JPH06333959A - リードフレーム供給装置 - Google Patents
リードフレーム供給装置Info
- Publication number
- JPH06333959A JPH06333959A JP14544293A JP14544293A JPH06333959A JP H06333959 A JPH06333959 A JP H06333959A JP 14544293 A JP14544293 A JP 14544293A JP 14544293 A JP14544293 A JP 14544293A JP H06333959 A JPH06333959 A JP H06333959A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 リードフレームを供給する際、二枚一緒にピ
ックアップして搬送されることがなく、またリードフレ
ームの変形を低減差せるものである。 【構成】 リードフレームストックケース内の束状のリ
ードフレームの上面に吸着アーム５を下降させ、リード
フレームを押え込みリードフレーム長手方向の両端にあ
る押圧子７にて、最上位のリードフレーム１６の両端を
めくり上げ、その隙間にストッパピンを挿入し吸着アー
ム５にて最上位のリードフレーム１６を分離後、搬送ス
テージ３に供給する。またピックアップする際、下段の
リードフレームと分離せず、インナリードを変形する恐
れが有る場合、予め設定した荷重以上になるとストッパ
ピンが最上位のリードフレーム１６及び下段リードフレ
ームと一緒に持ち上がり、ストッパピンに装備した近接
センサにて“ピックアップミス”として検出後動作を停
止し、作業者にて分離しなかったリードフレームの処置
を行なうものである。
ックアップして搬送されることがなく、またリードフレ
ームの変形を低減差せるものである。 【構成】 リードフレームストックケース内の束状のリ
ードフレームの上面に吸着アーム５を下降させ、リード
フレームを押え込みリードフレーム長手方向の両端にあ
る押圧子７にて、最上位のリードフレーム１６の両端を
めくり上げ、その隙間にストッパピンを挿入し吸着アー
ム５にて最上位のリードフレーム１６を分離後、搬送ス
テージ３に供給する。またピックアップする際、下段の
リードフレームと分離せず、インナリードを変形する恐
れが有る場合、予め設定した荷重以上になるとストッパ
ピンが最上位のリードフレーム１６及び下段リードフレ
ームと一緒に持ち上がり、ストッパピンに装備した近接
センサにて“ピックアップミス”として検出後動作を停
止し、作業者にて分離しなかったリードフレームの処置
を行なうものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造工程に関し、
特にリードフレームの供給装置に関する。
特にリードフレームの供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、リードフレーム供給装置として
は、主として以下の２つの方法があった。 （１） 第一の機構は、第５図に示すように、リードフ
レーム１５を積み重ねて束状で上昇させるローダ１、束
状のリードフレーム１５を収納したリードフレームスト
ックケース２、このリードフレームストックケース２は
第６図に示すように、ローダ１にて束状のリードフーレ
ム１５を上昇させるために、駆動スペースとして底板２
４の中央部がくり貫かれ、且つ側面板４面のうち１面の
側板２５の中央が切りとられた構造となっている。そし
て束状のリードフレーム１５をローダ１で上昇させ、任
意の高さで停止させるためのローダ停止センサ４で停止
位置を感知し、任意の高さで停止した束状のリードフレ
ーム１５の最上位より一枚ずつ吸着、ピックアップして
搬送ステージ（図示せず）へ供給する吸着アーム５で構
成されていた。
は、主として以下の２つの方法があった。 （１） 第一の機構は、第５図に示すように、リードフ
レーム１５を積み重ねて束状で上昇させるローダ１、束
状のリードフレーム１５を収納したリードフレームスト
ックケース２、このリードフレームストックケース２は
第６図に示すように、ローダ１にて束状のリードフーレ
ム１５を上昇させるために、駆動スペースとして底板２
