JPH0632619A - フッ化物ガラスの製造装置及び製造方法 - Google Patents

フッ化物ガラスの製造装置及び製造方法

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JPH0632619A
JPH0632619A JP5115012A JP11501293A JPH0632619A JP H0632619 A JPH0632619 A JP H0632619A JP 5115012 A JP5115012 A JP 5115012A JP 11501293 A JP11501293 A JP 11501293A JP H0632619 A JPH0632619 A JP H0632619A
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JP
Japan
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fluoride glass
heating
raw material
crucible
furnace core
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JP5115012A
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English (en)
Inventor
Masashi Onishi
正志 大西
Takashi Kogo
隆司 向後
Hiroo Kanamori
弘雄 金森
Chie Watanabe
智恵 渡辺
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Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C13/00Fibre or filament compositions
    • C03C13/04Fibre optics, e.g. core and clad fibre compositions
    • C03C13/041Non-oxide glass compositions
    • C03C13/042Fluoride glass compositions
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00Glass compositions
    • C03C3/32Non-oxide glass compositions, e.g. binary or ternary halides, sulfides or nitrides of germanium, selenium or tellurium
    • C03C3/325Fluoride glasses

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 伝送損失が小さいフッ化物ガラスファイバ用
のフッ化物ガラスを提供すること。 【構成】 炉芯管21の内部には、溶融用のるつぼ4、
5を収容する円柱状空間が形成されている。この炉芯管
21内には、その内面形状に対応した円柱状のPt板2
1aが挿入されている。フッ化物からなる一対の原料バ
ッチにフッ素化剤NH4 HF2 を添加したものを、一対
のるつぼ4、5に入れて炉芯管21内にセットする。加
熱してこれにフッ素化処理を施した後、各るつぼ4、5
を加熱して原料を溶融する。その後、各るつぼ4、5の
融液を鋳型に流し込み、サクションキャスティングによ
ってガラス化したロッドを得る。このロッドは、コア・
クラッド導波構造を成すファイバ用のプリフォ−ムにな
っている。このプリフォ−ムを線引きしたところ、多結
晶が発生せず、伝送特性が良好なフッ化物ガラスファイ
バを得ることができた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバ等に用いる
フッ化物ガラスの製造装置と製造方法とに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、フッ化物ガラスを不活性ガスの雰
囲気中で製造するための装置として、例えば文献「Fluo
