JPH0632795B2 - 可燃性溶剤を用いた被洗浄物の洗浄方法および装置 - Google Patents
可燃性溶剤を用いた被洗浄物の洗浄方法および装置Info
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- JPH0632795B2 JPH0632795B2 JP2212086A JP21208690A JPH0632795B2 JP H0632795 B2 JPH0632795 B2 JP H0632795B2 JP 2212086 A JP2212086 A JP 2212086A JP 21208690 A JP21208690 A JP 21208690A JP H0632795 B2 JPH0632795 B2 JP H0632795B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は洗浄方法および装置に係るものであって、機械
部品、プリント基板等の被洗浄物のシャワー洗浄、蒸気
洗浄を可燃性溶剤を用いて安全に行おうとするものであ
る。
部品、プリント基板等の被洗浄物のシャワー洗浄、蒸気
洗浄を可燃性溶剤を用いて安全に行おうとするものであ
る。
従来の技術 従来、機械部品、プリント基板等の被洗浄物の洗浄を行
うには、不燃性で引火の危険がないこと、洗浄力に優れ
ていること等から、実開昭６３−１９３５８８号に示す
如く、一般的にフロン系溶剤が用いられていた。しか
し、地球環境の破壊を伴うことから使用が規制されるも
のとなった。
うには、不燃性で引火の危険がないこと、洗浄力に優れ
ていること等から、実開昭６３−１９３５８８号に示す
如く、一般的にフロン系溶剤が用いられていた。しか
し、地球環境の破壊を伴うことから使用が規制されるも
のとなった。
このフロン系溶剤に代わる溶剤としては、洗浄力が優れ
ていることから、オレンジから抽出した油を主剤とする
テルペン溶剤、テルペン溶剤とテルペン乳化界面活性剤
の混合物からなる組成物、アルコール、シリコン系溶
剤、ケロシン等の溶剤が考慮される。
ていることから、オレンジから抽出した油を主剤とする
テルペン溶剤、テルペン溶剤とテルペン乳化界面活性剤
の混合物からなる組成物、アルコール、シリコン系溶
剤、ケロシン等の溶剤が考慮される。
しかしながらこれらは、いずれも可燃性溶剤であるか
ら、シャワー洗浄や蒸気洗浄等の、特に空気と混合し易
い洗浄を行う場合に、引火に対する安全性を確保する必
要があった。
ら、シャワー洗浄や蒸気洗浄等の、特に空気と混合し易
い洗浄を行う場合に、引火に対する安全性を確保する必
要があった。
この引火に対する安全性を確保しつつ、被洗浄の洗浄を
行うための方法としては、窒素ガス、ヘリウムガス、特
公昭６３−４８５９８号に示す如くアルゴンガス等の不
燃性ガス雰囲気内で、洗浄作業を行うことも考えられ
る。
行うための方法としては、窒素ガス、ヘリウムガス、特
公昭６３−４８５９８号に示す如くアルゴンガス等の不
燃性ガス雰囲気内で、洗浄作業を行うことも考えられ
る。
また、同様に、引火に対する安全性を確保しつつ、被洗
浄物の洗浄を行うために、特開平２−２６１５８３号に
示す如く、エタノール液の表面をフロンまたは塩化メチ
レンで被覆することにより、引火の危険を防止する事も
提案されている。
浄物の洗浄を行うために、特開平２−２６１５８３号に
示す如く、エタノール液の表面をフロンまたは塩化メチ
レンで被覆することにより、引火の危険を防止する事も
提案されている。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガス
等は空気よりも比重が軽いから、被洗浄物の出入の際等
に外部に漏出したり、外気を導入し易く、また冷却凝縮
ができず回収が不能であるため、経済効率が悪い欠点を
有している。
等は空気よりも比重が軽いから、被洗浄物の出入の際等
に外部に漏出したり、外気を導入し易く、また冷却凝縮
ができず回収が不能であるため、経済効率が悪い欠点を
有している。
また、フロンは環境破壊の虞れがあり、フロンを使用で
きるのであれば、引火防止のための種々の提案は全く不
要のものであり、エタノール液の表面をフロンで被覆す
る提案は現実的なものではない。
きるのであれば、引火防止のための種々の提案は全く不
要のものであり、エタノール液の表面をフロンで被覆す
る提案は現実的なものではない。
本発明は上述のごとき課題を解決しようとするものであ
って、洗浄力に優れ、地球環境の破壊を伴うことのない
可燃性溶剤を用いながら、被洗浄物のシャワー洗浄や蒸
気洗浄の際における引火の危険を防止する。また、被洗
浄物の出入の際等に外部に漏出することがなく、また使
用した不燃性ガスを冷却凝縮して回収し、安全な洗浄を
効率良く行おうとするものである。
って、洗浄力に優れ、地球環境の破壊を伴うことのない
可燃性溶剤を用いながら、被洗浄物のシャワー洗浄や蒸
