JPH0633150U - Coating device for thin metal plates - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 長尺帯状の金属薄板の表面に塗布液を塗布し
て金属薄板の表面の微細な凹窩部を穴埋めするのに際
し、微細な凹窩部への塗布液の穴埋め性を向上させると
ともに、十分な厚みの塗布膜を金属薄板上に被着形成で
きるようにする。
【構成】 金属薄板１の搬送方向に距離を隔てて平滑ロ
ーラからなるスキージローラ30と溝付きローラからなる
スキージローラ32とを配設し、３本のバックアップロー
ラ34、36、38を、バックアップローラ間に各スキージロ
ーラがそれぞれ配置され、各バックアップローラの上面
が２本のスキージローラの両下面を含む平面よりそれぞ
れ上方に位置するように設ける。
(57) [Abstract] [Purpose] When applying a coating solution to the surface of a long strip-shaped thin metal plate to fill the minute recesses on the surface of the thin metal plate, The hole filling property is improved, and a coating film having a sufficient thickness can be deposited and formed on a thin metal plate. [Structure] A squeegee roller 30 made of a smooth roller and a squeegee roller 32 made of a grooved roller are arranged at a distance in the transport direction of the thin metal plate 1, and three backup rollers 34, 36, 38 are provided as backup rollers. Each squeegee roller is arranged in between, and the upper surface of each backup roller is provided so as to be located above a plane including both lower surfaces of the two squeegee rollers.
Description
【０００１】[0001]
この考案は、例えばカラーＣＲＴ用シャドウマスクや半導体製造用リードフレ ーム等の金属薄板の表面にスキージローラやコーティングローラを用いて塗布液 を塗布する金属薄板への塗布装置に関する。 The present invention relates to a coating device for a metal thin plate such as a shadow mask for a color CRT or a lead frame for semiconductor manufacturing, which applies a coating liquid to the surface of the metal thin plate using a squeegee roller or a coating roller.
【０００２】[0002]
カラーＣＲＴは、３本の電子ビームを放射する電子銃と、この電子銃から放射 された電子ビームを受けて三原色に発光する蛍光体と、この蛍光体と電子銃との 間に配置され、各電子ビームのうちの必要な方向の電子ビームだけを選択的に通 過させて不要な方向の電子ビームを遮断するための透孔が多数形成されたシャド ウマスクとを備えて構成されている。 The color CRT includes an electron gun that emits three electron beams, a phosphor that receives the electron beams emitted from the electron gun and emits light in three primary colors, and is arranged between the phosphor and the electron gun. A shadow mask having a large number of through holes for selectively passing only an electron beam in a necessary direction out of the electron beams and blocking an electron beam in an unnecessary direction is configured.
【０００３】 このカラーＣＲＴは、近年、一般のテレビジョン放送受信用のカラーテレビ受 像管以外に、コンピュータ等のディスプレイ装置やモニターなどとして広く利用 されるようになっている。このような用途の多様化に伴い、カラーＣＲＴに対し 、極めて高精細な画質への要求が高くなってきている。そして、カラーＣＲＴの 構成部品の１つであるシャドウマスクに対しては、微細でかつ大きさ、形状にば らつきの無い透孔を有していることが求められている。In recent years, the color CRT has been widely used as a display device such as a computer and a monitor in addition to a color television picture tube for receiving general television broadcasting. With such diversification of applications, there is an increasing demand for extremely high-definition image quality for color CRTs. Further, a shadow mask, which is one of the components of the color CRT, is required to have fine through holes that are uniform in size and shape.
【０００４】 ここで、シャドウマスクの透孔は、フォトエッチング法を利用して、一般的に は以下のような工程を経ることにより形成されている。すなわち、まず、板厚０ ．１〜０．３mm程度の低炭素アルミキルド鋼等の金属薄板（シャドウマスク用板 材）の表面を脱脂し、水洗して整面処理した後、その金属薄板の表裏両面に感光 液、例えばポリビニルアルコールと重クロム酸アンモニウムとの混合液を塗布し 、その感光液を乾燥させて、数μｍの厚みのフォトレジスト膜を金属薄板の表裏 両面に被着形成する。次に、金属薄板の両面に被着形成された各フォトレジスト 膜の表面に、形成しようとする電子ビーム通過孔に対応した所要の画像を有する マスターパターンを、表裏両面で画像位置を整合させてそれぞれ密着させ、露光 を行なう。続いて、温水等を用いて現像し、無水クロム酸の溶液中へ浸漬した後 バーニングすることにより硬膜処理を施し、金属薄板の両主面に所要のパターン 状画像の耐食性被膜（レジスト膜）を形成する。そして、塩化第二鉄水溶液を用 いてスプレイエッチングを行なって、金属薄板に多数の透孔を形成した後、その 表裏両面からレジスト膜を剥離して完成する。Here, the through holes of the shadow mask are formed by using a photoetching method, and generally through the following steps. That is, first, the plate thickness 0. The surface of a thin metal plate (shadow mask plate) such as low carbon aluminum killed steel of about 1 to 0.3 mm is degreased, washed with water and surface-treated, and then a photosensitive liquid such as polyvinyl alcohol is applied to both front and back surfaces of the thin metal plate. And a solution of ammonium dichromate are applied, and the photosensitive solution is dried to form a photoresist film having a thickness of several μm on both front and back surfaces of a thin metal plate. Next, on the surface of each photoresist film deposited on both sides of the thin metal plate, a master pattern having a required image corresponding to the electron beam passage hole to be formed is aligned with the image position on the front and back sides. Contact each other and perform exposure. Subsequently, the film is developed using warm water, immersed in a solution of chromic anhydride, and then hardened by burning, and a corrosion-resistant film (resist film) with the required pattern image on both main surfaces of the metal sheet. To form. Then, spray etching is performed using an aqueous solution of ferric chloride to form a large number of through holes in the thin metal plate, and then the resist film is peeled off from both the front and back surfaces to complete the process.
【０００５】 ところで、高解像度カラーＣＲＴ用のシャドウマスクでは、シャドウマスク用 板材（金属薄板）の厚みより透孔の直径が小さくなることが多い。このようなシ ャドウマスクの透孔を１回のエッチングによって形成しようとすると、設計通り の所望形状に透孔を形成することは極めて困難であり、実用に供し得ないような シャドウマスクしか得られないことが経験的に知られている。Incidentally, in a shadow mask for a high resolution color CRT, the diameter of the through hole is often smaller than the thickness of the shadow mask plate material (thin metal plate). If a through hole of such a shadow mask is to be formed by one-time etching, it is extremely difficult to form the through hole in a desired shape as designed, and only a shadow mask that cannot be put to practical use can be obtained. It is empirically known.
