあっ
ても、レチクル１は保持部材６０によって、レチクル１
の端面で支持されることとなる。
っては、レチクルケース５０を底板５２を下においた状
態にあっても、又は上面蓋５８を下に置いた状態にあっ
ても、レチクル１は保持部材６０によって、レチクル１
の端面で支持されることとなる。
【００１５】このレチクルケース５０にあっては、ケー
ス本体の対向する２つの側壁部に一対の固定部材７０が
配設される。固定部材７０は、支柱８０に対して回動自
在に支持されており、レチクル１に対向する位置にＶ字
形の溝７２が形成されている。底板５２上に立設される
ピン８４と、固定部材７０に立設されるピン８６との間
には、引張りバネ８２が張設されていて、Ｖ字溝７２を
常時レチクル１に向けて付勢する。
ス本体の対向する２つの側壁部に一対の固定部材７０が
配設される。固定部材７０は、支柱８０に対して回動自
在に支持されており、レチクル１に対向する位置にＶ字
形の溝７２が形成されている。底板５２上に立設される
ピン８４と、固定部材７０に立設されるピン８６との間
には、引張りバネ８２が張設されていて、Ｖ字溝７２を
常時レチクル１に向けて付勢する。
【００１６】したがって、固定部材７０でレチクル１の
端面を両側から挾持して固定する際には、図４に示すよ
うにレチクル１の端面は固定部材７０のＶ字溝７２との
み接触し、保持部材６０のテーパー部６２とは接触しな
い（図３参照）。
端面を両側から挾持して固定する際には、図４に示すよ
うにレチクル１の端面は固定部材７０のＶ字溝７２との
み接触し、保持部材６０のテーパー部６２とは接触しな
い（図３参照）。
【００１７】この状態にあっては、支柱８０を挾んでＶ
字溝７２とは反対側に設けられるレバー部７４は、ケー
スの側壁板５４より外側に突出する。
字溝７２とは反対側に設けられるレバー部７４は、ケー
スの側壁板５４より外側に突出する。
【００１８】図５は固定部材７０がレチクル１を開放し
た状態を示す平面図、図６は図５のＡ−Ａ矢視図、図７
は図５のＢ−Ｂ矢視図である。固定部材７０のレバー部
７４を押圧することにより、Ｖ字溝７２はレチクル１の
挾持を解き、レチクル１はレチクル１の端面で保持部材
６０のテーパー部６２により支持される。
た状態を示す平面図、図６は図５のＡ−Ａ矢視図、図７
は図５のＢ−Ｂ矢視図である。固定部材７０のレバー部
７４を押圧することにより、Ｖ字溝７２はレチクル１の
挾持を解き、レチクル１はレチクル１の端面で保持部材
６０のテーパー部６２により支持される。
【００１９】固定部材７０は、クリック等のストッパ機
構を備え開いた状態に保持される。この状態にあって
は、レチクル１は、オペレータあるいは自動搬送装置に
よる取り出しが可能な状態となる。固定部材７０を開放
した状態では、レチクルケース５０を置いた状態で下側
の保持部材６０にて支持されているだけであり、保持部
材６０は上下に配置されているので、レチクルケース５
０を上向きに置いても下向きに置いても前ゲート５６を
開けるだけで取り出しは可能である。また、再びレチク
ル１を固定する時は、レバー部７４を押してストッパ機
構を解除すればよい。
構を備え開いた状態に保持される。この状態にあって
は、レチクル１は、オペレータあるいは自動搬送装置に
よる取り出しが可能な状態となる。固定部材７０を開放
した状態では、レチクルケース５０を置いた状態で下側
の保持部材６０にて支持されているだけであり、保持部
材６０は上下に配置されているので、レチクルケース５
０を上向きに置いても下向きに置いても前ゲート５６を
開けるだけで取り出しは可能である。また、再びレチク
ル１を固定する時は、レバー部７４を押してストッパ機
構を解除すればよい。
【００２０】また、本実施例は上記の構成だけに限られ
ず、たとえば、レチクルケース５０の前面ゲート５６が
開くと、それに連動して固定部材７０がレチクル１の固
定を解除したりすることも可能である。本実施例の図に
は図示されていないが、本実施例におけるレチクルケー
スにレチクル確認用の窓を設けたりしても便利である。
ず、たとえば、レチクルケース５０の前面ゲート５６が
開くと、それに連動して固定部材７０がレチクル１の固
定を解除したりすることも可能である。本実施例の図に
は図示されていないが、本実施例におけるレチクルケー
スにレチクル確認用の窓を設けたりしても便利である。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明によると、レチクル
ケースを上下逆さまに設置することが可能であるので、
レチクルの膜面を下にして利用する装置と、レチクルの