気洗浄の際における引火の危険を防止する。また、被洗
浄物の出入の際等に外部に漏出することがなく、また使
用した不燃性ガスを冷却凝縮して回収し、安全な洗浄を
効率良く行おうとするものである。
課題を解決するための手段 本発明は上述のごとき課題を解決するため、被洗浄物の
シャワー洗浄、または蒸気洗浄若しくはその双方を、ア
ルコール系溶剤、炭化水素系溶剤またはシリコン系溶剤
から成る可燃性溶剤にて行う洗浄部と、フッ素系不活性
液体（完全フッ素化液体）を加熱し蒸気化して洗浄部に
供給する蒸気発生手段とから成るものである。
シャワー洗浄、または蒸気洗浄若しくはその双方を、ア
ルコール系溶剤、炭化水素系溶剤またはシリコン系溶剤
から成る可燃性溶剤にて行う洗浄部と、フッ素系不活性
液体（完全フッ素化液体）を加熱し蒸気化して洗浄部に
供給する蒸気発生手段とから成るものである。
また、第２の発明は、アルコール系溶剤、炭化水素系溶
剤またはシリコン系溶剤若しくはその双方から成る洗浄
液を用いて、被洗浄物の蒸気洗浄またはシャワー洗浄を
洗浄部内で行い、この洗浄作業時に、洗浄部とは開閉弁
を介して別個に設けた不燃性液体槽から、フッ素系不活
性液体（完全フッ素化液体）を加熱して蒸気化した、フ
ッ素系不活性液体（完全フッ素化蒸気）を洗浄部内に導
入し、洗浄部内を不燃化するとともにこの洗浄部で使用
した洗浄液を、別個に設けた溶剤タンクに排出し、洗浄
部内に洗浄液を貯留することのないようにした事を特徴
として成るものである。
剤またはシリコン系溶剤若しくはその双方から成る洗浄
液を用いて、被洗浄物の蒸気洗浄またはシャワー洗浄を
洗浄部内で行い、この洗浄作業時に、洗浄部とは開閉弁
を介して別個に設けた不燃性液体槽から、フッ素系不活
性液体（完全フッ素化液体）を加熱して蒸気化した、フ
ッ素系不活性液体（完全フッ素化蒸気）を洗浄部内に導
入し、洗浄部内を不燃化するとともにこの洗浄部で使用
した洗浄液を、別個に設けた溶剤タンクに排出し、洗浄
部内に洗浄液を貯留することのないようにした事を特徴
として成るものである。
また、第３の発明は、アルコール系溶剤、炭化水素系溶
剤またはシリコン系溶剤若しくはその双方から成る洗浄
液を用いて、被洗浄物のシャワー洗浄、または蒸気洗浄
若しくはその双方を行う洗浄部と、この洗浄部とは開閉
弁を介して接続するとともに充填したフッ素系不活性液
体（完全フッ素化液体）を加熱して蒸気化し、開閉弁を
介して洗浄部内に供給する蒸気発生手段と、洗浄部で使
用した洗浄液を導入し洗浄部内に洗浄液を貯留すること
のないよう洗浄部とは別個に設けた溶剤タンクとから成
るものである。
剤またはシリコン系溶剤若しくはその双方から成る洗浄
液を用いて、被洗浄物のシャワー洗浄、または蒸気洗浄
若しくはその双方を行う洗浄部と、この洗浄部とは開閉
弁を介して接続するとともに充填したフッ素系不活性液
体（完全フッ素化液体）を加熱して蒸気化し、開閉弁を
介して洗浄部内に供給する蒸気発生手段と、洗浄部で使
用した洗浄液を導入し洗浄部内に洗浄液を貯留すること
のないよう洗浄部とは別個に設けた溶剤タンクとから成
るものである。
作用 本発明は上述のごとく構成したものであるから、被洗浄
物の洗浄を行うには、パーフルオロポリエーテル、パー
フルオロカーボン等のフッ素系不活性液体（完全フッ素
化液体）を加熱して蒸気化した雰囲気内に被洗浄物を導
入する。そしてこの雰囲気内で、アルコール系溶剤、炭
化水素系溶剤またはシリコン系溶剤による、被洗浄物の
シャワー洗浄または蒸気洗浄若しくはその双方を行う。
物の洗浄を行うには、パーフルオロポリエーテル、パー
フルオロカーボン等のフッ素系不活性液体（完全フッ素
化液体）を加熱して蒸気化した雰囲気内に被洗浄物を導
入する。そしてこの雰囲気内で、アルコール系溶剤、炭
化水素系溶剤またはシリコン系溶剤による、被洗浄物の
シャワー洗浄または蒸気洗浄若しくはその双方を行う。
この洗浄は、パーフルオロポリエーテル、パーフルオロ
カーボン等の、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液
体）を加熱して蒸気化した不燃蒸気雰囲気内で行うか
ら、無酸素若しくは酸素の極めて少ない状態を保つこと
ができ、アルコール系溶剤、炭化水素系溶剤またはシリ
コン系溶剤を用いても、引火の危険は極めて少ないもの
となる。
カーボン等の、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液
体）を加熱して蒸気化した不燃蒸気雰囲気内で行うか
ら、無酸素若しくは酸素の極めて少ない状態を保つこと
ができ、アルコール系溶剤、炭化水素系溶剤またはシリ
コン系溶剤を用いても、引火の危険は極めて少ないもの
となる。
また、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）を加熱