【０００６】 この対策法の１つとして、例えばＵＳＰ．３，６７９，５００や特公昭５７− ２６３４５号公報等には、エッチング処理を２回に分けて段階的に行なう２段階 エッチング法が開示されている。この２段階エッチング法は、以下のようにして 実施される。すなわち、まず、両主面に所望のパターン状画像のレジスト膜がそ れぞれ被着形成された金属薄板に対し、スプレイノズルからエッチング液を金属 薄板の両面又は片面に吹き付けて１回目のエッチングを行ない、金属薄板に貫通 孔が形成される前の段階で一旦エッチングを中止し、水洗、乾燥を行なうことに より、金属薄板の両面又は片面に微細な凹窩部を形成する。そして、両面エッチ ングした場合は、そのうちの一方の面を、片面エッチングした場合は、そのエッ チングした面をエッチング抵抗層によって被覆する。次に、金属薄板に対し、ス プレイノズルからエッチング液をエッチング抵抗層で被覆されていない面に吹き 付けて２回目のエッチングを行ない、その片面側に形成される微細な凹窩部と他 方の片面側に形成された微細な凹窩部とを互いに連通させる。そして、エッチン グ終了後に、金属薄板の表面からエッチング抵抗層及びレジスト膜をそれぞれ剥 離し、水洗、乾燥を行なうことにより、表裏で貫通した微細透孔が形成された金 属薄板が得られる。As one of the countermeasures, for example, USP. No. 3,679,500 and Japanese Patent Publication No. 57-26345 disclose a two-step etching method in which the etching process is performed in two steps. This two-step etching method is carried out as follows. That is, first, for a thin metal plate on which a resist film of a desired pattern image is formed on both main surfaces, an etching solution is sprayed from a spray nozzle onto both sides or one side of the thin metal plate for the first etching. The etching is stopped once before the through holes are formed in the thin metal plate, and the metal thin plate is washed with water and dried to form fine recesses on both sides or one side of the thin metal plate. Then, in the case of double-sided etching, one of the surfaces is covered, and in the case of single-sided etching, the etched surface is covered with an etching resistance layer. Next, the metal thin plate is sprayed with an etching solution from a spray nozzle onto the surface not covered with the etching resistance layer to perform the second etching, and the fine recesses and the other side formed on one side of the metal plate are etched. The minute recesses formed on one side of the are communicated with each other. After the etching is completed, the etching resistance layer and the resist film are separated from the surface of the thin metal plate, washed with water and dried to obtain a thin metal plate having fine through holes formed on the front and back sides.
【０００７】 上記した２段階エッチング法において、エッチング抵抗層は、スプレイ法、ロ ールコート法又はスキージコート法により金属薄板の片面側に塗布液を塗布する ことにより形成されていた。In the above-described two-step etching method, the etching resistance layer is formed by applying a coating solution on one side of the metal thin plate by a spray method, a roll coating method or a squeegee coating method.
【０００８】 ここで、エッチング抵抗層を形成する樹脂を有機溶剤に溶解させ、その溶液を 金属薄板の表面に塗布した後、有機溶剤を蒸発させてエッチング抵抗層を形成す る方式では、近年の環境問題の観点から、蒸発した有機溶剤を大気中へ放出する ことができなくなった。従って、有機溶剤の回収装置を設置する必要があるが、 その場合でも、有機溶剤を１００％回収することは困難である。このため、粘度 が１，０００センチポイズ以上といった無溶剤タイプの塗布液を使用する必要性 が生じている。ところが、上記したエッチング抵抗層形成方法のうちのスプレイ 法では、塗布液の粘度が高くなってくる（例えば粘度が１００センチポイズを越 える）と、塗布面に塗布液が玉状の固まりとなって塗布されるために、その玉状 の固まりによって塗布面全体を覆うようにしたとき、エッチング抵抗層の厚みが 非常に厚くなってしまい、しかも、その厚みが塗布面全体で不均一になってしま う。従って、スプレイ法は、無溶剤タイプの塗布液を使用してエッチング抵抗層 を形成するのには不向きである。Here, in the method of forming the etching resistance layer by dissolving the resin forming the etching resistance layer in an organic solvent, applying the solution to the surface of the metal thin plate, and then evaporating the organic solvent, From the perspective of environmental issues, it is no longer possible to release evaporated organic solvents into the atmosphere. Therefore, it is necessary to install a recovery device for the organic solvent, but even in that case, it is difficult to recover 100% of the organic solvent. For this reason, it is necessary to use a solventless type coating solution having a viscosity of 1,000 centipoise or more. However, in the spray method of the above etching resistance layer forming methods, when the viscosity of the coating liquid becomes high (for example, the viscosity exceeds 100 centipoise), the coating liquid becomes a ball-shaped mass on the coating surface. When the coating is applied to cover the entire coating surface, the etching resistance layer becomes very thick, and the thickness becomes uneven over the entire coating surface. U Therefore, the spray method is not suitable for forming an etching resistant layer using a solventless type coating solution.
【０００９】 一方、ロールコート法は、図５の（ａ）に示すように、供給パイプ４から塗布 液をコーティングローラ２とドクターローラ３との間の上部に供給し、コーティ ングローラ２の外周面に塗布液を膜状に保持させ、コーティングローラ２とバッ クアップローラ５との間に金属薄板１を挿入することにより、コーティングロー ラ２の外周面から金属薄板１の表面に塗布液を転移させ、金属薄板１の表面に塗 布液を一定の厚みに塗布する方法である。また、スキージコート法は、図５の（ ｂ）に示すように、スキージローラ６とバックアップローラ７との間に金属薄板 １を通すとともに、スキージローラ６の、金属薄板の搬送方向における手前側に 配設された供給パイプ８から金属薄板１上に塗布液を供給し、金属薄板１上に供 給された塗布液をスキージローラ６によって平面状に均しくすることにより、金 属薄板１の表面に塗布液を一定の厚みに塗布する方法である。これらのロールコ ート法やスキージコート法によれば、粘度が高い無溶剤タイプの塗布液を使用す ることができ、上記スプレイ法におけるような問題点は無い。On the other hand, in the roll coating method, as shown in FIG. 5A, the coating liquid is supplied from the supply pipe 4 to the upper portion between the coating roller 2 and the doctor roller 3, and the outer peripheral surface of the coating roller 2 is covered. The coating liquid is held in the form of a film and the thin metal plate 1 is inserted between the coating roller 2 and the backup roller 5 to transfer the coating liquid from the outer peripheral surface of the coating roller 2 to the surface of the thin metal plate 1. This is a method of applying the coating liquid on the surface of the metal thin plate 1 to a constant thickness. Further, in the squeegee coat method, as shown in FIG. 5B, the thin metal plate 1 is passed between the squeegee roller 6 and the backup roller 7, and the squeegee roller 6 is placed on the front side in the transport direction of the thin metal plate. The surface of the metal thin plate 1 is obtained by supplying the coating liquid onto the metal thin plate 1 through the supply pipe 8 provided and leveling the coating liquid supplied onto the metal thin plate 1 into a flat surface by the squeegee roller 6. Is a method of applying a coating solution to a certain thickness. According to the roll coat method and the squeegee coat method, a solventless type coating solution having high viscosity can be used, and there is no problem as in the spray method.