４の中央部がくり貫かれ、且つ側面板４面のうち１面の
側板２５の中央が切りとられた構造となっている。そし
て束状のリードフレーム１５をローダ１で上昇させ、任
意の高さで停止させるためのローダ停止センサ４で停止
位置を感知し、任意の高さで停止した束状のリードフレ
ーム１５の最上位より一枚ずつ吸着、ピックアップして
搬送ステージ（図示せず）へ供給する吸着アーム５で構
成されていた。
【０００３】（２） また、第二の機構は特開平１−９
６９３３号に示すように、構造及び動作としては図７に
示すようにリードフレームストックケース２の側面板４
面のうち、直角に組み合った２面の板２６，２７の高さ
を他の２枚より低くし、長手方向側は前後駆動して最上
位のリードフレーム１６の長手方向一端を押圧する押圧
子７を挿入するスペースとなり、短手方向側は吸着アー
ム５の動作スペースとなっていた。そして、その動作と
しては、図５と同様にローダ１より束状のリードフレー
ム１５をリードフレームストックケース１５の側面板上
方の低い面まで上昇させ、最上位のリードフレーム１６
の長手方向一端を押圧子７に押圧する。この時リードフ
レームストックケース２の長手方向で押圧している側の
側面板２７と対向した側面板２９が高くなっているた
め、押圧されたリードフレーム１６は中央より凸形にた
わみ、その下のリードフレームと分離し、その後吸着ア
ーム５にて搬送ステージ３に供給するというものであっ
た。
６９３３号に示すように、構造及び動作としては図７に
示すようにリードフレームストックケース２の側面板４
面のうち、直角に組み合った２面の板２６，２７の高さ
を他の２枚より低くし、長手方向側は前後駆動して最上
位のリードフレーム１６の長手方向一端を押圧する押圧
子７を挿入するスペースとなり、短手方向側は吸着アー
ム５の動作スペースとなっていた。そして、その動作と
しては、図５と同様にローダ１より束状のリードフレー
ム１５をリードフレームストックケース１５の側面板上
方の低い面まで上昇させ、最上位のリードフレーム１６
の長手方向一端を押圧子７に押圧する。この時リードフ
レームストックケース２の長手方向で押圧している側の
側面板２７と対向した側面板２９が高くなっているた
め、押圧されたリードフレーム１６は中央より凸形にた
わみ、その下のリードフレームと分離し、その後吸着ア
ーム５にて搬送ステージ３に供給するというものであっ
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述した従来の二つの
リードフレーム供給装置においては、まず（１）で第８
図に示すようにリードフレーム内のインナリード３０や
アイランド３１表面に施された、銀メッキ３２が背面に
も回り込み、下段のリードフレームと付着した場合吸着
アームにて二枚一緒にピックアップし搬送ステージに供
給したり、また搬送ステージへリードフレームを供給す
る途中で下段のリードフレームを落下させリードフレー
ムを変形させるという不具合を生じていた。また（２）
のものではインナリード間のピッチが狭いリードフレー
ムを用いた場合、最上位のリードフレームをたわませる
際下段のインナリードと最上位のインナーリード同志が
からみあい、互いのインナリードを変形させる欠点があ
った。
リードフレーム供給装置においては、まず（１）で第８
図に示すようにリードフレーム内のインナリード３０や
アイランド３１表面に施された、銀メッキ３２が背面に
も回り込み、下段のリードフレームと付着した場合吸着
アームにて二枚一緒にピックアップし搬送ステージに供
給したり、また搬送ステージへリードフレームを供給す
る途中で下段のリードフレームを落下させリードフレー
ムを変形させるという不具合を生じていた。また（２）
のものではインナリード間のピッチが狭いリードフレー
ムを用いた場合、最上位のリードフレームをたわませる
際下段のインナリードと最上位のインナーリード同志が
からみあい、互いのインナリードを変形させる欠点があ
った。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、半導体ペレッ
トを搭載するために用いるリードフレームを束状に積み
重ねた状態で、最上位のリードフレームの長手方向両端
