JPH0633150U - 金属薄板への塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 長尺帯状の金属薄板の表面に塗布液を塗布し
て金属薄板の表面の微細な凹窩部を穴埋めするのに際
し、微細な凹窩部への塗布液の穴埋め性を向上させると
ともに、十分な厚みの塗布膜を金属薄板上に被着形成で
きるようにする。 【構成】 金属薄板１の搬送方向に距離を隔てて平滑ロ
ーラからなるスキージローラ30と溝付きローラからなる
スキージローラ32とを配設し、３本のバックアップロー
ラ34、36、38を、バックアップローラ間に各スキージロ
ーラがそれぞれ配置され、各バックアップローラの上面
が２本のスキージローラの両下面を含む平面よりそれぞ
れ上方に位置するように設ける。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、例えばカラーＣＲＴ用シャドウマスクや半導体製造用リードフレ ーム等の金属薄板の表面にスキージローラやコーティングローラを用いて塗布液 を塗布する金属薄板への塗布装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

カラーＣＲＴは、３本の電子ビームを放射する電子銃と、この電子銃から放射 された電子ビームを受けて三原色に発光する蛍光体と、この蛍光体と電子銃との 間に配置され、各電子ビームのうちの必要な方向の電子ビームだけを選択的に通 過させて不要な方向の電子ビームを遮断するための透孔が多数形成されたシャド ウマスクとを備えて構成されている。

【０００３】 このカラーＣＲＴは、近年、一般のテレビジョン放送受信用のカラーテレビ受 像管以外に、コンピュータ等のディスプレイ装置やモニターなどとして広く利用 されるようになっている。このような用途の多様化に伴い、カラーＣＲＴに対し 、極めて高精細な画質への要求が高くなってきている。そして、カラーＣＲＴの 構成部品の１つであるシャドウマスクに対しては、微細でかつ大きさ、形状にば らつきの無い透孔を有していることが求められている。

【０００４】 ここで、シャドウマスクの透孔は、フォトエッチング法を利用して、一般的に は以下のような工程を経ることにより形成されている。すなわち、まず、板厚０ ．１〜０．３mm程度の低炭素アルミキルド鋼等の金属薄板（シャドウマスク用板 材）の表面を脱脂し、水洗して整面処理した後、その金属薄板の表裏両面に感光 液、例えばポリビニルアルコールと重クロム酸アンモニウムとの混合液を塗布し 、その感光液を乾燥させて、数μｍの厚みのフォトレジスト膜を金属薄板の表裏 両面に被着形成する。次に、金属薄板の両面に被着形成された各フォトレジスト 膜の表面に、形成しようとする電子ビーム通過孔に対応した所要の画像を有する マスターパターンを、表裏両面で画像位置を整合させてそれぞれ密着させ、露光 を行なう。続いて、温水等を用いて現像し、無水クロム酸の溶液中へ浸漬した後 バーニングすることにより硬膜処理を施し、金属薄板の両主面に所要のパターン 状画像の耐食性被膜（レジスト膜）を形成する。そして、塩化第二鉄水溶液を用 いてスプレイエッチングを行なって、金属薄板に多数の透孔を形成した後、その 表裏両面からレジスト膜を剥離して完成する。

【０００５】 ところで、高解像度カラーＣＲＴ用のシャドウマスクでは、シャドウマスク用 板材（金属薄板）の厚みより透孔の直径が小さくなることが多い。このようなシ ャドウマスクの透孔を１回のエッチングによって形成しようとすると、設計通り の所望形状に透孔を形成することは極めて困難であり、実用に供し得ないような シャドウマスクしか得られないことが経験的に知られている。

