JPH06329329A - フィルム剥離装置 - Google Patents
フィルム剥離装置Info
- Publication number
- JPH06329329A JPH06329329A JP5138896A JP13889693A JPH06329329A JP H06329329 A JPH06329329 A JP H06329329A JP 5138896 A JP5138896 A JP 5138896A JP 13889693 A JP13889693 A JP 13889693A JP H06329329 A JPH06329329 A JP H06329329A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- roller
- substrate
- photoresist
- vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 対象物に傷を付けずにフィルムを効率的に剥
離するフィルムの剥離装置を提供する。 【構成】振動子１を基板ＷのフィルムＦ表面に当接し、
フィルムＦに振動を与えて、フィルムＦと基板Ｗのフォ
トレジストＲとの間に隙間を形成する。この隙間が形成
された部分に粘着ローラ２を粘着させて、フィルムＦを
剥離する。
離するフィルムの剥離装置を提供する。 【構成】振動子１を基板ＷのフィルムＦ表面に当接し、
フィルムＦに振動を与えて、フィルムＦと基板Ｗのフォ
トレジストＲとの間に隙間を形成する。この隙間が形成
された部分に粘着ローラ２を粘着させて、フィルムＦを
剥離する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ドライフィルムフォ
トレジストの表面に装着されているポリエステルカバー
フィルム等のフィルムを剥離するための装置に関する。
トレジストの表面に装着されているポリエステルカバー
フィルム等のフィルムを剥離するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】基板などに回路を形成する際に、ＩＣ製
造技術に用いられているリソグラフィ法が近年用いられ
るようになってきている。その際に基板上に塗布される
フォトレジストとしてドライフィルムフォトレジストが
使用されるようになってきている。図７はその一例を示
すもので、基板Ｗの表裏にフォトレジストＲが塗布され
ており、このフォトレジストＲの上にポリエステル製の
保護用のカバーフィルムＦが貼着されている。
造技術に用いられているリソグラフィ法が近年用いられ
るようになってきている。その際に基板上に塗布される
フォトレジストとしてドライフィルムフォトレジストが
使用されるようになってきている。図７はその一例を示
すもので、基板Ｗの表裏にフォトレジストＲが塗布され
ており、このフォトレジストＲの上にポリエステル製の
保護用のカバーフィルムＦが貼着されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このフィルムＦは、フ
ォトレジストＲ上に回路パターンを焼き付ける露光工程
の前に剥す必要があり、従来よりこの種のフィルムを自
動的に効率よく剥離する装置の開発が試みられている。
しかしフィルムＦを剥離する際には、フォトレジストＲ
に傷をつけてはならないことや、フィルムＦの表面が円
滑でかつ熱に弱い等の条件があり、満足な自動剥離装置
はいまだ開発されていない。即ち従来提案されたものの
一つとして、粘着物や吸引によって剥離する方法がある
が、これらのみによってはドライフィルムフォトレジス
トのカバーフィルムの剥離は不可能である。またフィル
ムＦを加熱する方法も考えられるが、この場合にはカバ
ーフィルムが溶ける可能性がある等、剥離作業の自動化
が難しく、通常は人手により剥離作業を行っているのが
現状である。本発明は、このような従来技術の問題点を
解決することを目的とする。
ォトレジストＲ上に回路パターンを焼き付ける露光工程
の前に剥す必要があり、従来よりこの種のフィルムを自
動的に効率よく剥離する装置の開発が試みられている。
しかしフィルムＦを剥離する際には、フォトレジストＲ
に傷をつけてはならないことや、フィルムＦの表面が円
滑でかつ熱に弱い等の条件があり、満足な自動剥離装置
はいまだ開発されていない。即ち従来提案されたものの
一つとして、粘着物や吸引によって剥離する方法がある
が、これらのみによってはドライフィルムフォトレジス
トのカバーフィルムの剥離は不可能である。またフィル
ムＦを加熱する方法も考えられるが、この場合にはカバ
ーフィルムが溶ける可能性がある等、剥離作業の自動化
が難しく、通常は人手により剥離作業を行っているのが