【００１０】 ロールコート法やスキージコート法において使用されるコーティングローラ２ やスキージローラ６には、図６の（ａ）に示すように、その外周面が平滑面に形 成された平滑ローラ９や、図６の（ｂ）に示すように、外周面に多数本の溝が形 成された溝付きローラ10がある。しかしながら、コーティングローラやスキージ ローラに平滑ローラを使用して塗布液の塗布を行なったときは、図７の（ａ）に 示すように、金属薄板１上に形成されるエッチング抵抗層11の膜厚が薄くなり、 ２回目のエッチングの際に、スプレイノズルから吹き付けられたエッチング液の 圧力により、図７の（ｂ）に示すように、エッチング抵抗層11の、微細な凹窩部 12を被覆している部分が剥離してしまう、といった問題点がある。図中の13はレ ジスト膜である。一方、コーティングローラやスキージローラに溝付きローラを 使用したときは、金属薄板の表面に形成された微細な凹窩部に塗布液を押し込む 圧力が溝付きローラ外周面の溝に沿って逃げ、この結果、微細な凹窩部の穴埋め 性が不十分になる、といった問題点がある。As shown in FIG. 6A, the coating roller 2 and the squeegee roller 6 used in the roll coating method and the squeegee coating method have a smooth roller 9 whose outer peripheral surface is formed into a smooth surface, As shown in FIG. 6B, there is a grooved roller 10 having a large number of grooves formed on its outer peripheral surface. However, when a coating roller or a squeegee roller is used as a smoothing roller to apply the coating liquid, the film thickness of the etching resistance layer 11 formed on the thin metal plate 1 as shown in FIG. Is thinned, and during the second etching, the fine recesses 12 of the etching resistance layer 11 are covered by the pressure of the etching liquid sprayed from the spray nozzle as shown in FIG. 7 (b). There is a problem that the part that is peeled off is peeled off. Reference numeral 13 in the figure is a resist film. On the other hand, when a grooved roller is used as the coating roller or squeegee roller, the pressure of pushing the coating liquid into the minute recesses formed on the surface of the thin metal plate escapes along the groove on the outer peripheral surface of the grooved roller. As a result, there is a problem that the hole filling ability of the fine recess is insufficient.
【００１１】 そこで、例えば実開平２−１２７３号公報等には、平滑ローラと溝付きローラ とを併用し、２段階に塗布液の塗布を行なう装置が開示されている。すなわち、 図８の（ａ）に示すように、金属薄板１の搬送方向に距離を隔てて、コーティン グローラ14（14’）、ドクターローラ15、塗布液供給パイプ16及びバックアップ ローラ17からなるローラコータを２つ配設し、そのうちの一方のコーティングロ ーラ14を平滑ローラとし、他方のコーティングローラ14’を溝付きローラとして 、それら両ロールコータに金属薄板１を順次通して塗布液を塗布する装置が提案 されている。Therefore, for example, Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 2-1273 discloses a device that uses a smoothing roller and a grooved roller in combination to apply the coating liquid in two steps. That is, as shown in FIG. 8A, a roller coater including a coating roller 14 (14 '), a doctor roller 15, a coating liquid supply pipe 16 and a backup roller 17 is provided at a distance in the transport direction of the thin metal plate 1. An apparatus that applies two or more coating rollers 14 of which one is a smooth roller and the other coating roller 14 'is a grooved roller, and the coating liquid is applied by sequentially passing the thin metal plate 1 through both roll coaters. Is proposed.
【００１２】 あるいは、図８の（ｂ）に示すように、金属薄板１の搬送方向に距離を隔てて ２つの位置に、スキージローラ18（18’）、バックアップローラ19及び塗布液供 給装置20をそれぞれ配設し、そのうちの一方のスキージローラ18を平滑ローラと し、他方のスキージローラ18’を溝付きローラとして、各スキージローラ18、18 ’と各バックアップローラ19との間に金属薄板を順次通して、金属薄板１上に２ 段階で塗布液を塗布するようにすることにより、微細な凹窩部への塗布液の穴埋 め性の向上とエッチング抵抗層の膜厚の増大とを図る塗布装置が提案されている 。Alternatively, as shown in FIG. 8B, the squeegee roller 18 (18 ′), the backup roller 19 and the coating liquid supply device 20 are provided at two positions spaced apart in the transport direction of the thin metal plate 1. One of the squeegee rollers 18 is a smooth roller, and the other squeegee roller 18 'is a grooved roller, and a thin metal plate is provided between each squeegee roller 18, 18' and each backup roller 19. By sequentially applying the coating solution on the thin metal plate 1 in two steps, it is possible to improve the fillability of the coating solution into the fine recesses and the thickness of the etching resistance layer. An attempted coating device has been proposed.
【００１３】[0013]
しかしながら、図８の（ａ）、（ｂ）に示したような従来の塗布装置では、図 ９に示すように、金属薄板１の中央部分に、塗布液による穴埋めがなされていな い微細な凹窩部21が多数残る、といったことがしばしば起こる。そこで、コーテ ィングローラやスキージローラが金属薄板の微細な凹窩部へ塗布液を押し込む圧 力を増すために、コーティングローラ又はスキージローラとバックアップローラ との各軸間に互いに近付ける方向の圧力を加えて上下ローラ間の圧接力を高めよ うとすると、図１０に示すように、コーティングローラ又はスキージローラの上 方ローラ22及びバックアップローラ23がそれぞれ、金属薄板１に対し内向きに湾 曲し、金属薄板１の中央部分に押圧力が加わらず、却って微細な凹窩部に対する 穴埋め性が悪くなる。その一方、金属薄板１の両側端辺部分に対し上下各ローラ 22、23の外周面から大きな押圧力が加わることになる結果、金属薄板１の、エッ チング抵抗層を形成しない側（バックアップローラ23側）の面では、両側端辺部 分においてバックアップローラ23の外周面によりレジスト膜が損傷を受ける恐れ がある。 However, in the conventional coating apparatus as shown in FIGS. 8 (a) and 8 (b), as shown in FIG. 9, fine recesses that are not filled with the coating liquid are formed in the central portion of the thin metal plate 1. It often happens that many fossa 21 remain. Therefore, in order to increase the pressing force of the coating roller or squeegee roller to push the coating liquid into the fine recesses of the thin metal plate, a pressure is applied between the coating roller or squeegee roller and the backup roller in the direction of approaching each other. As shown in FIG. 10, the upper roller 22 and the backup roller 23 of the coating roller or the squeegee roller are bent inward with respect to the thin metal plate 1, and the thin metal plate is bent inward. Since the pressing force is not applied to the central part of 1, the hole filling property for the minute recess is rather deteriorated. On the other hand, as a result of a large pressing force being applied from the outer peripheral surfaces of the upper and lower rollers 22 and 23 to both side edges of the metal thin plate 1, the side of the metal thin plate 1 on which the etching resistance layer is not formed (backup roller 23 On the side (side), the resist film may be damaged by the outer peripheral surface of the backup roller 23 on both side edges.
【００１４】 また、コーティングローラ又はスキージローラとバックアップローラとで金属 薄板を挾持しながらその搬送を行なっているため、上下のローラによって金属薄 板に加えられる力が金属薄板の幅方向において僅かでも相違すると、長尺帯状の 金属薄板が蛇行することになる。そして、上記方法では、コーティングローラ又 はスキージローラを金属薄板の搬送方向に２本並設しているため、蛇行の程度が 増幅されて大きくなる、といった問題点がある。この場合、上下のローラで金属 薄板を挾持したままではその蛇行の修正を行なえないため、それら上下のローラ を上下方向に離間させてそれらローラから金属薄板を開放させ、その後に金属薄 板の蛇行の修正作業を行なう必要があり、手間と時間とがかかるとともに、蛇行 の修正作業を行なっている間は塗布液の塗布を行なえない、といった欠点がある 。Further, since the coating roller or the squeegee roller and the backup roller carry the metal thin plate while holding it, the force applied to the metal thin plate by the upper and lower rollers is slightly different in the width direction of the metal thin plate. Then, the strip-shaped thin metal plate meanders. Further, in the above method, since two coating rollers or squeegee rollers are arranged side by side in the transport direction of the thin metal plate, there is a problem that the degree of meandering is amplified and becomes large. In this case, the meandering cannot be corrected by holding the thin metal plate between the upper and lower rollers, so that the upper and lower rollers are separated in the vertical direction to release the thin metal plate from the rollers, and then the meandering of the thin metal plate is performed. However, it is troublesome and time-consuming, and the coating liquid cannot be applied while the meandering correction work is being performed.