して蒸気化した蒸気は、空気よりも比重が重いから、可
燃性ガスの外部への流出、外気の混入を防止し、効率的
な洗浄作業を可能とする。
して蒸気化した蒸気は、空気よりも比重が重いから、可
燃性ガスの外部への流出、外気の混入を防止し、効率的
な洗浄作業を可能とする。
また、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）を加熱
して蒸気化した蒸気は、冷却凝縮が可能であるから、冷
却によって凝縮したフッ素系不活性液体（完全フッ素化
液体）を回収して再利用することができ、窒素、アルゴ
ン、ヘリウム等の冷却凝縮不能な気体を用いるよりも経
済効率が良いものとなる。
して蒸気化した蒸気は、冷却凝縮が可能であるから、冷
却によって凝縮したフッ素系不活性液体（完全フッ素化
液体）を回収して再利用することができ、窒素、アルゴ
ン、ヘリウム等の冷却凝縮不能な気体を用いるよりも経
済効率が良いものとなる。
また、凝縮したフッ素系不活性液体（完全フッ素化液
体）またはタンク内のフッ素系不活性液体（完全フッ素
化液体）を、被洗浄物に直接シャワー状に流下させれ
ば、被洗浄物の洗浄によって被洗浄物に付着している可
燃性溶剤を、不燃液体が物理的に付着して落下させ、被
洗浄物から可燃性溶剤を洗い流すこともでき、乾燥後の
被洗浄物にシミ等を生じることがないものである。
体）またはタンク内のフッ素系不活性液体（完全フッ素
化液体）を、被洗浄物に直接シャワー状に流下させれ
ば、被洗浄物の洗浄によって被洗浄物に付着している可
燃性溶剤を、不燃液体が物理的に付着して落下させ、被
洗浄物から可燃性溶剤を洗い流すこともでき、乾燥後の
被洗浄物にシミ等を生じることがないものである。
また、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）は、フ
ロン等の如く環境破壊の虞れが少なく、安全な使用を可
能にするものである。
ロン等の如く環境破壊の虞れが少なく、安全な使用を可
能にするものである。
実施例 以下本発明の一実施例を図面に於いて説明すれば、(１)
は洗浄槽であって、上端開口(２)を蓋体(３)で密閉する
とともに上部内面にシャワーノズル(４)を設け、アルコ
ール系溶剤、炭化水素系溶剤またはシリコン系溶剤若し
くはその双方から成る可燃性溶剤(５)を用いた、被洗浄
物(６)のシャワー洗浄を行う洗浄部(７)を形成してい
る。
は洗浄槽であって、上端開口(２)を蓋体(３)で密閉する
とともに上部内面にシャワーノズル(４)を設け、アルコ
ール系溶剤、炭化水素系溶剤またはシリコン系溶剤若し
くはその双方から成る可燃性溶剤(５)を用いた、被洗浄
物(６)のシャワー洗浄を行う洗浄部(７)を形成してい
る。
そして、このアルコール系溶剤、炭化水素系溶剤または
シリコン系溶剤若しくはその双方から成る可燃性溶剤
(５)は、洗浄槽(１)の下方に設けた溶剤タンク(８)内に
充填する。この溶剤タンク(８)を、エアーポンプ(１０)
を介して前記シャワーノズル(４)に連通し、可燃性溶剤
(５)をシャワーノズル(４)へ供給可能としている。
シリコン系溶剤若しくはその双方から成る可燃性溶剤
(５)は、洗浄槽(１)の下方に設けた溶剤タンク(８)内に
充填する。この溶剤タンク(８)を、エアーポンプ(１０)
を介して前記シャワーノズル(４)に連通し、可燃性溶剤
(５)をシャワーノズル(４)へ供給可能としている。
また、洗浄槽(１)の洗浄部(７)と溶剤タンク(８)との間
には仕切壁(１１)を設け、この仕切壁(１１)を一方に傾
斜し、この傾斜方向の下底に溶剤の回収口(１２)を設け
ている。の回収口(１２)に三方弁(１３)を介して溶剤タ
ンク(８)を接続し、蒸気エアーポンプ(１０)により可燃
性溶剤(５)の循環使用を可能にしている。また、被洗浄
物(６)と接触した後の可燃性溶剤(５)は、三方弁(１３)
を介して溶剤タンク(８)に回収し、洗浄槽(１)内に貯留
しないようにしている。
には仕切壁(１１)を設け、この仕切壁(１１)を一方に傾
斜し、この傾斜方向の下底に溶剤の回収口(１２)を設け
ている。の回収口(１２)に三方弁(１３)を介して溶剤タ
ンク(８)を接続し、蒸気エアーポンプ(１０)により可燃
性溶剤(５)の循環使用を可能にしている。また、被洗浄
物(６)と接触した後の可燃性溶剤(５)は、三方弁(１３)
を介して溶剤タンク(８)に回収し、洗浄槽(１)内に貯留
しないようにしている。
また、洗浄槽(１)は、蒸気発生手段(１５)はを隣接して
設けている。この蒸気発生手段(１５)は、フッ素系不活
性液体（完全フッ素化液体）(１６)を充填するための不
燃液体槽(１７)を設けている。そして、この不燃液体槽
(１７)内に、パーフルオロポリエーテル、パーフルオロ
カーボン等のフッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）
(１６)を加熱し、不燃蒸気を発生するためのヒーター