よりめくり上げ、リードフレームを一枚ずつ分離する押
圧子を、積み重ねられたリードフレームの長手方向の両
端部に設けたリードフレーム供給装置であり、また、最
上位のリードフレームを一枚に分離しそれをピックアッ
クする際、下段にあるリードフレームの表面を押えるス
トッパピンとピックアップミスを検出する機能を有する
ようにしたものである。
トを搭載するために用いるリードフレームを束状に積み
重ねた状態で、最上位のリードフレームの長手方向両端
よりめくり上げ、リードフレームを一枚ずつ分離する押
圧子を、積み重ねられたリードフレームの長手方向の両
端部に設けたリードフレーム供給装置であり、また、最
上位のリードフレームを一枚に分離しそれをピックアッ
クする際、下段にあるリードフレームの表面を押えるス
トッパピンとピックアップミスを検出する機能を有する
ようにしたものである。
【０００６】
【作用】本発明によれば、束状に積み重ねられたリード
フレームの最上位に、吸着アームを下降させ押え込んだ
後に、リードフレーム長手方向の両端を押圧子により、
リードフレーム両端をめくり上げるように持ち上げるも
ので、一枚ずつ分離でき、かつリードフレーム供給の際
に発生する変形を低減することができるものである。ま
た、リードフレームの付着が重度の場合には、ストッパ
ーピンとピックアップミス検出機能により、一枚ずつ確
実に分離でき、リードフレームに損傷を与えることもな
く、リードフレームの供給を行うことができるものであ
る。
フレームの最上位に、吸着アームを下降させ押え込んだ
後に、リードフレーム長手方向の両端を押圧子により、
リードフレーム両端をめくり上げるように持ち上げるも
ので、一枚ずつ分離でき、かつリードフレーム供給の際
に発生する変形を低減することができるものである。ま
た、リードフレームの付着が重度の場合には、ストッパ
ーピンとピックアップミス検出機能により、一枚ずつ確
実に分離でき、リードフレームに損傷を与えることもな
く、リードフレームの供給を行うことができるものであ
る。
【０００７】
【実施例】本発明の実施例について図面を参照して説明
する。 ［実施例１］図１は本発明の一実施例の平面図、図２は
一実施例の正面図、図３は一実施例の側面図であり、こ
れらの図面を参照して説明するが、構成としては図５に
示したリードフレーム供給装置と同様に、ローダ１、リ
ードフレームストックケース２、搬送ステージ３、ロー
ダ停止センサ４、吸着アーム５のほかに、リードフレー
ムストックケース２の長手方向両端にシリンダ６にて斜
め上方に向って前後駆動する押圧子７を有している。リ
ードフレームストックケース２の短手方向四箇所にシリ
ンダ８で駆動し、前後動作を行うストッパピン９、また
シリンダ８を上下へスライドさせるガイド１０、シリン
ダ８を吊しておく引っ張りコイルバネ１１とブラケット
１２、そしてシリンダ８がスライドガイド１０にて上昇
した際、エラー信号を出すための近接センサ１３を備え
て構成されている。なお、吸着アーム５は長手方向がリ
ードフレーム１５の全長より短い形状となっている。
する。 ［実施例１］図１は本発明の一実施例の平面図、図２は
一実施例の正面図、図３は一実施例の側面図であり、こ
れらの図面を参照して説明するが、構成としては図５に
示したリードフレーム供給装置と同様に、ローダ１、リ
ードフレームストックケース２、搬送ステージ３、ロー
ダ停止センサ４、吸着アーム５のほかに、リードフレー
ムストックケース２の長手方向両端にシリンダ６にて斜
め上方に向って前後駆動する押圧子７を有している。リ
ードフレームストックケース２の短手方向四箇所にシリ
ンダ８で駆動し、前後動作を行うストッパピン９、また
シリンダ８を上下へスライドさせるガイド１０、シリン
ダ８を吊しておく引っ張りコイルバネ１１とブラケット
１２、そしてシリンダ８がスライドガイド１０にて上昇
した際、エラー信号を出すための近接センサ１３を備え
て構成されている。なお、吸着アーム５は長手方向がリ
ードフレーム１５の全長より短い形状となっている。
【０００８】次に、この動作を説明する。まずローダ１
にて束状のリードフレーム１５を上昇させ、ローダ停止
センサ４が検出、停止する位置まで上昇させ停止し、そ