ride Glass Optical Fibers, by P.W. FRANCE et al.,
Blackie 」に記載の装置が存在する。この装置は、不活
性ガス雰囲気中で作業を行うためのグロ−ブボックスと
この上部に接続された溶融炉とを備える。この溶融炉
は、石英ガラス製の炉芯管からなり、ガラス原材料を入
れたるつぼをグロ−ブボックスとの間でやり取りするこ
とができる。
【0003】このような装置を用いたフッ化物ガラスの
製法について簡単に説明する。予め、ZrF4 、BaF
2 、LaF3 、AlF3 、NaF、PbF2 等の原材料
に、フッ素化剤のNH4 HF2 を原材料の5〜30重量
%添加したものを準備する。まず、この原材料をPtる
つぼに入れ、400℃に加熱してフッ素化処理する。こ
のフッ素化の反応式は、 ZrO2 +NH4 HF2 →ZrF4 +H2 O+NH3 である。引き続き、原材料を850℃〜950℃に加熱
してこれを溶融する。その後、得られた融液を鋳造して
ガラス化する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
装置及び方法では、フッ素化処理及び溶融時に発生する
HFガスが炉芯管の内面のSiO2 などと反応すること
により、例えばSiF4、Si2 6 等が発生し、これ
らがガラス中に溶け込み、急冷後のガラスに微結晶を生
成させてしまうという問題点がある。
【0005】本発明の目的は、伝送損失が小さいフッ化
物ガラスファイバ用のフッ化物ガラスを提供することに
ある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、前述の
目的は、内面部がPtを含む金属材料から構成されてお
り、るつぼに入れられたフッ化物ガラスの原材料を溶融
する加熱容器と、該加熱容器と連通しており、原材料の
融液を不活性ガス雰囲気中で鋳造するための操作容器と
を備えるフッ化物ガラスの製造装置によって達成され
る。
【0007】
【作用】本発明のフッ化物ガラスの製造装置によれば、
内面部がPtを含む金属材料から構成されている加熱容
器はるつぼに入れられたフッ化物ガラスの原材料を溶融
し、操作容器は原材料の融液を鋳造する。従って、加熱
容器の内面部がPtを含む金属材料から構成されている
が故に、フッ化物ガラスの原材料が溶融されてHFガス
が発生しても、加熱容器の基体材料とHFガスとの反応
によりフッ化物が生成され得ない。従って、基体材料の
フッ化物が融液に混入することにより形成される微結晶
がフッ化物ガラス中に生成され得ず、均質なフッ化物ガ
ラスが形成され得る。
【0008】本発明のフッ化物ガラスの製造装置にかか
る加熱容器としては、該加熱容器の少なくとも二つが操
作容器を介して互いに連通しているのがよい。これによ
り、加熱容器は互いに独立な温度制御が可能となり得、
原料の用途別に最適な温度が設定され得る。
【0009】
【実施例】以下、本発明を図面に示す好ましい具体例を
用いて詳述する。
【0010】図1は、第1の実施例に係るフッ化物ガラ
スの製造装置の構成を示した図である。この装置は、操
作容器としてのドライグロ−ブボックス1とこれに接続
された加熱容器としての加熱炉2とを備える。加熱炉2
は、石英製の炉芯管21とその解放端に設けられたキャ
ップ23と炉芯管21の周囲を包むヒ−タ22とを有す
る。炉芯管21は、SiO2 ガラスで形成されている。
【0011】炉芯管21の内部には溶融用のるつぼ4,
5を収容する円柱状の空間が形成されている。この炉芯
管21の内部空間には、その内面形状に対応した円筒状
のPt板からなる内面部としてのPt筒21aが挿入さ
れている。この場合、炉芯管21として、内径φ70m
mで長さ800mmのSiO2 ガラスを使用した。ま
た、その内側に挿入するPt筒21aとして、外径φ7
0mmで厚さ150μmである長さ750mmの筒を使
用した。
【0012】炉芯管21のドライグロ−ブボックス1側
の端部には、吸入口21bが設けられていて、不活性ガ
スであるN2 、Ar等をこの炉芯管21内に導入するこ
とができる。炉芯管21内に導入された不活性ガス、内
部で発生したガス等は、その他端に設けられた排出口2
1cから排気される。炉芯管21中のるつぼ4、5は、