(１８)を外部から挿入位置している。
設けている。この蒸気発生手段(１５)は、フッ素系不活
性液体（完全フッ素化液体）(１６)を充填するための不
燃液体槽(１７)を設けている。そして、この不燃液体槽
(１７)内に、パーフルオロポリエーテル、パーフルオロ
カーボン等のフッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）
(１６)を加熱し、不燃蒸気を発生するためのヒーター
(１８)を外部から挿入位置している。
また、蒸気発生手段(１５)は、開閉弁(２０)を介して洗
浄槽(１)の洗浄部(７)と連通し、蒸気化されたフッ素系
不活性液体（完全フッ素化液体）(１６)を、洗浄槽(１)
の洗浄部(７)内に供給可能としている。そして、この洗
浄部(７)内に冷却コイル(２１)を巻き回し、蒸気発生手
段(１５)から供給した不燃蒸気を冷却凝縮可能としてい
る。
浄槽(１)の洗浄部(７)と連通し、蒸気化されたフッ素系
不活性液体（完全フッ素化液体）(１６)を、洗浄槽(１)
の洗浄部(７)内に供給可能としている。そして、この洗
浄部(７)内に冷却コイル(２１)を巻き回し、蒸気発生手
段(１５)から供給した不燃蒸気を冷却凝縮可能としてい
る。
また、洗浄槽(１)の洗浄部(７)には、必要に応じて外気
を導入するための導入路(２２)を、開閉弁(２３)を設け
て形成している。また、導入した外気を、洗浄部(７)内
の蒸気とともに導出する導出路(２４)を、洗浄部(７)内
の下底に接続している。
を導入するための導入路(２２)を、開閉弁(２３)を設け
て形成している。また、導入した外気を、洗浄部(７)内
の蒸気とともに導出する導出路(２４)を、洗浄部(７)内
の下底に接続している。
また、この導出部(２４)は、水を充填した水槽(２５)内
に連通し、この水槽(２５)の底部に回収ドレン(２９)を
設け、水よりも比重の重いフッ素系不活性液体（完全フ
ッ素化液体(１６)、可燃性溶剤(５)等の回収を可能とし
ている。
に連通し、この水槽(２５)の底部に回収ドレン(２９)を
設け、水よりも比重の重いフッ素系不活性液体（完全フ
ッ素化液体(１６)、可燃性溶剤(５)等の回収を可能とし
ている。
また、前記不燃液体槽(１７)の上部には、区画壁(２６)
を介して凝縮室(２７)を設け、この凝縮室(２７)内に、
凝縮用の冷却コイル(２８)を巻き回すとともに区画壁
(２６)に設けた連通口(３０)に、一定重量の内蓋(３１)
を開閉可能に被覆している。
を介して凝縮室(２７)を設け、この凝縮室(２７)内に、
凝縮用の冷却コイル(２８)を巻き回すとともに区画壁
(２６)に設けた連通口(３０)に、一定重量の内蓋(３１)
を開閉可能に被覆している。
上述のごとく構成したものに於いて、被洗浄物(６)の洗
浄を行うには、不燃液体槽(１７)のフッ素系不活性液体
（完全フッ素化液体）(１６)をヒーター(１８)で加熱し
て蒸気化する。
浄を行うには、不燃液体槽(１７)のフッ素系不活性液体
（完全フッ素化液体）(１６)をヒーター(１８)で加熱し
て蒸気化する。
そして、開閉弁(２０)を介して洗浄槽(１)の洗浄部(７)
内にフッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）の蒸気を
供給する。そして、このフッ素系不活性液体（完全フッ
素化液体）の蒸気で満たされた洗浄部(７)に、蓋体(３)
を開放して被洗浄物(６)を導入する。この被洗浄物の導
入に於いて、蓋体(３)が開放されても、フッ素系不活性
液体（完全フッ素化液体）の蒸気は空気よりも比重が重
いから、外部に流出することはない。
内にフッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）の蒸気を
供給する。そして、このフッ素系不活性液体（完全フッ
素化液体）の蒸気で満たされた洗浄部(７)に、蓋体(３)
を開放して被洗浄物(６)を導入する。この被洗浄物の導
入に於いて、蓋体(３)が開放されても、フッ素系不活性
液体（完全フッ素化液体）の蒸気は空気よりも比重が重
いから、外部に流出することはない。
また、更にフッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）蒸
気の流出防止を確実にするには、被洗浄物(６)を洗浄部
(７)に導入し、蓋体(３)を閉止してから不燃蒸気を導入
すれば良い。
気の流出防止を確実にするには、被洗浄物(６)を洗浄部
(７)に導入し、蓋体(３)を閉止してから不燃蒸気を導入
すれば良い。
次にエアーポンプ(１０)を作動し、溶剤タンク(８)か
ら、アルコール系溶剤、炭化水素系溶剤、シリコン系溶
剤等の、洗浄目的に応じた可燃性溶剤(５)をシャワーノ
ズル(４)に供給して放出し、可燃性溶剤(５)による被洗
浄物(６)のシャワー洗浄を行う。このシャワー洗浄に使
用された可燃性溶剤(５)は、回収口(１２)、三方弁(１