【０００６】 この対策法の１つとして、例えばＵＳＰ．３，６７９，５００や特公昭５７− ２６３４５号公報等には、エッチング処理を２回に分けて段階的に行なう２段階 エッチング法が開示されている。この２段階エッチング法は、以下のようにして 実施される。すなわち、まず、両主面に所望のパターン状画像のレジスト膜がそ れぞれ被着形成された金属薄板に対し、スプレイノズルからエッチング液を金属 薄板の両面又は片面に吹き付けて１回目のエッチングを行ない、金属薄板に貫通 孔が形成される前の段階で一旦エッチングを中止し、水洗、乾燥を行なうことに より、金属薄板の両面又は片面に微細な凹窩部を形成する。そして、両面エッチ ングした場合は、そのうちの一方の面を、片面エッチングした場合は、そのエッ チングした面をエッチング抵抗層によって被覆する。次に、金属薄板に対し、ス プレイノズルからエッチング液をエッチング抵抗層で被覆されていない面に吹き 付けて２回目のエッチングを行ない、その片面側に形成される微細な凹窩部と他 方の片面側に形成された微細な凹窩部とを互いに連通させる。そして、エッチン グ終了後に、金属薄板の表面からエッチング抵抗層及びレジスト膜をそれぞれ剥 離し、水洗、乾燥を行なうことにより、表裏で貫通した微細透孔が形成された金 属薄板が得られる。

【０００７】 上記した２段階エッチング法において、エッチング抵抗層は、スプレイ法、ロ ールコート法又はスキージコート法により金属薄板の片面側に塗布液を塗布する ことにより形成されていた。

【０００８】 ここで、エッチング抵抗層を形成する樹脂を有機溶剤に溶解させ、その溶液を 金属薄板の表面に塗布した後、有機溶剤を蒸発させてエッチング抵抗層を形成す る方式では、近年の環境問題の観点から、蒸発した有機溶剤を大気中へ放出する ことができなくなった。従って、有機溶剤の回収装置を設置する必要があるが、 その場合でも、有機溶剤を１００％回収することは困難である。このため、粘度 が１，０００センチポイズ以上といった無溶剤タイプの塗布液を使用する必要性 が生じている。ところが、上記したエッチング抵抗層形成方法のうちのスプレイ 法では、塗布液の粘度が高くなってくる（例えば粘度が１００センチポイズを越 える）と、塗布面に塗布液が玉状の固まりとなって塗布されるために、その玉状 の固まりによって塗布面全体を覆うようにしたとき、エッチング抵抗層の厚みが 非常に厚くなってしまい、しかも、その厚みが塗布面全体で不均一になってしま う。従って、スプレイ法は、無溶剤タイプの塗布液を使用してエッチング抵抗層 を形成するのには不向きである。

【０００９】 一方、ロールコート法は、図５の（ａ）に示すように、供給パイプ４から塗布 液をコーティングローラ２とドクターローラ３との間の上部に供給し、コーティ ングローラ２の外周面に塗布液を膜状に保持させ、コーティングローラ２とバッ クアップローラ５との間に金属薄板１を挿入することにより、コーティングロー ラ２の外周面から金属薄板１の表面に塗布液を転移させ、金属薄板１の表面に塗 布液を一定の厚みに塗布する方法である。また、スキージコート法は、図５の（ ｂ）に示すように、スキージローラ６とバックアップローラ７との間に金属薄板 １を通すとともに、スキージローラ６の、金属薄板の搬送方向における手前側に 配設された供給パイプ８から金属薄板１上に塗布液を供給し、金属薄板１上に供 給された塗布液をスキージローラ６によって平面状に均しくすることにより、金 属薄板１の表面に塗布液を一定の厚みに塗布する方法である。これらのロールコ ート法やスキージコート法によれば、粘度が高い無溶剤タイプの塗布液を使用す ることができ、上記スプレイ法におけるような問題点は無い。

