JPH06333959A - Lead frame supplying device - Google Patents
Lead frame supplying deviceInfo
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- JPH06333959A JPH06333959A JP14544293A JP14544293A JPH06333959A JP H06333959 A JPH06333959 A JP H06333959A JP 14544293 A JP14544293 A JP 14544293A JP 14544293 A JP14544293 A JP 14544293A JP H06333959 A JPH06333959 A JP H06333959A
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- frame
- lead
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- frames
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造工程に関し、
特にリードフレームの供給装置に関する。The present invention relates to a semiconductor manufacturing process,
In particular, it relates to a lead frame supply device.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、リードフレーム供給装置として
は、主として以下の2つの方法があった。 (1) 第一の機構は、第5図に示すように、リードフ
レーム15を積み重ねて束状で上昇させるローダ1、束
状のリードフレーム15を収納したリードフレームスト
ックケース2、このリードフレームストックケース2は
第6図に示すように、ローダ1にて束状のリードフーレ
ム15を上昇させるために、駆動スペースとして底板2
4の中央部がくり貫かれ、且つ側面板4面のうち1面の
側板25の中央が切りとられた構造となっている。そし
て束状のリードフレーム15をローダ1で上昇させ、任
意の高さで停止させるためのローダ停止センサ4で停止
位置を感知し、任意の高さで停止した束状のリードフレ
ーム15の最上位より一枚ずつ吸着、ピックアップして
搬送ステージ(図示せず)へ供給する吸着アーム5で構
成されていた。2. Description of the Related Art Conventionally, there have been mainly the following two methods as a lead frame supply device. (1) The first mechanism is, as shown in FIG. 5, a loader 1 that stacks lead frames 15 and raises them in a bundle, a lead frame stock case 2 that houses the lead frames 15 in a bundle, and this lead frame stock. As shown in FIG. 6, the case 2 has a bottom plate 2 as a drive space for raising the bundled lead holes 15 by the loader 1.
4 has a structure in which the central portion of 4 is hollowed out, and the center of one of the side plates 4 is cut off. Then, the bundled lead frames 15 are lifted by the loader 1, and the loader stop sensor 4 for stopping the bundled lead frames 15 detects the stop position, and the top of the bundled lead frames 15 stopped at the arbitrary height is detected. The suction arm 5 is configured to suck and pick up one by one and supply the picked-up sheet to a transfer stage (not shown).
【0003】(2) また、第二の機構は特開平1−9
6933号に示すように、構造及び動作としては図7に
示すようにリードフレームストックケース2の側面板4
面のうち、直角に組み合った2面の板26,27の高さ
を他の2枚より低くし、長手方向側は前後駆動して最上
位のリードフレーム16の長手方向一端を押圧する押圧
子7を挿入するスペースとなり、短手方向側は吸着アー
ム5の動作スペースとなっていた。そして、その動作と
しては、図5と同様にローダ1より束状のリードフレー
ム15をリードフレームストックケース15の側面板上
方の低い面まで上昇させ、最上位のリードフレーム16
の長手方向一端を押圧子7に押圧する。この時リードフ
レームストックケース2の長手方向で押圧している側の
側面板27と対向した側面板29が高くなっているた
め、押圧されたリードフレーム16は中央より凸形にた
わみ、その下のリードフレームと分離し、その後吸着ア
ーム5にて搬送ステージ3に供給するというものであっ
た。(2) Further, the second mechanism is disclosed in JP-A-1-9.
As shown in No. 6933, the side plate 4 of the lead frame stock case 2 has the same structure and operation as shown in FIG.
Of the two surfaces, the height of the two plates 26, 27 that are assembled at right angles is made lower than the other two, and the longitudinal side is driven back and forth to press one longitudinal end of the uppermost lead frame 16. 7 is a space for inserting, and the short side is a space for operating the suction arm 5. As the operation, as in FIG. 5, the bundled lead frames 15 are lifted from the loader 1 to the lower surface above the side plate of the lead frame stock case 15, and the uppermost lead frame 16 is moved.