【００１５】 この考案は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、長尺帯状の金属 薄板の表面に塗布液を塗布し、金属薄板の表面に形成された多数の微細な凹窩部 の穴埋めを行なうに際し、微細な凹窩部への塗布液の穴埋め性を向上させるとと もに、十分な厚みの塗布膜を金属薄板の表面に被着形成することができ、また、 塗布液の塗布操作に伴ってレジスト膜に損傷を与えたりすることがなく、さらに 、長尺帯状の金属薄板が蛇行することを有効に防止することができるような金属 薄板への塗布装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and a large number of fine depressions formed on the surface of a thin metal plate by applying a coating solution to the surface of a long thin metal plate. When filling holes, it improves the filling of the coating solution into the fine recesses, and at the same time, a coating film of sufficient thickness can be deposited on the surface of the thin metal plate. Provided is a coating device for a thin metal plate, which does not damage the resist film due to the liquid coating operation and can effectively prevent the long thin metal plate from meandering. The purpose is to
【００１６】[0016]
上記課題を解決するため、請求項１記載の金属薄板への塗布装置は、 金属薄板の下面側に、金属薄板の搬送方向に距離を隔てて配設された３本のバ ックアップローラと、 前記各バックアップローラの間で、金属薄板の上面側に配設された２本のスキ ージローラと、 前記スキージローラの、金属薄板の搬送方向における手前側に配設され、金属 薄板上に塗布液を供給する塗布液供給手段と、を備え、 前記スキージローラのうちの、金属薄板の搬送方向における手前側のスキージ ローラの外周面を平滑面に形成するとともに、他方のスキージローラの外周面に 多数の溝を形成し、 前記各バックアップローラの上面が２本のスキージローラの両下面を含む平面 よりそれぞれ上方に位置するように、前記バックアップローラと前記スキージロ ーラとを配置している。 また、請求項２記載の金属薄板への塗布装置は、 金属薄板の下面側に、金属薄板の搬送方向に距離を隔てて配設された３本のバ ックアップローラと、 前記各バックアップローラの間で、金属薄板の上面側に配設された２本のコー ティングローラと、 前記コーティングローラに塗布液を供給する塗布液供給手段と、を備え、 前記コーティングローラのうちの、金属薄板の搬送方向における手前側のコー ティングローラの外周面を平滑面に形成するとともに、他方のコーティングロー ラの外周面に多数の溝を形成し、 前記各バックアップローラの上面が２本のコーティングローラの両下面を含む 平面よりそれぞれ上方に位置するように、前記バックアップローラと前記コーテ ィングローラとを配置している。 In order to solve the above-mentioned problems, the coating device for a thin metal plate according to claim 1 is provided with three back-up rollers arranged on the lower surface side of the thin metal plate at a distance in the transport direction of the thin metal plate, Between the backup rollers, two squeegee rollers arranged on the upper surface side of the thin metal plate and the squeegee roller on the front side in the transport direction of the thin metal plate, the coating liquid is supplied onto the thin metal plate. A coating liquid supply unit is provided, and the outer peripheral surface of the squeegee roller on the front side in the transport direction of the thin metal plate of the squeegee roller is formed into a smooth surface, and a large number of grooves are formed on the outer peripheral surface of the other squeegee roller. The backup roller and the squeegee so that the upper surface of each of the backup rollers is located above a plane including both lower surfaces of the two squeegee rollers. It is arranged and La. According to a second aspect of the present invention, there is provided an apparatus for coating a thin metal plate between three back-up rollers arranged on the lower surface side of the thin metal plate at a distance in the transport direction of the thin metal plate, and the backup rollers. And a coating liquid supply means for supplying a coating liquid to the coating roller, the coating roller including two coating rollers arranged on the upper surface side of the thin metal plate in the transport direction of the thin metal plate. The outer surface of the coating roller on the front side is formed as a smooth surface, and a large number of grooves are formed on the outer surface of the other coating roller, and the upper surface of each backup roller includes both lower surfaces of two coating rollers. The backup roller and the coating roller are arranged so as to be respectively located above the plane.
【００１７】[0017]
この考案の塗布装置では、金属薄板の上面側に配設されたスキージローラ（又 はコーティングローラ）のうちの、金属薄板の搬送方向における手前側のスキー ジローラ（又はコーティングローラ）を平滑ローラとするとともに、他方のスキ ージローラ（又はコーティングローラ）を溝付きローラとし、バックアップロー ラをスキージローラ（又はコーティングローラ）と対向させずに、金属薄板の搬 送方向において３本のバックアップローラの各間に前記スキージローラ（又はコ ーティングローラ）がそれぞれ配置されるようにし、かつ、各バックアップロー ラの上面が２本のスキージローラ（又はコーティングローラ）の両下面を含む平 面よりそれぞれ上方に位置するように、バックアップローラを金属薄板の下面に 配設している。 In the coating apparatus of the present invention, of the squeegee rollers (or coating rollers) arranged on the upper surface side of the metal thin plate, the squeegee roller (or coating roller) on the front side in the transport direction of the metal thin plate is a smooth roller. At the same time, the other squeegee roller (or coating roller) is used as a grooved roller, and the backup roller does not face the squeegee roller (or coating roller), but is placed between each of the three backup rollers in the sheet metal carrying direction. The squeegee rollers (or coating rollers) are arranged respectively, and the upper surface of each backup roller is located above the plane including both lower surfaces of the two squeegee rollers (or coating rollers). As described above, the backup roller is arranged on the lower surface of the thin metal plate.
【００１８】 そして、塗布液供給手段と、平滑ローラからなるスキージローラ又はコーティ ングローラと、による１段階目の塗布操作により、金属薄板の表面に形成された 微細な凹窩部が塗布液で埋められ、その後に、塗布液供給手段と、溝付きローラ からなるスキージローラ又はコーティングローラと、による２段階目の塗布操作 により、金属薄板上を被覆する塗布膜の厚みが厚くされる。Then, by the first-step coating operation by the coating liquid supply means and the squeegee roller or the coating roller composed of the smooth roller, the fine recesses formed on the surface of the thin metal plate are filled with the coating liquid. After that, the thickness of the coating film that coats the thin metal plate is increased by the second-stage coating operation by the coating liquid supply means and the squeegee roller or the coating roller including the grooved roller.
【００１９】 また、スキージローラ又はコーティングローラとバックアップローラとが金属 薄板の搬送方向における位置をずらせて配置されているため、スキージローラ又 はコーティングローラとバックアップローラとの間で僅かな芯のずれがあっても 、その芯ずれによる金属薄板の幅方向における位置ずれは、長尺帯状の金属薄板 の伸縮によって吸収されてしまい、金属薄板の蛇行を生じにくい。そして、仮に 金属薄板の蛇行を生じたとしても、金属薄板の幅方向における張力を調整するな どして、その修正を簡単に行なうことができる。さらに、スキージローラ又はコ ーティングローラとバックアップローラとの間に金属薄板が挾持されることがな いので、金属薄板の表面に被着形成されたレジスト膜がバックアップローラによ って損傷を受けるといったことがない。Further, since the squeegee roller or coating roller and the backup roller are arranged so as to be displaced from each other in the transport direction of the thin metal plate, a slight misalignment between the squeegee roller or coating roller and the backup roller may occur. However, the positional deviation in the width direction of the metal thin plate due to the misalignment is absorbed by the expansion and contraction of the long strip-shaped metal thin plate, and the metal thin plate is less likely to meander. Even if the metal thin plate meanders, the tension can be adjusted easily by adjusting the tension in the width direction of the metal thin plate. Further, since the thin metal plate is not held between the backup roller and the squeegee roller or the coating roller, the resist film adhered to the surface of the thin metal plate is damaged by the backup roller. There is no such thing.