【００１０】 ロールコート法やスキージコート法において使用されるコーティングローラ２ やスキージローラ６には、図６の（ａ）に示すように、その外周面が平滑面に形 成された平滑ローラ９や、図６の（ｂ）に示すように、外周面に多数本の溝が形 成された溝付きローラ10がある。しかしながら、コーティングローラやスキージ ローラに平滑ローラを使用して塗布液の塗布を行なったときは、図７の（ａ）に 示すように、金属薄板１上に形成されるエッチング抵抗層11の膜厚が薄くなり、 ２回目のエッチングの際に、スプレイノズルから吹き付けられたエッチング液の 圧力により、図７の（ｂ）に示すように、エッチング抵抗層11の、微細な凹窩部 12を被覆している部分が剥離してしまう、といった問題点がある。図中の13はレ ジスト膜である。一方、コーティングローラやスキージローラに溝付きローラを 使用したときは、金属薄板の表面に形成された微細な凹窩部に塗布液を押し込む 圧力が溝付きローラ外周面の溝に沿って逃げ、この結果、微細な凹窩部の穴埋め 性が不十分になる、といった問題点がある。

【００１１】 そこで、例えば実開平２−１２７３号公報等には、平滑ローラと溝付きローラ とを併用し、２段階に塗布液の塗布を行なう装置が開示されている。すなわち、 図８の（ａ）に示すように、金属薄板１の搬送方向に距離を隔てて、コーティン グローラ14（14’）、ドクターローラ15、塗布液供給パイプ16及びバックアップ ローラ17からなるローラコータを２つ配設し、そのうちの一方のコーティングロ ーラ14を平滑ローラとし、他方のコーティングローラ14’を溝付きローラとして 、それら両ロールコータに金属薄板１を順次通して塗布液を塗布する装置が提案 されている。

【００１２】 あるいは、図８の（ｂ）に示すように、金属薄板１の搬送方向に距離を隔てて ２つの位置に、スキージローラ18（18’）、バックアップローラ19及び塗布液供 給装置20をそれぞれ配設し、そのうちの一方のスキージローラ18を平滑ローラと し、他方のスキージローラ18’を溝付きローラとして、各スキージローラ18、18 ’と各バックアップローラ19との間に金属薄板を順次通して、金属薄板１上に２ 段階で塗布液を塗布するようにすることにより、微細な凹窩部への塗布液の穴埋 め性の向上とエッチング抵抗層の膜厚の増大とを図る塗布装置が提案されている 。

【００１３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、図８の（ａ）、（ｂ）に示したような従来の塗布装置では、図 ９に示すように、金属薄板１の中央部分に、塗布液による穴埋めがなされていな い微細な凹窩部21が多数残る、といったことがしばしば起こる。そこで、コーテ ィングローラやスキージローラが金属薄板の微細な凹窩部へ塗布液を押し込む圧 力を増すために、コーティングローラ又はスキージローラとバックアップローラ との各軸間に互いに近付ける方向の圧力を加えて上下ローラ間の圧接力を高めよ うとすると、図１０に示すように、コーティングローラ又はスキージローラの上 方ローラ22及びバックアップローラ23がそれぞれ、金属薄板１に対し内向きに湾 曲し、金属薄板１の中央部分に押圧力が加わらず、却って微細な凹窩部に対する 穴埋め性が悪くなる。その一方、金属薄板１の両側端辺部分に対し上下各ローラ 22、23の外周面から大きな押圧力が加わることになる結果、金属薄板１の、エッ チング抵抗層を形成しない側（バックアップローラ23側）の面では、両側端辺部 分においてバックアップローラ23の外周面によりレジスト膜が損傷を受ける恐れ がある。

【００１４】 また、コーティングローラ又はスキージローラとバックアップローラとで金属 薄板を挾持しながらその搬送を行なっているため、上下のローラによって金属薄 板に加えられる力が金属薄板の幅方向において僅かでも相違すると、長尺帯状の 金属薄板が蛇行することになる。そして、上記方法では、コーティングローラ又 はスキージローラを金属薄板の搬送方向に２本並設しているため、蛇行の程度が 増幅されて大きくなる、といった問題点がある。この場合、上下のローラで金属 薄板を挾持したままではその蛇行の修正を行なえないため、それら上下のローラ を上下方向に離間させてそれらローラから金属薄板を開放させ、その後に金属薄 板の蛇行の修正作業を行なう必要があり、手間と時間とがかかるとともに、蛇行 の修正作業を行なっている間は塗布液の塗布を行なえない、といった欠点がある 。