One end in the longitudinal direction of is pressed against the pressing element 7. At this time, since the side surface plate 29 facing the side surface plate 27 on the pressing side in the longitudinal direction of the lead frame stock case 2 is higher, the pressed lead frame 16 bends in a convex shape from the center, and below it. It was separated from the lead frame and then supplied to the transfer stage 3 by the suction arm 5.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】前述した従来の二つの
リードフレーム供給装置においては、まず(1)で第8
図に示すようにリードフレーム内のインナリード30や
アイランド31表面に施された、銀メッキ32が背面に
も回り込み、下段のリードフレームと付着した場合吸着
アームにて二枚一緒にピックアップし搬送ステージに供
給したり、また搬送ステージへリードフレームを供給す
る途中で下段のリードフレームを落下させリードフレー
ムを変形させるという不具合を生じていた。また(2)
のものではインナリード間のピッチが狭いリードフレー
ムを用いた場合、最上位のリードフレームをたわませる
際下段のインナリードと最上位のインナーリード同志が
からみあい、互いのインナリードを変形させる欠点があ
った。In the above-mentioned two conventional lead frame supplying devices, firstly, in (1),
As shown in the figure, when the silver plating 32 on the surface of the inner lead 30 or the island 31 in the lead frame also wraps around to the back surface and adheres to the lower lead frame, the pickup arm picks up two sheets together and the transfer stage However, there was a problem that the lead frame in the lower stage was dropped and the lead frame was deformed while the lead frame was supplied to the carrier or while the lead frame was being supplied to the transport stage. Also (2)
In the case of using a lead frame with a narrow inner lead pitch, the lower inner lead and the uppermost inner lead entangle with each other when bending the uppermost lead frame, and there is a drawback that the inner leads are deformed. there were.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、半導体ペレッ
トを搭載するために用いるリードフレームを束状に積み
重ねた状態で、最上位のリードフレームの長手方向両端
よりめくり上げ、リードフレームを一枚ずつ分離する押
圧子を、積み重ねられたリードフレームの長手方向の両
端部に設けたリードフレーム供給装置であり、また、最
上位のリードフレームを一枚に分離しそれをピックアッ
クする際、下段にあるリードフレームの表面を押えるス
トッパピンとピックアップミスを検出する機能を有する
ようにしたものである。According to the present invention, a lead frame used for mounting semiconductor pellets is stacked in a bundle and turned up from both longitudinal ends of the uppermost lead frame to form one lead frame. It is a lead frame supply device in which pressing elements for separating the lead frames are provided at both ends in the longitudinal direction of the stacked lead frames, and when the uppermost lead frame is separated into one and picked up, it is in the lower stage. It has a stopper pin for pressing the surface of the lead frame and a function for detecting a pickup error.
【0006】[0006]
【作用】本発明によれば、束状に積み重ねられたリード
フレームの最上位に、吸着アームを下降させ押え込んだ
後に、リードフレーム長手方向の両端を押圧子により、
リードフレーム両端をめくり上げるように持ち上げるも
ので、一枚ずつ分離でき、かつリードフレーム供給の際
に発生する変形を低減することができるものである。ま
た、リードフレームの付着が重度の場合には、ストッパ
ーピンとピックアップミス検出機能により、一枚ずつ確
実に分離でき、リードフレームに損傷を与えることもな
く、リードフレームの供給を行うことができるものであ
る。According to the present invention, after the suction arms are lowered and pressed onto the uppermost position of the lead frames stacked in a bundle, both ends of the lead frame in the longitudinal direction are pressed by the pressing elements.
The lead frame is lifted up so that both ends can be lifted up, and the leads can be separated one by one and the deformation that occurs when the lead frame is supplied can be reduced. In addition, when the lead frame is heavily attached, the stopper pin and the pick-up error detection function can reliably separate the lead frames one by one, and the lead frame can be supplied without damaging the lead frame. is there.