【００２０】[0020]
以下、この考案の好適な実施例について図１ないし図４を参照しながら説明す る。 A preferred embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
【００２１】 最初に、図２は、この考案の２つの構成例を示す概略図であって、（ａ）は、 スキージローラを使用した塗布装置を示し、（ｂ）は、コーティングローラを使 用した塗布装置を示す。First, FIG. 2 is a schematic view showing two constitutional examples of the present invention, (a) shows a coating device using a squeegee roller, and (b) shows a coating roller. The applied device is shown.
【００２２】 図２の（ａ）に示した装置は、長尺帯状の金属薄板１の搬送方向の手前側に平 滑ローラからなる第１のスキージローラ30を、搬送方向の前方側に第２のスキー ジローラ32を金属薄板１の上面側にそれぞれ配設している。また、第１のスキー ジローラ30の、金属薄板の搬送方向における手前側に第１のバックアップローラ 34、第１のスキージローラ30と第２のスキージローラ32との間に第２のバックア ップローラ、及び、第２のスキージローラ32の前方側に第３のバックアップロー ラ38をそれぞれ金属薄板１の下面側に配設している。さらに、第１のスキージロ ーラ30及び第２のスキージローラ32の、金属薄板の搬送方向における各手前側に 、金属薄板１上に塗布液44を供給する第１の供給パイプ40及び第２の供給パイプ 42をそれぞれ配設して構成されている。そして、第１、第２及び第３の各バック アップローラ34、36、38は、その上面が第１のスキージローラ30と第２のスキー ジローラ32との両下面を含む水平面よりそれぞれ上方に位置するように配置され ており、金属薄板１が水平面に対し僅かに下向き及び上向きになりながら搬送さ れるようになっている。In the apparatus shown in FIG. 2A, a first squeegee roller 30 composed of a plain roller is provided on the front side of the long strip-shaped metal thin plate 1 in the carrying direction, and a second squeegee roller 30 is provided on the front side of the carrying direction. The squeegee rollers 32 are arranged on the upper surface side of the thin metal plate 1. Further, a first backup roller 34 is provided on the front side of the first squeegee roller 30 in the transport direction of the metal thin plate, a second back up roller is provided between the first squeegee roller 30 and the second squeegee roller 32, and A third backup roller 38 is arranged on the front side of the second squeegee roller 32 and on the lower surface side of the thin metal plate 1. Furthermore, the first squeegee roller 30 and the second squeegee roller 32 are provided with a first supply pipe 40 and a second supply pipe 40 for supplying the coating liquid 44 onto the metal thin plate 1 on the front side in the transport direction of the metal thin plate. The supply pipes 42 are respectively arranged. The upper surfaces of the first, second and third backup rollers 34, 36 and 38 are respectively located above a horizontal plane including both lower surfaces of the first squeegee roller 30 and the second squeegee roller 32. The metal thin plate 1 is conveyed so as to be slightly downward and upward with respect to the horizontal plane.
【００２３】 また、図２の（ｂ）の装置は、長尺帯状の金属薄板１の搬送方向の手前側に、 平滑ローラからなる第１のコーティングローラ46、このコーティングローラ46に 当接する第１のドクターローラ48、及び、第１のコーティングローラ46と第１の ドクターローラ48との当接部の上部に塗布液44を供給する第１の供給パイプ50を 、搬送方向の前方側に配設し、溝付きローラからなる第２のコーティングローラ 52、このコーティングローラ52に当接する第２のドクターローラ54、及び、第２ のコーティングローラ52と第２のドクターローラ54との当接部の上部に塗布液44 を供給する第２の供給パイプ56を配設している。また、第１のコーティングロー ラ46の、金属薄板の搬送方向における手前側にバックアップローラ58、第１のコ ーティングローラ46と第２のコーティングローラ52との間に第２のバックアップ ローラ60、及び、第２のコーティングローラ52の前方側に第３のバックアップロ ーラ62をそれぞれ金属薄板１の下面側に配設して構成されている。そして、第１ 、第２、第３の各バックアップローラ58、60、62は、その上面が第１のコーティ ングローラ46と第２のコーティングローラ52との両下面を含む水平面よりそれぞ れ上方に位置するように配置されており、金属薄板１が水平面に対し僅かに上下 方向に蛇行しながら搬送されるようになっている。尚、図２の（ｂ）に示した装 置において、ドクターローラ48、54にそれぞれ代えてドクターバーを配設するよ うにしてもよい。Further, in the apparatus of FIG. 2B, the first coating roller 46, which is a smooth roller, is provided on the front side of the long strip-shaped metal thin plate 1 in the conveying direction, and the first coating roller 46 that abuts on this coating roller 46. The doctor roller 48 and the first supply pipe 50 for supplying the coating liquid 44 to the upper part of the contact portion between the first coating roller 46 and the first doctor roller 48 are arranged on the front side in the transport direction. The second coating roller 52, which is a grooved roller, the second doctor roller 54 that contacts the coating roller 52, and the upper part of the contact portion between the second coating roller 52 and the second doctor roller 54. A second supply pipe 56 for supplying the coating liquid 44 is provided therein. Further, a backup roller 58 is provided on the front side of the first coating roller 46 in the transport direction of the thin metal plate, and a second backup roller 60 is provided between the first coating roller 46 and the second coating roller 52. A third backup roller 62 is provided on the front side of the second coating roller 52 and on the lower surface side of the thin metal plate 1, respectively. The upper surfaces of the first, second, and third backup rollers 58, 60, 62 are located above the horizontal plane including the lower surfaces of the first coating roller 46 and the second coating roller 52, respectively. The thin metal plate 1 is arranged so as to be positioned so as to be conveyed while meandering slightly in the vertical direction with respect to the horizontal plane. In the apparatus shown in FIG. 2B, doctor bars may be provided instead of the doctor rollers 48 and 54, respectively.