【００１５】 この考案は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、長尺帯状の金属 薄板の表面に塗布液を塗布し、金属薄板の表面に形成された多数の微細な凹窩部 の穴埋めを行なうに際し、微細な凹窩部への塗布液の穴埋め性を向上させるとと もに、十分な厚みの塗布膜を金属薄板の表面に被着形成することができ、また、 塗布液の塗布操作に伴ってレジスト膜に損傷を与えたりすることがなく、さらに 、長尺帯状の金属薄板が蛇行することを有効に防止することができるような金属 薄板への塗布装置を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するため、請求項１記載の金属薄板への塗布装置は、 金属薄板の下面側に、金属薄板の搬送方向に距離を隔てて配設された３本のバ ックアップローラと、 前記各バックアップローラの間で、金属薄板の上面側に配設された２本のスキ ージローラと、 前記スキージローラの、金属薄板の搬送方向における手前側に配設され、金属 薄板上に塗布液を供給する塗布液供給手段と、を備え、 前記スキージローラのうちの、金属薄板の搬送方向における手前側のスキージ ローラの外周面を平滑面に形成するとともに、他方のスキージローラの外周面に 多数の溝を形成し、 前記各バックアップローラの上面が２本のスキージローラの両下面を含む平面 よりそれぞれ上方に位置するように、前記バックアップローラと前記スキージロ ーラとを配置している。 また、請求項２記載の金属薄板への塗布装置は、 金属薄板の下面側に、金属薄板の搬送方向に距離を隔てて配設された３本のバ ックアップローラと、 前記各バックアップローラの間で、金属薄板の上面側に配設された２本のコー ティングローラと、 前記コーティングローラに塗布液を供給する塗布液供給手段と、を備え、 前記コーティングローラのうちの、金属薄板の搬送方向における手前側のコー ティングローラの外周面を平滑面に形成するとともに、他方のコーティングロー ラの外周面に多数の溝を形成し、 前記各バックアップローラの上面が２本のコーティングローラの両下面を含む 平面よりそれぞれ上方に位置するように、前記バックアップローラと前記コーテ ィングローラとを配置している。

【００１７】

【作用】

この考案の塗布装置では、金属薄板の上面側に配設されたスキージローラ（又 はコーティングローラ）のうちの、金属薄板の搬送方向における手前側のスキー ジローラ（又はコーティングローラ）を平滑ローラとするとともに、他方のスキ ージローラ（又はコーティングローラ）を溝付きローラとし、バックアップロー ラをスキージローラ（又はコーティングローラ）と対向させずに、金属薄板の搬 送方向において３本のバックアップローラの各間に前記スキージローラ（又はコ ーティングローラ）がそれぞれ配置されるようにし、かつ、各バックアップロー ラの上面が２本のスキージローラ（又はコーティングローラ）の両下面を含む平 面よりそれぞれ上方に位置するように、バックアップローラを金属薄板の下面に 配設している。

【００１８】 そして、塗布液供給手段と、平滑ローラからなるスキージローラ又はコーティ ングローラと、による１段階目の塗布操作により、金属薄板の表面に形成された 微細な凹窩部が塗布液で埋められ、その後に、塗布液供給手段と、溝付きローラ からなるスキージローラ又はコーティングローラと、による２段階目の塗布操作 により、金属薄板上を被覆する塗布膜の厚みが厚くされる。