３)を介して溶剤タンク(８)に流入し、エアーポンプ(１
０)によりシャワーノズル(４)に還流する。そして、洗
浄槽(１)内にはアルコール系溶剤、炭化水素系溶剤、シ
リコン系溶剤等から成る可燃性溶剤(５)を貯留せず、溶
剤タンク(８)に回収することにより、可燃ガスの拡散を
更に確実に防止し、安全性を高めている。
ら、アルコール系溶剤、炭化水素系溶剤、シリコン系溶
剤等の、洗浄目的に応じた可燃性溶剤(５)をシャワーノ
ズル(４)に供給して放出し、可燃性溶剤(５)による被洗
浄物(６)のシャワー洗浄を行う。このシャワー洗浄に使
用された可燃性溶剤(５)は、回収口(１２)、三方弁(１
３)を介して溶剤タンク(８)に流入し、エアーポンプ(１
０)によりシャワーノズル(４)に還流する。そして、洗
浄槽(１)内にはアルコール系溶剤、炭化水素系溶剤、シ
リコン系溶剤等から成る可燃性溶剤(５)を貯留せず、溶
剤タンク(８)に回収することにより、可燃ガスの拡散を
更に確実に防止し、安全性を高めている。
また、洗浄は、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液
体）(１６)を加熱して蒸気化した蒸気雰囲気内で行う。
そのため、無酸素若しくは酸素の極めて少ない状態を保
つことができ、引火の危険は極めて少ないものとなる。
体）(１６)を加熱して蒸気化した蒸気雰囲気内で行う。
そのため、無酸素若しくは酸素の極めて少ない状態を保
つことができ、引火の危険は極めて少ないものとなる。
また、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）蒸気は
開閉弁(２０)を介して洗浄部(７)に供給するから、供給
の必要に応じて開閉弁(２０)を開閉し、高価な蒸気を無
駄に洗浄部(７)に供給することがない。
開閉弁(２０)を介して洗浄部(７)に供給するから、供給
の必要に応じて開閉弁(２０)を開閉し、高価な蒸気を無
駄に洗浄部(７)に供給することがない。
また、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）(１６)
を加熱して蒸気化した蒸気は、空気よりも比重が重いか
ら、可燃性ガスの外部への流出、外気の混入を防止し、
効率的な洗浄作業を可能とする。
を加熱して蒸気化した蒸気は、空気よりも比重が重いか
ら、可燃性ガスの外部への流出、外気の混入を防止し、
効率的な洗浄作業を可能とする。
また、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）(１６)
を加熱して蒸気化した蒸気は、冷却凝縮が可能であるか
ら、洗浄部(７)の冷却コイル(２１)によって冷却凝縮す
る事ができる。この冷却凝縮したフッ素系不活性液体
（完全フッ素化液体）(１６)は、回収口(１２)から三方
弁(１３)を介して不燃液体槽(１７)に回収し、再利用す
ることができる。そのため、窒素、アルゴン、ヘリウム
等の冷却凝縮不能な気体を用いる従来方法よりも経済効
率が良いものとなる。
を加熱して蒸気化した蒸気は、冷却凝縮が可能であるか
ら、洗浄部(７)の冷却コイル(２１)によって冷却凝縮す
る事ができる。この冷却凝縮したフッ素系不活性液体
（完全フッ素化液体）(１６)は、回収口(１２)から三方
弁(１３)を介して不燃液体槽(１７)に回収し、再利用す
ることができる。そのため、窒素、アルゴン、ヘリウム
等の冷却凝縮不能な気体を用いる従来方法よりも経済効
率が良いものとなる。
尚この場合、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）
蒸気の凝縮液とアルコール系溶剤、炭化水素系溶剤、シ
リコン系溶剤等から成る可燃性溶剤(５)が混在するもの
となるが、両者の比重の差を利用した分離器（図示せ
ず）を介して、溶剤タンク(８)と不燃液体槽(１７)に回
収すれば良い。
蒸気の凝縮液とアルコール系溶剤、炭化水素系溶剤、シ
リコン系溶剤等から成る可燃性溶剤(５)が混在するもの
となるが、両者の比重の差を利用した分離器（図示せ
ず）を介して、溶剤タンク(８)と不燃液体槽(１７)に回
収すれば良い。
そして、可燃性溶剤(５)によるシャワー洗浄が完了した
後は、アルコール系溶剤、炭化水素系溶剤、シリコン系
溶剤等から成る可燃性溶剤(５)を用いた被洗浄物(６)の
蒸気洗浄を行う。この可燃性溶剤(５)を用いた蒸気洗浄
は、通常の状態で行えば燃焼性の問題から極めて危険な
ものである。しかし、この発明ではフッ素系不活性液体
（完全フッ素化液体）(１６)を加熱して蒸気化した蒸気
雰囲気内で行うから、無酸素若しくは酸素の極めて少な
い状態を保つことができ、引火の危険は極めて少ないも
のとなる。
後は、アルコール系溶剤、炭化水素系溶剤、シリコン系
溶剤等から成る可燃性溶剤(５)を用いた被洗浄物(６)の
蒸気洗浄を行う。この可燃性溶剤(５)を用いた蒸気洗浄