【００２４】 図１は、図２に示した２つの構成の装置のうち、同図の（ａ）に示したスキー ジローラを使用する塗布装置の要部斜視図である。上記した説明に若干説明を追 加すると、第１のスキージローラ30の外周表面は、塗布液の粘度や金属薄板１の 表面の状態などによって所要の表面粗さを有する平滑面に仕上げられ、また、第 ２のスキージローラ32の外周面に切設される溝の幅は、金属薄板１上に必要な膜 厚のエッチング抵抗層が被着形成されるように、適宜設定されたものを選択する 。そして、金属薄板１が第１のスキージローラ30に接触しながらその位置を通過 することにより、第１の供給パイプ40から金属薄板１上に供給された塗布液44で 、金属薄板１の表面に形成された多数の微細な凹窩部が完全に埋められ、続いて 、金属薄板１が第２のスキージローラ32に接触しながらその位置を通過すること により、第２の供給パイプ42から金属薄板１上に供給された塗布液44がさらに塗 り重ねられ、所望の厚みのエッチング抵抗層が金属薄板１上に形成される。尚、 エッチング抵抗層を形成する塗布液としては、例えばパラフィン、アスファルト 、ラッカー、ＵＶ樹脂（紫外線硬化型樹脂）などが使用される。図１中、64は塗 布液44の流動案内板、66は、画像部を被覆するレジスト膜である。FIG. 1 is a perspective view of a main part of a coating device using the squeegee roller shown in FIG. 2A, of the devices having the two configurations shown in FIG. By slightly adding the above description, the outer peripheral surface of the first squeegee roller 30 is finished to be a smooth surface having a required surface roughness depending on the viscosity of the coating liquid, the state of the surface of the thin metal plate 1, and the like. The width of the groove cut on the outer peripheral surface of the second squeegee roller 32 is appropriately set so that the etching resistance layer having a necessary film thickness is formed on the thin metal plate 1 by coating. . Then, the metal thin plate 1 passes through the position while contacting the first squeegee roller 30, whereby the coating liquid 44 supplied onto the metal thin plate 1 from the first supply pipe 40 is applied to the surface of the metal thin plate 1. The large number of minute recesses formed are completely filled, and then the thin metal plate 1 passes through the position of the second squeegee roller 32 while contacting the second squeegee roller 32. The coating liquid 44 supplied onto the metal sheet 1 is further applied to form an etching resistant layer having a desired thickness on the thin metal plate 1. As the coating liquid for forming the etching resistance layer, for example, paraffin, asphalt, lacquer, UV resin (ultraviolet curable resin) or the like is used. In FIG. 1, 64 is a flow guide plate for the coating liquid 44, and 66 is a resist film that covers the image area.
【００２５】 図３は、金属薄板をその両主面からエッチングし、かつ、エッチング処理を２ 回に分けて行なう２段階エッチング法を利用して金属薄板に微細な透孔等を形成 するエッチング装置に、この考案に係る塗布装置を使用したときの、装置全体の 概略構成の１例を示す模式図である。FIG. 3 shows an etching apparatus for forming a fine through hole or the like in a metal thin plate by using a two-step etching method in which a metal thin plate is etched from both main surfaces thereof and the etching process is divided into two steps. FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of a schematic configuration of the entire apparatus when the coating apparatus according to the present invention is used.
【００２６】 このエッチング装置は、第１のエッチング処理槽70、水洗槽72、第１の熱風乾 燥機74、塗布装置76、第２の熱風乾燥機78、紫外線照射装置80並びに第２のエッ チング処理槽82を連設して構成されている。第１のエッチング処理槽70には、長 尺帯状の金属薄板１の上下両側に、多数のスプレイノズル86を有するスプレイパ イプ84がそれぞれ配設されている。そして、両面にパターン状画像を有するレジ スト膜がそれぞれ被着形成された金属薄板１が第１のエッチング処理槽70へ搬送 されてくると、第１のエッチング処理槽70において１回目のエッチング処理が行 なわれ、金属薄板１の両面にそれぞれ多数の微細な凹窩部が形成される。次に、 金属薄板１は、水洗槽72において両面に水を吹き付けられて水洗され、金属薄板 １の上下両側に多数の熱風吹出し口88がそれぞれ配設された第１の熱風乾燥機74 において乾燥させられた後、この考案に係る塗布装置76により、片面側に塗布液 、この実施例では紫外線硬化型樹脂が塗布される。This etching apparatus includes a first etching treatment tank 70, a water washing tank 72, a first hot air dryer 74, a coating device 76, a second hot air dryer 78, an ultraviolet irradiation device 80 and a second etchant. A ching process tank 82 is arranged in series. In the first etching treatment tank 70, spray pipes 84 having a large number of spray nozzles 86 are arranged on the upper and lower sides of the elongated strip-shaped metal thin plate 1, respectively. Then, when the metal thin plate 1 on which the resist films having the patterned images are formed on both sides is conveyed to the first etching treatment tank 70, the first etching treatment tank 70 performs the first etching treatment. And a large number of fine recesses are formed on both sides of the metal thin plate 1. Next, the thin metal plate 1 is rinsed by spraying water on both sides in the washing tank 72, and dried in the first hot air dryer 74 in which a large number of hot air outlets 88 are provided on the upper and lower sides of the thin metal plate 1, respectively. After that, the coating device 76 according to the present invention applies the coating liquid, that is, the ultraviolet curable resin in this embodiment on one side.
【００２７】 続いて、金属薄板１は、第２の熱風乾燥機78へ送られ、金属薄板１の上下両側 に多数の熱風吹出し口90がそれぞれ配設された第２の熱風乾燥機78において紫外 線硬化型樹脂が乾燥させられ、次いで、紫外線照射装置80において紫外線硬化型 樹脂に対し紫外線が照射されることにより樹脂が硬化させられ、金属薄板１の片 面側にエッチング抵抗層が被着形成され、金属薄板１は第２のエッチング処理槽 82へ送られる。第２のエッチング処理槽82には、長尺帯状の金属薄板１の下方側 にだけ、多数のスプレイノズル94を有するスプレイパイプ92が配設されており、 この第２のエッチング処理槽82において金属薄板１の下面側からだけ２回目のエ ッチング処理が行なわれる。この２回目のエッチングにより、下面側に形成され る微細な凹窩部と上面側に形成された微細な凹窩部とが互いに連通する。この２ 回目のエッチング終了後に、図示しない剥離装置により金属薄板１の表面からエ ッチング抵抗層及びレジスト膜がそれぞれ剥離され、水洗槽において水洗され、 熱風乾燥機において乾燥されることにより、表裏で貫通した微細透孔が形成され た金属薄板が得られる。Subsequently, the metal thin plate 1 is sent to the second hot air dryer 78, and ultraviolet rays are emitted from the second hot air dryer 78 in which a large number of hot air outlets 90 are arranged on the upper and lower sides of the metal thin plate 1, respectively. The linear curable resin is dried, and then the ultraviolet curable resin is irradiated with ultraviolet rays in the ultraviolet irradiation device 80 to cure the resin, so that an etching resistance layer is formed on one side of the thin metal plate 1. Then, the thin metal plate 1 is sent to the second etching treatment tank 82. In the second etching treatment tank 82, a spray pipe 92 having a large number of spray nozzles 94 is disposed only on the lower side of the long strip-shaped metal thin plate 1. In the second etching treatment tank 82, metal is used. The second etching process is performed only from the lower surface side of the thin plate 1. By this second etching, the fine recesses formed on the lower surface side and the fine recesses formed on the upper surface communicate with each other. After the second etching, the etching resistance layer and the resist film are peeled off from the surface of the thin metal plate 1 by a peeling device (not shown), washed in a washing bath and dried in a hot air drier to penetrate the front and back sides. A thin metal plate having the fine through holes is obtained.
【００２８】 次に、この考案に係る塗布装置の動作を従来の塗布装置と比較して説明する。Next, the operation of the coating apparatus according to the present invention will be described in comparison with a conventional coating apparatus.