台25の上に載置されており、前述のキャップ23を介
してドライグロ−ブボックス1側に取り出すことができ
る。
【0013】ドライグロ−ブボックス1には、作業用の
グロ−ブ11、観察窓12の他、エントリ−ロック、ア
ニ−ル炉等が設けられている。
【0014】以下、図1の装置を用いた本発明のフッ化
物ガラスの製造装置における第1の製造例に関して説明
する。まず、ドライグロ−ブボックス1内で、Zr
4 、BaF2 、LaF3 、AlF3 、及びNaFから
なる一対の原材料50gを準備する。この原材料に添加
剤としての5重量%のフッ素化剤NH4 HF2 を添加し
たものを、一対の溶融用のるつぼ4、5に入れて、台2
5に乗せて炉芯管21内に投入する。次に、るつぼ4、
5をAr雰囲気中で400℃に加熱して1時間保持し、
これらのるつぼ4、5内の原料に含まれる酸化物を除去
(フッ素化処理)する。その次に、るつぼ4、5をAr
雰囲気中で850℃に加熱して1.5時間保持し、るつ
ぼ4、5内の原材料を溶融する。次に、キャップ23を
取り外し、台25と共にるつぼ4、5をグロ−ブ11を
使用して炉芯管21からドライグロ−ブボックス1内へ
取り出す。そして、るつぼ4、5の融液を鋳型に流し込
み、鋳造としてのサクションキャスティングによってガ
ラス化した後、これを徐冷してロッドを得る。このロッ
ドは、コア・クラッド導波構造を成すファイバ用のプリ
フォ−ムになっている。このプリフォ−ムを線引きして
得られたファイバは、波長λ=1.3μmの光に対して
伝送損失が80dB/Kmと良好であった。
【0015】比較のため、図1と同様の装置で炉芯管2
1内からPt筒21aを取り出したものを用いて、同組
成のプリフォ−ムを作製した。加熱溶融時の熱処理の手
順は実施例のものと同様とした。得られた比較例のプリ
フォ−ムのガラス中には、多量の微結晶が生成してい
た。この結晶を分析したところ、Siの化合物であるこ
とが確認された。このプリフォ−ムを線引きしてファイ
バ化したが、長さ10mの光ファイバにおいて光が全く
通らなかった。
【0016】図1の装置の変形例として、Pt筒のかわ
りに、炉芯管14の内面にメッキ法などによって被着し
たPt層を用いることができる。以下に、その具体例に
ついて簡単に説明する。
【0017】Ptを石英製の炉芯管14の内側に無電解
メッキによって約80μmコ−ティングし、上記実施例
と同様にしてプリフォ−ム及び光ファイバを作製した。
結果は、前述の製造例と同様に良好なものであった。
【0018】Ptを石英製の炉芯管14の内側にスパッ
タリング法によって約30μmコ−ティングし、上記実
施例と同様にしてプリフォ−ム及び光ファイバを作製し
た。結果は、前述の製造例と同様に良好なものであっ
た。
【0019】次に、第2の実施例に関して説明する。図
2は、第2の実施例のフッ化物ガラスの製造装置の構成
を示した図である。この装置は、ドライグロ−ブボック
ス1と、これに接続された横型の加熱炉2と、縦型の加
熱炉3とを備える。加熱炉2、3のそれぞれは、炉芯管
21、31とその解放端に設けられたキャップ23、3
3と炉芯管21、31の周囲を包むヒ−タ22、32と
を有する。これら炉芯管21、31はSiO2 ガラスで
形成されている。
【0020】炉芯管21、31の内部には溶融用のるつ
ぼ4、5を収容する円柱状の空間が形成されており、内
面形状に対応した円筒状のPt板からなるPt筒21
a、31aが挿入されている。炉芯管21、31のドラ
イグロ−ブボックス1側の端部には、吸入口21b、3
1bが設けられていて、不活性ガスであるN2 、Ar等
をこの炉芯管21、31内に導入することができる。炉
芯管21、31内に導入された不活性ガス、内部で発生
したガス等は、その他端に設けられた排出口21c、3
1cから排気される。炉芯管21、31中のるつぼ4、
5は、台25、35の上に設置されており、前述のキャ
ップ23、33を介してドライグロ−ブボックス1側に
取り出すことができる。
【0021】ドライグロ−ブボックス1には、作業用の
グロ−ブ11、観察窓12の他、エントリ−ロック、ア
ニ−ル炉等が設けられている。
【0022】以下、図2の装置を用いた本発明のフッ化
物ガラスの製造装置による製造例に関して説明する。コ
ア部およびクラッド部(クラッドは一層のみとする)の