は、通常の状態で行えば燃焼性の問題から極めて危険な
ものである。しかし、この発明ではフッ素系不活性液体
（完全フッ素化液体）(１６)を加熱して蒸気化した蒸気
雰囲気内で行うから、無酸素若しくは酸素の極めて少な
い状態を保つことができ、引火の危険は極めて少ないも
のとなる。
しかしながら、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液
体）(１６)は不活性であって、被洗浄物(６)に付着した
油等の汚物を溶解除去できない。そこで、洗浄部(７)に
は可燃性溶剤(５)を不燃性蒸気とともに導入して被洗浄
物(６)の蒸気洗浄を行う。
体）(１６)は不活性であって、被洗浄物(６)に付着した
油等の汚物を溶解除去できない。そこで、洗浄部(７)に
は可燃性溶剤(５)を不燃性蒸気とともに導入して被洗浄
物(６)の蒸気洗浄を行う。
具体的には、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）
(１６)内に、予め一定量のアルコール系溶剤、炭化水素
系溶剤、シリコン系溶剤等から成る可燃性溶剤(５)を混
合する。そして、これをヒーター(１８)により加熱する
ことにより、不燃蒸気と、可燃性蒸気とを同時に発生さ
せる。そしてこの混合蒸気により被洗浄物(６)の蒸気洗
浄を行うものである。
(１６)内に、予め一定量のアルコール系溶剤、炭化水素
系溶剤、シリコン系溶剤等から成る可燃性溶剤(５)を混
合する。そして、これをヒーター(１８)により加熱する
ことにより、不燃蒸気と、可燃性蒸気とを同時に発生さ
せる。そしてこの混合蒸気により被洗浄物(６)の蒸気洗
浄を行うものである。
また、被洗浄物(６)の蒸気洗浄の完了後は、蒸気を凝縮
するか、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）(１
６)をポンプ等で直接、被洗浄物(６)にシャワー状に流
下させる。この、シャワーまたは蒸気洗浄によって、被
洗浄物(６)に付着している可燃性溶剤(５)を、フッ素系
不活性液体（完全フッ素化液体）が、物理的に付着して
落下させ、被洗浄物(６)から可燃性溶剤を洗い流すこと
ができる。また、乾燥後の被洗浄物(６)にシミ等を生じ
ることがないものである。
するか、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）(１
６)をポンプ等で直接、被洗浄物(６)にシャワー状に流
下させる。この、シャワーまたは蒸気洗浄によって、被
洗浄物(６)に付着している可燃性溶剤(５)を、フッ素系
不活性液体（完全フッ素化液体）が、物理的に付着して
落下させ、被洗浄物(６)から可燃性溶剤を洗い流すこと
ができる。また、乾燥後の被洗浄物(６)にシミ等を生じ
ることがないものである。
また、蒸気洗浄の完了後に、洗浄部(７)内に残留するフ
ッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）蒸気を回収する
には、導入路(２２)から、外気を洗浄部(７)に導入す
る。この導入により、洗浄部(７)の下底に滞留している
比重の重い不燃蒸気を導出路(２４)に押し出す。そし
て、水槽(２５)で凝縮し、水槽(２５)の下底に沈殿した
ものを、回収ドレン(２９)から回収する。
ッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）蒸気を回収する
には、導入路(２２)から、外気を洗浄部(７)に導入す
る。この導入により、洗浄部(７)の下底に滞留している
比重の重い不燃蒸気を導出路(２４)に押し出す。そし
て、水槽(２５)で凝縮し、水槽(２５)の下底に沈殿した
ものを、回収ドレン(２９)から回収する。
また、上記実施例では、洗浄蒸気を、可燃性溶剤(５)と
フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）(１６)とを混
合したものを加熱することにより形成した。
フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）(１６)とを混
合したものを加熱することにより形成した。
しかし、他の異なる実施例では、第２図に示すごとく、
不燃液体槽(１７)内の一部に、可燃性溶剤(５)の収納容
器(３２)を設ける。そして、この収納容器(３２)と溶剤
タンク(８)とを、接続パイプ(３３)を介して接続してい
る。そして、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）
(１６)とともにヒーター(１８)によって加熱して蒸気化
し、洗浄部(７)に供給することにより、可燃性溶剤蒸気
による被洗浄物(６)の蒸気洗浄を、不燃性蒸気雰囲気内
で可能としている。
不燃液体槽(１７)内の一部に、可燃性溶剤(５)の収納容