【0007】[0007]
【実施例】本発明の実施例について図面を参照して説明
する。 [実施例1]図1は本発明の一実施例の平面図、図2は
一実施例の正面図、図3は一実施例の側面図であり、こ
れらの図面を参照して説明するが、構成としては図5に
示したリードフレーム供給装置と同様に、ローダ1、リ
ードフレームストックケース2、搬送ステージ3、ロー
ダ停止センサ4、吸着アーム5のほかに、リードフレー
ムストックケース2の長手方向両端にシリンダ6にて斜
め上方に向って前後駆動する押圧子7を有している。リ
ードフレームストックケース2の短手方向四箇所にシリ
ンダ8で駆動し、前後動作を行うストッパピン9、また
シリンダ8を上下へスライドさせるガイド10、シリン
ダ8を吊しておく引っ張りコイルバネ11とブラケット
12、そしてシリンダ8がスライドガイド10にて上昇
した際、エラー信号を出すための近接センサ13を備え
て構成されている。なお、吸着アーム5は長手方向がリ
ードフレーム15の全長より短い形状となっている。Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. [Embodiment 1] FIG. 1 is a plan view of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view of the embodiment, and FIG. 3 is a side view of the embodiment, which will be described with reference to these drawings. In addition to the loader 1, the lead frame stock case 2, the transfer stage 3, the loader stop sensor 4, and the suction arm 5, the lead frame stock case 2 has a longitudinal direction similar to that of the lead frame supply device shown in FIG. At both ends, there are pushers 7 which are driven by cylinders 6 diagonally upward and backward. Stopper pins 9 that are driven by cylinders 8 at four positions in the lateral direction of the lead frame stock case 2 to move back and forth, guides 10 that slide the cylinders 8 up and down, tension coil springs 11 and brackets 12 that suspend the cylinders 8. The proximity sensor 13 is provided to output an error signal when the cylinder 8 is raised by the slide guide 10. The suction arm 5 has a shape whose longitudinal direction is shorter than the entire length of the lead frame 15.
【0008】次に、この動作を説明する。まずローダ1
にて束状のリードフレーム15を上昇させ、ローダ停止
センサ4が検出、停止する位置まで上昇させ停止し、そ
の後吸着アームが最上位のリードフレーム15の最上面
に下降させ押え込み、押え込んだ後リードフレーム15
の長手方向両端にある押圧子7が前進し、両端を持ち上
げようとする。この時最上位のリードフレーム16は吸
着アーム5にて押え込まれているため、両端を各々支点
として押圧子7によって両端からめくり上がる状態とな
る。そしてめくり上がった最上位のリードフレーム16
と下段(そのすぐ下)のリードフレーム17との間に、
ストッパピン9が前進して下段のリードフレーム17の
表面を押え込む。その後押圧子7は後退し吸着アーム5
は最上位のリードフレーム16のみを吸着しながら上昇
する。この時軽度に下段のリードフレーム17と付着し
ているものであれば、ストッパピン9の押え込む力と吸
着アーム5の吸着力により分離し、最上位のリードフレ
ーム16一枚のみを搬送ステージへ供給することができ
る。Next, this operation will be described. First loader 1
Then, the bundled lead frames 15 are lifted up, and the loader stop sensor 4 detects and stops them up to a stop position, and then the suction arm is lowered to the uppermost surface of the uppermost lead frame 15 and pressed down, and then pressed. Lead frame 15
The pushers 7 at both ends in the longitudinal direction move forward and try to lift both ends. At this time, since the uppermost lead frame 16 is pressed by the suction arm 5, the upper end of the lead frame 16 is turned up from both ends by the pushers 7 with the both ends serving as fulcrums. And the topmost lead frame 16 that turned up
Between the lead frame 17 on the lower side (just below it),
The stopper pin 9 moves forward and presses the surface of the lower lead frame 17. After that, the pusher 7 retracts and the suction arm 5
Rises while adsorbing only the uppermost lead frame 16. At this time, if it is lightly attached to the lower lead frame 17, it is separated by the pressing force of the stopper pin 9 and the suction force of the suction arm 5, and only the topmost lead frame 16 is transferred to the transfer stage. Can be supplied.