現状である。本発明は、このような従来技術の問題点を
解決することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、対象物に貼着されたフィルムを剥離するフ
ィルム剥離装置であって、フィルム表面に当接してフィ
ルムを微細に振動させる振動手段と、少なくとも該振動
手段により振動された部分に当接し、フィルムに粘着し
て該フィルムを対象物から剥離する粘着ローラと、を備
えたことを特徴とする。
に本発明は、対象物に貼着されたフィルムを剥離するフ
ィルム剥離装置であって、フィルム表面に当接してフィ
ルムを微細に振動させる振動手段と、少なくとも該振動
手段により振動された部分に当接し、フィルムに粘着し
て該フィルムを対象物から剥離する粘着ローラと、を備
えたことを特徴とする。
【０００５】
【作用】フィルムの振動手段に当接した部分及びその近
傍は微細な振動により対象物から浮き上がる。粘着ロー
ラによりこの部分から剥離して、フィルム全体を対象物
から剥離する。
傍は微細な振動により対象物から浮き上がる。粘着ロー
ラによりこの部分から剥離して、フィルム全体を対象物
から剥離する。
【０００６】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図１は本発明の一実施例を示す平面図である。この
実施例において、基板Ｗは表裏にフォトレジストＲとフ
ィルムＦを装着しており、表裏のフィルムＦを同時に剥
離できるようになっている。基板Ｗはベルトコンベア５
により搬送され、その両端を送りローラ３、３により表
裏から挟持されて、更に矢印方向に移送されるようにな
っている。送りローラ３の下流側に振動子１と粘着ロー
ラ２が設けられており、これらは基板Ｗの両端に表裏か
ら基板Ｗを挟持するように設けられている。
る。図１は本発明の一実施例を示す平面図である。この
実施例において、基板Ｗは表裏にフォトレジストＲとフ
ィルムＦを装着しており、表裏のフィルムＦを同時に剥
離できるようになっている。基板Ｗはベルトコンベア５
により搬送され、その両端を送りローラ３、３により表
裏から挟持されて、更に矢印方向に移送されるようにな
っている。送りローラ３の下流側に振動子１と粘着ロー
ラ２が設けられており、これらは基板Ｗの両端に表裏か
ら基板Ｗを挟持するように設けられている。
【０００７】振動子１はこの実施例では表裏に一対づ
つ、合計４個設けられている。振動子１は図３に示すよ
うに、振動ペン１５の先端に振動ローラ１０、１１を装
着した構成になっている。この実施例では振動ローラ１
０を１山のローラとし、振動ローラ１１を２山のローラ
としている。振動ローラ１０、１１のローラは図示する
ようにそろばん玉形状をしており、断面３角形状であ
り、その頂部Ｐが基板Ｗに当接するようになっている。
また、振動ローラ１０のローラの頂部Ｐ位置は２山振動
ローラ１１のローラの谷Ｂ位置と一致するようになって
いる。これはローラの頂部どうしの接触を避けるための
構成である。なお、２山振動ローラ１１のようにローラ
を２山とした方が、基板Ｗへキズをつけることが少な
い。また、振動ローラ１０、１１の材質としては金属等
硬度のあるものが良く、この実施例ではステンレスロー
ラになっている。
つ、合計４個設けられている。振動子１は図３に示すよ
うに、振動ペン１５の先端に振動ローラ１０、１１を装
着した構成になっている。この実施例では振動ローラ１
０を１山のローラとし、振動ローラ１１を２山のローラ
としている。振動ローラ１０、１１のローラは図示する
ようにそろばん玉形状をしており、断面３角形状であ
り、その頂部Ｐが基板Ｗに当接するようになっている。
また、振動ローラ１０のローラの頂部Ｐ位置は２山振動
ローラ１１のローラの谷Ｂ位置と一致するようになって
いる。これはローラの頂部どうしの接触を避けるための
構成である。なお、２山振動ローラ１１のようにローラ
を２山とした方が、基板Ｗへキズをつけることが少な
い。また、振動ローラ１０、１１の材質としては金属等
硬度のあるものが良く、この実施例ではステンレスロー
ラになっている。
【０００８】振動子１は、基板Ｗに対してほぼ垂直に立
てるか、或いは図４に示すように基板Ｗ移動方向に傾け
て設置するのが望ましい。以上のような構成の振動子１
を基板ＷのフィルムＦに当接することにより、図５及び
図６に示すように該当接箇所にエアー溜りＴが形成さ
れ、フィルムＦを基板Ｗから浮いた状態とすることが出
来る。
てるか、或いは図４に示すように基板Ｗ移動方向に傾け
て設置するのが望ましい。以上のような構成の振動子１
を基板ＷのフィルムＦに当接することにより、図５及び
図６に示すように該当接箇所にエアー溜りＴが形成さ
れ、フィルムＦを基板Ｗから浮いた状態とすることが出