【００１９】 また、スキージローラ又はコーティングローラとバックアップローラとが金属 薄板の搬送方向における位置をずらせて配置されているため、スキージローラ又 はコーティングローラとバックアップローラとの間で僅かな芯のずれがあっても 、その芯ずれによる金属薄板の幅方向における位置ずれは、長尺帯状の金属薄板 の伸縮によって吸収されてしまい、金属薄板の蛇行を生じにくい。そして、仮に 金属薄板の蛇行を生じたとしても、金属薄板の幅方向における張力を調整するな どして、その修正を簡単に行なうことができる。さらに、スキージローラ又はコ ーティングローラとバックアップローラとの間に金属薄板が挾持されることがな いので、金属薄板の表面に被着形成されたレジスト膜がバックアップローラによ って損傷を受けるといったことがない。

【００２０】

【実施例】

以下、この考案の好適な実施例について図１ないし図４を参照しながら説明す る。

【００２１】 最初に、図２は、この考案の２つの構成例を示す概略図であって、（ａ）は、 スキージローラを使用した塗布装置を示し、（ｂ）は、コーティングローラを使 用した塗布装置を示す。

【００２２】 図２の（ａ）に示した装置は、長尺帯状の金属薄板１の搬送方向の手前側に平 滑ローラからなる第１のスキージローラ30を、搬送方向の前方側に第２のスキー ジローラ32を金属薄板１の上面側にそれぞれ配設している。また、第１のスキー ジローラ30の、金属薄板の搬送方向における手前側に第１のバックアップローラ 34、第１のスキージローラ30と第２のスキージローラ32との間に第２のバックア ップローラ、及び、第２のスキージローラ32の前方側に第３のバックアップロー ラ38をそれぞれ金属薄板１の下面側に配設している。さらに、第１のスキージロ ーラ30及び第２のスキージローラ32の、金属薄板の搬送方向における各手前側に 、金属薄板１上に塗布液44を供給する第１の供給パイプ40及び第２の供給パイプ 42をそれぞれ配設して構成されている。そして、第１、第２及び第３の各バック アップローラ34、36、38は、その上面が第１のスキージローラ30と第２のスキー ジローラ32との両下面を含む水平面よりそれぞれ上方に位置するように配置され ており、金属薄板１が水平面に対し僅かに下向き及び上向きになりながら搬送さ れるようになっている。

【００２３】 また、図２の（ｂ）の装置は、長尺帯状の金属薄板１の搬送方向の手前側に、 平滑ローラからなる第１のコーティングローラ46、このコーティングローラ46に 当接する第１のドクターローラ48、及び、第１のコーティングローラ46と第１の ドクターローラ48との当接部の上部に塗布液44を供給する第１の供給パイプ50を 、搬送方向の前方側に配設し、溝付きローラからなる第２のコーティングローラ 52、このコーティングローラ52に当接する第２のドクターローラ54、及び、第２ のコーティングローラ52と第２のドクターローラ54との当接部の上部に塗布液44 を供給する第２の供給パイプ56を配設している。また、第１のコーティングロー ラ46の、金属薄板の搬送方向における手前側にバックアップローラ58、第１のコ ーティングローラ46と第２のコーティングローラ52との間に第２のバックアップ ローラ60、及び、第２のコーティングローラ52の前方側に第３のバックアップロ ーラ62をそれぞれ金属薄板１の下面側に配設して構成されている。そして、第１ 、第２、第３の各バックアップローラ58、60、62は、その上面が第１のコーティ ングローラ46と第２のコーティングローラ52との両下面を含む水平面よりそれぞ れ上方に位置するように配置されており、金属薄板１が水平面に対し僅かに上下 方向に蛇行しながら搬送されるようになっている。尚、図２の（ｂ）に示した装 置において、ドクターローラ48、54にそれぞれ代えてドクターバーを配設するよ うにしてもよい。

