JPH0633266A - アルミニウムの表面処理剤 - Google Patents
アルミニウムの表面処理剤Info
- Publication number
- JPH0633266A JPH0633266A JP18934992A JP18934992A JPH0633266A JP H0633266 A JPH0633266 A JP H0633266A JP 18934992 A JP18934992 A JP 18934992A JP 18934992 A JP18934992 A JP 18934992A JP H0633266 A JPH0633266 A JP H0633266A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum
- etching
- aqueous solution
- ferric sulfate
- solution containing
- Prior art date
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- Pending
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 硫酸第二鉄を含有する水溶液、又は硫酸第二
鉄と硫酸、硝酸、燐酸のいずれか1種あるいは2種以上
の無機酸を含有する水溶液からなるアルミニウムの表面
処理剤。 【効果】 臭気はほとんどなく、腐食性、危険性も低
く、また処理時間も極く短時間でよいアルミニウム表面
の不働態除去剤を提供するもので、エッチングが速やか
に進行し、孔食の発生、黒色スマットの生成を防ぐこと
ができる。
鉄と硫酸、硝酸、燐酸のいずれか1種あるいは2種以上
の無機酸を含有する水溶液からなるアルミニウムの表面
処理剤。 【効果】 臭気はほとんどなく、腐食性、危険性も低
く、また処理時間も極く短時間でよいアルミニウム表面
の不働態除去剤を提供するもので、エッチングが速やか
に進行し、孔食の発生、黒色スマットの生成を防ぐこと
ができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はアルミニウムの表面処理
に関するもので、特にエッチング前の表面処理に関する
ものである。
に関するもので、特にエッチング前の表面処理に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】アルミニウムの表面には通常薄い酸化皮
膜である不働態が形成されており、これが次に示すよう
なエッチング阻害を引き起こす。
膜である不働態が形成されており、これが次に示すよう
なエッチング阻害を引き起こす。
【0003】(1)エッチング液により不均一に不働態
が除去されてから、急激な反応が始まるため、反応開始
時が予想出来ず、エッチング時間をコントロールするこ
とが難しい。 (2)不働態が部分的に除去されると、除去された箇所
のみが優先的にエッチングされ仕上がりが不均一なもの
となる。 (3)局所的な反応あるいは発熱により、孔食が発生
し、黒色のスマットが生成する。
が除去されてから、急激な反応が始まるため、反応開始
時が予想出来ず、エッチング時間をコントロールするこ
とが難しい。 (2)不働態が部分的に除去されると、除去された箇所
のみが優先的にエッチングされ仕上がりが不均一なもの
となる。 (3)局所的な反応あるいは発熱により、孔食が発生
し、黒色のスマットが生成する。
【0004】これらの不具合を解決する手段としては、
エッチング前に表面不働態を除去することが有効である
が、これまで不働態除去に適した処理剤はなかった。
エッチング前に表面不働態を除去することが有効である
が、これまで不働態除去に適した処理剤はなかった。
【0005】硼弗化水素酸が使用されている例はある
が、硼弗化水素酸は機器材質に対する腐食性、人体に対
する危険性が高く、また排水処理も困難である。
が、硼弗化水素酸は機器材質に対する腐食性、人体に対
する危険性が高く、また排水処理も困難である。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記の如
き欠点を有しないアルミニウムの表面処理剤について鋭
意検討の結果、エッチング前に硫酸第二鉄を含有する水