来る。
【０００９】振動子１の下流側には、粘着ローラ２が設
けられている。この粘着ローラ２はこの実施例では表裏
に２個づつ、合計４個設けられている。粘着ローラ２は
振動子１の直線上の位置に設けられており、振動子１に
より形成されたエアー溜りＴ部分に粘着して、フィルム
Ｆを基板ＷのフォトレジストＲから剥離するようになっ
ている。粘着ローラ２は、その表面に粘着材が設けられ
ており、フィルムＦに粘着してフィルムＦをフォトレジ
ストＲから剥離するようになっている。
けられている。この粘着ローラ２はこの実施例では表裏
に２個づつ、合計４個設けられている。粘着ローラ２は
振動子１の直線上の位置に設けられており、振動子１に
より形成されたエアー溜りＴ部分に粘着して、フィルム
Ｆを基板ＷのフォトレジストＲから剥離するようになっ
ている。粘着ローラ２は、その表面に粘着材が設けられ
ており、フィルムＦに粘着してフィルムＦをフォトレジ
ストＲから剥離するようになっている。
【００１０】なお、上記した振動子１と粘着ローラ２及
び送りローラ３は基板Ｗに対して接離可能に設けてあ
る。
び送りローラ３は基板Ｗに対して接離可能に設けてあ
る。
【００１１】次に動作を説明する。ベルトコンベア５に
より移送される基板Ｗは、送りローラ３に両端を挟持さ
れる振動子１及び粘着ローラ２方向に移送される。基板
Ｗが振動子１の位置に来ると、図２に示すように振動子
１が基板Ｗの表裏から当接し、振動子１の振動ローラ１
０、１１が回転しながら基板ＷのフィルムＦを振動させ
て、図５及び図６に示すように、フィルムＦとフォトレ
ジストＲとの間にエアー溜りＴを形成する。所定長さ振
動子１を接触させた後、振動子１を基板Ｗから離す。次
に基板Ｗの先端が粘着ローラ２の位置に来ると、粘着ロ
ーラ２がフィルムＦに粘着する。フィルムＦの粘着ロー
ラ２当接部には既にエアー溜りＴが形成されているか
ら、フィルムＦは粘着ローラ２の粘着力によりフォトレ
ジストＲから剥される。そいて、このエアー溜りＴ部分
から剥離が進行し、基板Ｗの進行に伴って、粘着ローラ
２によりフィルムＦが全面的に剥離する。
より移送される基板Ｗは、送りローラ３に両端を挟持さ
れる振動子１及び粘着ローラ２方向に移送される。基板
Ｗが振動子１の位置に来ると、図２に示すように振動子
１が基板Ｗの表裏から当接し、振動子１の振動ローラ１
０、１１が回転しながら基板ＷのフィルムＦを振動させ
て、図５及び図６に示すように、フィルムＦとフォトレ
ジストＲとの間にエアー溜りＴを形成する。所定長さ振
動子１を接触させた後、振動子１を基板Ｗから離す。次
に基板Ｗの先端が粘着ローラ２の位置に来ると、粘着ロ
ーラ２がフィルムＦに粘着する。フィルムＦの粘着ロー
ラ２当接部には既にエアー溜りＴが形成されているか
ら、フィルムＦは粘着ローラ２の粘着力によりフォトレ
ジストＲから剥される。そいて、このエアー溜りＴ部分
から剥離が進行し、基板Ｗの進行に伴って、粘着ローラ
２によりフィルムＦが全面的に剥離する。
【００１２】以上説明したように上記した構成によれ
ば、振動子１によりフィルムＦと基板Ｗのフォトレジス
トＲとの間にエアー溜りＴが形成され、粘着ローラ２に
より容易にフィルムＦが剥離できる。また、この動作は
基板Ｗを停止させることなく、連続的に行えるから作業
効率が極めて高い等の効果がある。
ば、振動子１によりフィルムＦと基板Ｗのフォトレジス
トＲとの間にエアー溜りＴが形成され、粘着ローラ２に
より容易にフィルムＦが剥離できる。また、この動作は
基板Ｗを停止させることなく、連続的に行えるから作業
効率が極めて高い等の効果がある。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は対象物に
貼着されたフィルムを剥離するフィルム剥離装置であっ
て、フィルム表面に当接してフィルムを微細に振動させ
る振動手段と、少なくとも該振動手段により振動された
部分に当接し、フィルムに粘着して該フィルムを対象物
から剥離する粘着ローラと、を備えているため、簡単に
しかも高速でドライフィルムフォトレジストのカバーフ
ィルムを剥離することができる。またカバーフィルムが
溶けたりすることがなく、フォトレジストＲにキズをつ
けることもない等の効果がある。
貼着されたフィルムを剥離するフィルム剥離装置であっ
て、フィルム表面に当接してフィルムを微細に振動させ
る振動手段と、少なくとも該振動手段により振動された
部分に当接し、フィルムに粘着して該フィルムを対象物
から剥離する粘着ローラと、を備えているため、簡単に
しかも高速でドライフィルムフォトレジストのカバーフ
ィルムを剥離することができる。またカバーフィルムが
溶けたりすることがなく、フォトレジストＲにキズをつ