【００２４】 図１は、図２に示した２つの構成の装置のうち、同図の（ａ）に示したスキー ジローラを使用する塗布装置の要部斜視図である。上記した説明に若干説明を追 加すると、第１のスキージローラ30の外周表面は、塗布液の粘度や金属薄板１の 表面の状態などによって所要の表面粗さを有する平滑面に仕上げられ、また、第 ２のスキージローラ32の外周面に切設される溝の幅は、金属薄板１上に必要な膜 厚のエッチング抵抗層が被着形成されるように、適宜設定されたものを選択する 。そして、金属薄板１が第１のスキージローラ30に接触しながらその位置を通過 することにより、第１の供給パイプ40から金属薄板１上に供給された塗布液44で 、金属薄板１の表面に形成された多数の微細な凹窩部が完全に埋められ、続いて 、金属薄板１が第２のスキージローラ32に接触しながらその位置を通過すること により、第２の供給パイプ42から金属薄板１上に供給された塗布液44がさらに塗 り重ねられ、所望の厚みのエッチング抵抗層が金属薄板１上に形成される。尚、 エッチング抵抗層を形成する塗布液としては、例えばパラフィン、アスファルト 、ラッカー、ＵＶ樹脂（紫外線硬化型樹脂）などが使用される。図１中、64は塗 布液44の流動案内板、66は、画像部を被覆するレジスト膜である。

【００２５】 図３は、金属薄板をその両主面からエッチングし、かつ、エッチング処理を２ 回に分けて行なう２段階エッチング法を利用して金属薄板に微細な透孔等を形成 するエッチング装置に、この考案に係る塗布装置を使用したときの、装置全体の 概略構成の１例を示す模式図である。

【００２６】 このエッチング装置は、第１のエッチング処理槽70、水洗槽72、第１の熱風乾 燥機74、塗布装置76、第２の熱風乾燥機78、紫外線照射装置80並びに第２のエッ チング処理槽82を連設して構成されている。第１のエッチング処理槽70には、長 尺帯状の金属薄板１の上下両側に、多数のスプレイノズル86を有するスプレイパ イプ84がそれぞれ配設されている。そして、両面にパターン状画像を有するレジ スト膜がそれぞれ被着形成された金属薄板１が第１のエッチング処理槽70へ搬送 されてくると、第１のエッチング処理槽70において１回目のエッチング処理が行 なわれ、金属薄板１の両面にそれぞれ多数の微細な凹窩部が形成される。次に、 金属薄板１は、水洗槽72において両面に水を吹き付けられて水洗され、金属薄板 １の上下両側に多数の熱風吹出し口88がそれぞれ配設された第１の熱風乾燥機74 において乾燥させられた後、この考案に係る塗布装置76により、片面側に塗布液 、この実施例では紫外線硬化型樹脂が塗布される。

【００２７】 続いて、金属薄板１は、第２の熱風乾燥機78へ送られ、金属薄板１の上下両側 に多数の熱風吹出し口90がそれぞれ配設された第２の熱風乾燥機78において紫外 線硬化型樹脂が乾燥させられ、次いで、紫外線照射装置80において紫外線硬化型 樹脂に対し紫外線が照射されることにより樹脂が硬化させられ、金属薄板１の片 面側にエッチング抵抗層が被着形成され、金属薄板１は第２のエッチング処理槽 82へ送られる。第２のエッチング処理槽82には、長尺帯状の金属薄板１の下方側 にだけ、多数のスプレイノズル94を有するスプレイパイプ92が配設されており、 この第２のエッチング処理槽82において金属薄板１の下面側からだけ２回目のエ ッチング処理が行なわれる。この２回目のエッチングにより、下面側に形成され る微細な凹窩部と上面側に形成された微細な凹窩部とが互いに連通する。この２ 回目のエッチング終了後に、図示しない剥離装置により金属薄板１の表面からエ ッチング抵抗層及びレジスト膜がそれぞれ剥離され、水洗槽において水洗され、 熱風乾燥機において乾燥されることにより、表裏で貫通した微細透孔が形成され た金属薄板が得られる。