材料組成は以下の通りとする。この組成では非屈折率差
の設計値が1%であり、伝送損失を最小化するために
は、溶融温度をコア材料では870℃に、クラッド材料
では880℃に設定するとともに、鋳造時の融液温度を
コア融液では660℃に、クラッド融液では670℃に
設定すればよいことが知られている。
【0023】(1)コア:53ZrF4 −21BaF2
−4LaF3 −3AlF3 −18NaF(mol%) (2)クラッド:11ZrF4 −17BaF2 −4La
3 −4AlF3 −22NaF−40HfF4 (mol
%) まず、コアの原材料50gとNH4 HF2 の2.5gを
一つのるつぼ4に、クラッドの原材料100gとNH4
HF2 の5gを他のるつぼ5に入れる。そして、るつぼ
4を台25に乗せて炉芯管21内へ投入し、るつぼ5を
台35に乗せて炉芯管31内に投入して、キャップ2
3、33を取り付ける。るつぼ4、5をAr雰囲気中で
約400℃に加熱して1時間放置し、原材料に含まれる
酸化物を除去(フッ素化処理)する。次に、ヒ−タ2
2、32を独立に制御することにより、コア材料の入っ
たるつぼ4をAr雰囲気中で870℃に加熱し、クラッ
ド材料の入ったるつぼ5をAr雰囲気中で880℃で加
熱して、るつぼ4、5内の材料を溶融する。その後、再
びヒ−タ22、32を独立に制御して、コア融液を66
0℃のAr雰囲気中で、クラッド融液を670℃のAr
雰囲気中でそれぞれ1時間放置しAr雰囲気と融液温度
を同一にする。
【0024】引き続き、キャップ33を取り外し、台3
5と共にるつぼ5を炉芯管31から、グロ−ブ11を使
用してドライグロ−ブボックス1へ取り出し、予め26
0℃に加熱した円筒鋳型へクラッド融液を流し込んで鋳
造する。次いで、キャップ23を取り外し、台25と共
にるつぼ4を炉芯管21から、グロ−ブ11を使用して
ドライグロ−ブボックス1へ取り出し、同様にコア融液
を鋳造して放置する。以上の作業はすべて不活性ガス雰
囲気中で行われる。こうして得られたプリフォ−ムに加
熱線引きと徐冷とを施し、外径125μmのファイバを
製造する。
【0025】以上の工程により製作されたファイバの透
過光波長に対する伝送損失を測定したところ、図3のグ
ラフ中の実線101で示した結果を得た。波長λ=1.
3μmの光に対して伝送損失は20dB/Kmと極めて
良好であった。
【0026】本発明者は、比較例として第2の実施例と
同一の原材料を用いて従来方法でファイバを製作した。
即ち、加熱炉を一つのみ備えたフッ化物ガラスの製造装
置を用い、コア材料およびクラッド材料を共に、880
℃で溶融後、鋳造時の融液温度を670℃に設定して、
上記実施例と同様の工程でファイバを製作し、その透過
光波長に対する伝送損失を測定した結果を、図3のグラ
フ中の一点鎖線103で示す。波長λ=1.3μmの光
に対して伝送損失が220dBであった。
【0027】更に、本発明者は、第2の実施例において
Pt筒21a、31aが設けられていないフッ化物ガラ
スの製造装置を比較例として取り上げており、同様の原
材料及び同様の工程で製作したファイバの透過光波長に
対する伝送損失を測定したところ、図3の破線102で
示した結果を得た。波長λ=1.3μmの伝送光に対し
て伝送損失が80dB/Kmであった。
【0028】図3の破線102と一点鎖線103の比較
の結果、本発明の第1の実施例に示されるように従来法
の製造装置の炉芯管内にPt筒を挿入させることによ
り、1.3μm以上の波長の光で伝送損失が140dB
/Km程度改善されたことが分かる。また、図3の実線
101と破線102の比較の結果、第2の実施例の製造
装置に示されるようにコア材料及びクラッド材料の溶融
温度が、それぞれ独立に設定されることにより、1.3
μm以上の波長の光で伝送損失が更に60dB/Km程
度改善されることが確認された。
【0029】本発明は、上記実施例に限定されるもので
はない。例えば、第2の実施例のフッ化物ガラスの製造
装置では、フッ化物ガラスの原材料の組成が変化すれ
ば、その熱物性に対応して溶融温度、鋳造時の融液温度
を変化させればよい。また、Ptで内側から被覆するた
めの炉芯管21、31の基体材料として、Al2 3
の他の各種耐熱材料を用いることができる。更に、炉芯