【0009】また前述したインナリード同志のからみに
よる重度の付着の場合はストッパピン9を吊り下げてい
る引っ張りコイルバネ11の復元力を予めインナリード
が変形しない程度の荷重にセットしておき、吸着アーム
5を上昇させる際下段のリードフレーム17と共にスト
ッパピン9がスライドガイド10を介して上昇し、シリ
ンダ8に下面に備えられた近接センサ13がシリンダ8
と離れるため、近接センサ13はエラー信号を制御部
(図示せず)へ送り、“ピックアップミス”として動作
を停止し、作業者の呼び出しを行なった後、作業者によ
り重度の付着によって分離しなかったリードフレーム1
6,17の処置を行うことになる。In the case of heavy adhesion due to the entanglement of the inner leads, the restoring force of the tension coil spring 11 that suspends the stopper pin 9 is set in advance to such a load that the inner leads are not deformed, and the suction arm is set. When raising 5, the stopper pin 9 rises together with the lower lead frame 17 via the slide guide 10, and the proximity sensor 13 provided on the lower surface of the cylinder 8 causes the proximity sensor 13 to move.
Therefore, the proximity sensor 13 sends an error signal to the control unit (not shown) to stop the operation as a "pickup error", and after the operator is called, the operator does not separate due to heavy adhesion. Lead frame 1
Procedures 6 and 17 will be performed.
【0010】[実施例2]第4図は実施例2の概略図で
ある。実施例2の構成及び動作は図1,2及び3で説明
した実施例1と同じであるが、押圧子7の押圧面を凹凸
状にしたもので、押圧子7が前進し、端部を持ち上げる
ことが確実にできるものである。それによって最上位の
リードフレーム16の端面を、容易に引っかけて持ち上
げることを特徴としているものである。[Second Embodiment] FIG. 4 is a schematic view of the second embodiment. The configuration and operation of the second embodiment are the same as those of the first embodiment described with reference to FIGS. 1, 2 and 3, but the pressing surface of the pressing element 7 is made uneven, and the pressing element 7 advances and the end portion is It can be reliably lifted. Thereby, the end surface of the uppermost lead frame 16 is easily hooked and lifted.
【0011】[0011]
【発明の効果】以上のように本発明はリードフレームの
長手方向の両側に押圧子を有し、且つストッパピン及び
ピックアップミス検出機能を有することにより吸着アー
ムにて二枚一緒にピックアップし搬送ステージに供給す
ることもなく、また、リードフレームの変形を低減する
ことができ、製造工程におけるリードフレームの使用効
率を向上することができるという効果を奏するものであ
る。As described above, according to the present invention, by having the pressing elements on both sides in the longitudinal direction of the lead frame, and having the stopper pin and the pick-up error detection function, two pieces are picked up together by the suction arm and the transfer stage. It is possible to reduce the deformation of the lead frame and to improve the usage efficiency of the lead frame in the manufacturing process.
【図1】本発明の実施例1の平面図。FIG. 1 is a plan view of a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明の実施例1の正面図。FIG. 2 is a front view of the first embodiment of the present invention.
【図3】本発明の実施例1の側面図。FIG. 3 is a side view of the first embodiment of the present invention.
【図4】本発明の実施例2の概略図。FIG. 4 is a schematic diagram of a second embodiment of the present invention.
【図5】従来のリードフレーム供給装置の概略図。FIG. 5 is a schematic view of a conventional lead frame supply device.
【図6】リードフレームストックケースの概略図。FIG. 6 is a schematic view of a lead frame stock case.