【００２８】 次に、この考案に係る塗布装置の動作を従来の塗布装置と比較して説明する。

【００２９】 ここで、図８の（ａ）、（ｂ）に示した従来の塗布装置では、長尺帯状の金属 薄板１は、その搬送方向に距離を隔てて配設された２組の、スキージローラ又は コーティングローラとバックアップローラとからなる塗布ユニットに順次通され るため、水平方向に搬送されることになる。従って、図４の（ｂ）に示すように 、スキージローラ又はコーティングローラの上方ローラ24とバックアップローラ 25との間に挾持された金属薄板１に対し上方ローラ24が接触する角度θ₂は小さ く、上方ローラ24と金属薄板１とが接触する部分Ａ₂の面積が小さくなる。

【００３０】 これに対し、この考案に係る塗布装置は上述したようにスキージローラ又はコ ーティングローラとバックアップローラとを配置しているので、図４の（ａ）に 示すように、金属薄板１は上下方向に搬送の向きを変えながら搬送されることに なる。従って、金属薄板１に対しスキージローラ又はコーティングローラの上方 ローラ24が接触すると角度θ₁は大きくなって、上方ローラ24と金属薄板１とが 接触する部分Ａ₁の面積が大きくなる。この結果、この考案に係る装置では、ス キージローラ又はコーティングローラにより金属薄板表面に塗布液を塗布する面 積及び時間が従来の装置に比べて増加し、金属薄板の表面の微細な凹窩部への塗 布液の穴埋め性が向上することになる。

【００３１】

【考案の効果】

この考案は以上説明したように構成されかつ作用するので、この考案に係る塗 布装置を使用して金属薄板の表面に塗布液を塗布し、金属薄板の表面に形成され た多数の微細な凹窩部の穴埋めを行なうときは、微細な凹窩部への塗布液の穴埋 め性を向上させるとともに、十分な厚みの塗布膜を金属薄板の表面に被着形成す ることができ、また、塗布液の塗布操作に伴って生じるレジスト膜の損傷を防止 できる。また、金属薄板の蛇行を防止することができ、仮に金属薄板の蛇行を生 じた場合でも、その蛇行の修正を簡単に行なうことができるため、蛇行の修正作 業に要する労力と時間とを節約できる。

【提出日】平成４年５月８日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２４】 図１は、図２に示した２つの構成の装置のうち、同図の（ａ）に 示したスキージローラを使用する塗布装置の要部斜視図である。上記した説明に 若干説明を追加すると、第１のスキージローラ30の外周表面は、塗布液の粘度や 金属薄板１の表面の状態などによって所要の表面粗さを有する平滑面に仕上げら れ、また、第２のスキージローラ32の外周面に切設される溝の幅は、金属薄板１ 上に必要な膜厚のエッチング抵抗層が被着形成されるように、適宜設定されたも のを選択する。そして、金属薄板１が第１のスキージローラ30に接触しながらそ の位置を通過することにより、第１の供給パイプ40から金属薄板１上に供給され た塗布液44で、金属薄板１の表面に形成された多数の微細な凹窩部が完全に埋め られ、続いて、金属薄板１が第２のスキージローラ32に接触しながらその位置を 通過することにより、第２の供給パイプ42から金属薄板１上に供給された塗布液 44がさらに塗り重ねられ、所望の厚みのエッチング抵抗層が金属薄板１上に形成 される。尚、エッチング抵抗層を形成する塗布液としては、例えばパラフィン、 アスファルト、ラッカー、ＵＶ樹脂（紫外線硬化型樹脂）などが使用される。図 １中、64は塗布液44の流動案内板、66は、画像部を被覆するレジスト膜である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の１実施例を示す金属薄板への塗布装
置の要部斜視図である。

【図２】この考案の２つの構成例を示す概略図であっ
て、（ａ）は、スキージローラを使用した塗布装置を示
し、（ｂ）は、コーティングローラを使用した塗布装置
を示す。