溶液、又は硫酸第二鉄と硫酸、硝酸、燐酸のいずれか1
種あるいは2種以上の無機酸を含有する水溶液でアルミ
ニウムを処理すれば、アルミニウム表面からは不働態が
除去されエッチングが速やかに進行し、更にこの処理剤
は、臭気はほとんどなく、腐食性、危険性も低く、また
処理時間も極く短時間でよいことを見出し、本発明を完
成するに到った。
き欠点を有しないアルミニウムの表面処理剤について鋭
意検討の結果、エッチング前に硫酸第二鉄を含有する水
溶液、又は硫酸第二鉄と硫酸、硝酸、燐酸のいずれか1
種あるいは2種以上の無機酸を含有する水溶液でアルミ
ニウムを処理すれば、アルミニウム表面からは不働態が
除去されエッチングが速やかに進行し、更にこの処理剤
は、臭気はほとんどなく、腐食性、危険性も低く、また
処理時間も極く短時間でよいことを見出し、本発明を完
成するに到った。
【0007】即ち、本発明は、硫酸第二鉄を含有する水
溶液、又は硫酸第二鉄と硫酸、硝酸、燐酸のいずれか1
種あるいは2種以上の無機酸を含有する水溶液からなる
アルミニウムの表面処理剤に係わるものである。
溶液、又は硫酸第二鉄と硫酸、硝酸、燐酸のいずれか1
種あるいは2種以上の無機酸を含有する水溶液からなる
アルミニウムの表面処理剤に係わるものである。
【0008】本発明のアルミニウムの表面処理剤に含有
せしめる硫酸第二鉄は、無水物に換算して5〜20%とす
るのがよく、これより低いと処理に時間を要し実用的で
ない。また、これより高くすると結晶が析出しやすくな
り、取扱上問題となる恐れがある。
せしめる硫酸第二鉄は、無水物に換算して5〜20%とす
るのがよく、これより低いと処理に時間を要し実用的で
ない。また、これより高くすると結晶が析出しやすくな
り、取扱上問題となる恐れがある。
【0009】本発明のアルミニウムの表面処理剤に含有
せしめる無機酸は、水酸化物の生成を防止するととも
に、処理速度を上げる目的で含有せしめるが、含有量が
あまり多いと不働態を除去するばかりでなく、エッチン
グが進行してしまい、アルミニウム表面が粗面化する恐
れがあるので、好ましい含有量は0〜10%である。尚、
燐酸は再度不働態が生成することを防止する効果があ
る。
せしめる無機酸は、水酸化物の生成を防止するととも
に、処理速度を上げる目的で含有せしめるが、含有量が
あまり多いと不働態を除去するばかりでなく、エッチン
グが進行してしまい、アルミニウム表面が粗面化する恐
れがあるので、好ましい含有量は0〜10%である。尚、
燐酸は再度不働態が生成することを防止する効果があ
る。
【0010】また、アルミニウム表面に付着した油膜な
どを除去するために界面活性剤、例えばノニオン界面活
性剤であるポリオキシアルキレングリコールを含有せし
めることが好ましい。界面活性剤の含有量は特に制限し
ないが、含有量と性能の見合いから水溶液中2%以下と
するのが好ましい。
どを除去するために界面活性剤、例えばノニオン界面活
性剤であるポリオキシアルキレングリコールを含有せし
めることが好ましい。界面活性剤の含有量は特に制限し
ないが、含有量と性能の見合いから水溶液中2%以下と
するのが好ましい。
【0011】本発明の表面処理剤の使用にあたっては、
浸漬法またはスプレー法のいずれでも行える。その処理
温度は、処理時間を考慮すると20℃以上が好ましく、水
の蒸発、装置の保全などの点からは50℃以下が好まし
い。更に、処理時間は、他の条件、例えば処理温度、処
理液の組成により異なるが、生産効率からみて1〜5分
とするのが好ましい。
浸漬法またはスプレー法のいずれでも行える。その処理
温度は、処理時間を考慮すると20℃以上が好ましく、水
の蒸発、装置の保全などの点からは50℃以下が好まし
い。更に、処理時間は、他の条件、例えば処理温度、処
理液の組成により異なるが、生産効率からみて1〜5分
とするのが好ましい。
【0012】本発明の表面処理剤の使用はエッチング前
の表面処理に限定されたものではなく、例えばエッチン
グレジスト塗布前の表面処理にも使用される。
の表面処理に限定されたものではなく、例えばエッチン
グレジスト塗布前の表面処理にも使用される。
【0013】
【実施例】以下、本発明を実施例および比較例によって
詳述するが、本発明はこれらの実施例に限定されるもの
ではない。尚、以下の例における原料配合比は重量比で