器(３２)を設ける。そして、この収納容器(３２)と溶剤
タンク(８)とを、接続パイプ(３３)を介して接続してい
る。そして、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）
(１６)とともにヒーター(１８)によって加熱して蒸気化
し、洗浄部(７)に供給することにより、可燃性溶剤蒸気
による被洗浄物(６)の蒸気洗浄を、不燃性蒸気雰囲気内
で可能としている。
発明の効果 本発明は上述のごとく構成したものであるから、被洗浄
物のシャワー洗浄や蒸気洗浄等の、特に空気と混合し易
い洗浄を、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）を
加熱して蒸気化した不燃蒸気雰囲気内で行い、洗浄部を
無酸素若しくは酸素の極めて少ない状態に保つことがで
きるから、引火の危険は極めて少ないものとなる。
物のシャワー洗浄や蒸気洗浄等の、特に空気と混合し易
い洗浄を、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）を
加熱して蒸気化した不燃蒸気雰囲気内で行い、洗浄部を
無酸素若しくは酸素の極めて少ない状態に保つことがで
きるから、引火の危険は極めて少ないものとなる。
また、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）を加熱
して蒸気化した蒸気は、空気よりも比重が重いから、可
燃性ガスの外部への流出、外気の混入を防止し、完全な
洗浄作業を可能とする。
して蒸気化した蒸気は、空気よりも比重が重いから、可
燃性ガスの外部への流出、外気の混入を防止し、完全な
洗浄作業を可能とする。
また、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）を加熱
して蒸気化した蒸気は、冷却凝縮が可能であるから、冷
却によって凝縮したフッ素系不活性液体（完全フッ素化
液体）を、回収して再利用することができ、窒素、アル
ゴン、ヘリウム等の冷却凝縮不能な気体を用いるよりも
経済効率ガ良いものとなる。
して蒸気化した蒸気は、冷却凝縮が可能であるから、冷
却によって凝縮したフッ素系不活性液体（完全フッ素化
液体）を、回収して再利用することができ、窒素、アル
ゴン、ヘリウム等の冷却凝縮不能な気体を用いるよりも
経済効率ガ良いものとなる。
また、凝縮したフッ素系不活性液体（完全フッ素化液
体）をシャワー状に流下させれば、被洗浄物の洗浄に用
いた可燃性溶剤を、フッ素系不活性液体（完全フッ素化
液体）に物理的に付着して除去し得るから、乾燥後の被
洗浄物にシミ等を生じることなく、仕上がり状態の良い
洗浄が可能となるものである。
体）をシャワー状に流下させれば、被洗浄物の洗浄に用
いた可燃性溶剤を、フッ素系不活性液体（完全フッ素化
液体）に物理的に付着して除去し得るから、乾燥後の被
洗浄物にシミ等を生じることなく、仕上がり状態の良い
洗浄が可能となるものである。
図面は本発明の実施例を示すものであって、第１図は断
面図、第２図は異なる実施例の断面図である。 (５)……可燃性溶剤 (６)……被洗浄物 (７)……洗浄部 (１５)……蒸気発生手段 (１６)……フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）
面図、第２図は異なる実施例の断面図である。 (５)……可燃性溶剤 (６)……被洗浄物 (７)……洗浄部 (１５)……蒸気発生手段 (１６)……フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−107861（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−92780（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−500647（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−229185（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−2491（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−128885（ＪＰ，Ｕ) 特公 平３−5908（ＪＰ，Ｂ２) 特公 昭63−48598（ＪＰ，Ｂ２) 特表 昭63−501348（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】被洗浄物のシャワー洗浄、または蒸気洗浄
若しくはその双方を、アルコール系溶剤、炭化水素系溶
剤またはシリコン系溶剤から成る可燃性溶剤にて行う洗
浄部と、フッ素系不活性液体（完全フッ素化液体）を加
熱し蒸気化して洗浄部に供給する蒸気発生手段とから成
ることを特徴とする可燃性溶剤を用いた被洗浄物の洗浄