【図7】従来のリードフレーム供給装置の概略図。FIG. 7 is a schematic view of a conventional lead frame supply device.
【図8】リードフレームの概略図。FIG. 8 is a schematic diagram of a lead frame.
1 ローダ 2 リードフレームストックケース 3 搬送ステージ 4 ローダ停止センサ 5 吸着アーム 6 シリンダ 7 押圧子 8 シリンダ 9 ストッパピン 10 スライドガイド 11 引っ張りコイルバネ 12 ブラケット 13 近接センサ 15 リードフレーム 16 最上位のリードフレーム 17 下段のリードフレーム 24 底板 25 側面板 26 側面板 27 側面板 29 側面板 30 インナリード 31 アイランド 32 銀メッキ 1 loader 2 lead frame stock case 3 transfer stage 4 loader stop sensor 5 suction arm 6 cylinder 7 pusher 8 cylinder 9 stopper pin 10 slide guide 11 tension coil spring 12 bracket 13 proximity sensor 15 lead frame 16 top lead frame 17 lower stage Lead frame 24 Bottom plate 25 Side plate 26 Side plate 27 Side plate 29 Side plate 30 Inner lead 31 Island 32 Silver plating
Claims (3)
リードフレームを束状に積み重ねた状態で、最上位のリ
ードフレームの長手方向両端よりめくり上げ、リードフ
レームを一枚ずつ分離する押圧子を、積み重ねられたリ
ードフレームの長手方向の両端部に設けたことを特徴と
したリードフレーム供給装置。1. A lead frame used for mounting semiconductor pellets is stacked in a bundle, and a presser for separating the lead frames one by one is piled up by turning up from the longitudinal ends of the uppermost lead frame. Lead frame supply device, characterized in that it is provided at both ends in the longitudinal direction of the formed lead frame.
リードフレームを束状に積み重ねた状態で、最上位のリ
ードフレームを一枚ずつに分離しピックアップする際、
下段にあるリードフレームの表面を押えるストッパピン
及びピックアップミスを検出する機能を有することを特
徴とするリードフレーム供給装置。2. When the lead frames used for mounting semiconductor pellets are stacked in a bundle and the uppermost lead frames are separated and picked up one by one,
A lead frame supply device having a stopper pin for pressing the surface of the lower lead frame and a function of detecting a pickup error.
子が、その押圧面を凹凸状にしたものであることを特徴
とする、請求項1に記載のリードフレーム供給装置。3. The lead frame supply device according to claim 1, wherein the pressing element for separating the lead frames one by one has an uneven pressing surface.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14544293A JPH06333959A (en) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | Lead frame supplying device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14544293A JPH06333959A (en) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | Lead frame supplying device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06333959A true JPH06333959A (en) | 1994-12-02 |
Family
ID=15385339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14544293A Pending JPH06333959A (en) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | Lead frame supplying device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06333959A (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59108639A (en) * | 1982-12-14 | 1984-06-23 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | Feeder for platelike material with resilience |
| JPS6012545B2 (en) * | 1981-04-13 | 1985-04-02 | 喬 堀田 | A method of continuously drying and heat-treating fabrics, sheets, and similar materials with hot air. |
| JPS62280135A (en) * | 1986-05-26 | 1987-12-05 | Fujitsu Autom Kk | Laminated thin plate separation device |
-
1993
- 1993-05-26 JP JP14544293A patent/JPH06333959A/en active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6012545B2 (en) * | 1981-04-13 | 1985-04-02 | 喬 堀田 | A method of continuously drying and heat-treating fabrics, sheets, and similar materials with hot air. |
| JPS59108639A (en) * | 1982-12-14 | 1984-06-23 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | Feeder for platelike material with resilience |
| JPS62280135A (en) * | 1986-05-26 | 1987-12-05 | Fujitsu Autom Kk | Laminated thin plate separation device |
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