JPH0632703Y2 - レ−ザ装置 - Google Patents

レ−ザ装置

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JPH0632703Y2
JPH0632703Y2 JP6863687U JP6863687U JPH0632703Y2 JP H0632703 Y2 JPH0632703 Y2 JP H0632703Y2 JP 6863687 U JP6863687 U JP 6863687U JP 6863687 U JP6863687 U JP 6863687U JP H0632703 Y2 JPH0632703 Y2 JP H0632703Y2
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JP
Japan
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laser
laser beam
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JP6863687U
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JPS63177070U (ja
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基 佐々木
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Shibuya Corp
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Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案はレーザ装置に関し、より詳しくはレーザ発振器
とレーザ増幅器とを備えるレーザ装置に関する。
「従来の技術」 従来、レーザ装置として、混合ガスが供給されたチャン
バー内でレーザ光線を励起させてこのレーザ光線をフロ
ントミラーとリアミラーとの間で発振させ、かつ該レー
ザ光線を上記フロントミラーを透過させて外部に放射す
るレーザ発振器と、混合ガスが供給されたチャンバー内
に上記レーザ発振器からのレーザ光線を透過させて該レ
ーザ光線を増幅する増幅器とを備え、さらに上記レーザ
増幅器は、そのチャンバーを密封するフロント透過部材
とリア透過部材とを備え、かつ上記レーザ発振器からの
レーザ光線を上記リア透過部材からフロント透過部材へ
透過させるようにしたものが知られれている。
「考案が解決しようとする問題点」 しかるに、従来のこの種のレーザ装置においては、上記
レーザ増幅器をレーザ発振器とは独立に構成してそのチ
ャンバーを密封するリア透過部材とフロント透過部材と
を設けていたため、レーザ発振器からのレーザ光線はそ
れらリア透過部材とフロント透過部材とを透過するとと
もに、レーザ発振器とレーザ増幅器間の空気中を透過し
ていた。その結果、レーザ光線が各透過部材および空気
中を透過する度にエネルギーロスが発生するので、全体
のエネルギーロスが大きくなっていた。
「問題点を解決するための手段」 本考案はそのような欠点に鑑み、上記レーザ発振器のフ
ロントミラーとレーザ増幅器のリア透過部材とを兼用さ
せるようにしたものである。
「作用」 そのような構成によれば、レーザ発振器からのレーザ光
線は従来のようにリア透過部材を透過する必要がないの
で、その分エネルギーロスを小さくすることが可能とな
る。
「実施例」 以下図示実施例について本考案を説明すると、図におい
て、ＴＥレーザ発振器１はチャンバー２内に一対の電極
３、フロントミラー４およびリアミラー５を備えてお
り、上記フロントミラー４はチャンバー２に形成した開
口2aを閉鎖してそのチャンバー２内を密封している。
上記ＴＥレーザ発振器１は、上記チャンバー２内に混合
ガスを供給した状態で一対の電極３間に放電を生じさせ
ることによりレーザ光線Ｌを励起させるようになってお
り、この励起されたレーザ光線Ｌはフロントミラー４と
リアミラー５との間で発振され、かつ上記フロントミラ
ー４を透過して外部に放射されるようになっている。
上記レーザ発振器１には、このレーザ発振器１から放射
されたレーザ光線Ｌを増幅するレーザ増幅器６を一体に
設けてあり、このレーザ増幅器６は、チャンバー７内に
設けた一対の電極８と、チャンバー７の右方に形成した
開口7aを閉鎖し、かつレーザ光線Ｌの透過を許容するフ
ロント透過部材９とを備えている。
上記チャンバー７にはその左方にも開口7bを形成してあ
り、この開口7bから他方の開口7aへ向けて上記レーザ発
振器１からのレーザ光線Ｌを通過させることができるよ
うにしてある。そしてこの開口7bは上記フロントミラー
４で閉鎖してあり、それによってチャンバー７内を密封
して内部に供給した混合ガスが外部に漏洩しないように
している。
以上の構成において、上記レーザ発振器１で発振された
レーザ光線Ｌがフロントミラー４を透過してレーザ増幅
器６内に導入されると、このレーザ増幅器６は上記レー
ザ発振器１と同期して作動され、導入されたレーザ光線
Ｌを増幅してフロント透過部材９から外部に放射させ
る。
つまり、上記レーザ発振器１で発振されてフロントミラ
ー４を透過したレーザ光線Ｌは、フロント透過部材９の
みを透過してレーザ増幅器６から外部に放射されること
になるので、従来のようにレーザ発振器１のフロントミ
ラー４とは別個に上記開口7bを閉鎖するリア透過部材を
設け、レーザ光線Ｌをそのリア透過部材と上記フロント
透過部材９とに透過させる場合に比較して、エネルギー
ロスを低減することができる。
「考案の効果」 以上のように、本考案はレーザ発振器のフロントミラー
とレーザ増幅器のリア透過部材とを兼用させているの
で、エネルギーロスの低減を図ることができるととも
に、部品点数を少なくして安価に製造することが可能と
なるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
図は本考案の一実施例を示す概略構成図である。 １…ＴＥレーザ発振器、２、７…チャンバー 2a、7a、7b…開口、３、８…電極 ４…フロントミラー、５…リアミラー ６…レーザ増幅器、９…フロント透過部材 Ｌ…レーザ光線
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 7454−4Ｍ Ｈ０１Ｓ 3/03 Ｚ

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】混合ガスが供給されたチャンバー内でレー
    ザ光線を励起させてこのレーザ光線をフロントミラーと
    リアミラーとの間で発振させ、かつ該レーザ光線を上記
    フロントミラーを透過させて外部に放射するレーザ発振
    器と、混合ガスが供給されたチャンバー内に上記レーザ
    発振器からのレーザ光線を透過させて該レーザ光線を増
    幅するレーザ増幅器とを備え、さらに上記レーザ増幅器
    は、そのチャンバーを密封するフロント透過部材とリア
    透過部材とを備え、かつ上記レーザ発振器からのレーザ
    光線を上記リア透過部材からフロント透過部材へ透過さ
    せるようにしたレーザ装置において、上記レーザ発振器
    のフロントミラーとレーザ増幅器のリヤ透過部材とを兼
    用させたことを特徴とするレーザ装置。
JP6863687U 1987-05-08 1987-05-08 レ−ザ装置 Expired - Lifetime JPH0632703Y2 (ja)

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JP6863687U JPH0632703Y2 (ja) 1987-05-08 1987-05-08 レ−ザ装置

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Publication Number Publication Date
JPS63177070U JPS63177070U (ja) 1988-11-16
JPH0632703Y2 true JPH0632703Y2 (ja) 1994-08-24

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JP6863687U Expired - Lifetime JPH0632703Y2 (ja) 1987-05-08 1987-05-08 レ−ザ装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4657103B2 (ja) * 2003-04-22 2011-03-23 株式会社小松製作所 露光用２ステージレーザ装置
JP2006203008A (ja) * 2005-01-21 2006-08-03 Komatsu Ltd ２ステージレーザシステム

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JPS63177070U (ja) 1988-11-16

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