装置。 - 【請求項２】アルコール系溶剤、炭化水素系溶剤または
シリコン系溶剤若しくはその双方から成る洗浄液を用い
て、被洗浄物の蒸気洗浄またはシャワー洗浄を洗浄部内
で行い、この洗浄作業時に、洗浄部とは開閉弁を介して
別個に設けた不燃性液体槽から、フッ素系不活性液体
（完全フッ素化液体）を加熱して蒸気化したフッ素系不
活性液体（完全フッ素化液体）蒸気を洗浄部内に導入
し、洗浄部内を不燃化するとともにこの洗浄部で使用し
た洗浄液を、別個に設けた溶剤タンクに排出し、洗浄部
内に洗浄液を貯留することのないようにした事を特徴と
する被洗浄物の洗浄方法。 - 【請求項３】アルコール系溶剤、炭化水素系溶剤または
シリコン系溶剤若しくはその双方から成る洗浄液を用い
て、被洗浄物のシャワー洗浄、または蒸気洗浄若しくは
その双方を行う洗浄部と、この洗浄部とは開閉弁を介し
て接続するとともに充填したフッ素系不活性液体（完全
フッ素化液体）を加熱して蒸気化し、開閉弁を介して洗
浄部内に供給する蒸気発生手段と、洗浄部で使用した洗
浄液を導入し洗浄部内に洗浄液を貯留することのないよ
う洗浄部とは別個に設けた溶剤タンクとから成ることを
特徴とする可燃性溶剤を用いた被洗浄物の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2212086A JPH0632795B2 (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | 可燃性溶剤を用いた被洗浄物の洗浄方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2212086A JPH0632795B2 (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | 可燃性溶剤を用いた被洗浄物の洗浄方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0494779A JPH0494779A (ja) | 1992-03-26 |
| JPH0632795B2 true JPH0632795B2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=16616644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2212086A Expired - Lifetime JPH0632795B2 (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | 可燃性溶剤を用いた被洗浄物の洗浄方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0632795B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002077356A1 (en) * | 2001-03-21 | 2002-10-03 | General Electric Company | Vapor phase siloxane dry cleaning process |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01318091A (ja) * | 1988-06-17 | 1989-12-22 | Asahi Glass Co Ltd | 混合溶剤組成物 |
| ATE152487T1 (de) * | 1988-07-08 | 1997-05-15 | Rhone Poulenc Chimie | Reinigung und trocknung von elektronischen bauteilen |
-
1990
- 1990-08-10 JP JP2212086A patent/JPH0632795B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002077356A1 (en) * | 2001-03-21 | 2002-10-03 | General Electric Company | Vapor phase siloxane dry cleaning process |
| US6610108B2 (en) | 2001-03-21 | 2003-08-26 | General Electric Company | Vapor phase siloxane dry cleaning process |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0494779A (ja) | 1992-03-26 |
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