けることもない等の効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す概略平面図。
【図２】本発明の一実施例を示す概略側面図。
【図３】本発明の一実施例における、振動子１の拡大正
面図。
面図。
【図４】本発明の一実施例における、振動子１の拡大側
面図。
面図。
【図５】本発明の一実施例の動作説明図。
【図６】本発明の一実施例の動作説明図。
【図７】ドライフィルムフォトレジストを施した回路基
板Ｗの構造を示す断面図。
板Ｗの構造を示す断面図。
１：振動子、２：粘着ローラ、３：送りローラ、５：ベ
ルトコンベア、１０：振動ローラ、１１：２山振動ロー
ラ、１５：振動ペン。
ルトコンベア、１０：振動ローラ、１１：２山振動ロー
ラ、１５：振動ペン。
Claims (5)
- 【請求項１】 対象物に貼着されたフィルムを剥離する
フィルム剥離装置であって、 フィルム表面に当接してフィルムを微細に振動させる振
動手段と、 少なくとも該振動手段により振動された部分に当接し、
フィルムに粘着して該フィルムを対象物から剥離する粘
着ローラと、 を備えたことを特徴とするフィルム剥離装置。 - 【請求項２】 フィルムが対象物の表裏に貼着され、 前記振動手段と粘着ローラが対象物の表裏に対向して一
対設けられている、 請求項１に記載のフィルム剥離装置。 - 【請求項３】 前記振動手段が少なくともフィルムの端
部を振動させ、フィルムの端部にエアー溜りを形成させ
る、 請求項１に記載のフィルム剥離装置。 - 【請求項４】 前記振動手段がローラを備え、該ローラ
がフィルムに回転しつつ接触してフィルムを微細に振動
させる、 請求項１に記載のフィルム剥離装置。 - 【請求項５】 対象物が回路基板と、該基板上に設けら
れたフォトレジストであり、該フォトレジスト上にフィ
ルムが貼着されている、 請求項１に記載のフィルム剥離装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5138896A JPH06329329A (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | フィルム剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5138896A JPH06329329A (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | フィルム剥離装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06329329A true JPH06329329A (ja) | 1994-11-29 |
Family
ID=15232657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5138896A Pending JPH06329329A (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | フィルム剥離装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06329329A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0686477A3 (en) * | 1994-06-06 | 1996-05-01 | Somar Corp | Method and device for peeling a film |
| JP2016036005A (ja) * | 2013-12-03 | 2016-03-17 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 剥離装置、及び積層体の作製装置 |
-
1993
- 1993-05-18 JP JP5138896A patent/JPH06329329A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0686477A3 (en) * | 1994-06-06 | 1996-05-01 | Somar Corp | Method and device for peeling a film |
| JP2016036005A (ja) * | 2013-12-03 | 2016-03-17 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 剥離装置、及び積層体の作製装置 |
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