ある。
詳述するが、本発明はこれらの実施例に限定されるもの
ではない。尚、以下の例における原料配合比は重量比で
ある。
【0014】実施例1 硫酸第二鉄15部、硫酸5部を水80部に溶解した。アルミ
ニウムの試験片を上記処理液に浸漬し、45℃で5分間処
理した後水洗、乾燥を行った。次いで、20℃で比重1.4
の塩化第二鉄水溶液に浸漬しエッチングを行ったとこ
ろ、浸漬直後からエッチングが開始された。1分間エッ
チング後水洗、乾燥を行った試験片のアルミニウム表面
には孔食はなく、黒色スマットの発生も見られなかっ
た。
ニウムの試験片を上記処理液に浸漬し、45℃で5分間処
理した後水洗、乾燥を行った。次いで、20℃で比重1.4
の塩化第二鉄水溶液に浸漬しエッチングを行ったとこ
ろ、浸漬直後からエッチングが開始された。1分間エッ
チング後水洗、乾燥を行った試験片のアルミニウム表面
には孔食はなく、黒色スマットの発生も見られなかっ
た。
【0015】実施例2〜6 アルミニウムの試験片を表1に記載した処理剤で、同表
記載の条件で処理した後、実施例1と同様な条件でエッ
チングを行った。いずれも、浸漬直後からエッチングが
開始され、試験片表面には孔食はなくスマットの生成も
なかった。
記載の条件で処理した後、実施例1と同様な条件でエッ
チングを行った。いずれも、浸漬直後からエッチングが
開始され、試験片表面には孔食はなくスマットの生成も
なかった。
【0016】
【表1】
【0017】比較例1 アルミニウムの試験片を水洗、乾燥後、実施例1と同条
件でエッチングを行った。浸漬後1分30秒後に急激にエ
ッチングが開始された。更に30秒間エッチングを行った
後、水洗、乾燥を行った試験片の表面には孔食が見ら
れ、黒色のスマットが生成した。
件でエッチングを行った。浸漬後1分30秒後に急激にエ
ッチングが開始された。更に30秒間エッチングを行った
後、水洗、乾燥を行った試験片の表面には孔食が見ら
れ、黒色のスマットが生成した。
【0018】
【発明の効果】本発明の表面処理剤でアルミニウムを処
理すればエッチングが速やかに進行し、孔食の発生、黒
色スマットの生成を防ぐことができる。更に、本発明の
処理剤は、臭気はほとんどなく、腐食性、危険性も低
く、また、短時間の処理で完全に不働態を除去すること
ができる。
理すればエッチングが速やかに進行し、孔食の発生、黒
色スマットの生成を防ぐことができる。更に、本発明の
処理剤は、臭気はほとんどなく、腐食性、危険性も低
く、また、短時間の処理で完全に不働態を除去すること
ができる。
Claims (1)
- 【請求項1】 硫酸第二鉄を含有する水溶液、又は硫酸
第二鉄と硫酸、硝酸、燐酸のいずれか1種あるいは2種
以上の無機酸を含有する水溶液からなるアルミニウムの
表面処理剤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18934992A JPH0633266A (ja) | 1992-07-16 | 1992-07-16 | アルミニウムの表面処理剤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18934992A JPH0633266A (ja) | 1992-07-16 | 1992-07-16 | アルミニウムの表面処理剤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0633266A true JPH0633266A (ja) | 1994-02-08 |
Family
ID=16239847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18934992A Pending JPH0633266A (ja) | 1992-07-16 | 1992-07-16 | アルミニウムの表面処理剤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0633266A (ja) |
-
1992
- 1992-07-16 JP JP18934992A patent/JPH0633266A/ja active Pending
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