【図３】この考案に係る塗布装置を、エッチング処理を
２回に分けて段階的に行なうエッチング装置に使用した
ときの、装置全体の概略構成の１例を示す模式図であ
る。

【図４】この考案の動作を、従来の塗布装置と対比させ
て説明するための図である。

【図５】（ａ）はロールコート法について、（ｂ）はス
キージコート法について、それぞれ説明するための図で
ある。

【図６】（ａ）は平滑ローラの構成を、（ｂ）は溝付き
ローラ10の構成を、部分拡大図と共にそれぞれ示す図で
ある。

【図７】コーティングローラやスキージローラに平滑ロ
ーラを使用して金属薄板上への塗布液の塗布を行なった
場合における問題点を説明するための一部拡大断面図で
ある。

【図８】金属薄板上に２段階で塗布液を塗布する従来の
方法を説明するための模式図であって、（ａ）がコーテ
ィングローラを使用したもの、（ｂ）がスキージローラ
を使用したものをそれぞれ示す。

【図９】従来の２段階塗布方法における問題点を説明す
るための図であって、金属薄板の一部を示す平面図であ
る。

【図１０】従来の２段階塗布方法における問題点を説明
するための図であって、コーティングローラ又はスキー
ジローラの上方ローラとバックアップローラとの間に金
属薄板を挾持した状態を示す図である。

【符号の説明】

１ 長尺帯状金属薄板 30 スキージローラ（平滑ローラ） 32 スキージローラ（溝付きローラ） 34、36、38、58、60、62 バックアップローラ 40、42 塗布液塗布パイプ 44 塗布液 46 コーティングローラ（平滑ローラ） 52 コーティングローラ（溝付きローラ）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 23/50 Ａ 9272−4Ｍ (72)考案者 山口 和彦 滋賀県彦根市高宮町480番地の１ 大日本 スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内 (72)考案者 佐藤 雅伸 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 多数の微細な凹窩部が形成された金属薄
   板の表面に塗布液を塗布する金属薄板への塗布装置にお
   いて、 金属薄板の下面側に、金属薄板の搬送方向に距離を隔て
   て配設された３本のバックアップローラと、 前記各バックアップローラの間で、金属薄板の上面側に
   配設された２本のスキージローラと、 前記スキージローラの、金属薄板の搬送方向における手
   前側に配設され、金属薄板上に塗布液を供給する塗布液
   供給手段と、を備え、 前記スキージローラのうちの、金属薄板の搬送方向にお
   ける手前側のスキージローラの外周面を平滑面に形成す
   るとともに、他方のスキージローラの外周面に多数の溝
   を形成し、 前記各バックアップローラの上面が２本のスキージロー
   ラの両下面を含む平面よりそれぞれ上方に位置するよう
   に、前記バックアップローラと前記スキージローラとを
   配置したことを特徴とする金属薄板への塗布装置。
2. 【請求項２】 多数の微細な凹窩部が形成された金属薄
   板の表面に塗布液を塗布する金属薄板への塗布装置にお
   いて、 金属薄板の下面側に、金属薄板の搬送方向に距離を隔て
   て配設された３本のバックアップローラと、 前記各バックアップローラの間で、金属薄板の上面側に
   配設された２本のコーティングローラと、 前記コーティングローラに塗布液を供給する塗布液供給
   手段と、を備え、 前記コーティングローラのうちの、金属薄板の搬送方向
   における手前側のコーティングローラの外周面を平滑面
   に形成するとともに、他方のコーティングローラの外周
   面に多数の溝を形成し、 前記各バックアップローラの上面が２本のコーティング
   ローラの両下面を含む平面よりそれぞれ上方に位置する
   ように、前記バックアップローラと前記コーティングロ
   ーラとを配置したことを特徴とする金属薄板への塗布装
   置。