【００２９】 ここで、図８の（ａ）、（ｂ）に示した従来の塗布装置では、長尺帯状の金属 薄板１は、その搬送方向に距離を隔てて配設された２組の、スキージローラ又は コーティングローラとバックアップローラとからなる塗布ユニットに順次通され るため、水平方向に搬送されることになる。従って、図４の（ｂ）に示すように 、スキージローラ又はコーティングローラの上方ローラ24とバックアップローラ 25との間に挾持された金属薄板１に対し上方ローラ24が接触する角度θ2は小さ く、上方ローラ24と金属薄板１とが接触する部分Ａ2の面積が小さくなる。Here, in the conventional coating apparatus shown in FIGS. 8A and 8B, the long strip-shaped metal thin plate 1 is composed of two sets of metal strips 1 arranged at a distance in the transport direction. Since it is sequentially passed through a coating unit consisting of a squeegee roller or coating roller and a backup roller, it is conveyed in the horizontal direction. Therefore, as shown in FIG. 4B, the angle θ 2 at which the upper roller 24 contacts the thin metal plate 1 sandwiched between the upper roller 24 of the squeegee roller or the coating roller and the backup roller 25 is small. The area of the portion A 2 where the upper roller 24 and the thin metal plate 1 contact each other becomes small.
【００３０】 これに対し、この考案に係る塗布装置は上述したようにスキージローラ又はコ ーティングローラとバックアップローラとを配置しているので、図４の（ａ）に 示すように、金属薄板１は上下方向に搬送の向きを変えながら搬送されることに なる。従って、金属薄板１に対しスキージローラ又はコーティングローラの上方 ローラ24が接触すると角度θ1は大きくなって、上方ローラ24と金属薄板１とが 接触する部分Ａ1の面積が大きくなる。この結果、この考案に係る装置では、ス キージローラ又はコーティングローラにより金属薄板表面に塗布液を塗布する面 積及び時間が従来の装置に比べて増加し、金属薄板の表面の微細な凹窩部への塗 布液の穴埋め性が向上することになる。On the other hand, in the coating apparatus according to the present invention, the squeegee roller or the coating roller and the backup roller are arranged as described above. Therefore, as shown in FIG. Will be transported while changing the transport direction in the vertical direction. Therefore, when the upper roller 24, which is a squeegee roller or a coating roller, contacts the thin metal plate 1, the angle θ 1 increases, and the area of the portion A 1 where the upper roller 24 and the thin metal plate 1 contact each other increases. As a result, in the device according to the present invention, the area and time for applying the coating liquid to the surface of the thin metal plate by the squeegee roller or the coating roller are increased as compared with the conventional device, and the fine recesses on the surface of the thin metal plate are formed. This improves the filling property of the coating liquid.
【００３１】[0031]
この考案は以上説明したように構成されかつ作用するので、この考案に係る塗 布装置を使用して金属薄板の表面に塗布液を塗布し、金属薄板の表面に形成され た多数の微細な凹窩部の穴埋めを行なうときは、微細な凹窩部への塗布液の穴埋 め性を向上させるとともに、十分な厚みの塗布膜を金属薄板の表面に被着形成す ることができ、また、塗布液の塗布操作に伴って生じるレジスト膜の損傷を防止 できる。また、金属薄板の蛇行を防止することができ、仮に金属薄板の蛇行を生 じた場合でも、その蛇行の修正を簡単に行なうことができるため、蛇行の修正作 業に要する労力と時間とを節約できる。 Since the present invention is constructed and operates as described above, the coating liquid according to the present invention is used to apply the coating liquid to the surface of the metal thin plate, and a large number of fine recesses formed on the surface of the metal thin plate. When filling the cavity, it is possible to improve the ability of the coating solution to fill the minute cavity and to form a coating film of sufficient thickness on the surface of the metal sheet. It is possible to prevent the resist film from being damaged due to the coating operation of the coating liquid. Further, it is possible to prevent the meandering of the thin metal plate, and even if the meandering of the thin metal plate is caused, the meandering can be easily corrected, so that the labor and time required for the meandering correction work can be saved. You can save.
【提出日】平成４年５月８日[Submission date] May 8, 1992
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２４[Name of item to be corrected] 0024
【補正方法】変更[Correction method] Change
【００２４】 図１は、図２に示した２つの構成の装置のうち、同図の（ａ）に 示したスキージローラを使用する塗布装置の要部斜視図である。上記した説明に 若干説明を追加すると、第１のスキージローラ30の外周表面は、塗布液の粘度や 金属薄板１の表面の状態などによって所要の表面粗さを有する平滑面に仕上げら れ、また、第２のスキージローラ32の外周面に切設される溝の幅は、金属薄板１ 上に必要な膜厚のエッチング抵抗層が被着形成されるように、適宜設定されたも のを選択する。そして、金属薄板１が第１のスキージローラ30に接触しながらそ の位置を通過することにより、第１の供給パイプ40から金属薄板１上に供給され た塗布液44で、金属薄板１の表面に形成された多数の微細な凹窩部が完全に埋め られ、続いて、金属薄板１が第２のスキージローラ32に接触しながらその位置を 通過することにより、第２の供給パイプ42から金属薄板１上に供給された塗布液 44がさらに塗り重ねられ、所望の厚みのエッチング抵抗層が金属薄板１上に形成 される。尚、エッチング抵抗層を形成する塗布液としては、例えばパラフィン、 アスファルト、ラッカー、ＵＶ樹脂（紫外線硬化型樹脂）などが使用される。図 １中、64は塗布液44の流動案内板、66は、画像部を被覆するレジスト膜である。FIG. 1 is a perspective view of an essential part of a coating device using the squeegee roller shown in FIG. 2A among the devices having the two configurations shown in FIG. Adding some described the above description, the outer peripheral surface of the first squeegee roller 30 is finished, et al is a smooth surface having the required surface roughness, such as by the state of the front surface of the viscosity and the metal sheet 1 of the coating solution, Further, the width of the groove cut on the outer peripheral surface of the second squeegee roller 32 is appropriately set so that the etching resistance layer having a required film thickness is formed on the thin metal plate 1. select. Then, the metal thin plate 1 passes through that position while coming into contact with the first squeegee roller 30, so that the coating liquid 44 supplied onto the metal thin plate 1 from the first supply pipe 40 causes the surface of the metal thin plate 1 to move. The large number of fine recesses formed in the metal are completely filled, and then the metal thin plate 1 passes through the position of the second squeegee roller 32 while contacting the second squeegee roller 32. The coating liquid 44 supplied onto the thin plate 1 is further applied and overlaid to form an etching resistant layer having a desired thickness on the metal thin plate 1. As the coating liquid for forming the etching resistance layer, for example, paraffin, asphalt, lacquer, UV resin (ultraviolet curable resin) or the like is used. In FIG. 1, 64 is a flow guide plate for the coating liquid 44, and 66 is a resist film that covers the image area.
【図１】この考案の１実施例を示す金属薄板への塗布装
置の要部斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an essential part of a coating device for a thin metal plate showing an embodiment of the present invention.
【図２】この考案の２つの構成例を示す概略図であっ
て、（ａ）は、スキージローラを使用した塗布装置を示
し、（ｂ）は、コーティングローラを使用した塗布装置
を示す。2A and 2B are schematic diagrams showing two configuration examples of the present invention, wherein FIG. 2A shows a coating device using a squeegee roller, and FIG. 2B shows a coating device using a coating roller.
【図３】この考案に係る塗布装置を、エッチング処理を
２回に分けて段階的に行なうエッチング装置に使用した
ときの、装置全体の概略構成の１例を示す模式図であ
る。FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of a schematic configuration of the entire apparatus when the coating apparatus according to the present invention is used in an etching apparatus that performs etching processing in two steps in stages.
【図４】この考案の動作を、従来の塗布装置と対比させ
て説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining the operation of the present invention in comparison with a conventional coating device.