膜面を上にして利用する装置とでレチクルケースを共有
することが出来る。このためひとつの装置から、別の装
置へレチクルを移動させる時に、レチクルをレチクルケ
ースから取り出す必要がなく、ゴミがレチクルに付着す
ることも無くなる。また、本発明のレチクルケースで
は、レチクルの端面を保持しているので、レチクルがレ
チクルケース内で動くこともなく、レチクルのガラス面
や膜面にダメージを与えることもない。このため、安全
にかつクリーンな状態を維持することが可能である。
ケースを上下逆さまに設置することが可能であるので、
レチクルの膜面を下にして利用する装置と、レチクルの
膜面を上にして利用する装置とでレチクルケースを共有
することが出来る。このためひとつの装置から、別の装
置へレチクルを移動させる時に、レチクルをレチクルケ
ースから取り出す必要がなく、ゴミがレチクルに付着す
ることも無くなる。また、本発明のレチクルケースで
は、レチクルの端面を保持しているので、レチクルがレ
チクルケース内で動くこともなく、レチクルのガラス面
や膜面にダメージを与えることもない。このため、安全
にかつクリーンな状態を維持することが可能である。
【図１】本発明によるレチクルケースの上面蓋を半分開
いた状態を示す斜視図。
いた状態を示す斜視図。
【図２】本発明によるレチクルケースのレチクルを固定
した状態を示す平面図。
した状態を示す平面図。
【図３】図２のＡ−Ａ矢視図。
【図４】図２のＢ−Ｂ矢視図。
【図５】本発明によるレチクルケースのレチクルを固定
していない状態を示す平面図。
していない状態を示す平面図。
【図６】図５のＡ−Ａ矢視図。
【図７】図５のＢ−Ｂ矢視図。
【図８】従来のレチクルケースの平面図。
【図９】従来のレチクルケースの側面図。
１ レチクル ５０ レチクルケース ５２ 底板 ５６ 前面ゲート ５８ 上面蓋 ６０ 保持部材 ７０ 固定部材 ８２ 引張りバネ
Claims (6)
- 【請求項１】 レチクルを該レチクルの端面により保持
する保持部材がレチクルの表面側および裏面側の両方に
配置されてなるレチクルケース。 - 【請求項２】 レチクルを該レチクルの端面により固定
するレチクル固定部材が配置されてなることを特徴とす
る請求項１記載のレチクルケース。 - 【請求項３】 前記レチクル固定部材をレチクルの端面
方向に予圧をかけて固定する予圧手段と、前記レチクル
固定部材のレチクルへの固定を解除する解除手段と、を
有することを特徴とする請求項２記載のレチクルケー
ス。 - 【請求項４】 略正方形の底板と、底板の三辺を囲む側
壁板と、底板の残りの辺に開閉自在にとりつけられる前
面ゲートと、底板上に配設されてレチクルの端面を支持
する保持部材と、側壁材に対して開閉自在にとりつけら
れる上面蓋と、上面蓋の裏面に配設されてレチクルの端
面を支持する保持部材を備えるレチクルケース。 - 【請求項５】 レチクルケースの対向する側壁材に対し
て支柱により回動自在に支持される一対の固定部材と、
固定部材をレチクルの端面に対して付勢する与圧手段を
備える請求項４記載のレチクルケース。 - 【請求項６】 固定部材はレチクルの端面で挾持するＶ
字溝を備える請求項５記載のレチクルケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16415496A JPH1010705A (ja) | 1996-06-25 | 1996-06-25 | レチクルケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16415496A JPH1010705A (ja) | 1996-06-25 | 1996-06-25 | レチクルケース |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1010705A true JPH1010705A (ja) | 1998-01-16 |
Family
ID=15787772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16415496A Pending JPH1010705A (ja) | 1996-06-25 | 1996-06-25 | レチクルケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1010705A (ja) |
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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