管21、31全体をPt又はPtを含む材料で形成する
ことができる。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るフッ
化物ガラスの製造装置では、加熱容器の内面部がPtを
含む金属材料から形成されているので、フッ化物ガラス
の原材料が溶融されてHFガスが発生しても加熱容器の
内面部がPtを含む金属材料から構成されているが故
に、加熱容器の基体材料とHFガスとが反応によるフッ
化物の生成が防止され得る。従って、基体材料のフッ化
物が融液に混入して形成される微結晶がフッ化物ガラス
中に生成され得ず、均質なフッ化物ガラスが形成され得
る。その結果、伝送損失が小さいフッ化物ガラスファイ
バを提供し得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施例のフッ化物ガラスの製造装置の構
成図である。
【図2】第2の実施例のフッ化物ガラスの製造装置の構
成図である。
【図3】第1の実施例及び第2の実施例におけるフッ化
物ガラスファイバと従来法におけるフッ化物ガラスファ
イバの伝送損失の相違を示す説明図である。
【符号の説明】
1…ドライグロ−ブボックス、2、3…加熱炉、4、5
…るつぼ、11…グロ−ブ、12…観察窓、21、31
…炉芯管、21a、31a…Pt筒、21b、31b…
吸入口、21c、31c…排出口、22、32…ヒ−
タ、23、33…キャップ、25、35…台。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡辺 智恵 神奈川県横浜市栄区田谷町1番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内面部がPtを含む金属材料により構成
    されており、るつぼに入れられたフッ化物ガラスの原材
    料を溶融する加熱容器と、前記加熱容器と連通してお
    り、前記原材料の融液を不活性ガス雰囲気中で鋳造する
    ための操作容器とを備えるフッ化物ガラスの製造装置。
  2. 【請求項2】 前記加熱容器が少なくとも二つ備えら
    れ、これらが前記操作容器を介して互いに連通している
    請求項1記載のフッ化物ガラスの製造装置。
  3. 【請求項3】 前記加熱容器の基体が、SiO2 又はA
    2 3 のいずれか一方の材料からなる請求項1又は2
    記載のフッ化物ガラスの製造装置。
  4. 【請求項4】 前記内面部が、前記基体の内面形状に対
    応するPt板からなる請求項3に記載のフッ化物ガラス
    の製造装置。
  5. 【請求項5】 前記内面部が、前記基体の内面に被着さ
    れたPt層からなる請求項3に記載のフッ化物ガラスの
    製造装置。
  6. 【請求項6】 フッ化物ガラスを構成する原材料を調製
    する段階と、るつぼに入れられた前記原材料に添加剤の
    NH4 HF2 を添加する段階と、Ptを含む金属材料に
    より構成されている内面部を備える加熱容器の内部にお
    いて前記原材料を溶融する段階と、前記加熱容器と連通
    している操作容器の内部において溶融された前記原材料
    を鋳造する段階とを備えたフッ化物ガラスの製造方法。
  7. 【請求項7】 フッ化物ガラスを構成する二種の原材料
    をそれぞれ調製する段階と、各々がるつぼに入れられた
    前記二種の原材料に添加剤のNH4 HF2 をそれぞれ添
    加する段階と、Ptを含む金属材料により構成されてい
    る内面部を有する二つの加熱容器の内部において前記二
    種の原材料を溶融する段階と、前記加熱容器と連通して
    いる操作容器の内部において溶融された前記二種の原材
    料を鋳造する段階とを備えたフッ化物ガラスの製造方
    法。
JP5115012A 1992-05-19 1993-05-17 フッ化物ガラスの製造装置及び製造方法 Pending JPH0632619A (ja)

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JP12608592 1992-05-19
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