【図５】（ａ）はロールコート法について、（ｂ）はス
キージコート法について、それぞれ説明するための図で
ある。5A is a diagram for explaining a roll coating method, and FIG. 5B is a diagram for explaining a squeegee coating method.
【図６】（ａ）は平滑ローラの構成を、（ｂ）は溝付き
ローラ10の構成を、部分拡大図と共にそれぞれ示す図で
ある。FIG. 6A is a diagram showing a configuration of a smooth roller, and FIG. 6B is a diagram showing a configuration of a grooved roller 10 together with a partially enlarged view.
【図７】コーティングローラやスキージローラに平滑ロ
ーラを使用して金属薄板上への塗布液の塗布を行なった
場合における問題点を説明するための一部拡大断面図で
ある。FIG. 7 is a partially enlarged cross-sectional view for explaining a problem in a case where a smoothing roller is used as a coating roller or a squeegee roller to apply a coating liquid on a thin metal plate.
【図８】金属薄板上に２段階で塗布液を塗布する従来の
方法を説明するための模式図であって、（ａ）がコーテ
ィングローラを使用したもの、（ｂ）がスキージローラ
を使用したものをそれぞれ示す。FIG. 8 is a schematic diagram for explaining a conventional method of applying a coating solution on a thin metal plate in two steps, where (a) uses a coating roller and (b) uses a squeegee roller. Each one is shown.
【図９】従来の２段階塗布方法における問題点を説明す
るための図であって、金属薄板の一部を示す平面図であ
る。FIG. 9 is a view for explaining a problem in the conventional two-step coating method and is a plan view showing a part of a thin metal plate.
【図１０】従来の２段階塗布方法における問題点を説明
するための図であって、コーティングローラ又はスキー
ジローラの上方ローラとバックアップローラとの間に金
属薄板を挾持した状態を示す図である。FIG. 10 is a diagram for explaining a problem in the conventional two-step coating method, and is a diagram showing a state in which a thin metal plate is sandwiched between an upper roller of a coating roller or a squeegee roller and a backup roller.
１ 長尺帯状金属薄板 30 スキージローラ（平滑ローラ） 32 スキージローラ（溝付きローラ） 34、36、38、58、60、62 バックアップローラ 40、42 塗布液塗布パイプ 44 塗布液 46 コーティングローラ（平滑ローラ） 52 コーティングローラ（溝付きローラ） 1 Long strip metal thin plate 30 Squeegee roller (smooth roller) 32 Squeegee roller (grooved roller) 34, 36, 38, 58, 60, 62 Backup roller 40, 42 Coating liquid coating pipe 44 Coating liquid 46 Coating roller (smoothing roller) ) 52 Coating roller (grooved roller)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 23/50 Ａ 9272−4Ｍ (72)考案者 山口 和彦 滋賀県彦根市高宮町480番地の１ 大日本 スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内 (72)考案者 佐藤 雅伸 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification number Reference number in the agency FI technical display location H01L 23/50 A 9272-4M (72) Creator Kazuhiko Yamaguchi 1 at 480 Takamiyacho, Hikone City, Shiga Prefecture Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Hikone District Office (72) Inventor Masanobu Sato No. 1 Tenjin Kitamachi 4-chome Tenjin Kitamachi, Kami-ku, Kyoto, Japan
Claims (2)
板の表面に塗布液を塗布する金属薄板への塗布装置にお
いて、 金属薄板の下面側に、金属薄板の搬送方向に距離を隔て
て配設された３本のバックアップローラと、 前記各バックアップローラの間で、金属薄板の上面側に
配設された２本のスキージローラと、 前記スキージローラの、金属薄板の搬送方向における手
前側に配設され、金属薄板上に塗布液を供給する塗布液
供給手段と、を備え、 前記スキージローラのうちの、金属薄板の搬送方向にお
ける手前側のスキージローラの外周面を平滑面に形成す
るとともに、他方のスキージローラの外周面に多数の溝
を形成し、 前記各バックアップローラの上面が２本のスキージロー
ラの両下面を含む平面よりそれぞれ上方に位置するよう
に、前記バックアップローラと前記スキージローラとを
配置したことを特徴とする金属薄板への塗布装置。1. A metal thin plate coating device for coating a coating liquid on the surface of a metal thin plate on which a large number of minute recesses are formed, wherein a lower surface of the metal thin plate is spaced apart in the transport direction of the metal thin plate. Between the backup rollers, two squeegee rollers disposed on the upper surface side of the metal thin plate between the backup rollers, and the front side of the squeegee roller in the transport direction of the metal thin plate. And a coating liquid supply means for supplying a coating liquid onto the thin metal plate, the outer surface of the squeegee roller on the front side of the squeegee roller in the transport direction of the thin metal plate being formed into a smooth surface. At the same time, a large number of grooves are formed on the outer peripheral surface of the other squeegee roller so that the upper surface of each backup roller is located above a plane including both lower surfaces of the two squeegee rollers. Coating apparatus to a metal sheet, characterized in that arranged serial backup roller and the said squeegee roller.
板の表面に塗布液を塗布する金属薄板への塗布装置にお
いて、 金属薄板の下面側に、金属薄板の搬送方向に距離を隔て
て配設された３本のバックアップローラと、 前記各バックアップローラの間で、金属薄板の上面側に
配設された２本のコーティングローラと、 前記コーティングローラに塗布液を供給する塗布液供給
手段と、を備え、 前記コーティングローラのうちの、金属薄板の搬送方向
における手前側のコーティングローラの外周面を平滑面
に形成するとともに、他方のコーティングローラの外周
面に多数の溝を形成し、 前記各バックアップローラの上面が２本のコーティング
ローラの両下面を含む平面よりそれぞれ上方に位置する
ように、前記バックアップローラと前記コーティングロ
ーラとを配置したことを特徴とする金属薄板への塗布装
置。2. A metal thin plate coating apparatus for coating a coating liquid on the surface of a metal thin plate on which a large number of fine recesses are formed, wherein a lower surface of the metal thin plate is spaced apart in the transport direction of the metal thin plate. And three coating rollers arranged on the upper surface side of the thin metal plate between the respective backup rollers, and a coating liquid supply means for supplying the coating liquid to the coating rollers. Among the coating rollers, the outer peripheral surface of the coating roller on the front side in the transport direction of the thin metal plate is formed as a smooth surface, and a large number of grooves are formed on the outer peripheral surface of the other coating roller, The backup roller and the coater are arranged such that the upper surface of each backup roller is located above a plane including both lower surfaces of the two coating rollers. Coating apparatus to a metal sheet, characterized in that a and Ngurora.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2542992U JP2583421Y2 (en) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | Applicator for thin metal plate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2542992U JP2583421Y2 (en) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | Applicator for thin metal plate |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0633150U true JPH0633150U (en) | 1994-04-28 |
| JP2583421Y2 JP2583421Y2 (en) | 1998-10-22 |
Family
ID=12165732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2542992U Expired - Fee Related JP2583421Y2 (en) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | Applicator for thin metal plate |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2583421Y2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005288318A (en) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Jfe Galvanizing & Coating Co Ltd | Coating equipment for manufacturing high design coated metal sheet |
| KR101988635B1 (en) * | 2019-01-10 | 2019-09-30 | 고신일 | Apparatus for coating metal net |
-
1992
- 1992-03-25 JP JP2542992U patent/JP2583421Y2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR101988635B1 (en) * | 2019-01-10 | 2019-09-30 | 고신일 | Apparatus for coating metal net |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2583421Y2 (en) | 1998-10-22 |
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