の後吸着アームが最上位のリードフレーム１５の最上面
に下降させ押え込み、押え込んだ後リードフレーム１５
の長手方向両端にある押圧子７が前進し、両端を持ち上
げようとする。この時最上位のリードフレーム１６は吸
着アーム５にて押え込まれているため、両端を各々支点
として押圧子７によって両端からめくり上がる状態とな
る。そしてめくり上がった最上位のリードフレーム１６
と下段（そのすぐ下）のリードフレーム１７との間に、
ストッパピン９が前進して下段のリードフレーム１７の
表面を押え込む。その後押圧子７は後退し吸着アーム５
は最上位のリードフレーム１６のみを吸着しながら上昇
する。この時軽度に下段のリードフレーム１７と付着し
ているものであれば、ストッパピン９の押え込む力と吸
着アーム５の吸着力により分離し、最上位のリードフレ
ーム１６一枚のみを搬送ステージへ供給することができ
る。
にて束状のリードフレーム１５を上昇させ、ローダ停止
センサ４が検出、停止する位置まで上昇させ停止し、そ
の後吸着アームが最上位のリードフレーム１５の最上面
に下降させ押え込み、押え込んだ後リードフレーム１５
の長手方向両端にある押圧子７が前進し、両端を持ち上
げようとする。この時最上位のリードフレーム１６は吸
着アーム５にて押え込まれているため、両端を各々支点
として押圧子７によって両端からめくり上がる状態とな
る。そしてめくり上がった最上位のリードフレーム１６
と下段（そのすぐ下）のリードフレーム１７との間に、
ストッパピン９が前進して下段のリードフレーム１７の
表面を押え込む。その後押圧子７は後退し吸着アーム５
は最上位のリードフレーム１６のみを吸着しながら上昇
する。この時軽度に下段のリードフレーム１７と付着し
ているものであれば、ストッパピン９の押え込む力と吸
着アーム５の吸着力により分離し、最上位のリードフレ
ーム１６一枚のみを搬送ステージへ供給することができ
る。
【０００９】また前述したインナリード同志のからみに
よる重度の付着の場合はストッパピン９を吊り下げてい
る引っ張りコイルバネ１１の復元力を予めインナリード
が変形しない程度の荷重にセットしておき、吸着アーム
５を上昇させる際下段のリードフレーム１７と共にスト
ッパピン９がスライドガイド１０を介して上昇し、シリ
ンダ８に下面に備えられた近接センサ１３がシリンダ８
と離れるため、近接センサ１３はエラー信号を制御部
（図示せず）へ送り、“ピックアップミス”として動作
を停止し、作業者の呼び出しを行なった後、作業者によ
り重度の付着によって分離しなかったリードフレーム１
６，１７の処置を行うことになる。
よる重度の付着の場合はストッパピン９を吊り下げてい
る引っ張りコイルバネ１１の復元力を予めインナリード
が変形しない程度の荷重にセットしておき、吸着アーム
５を上昇させる際下段のリードフレーム１７と共にスト
ッパピン９がスライドガイド１０を介して上昇し、シリ
ンダ８に下面に備えられた近接センサ１３がシリンダ８
と離れるため、近接センサ１３はエラー信号を制御部
（図示せず）へ送り、“ピックアップミス”として動作
を停止し、作業者の呼び出しを行なった後、作業者によ
り重度の付着によって分離しなかったリードフレーム１
６，１７の処置を行うことになる。
【００１０】［実施例２］第４図は実施例２の概略図で
ある。実施例２の構成及び動作は図１，２及び３で説明
した実施例１と同じであるが、押圧子７の押圧面を凹凸
状にしたもので、押圧子７が前進し、端部を持ち上げる
ことが確実にできるものである。それによって最上位の
リードフレーム１６の端面を、容易に引っかけて持ち上
げることを特徴としているものである。
ある。実施例２の構成及び動作は図１，２及び３で説明
した実施例１と同じであるが、押圧子７の押圧面を凹凸
状にしたもので、押圧子７が前進し、端部を持ち上げる
ことが確実にできるものである。それによって最上位の
リードフレーム１６の端面を、容易に引っかけて持ち上
げることを特徴としているものである。
【００１１】
【発明の効果】以上のように本発明はリードフレームの
長手方向の両側に押圧子を有し、且つストッパピン及び
ピックアップミス検出機能を有することにより吸着アー
ムにて二枚一緒にピックアップし搬送ステージに供給す
ることもなく、また、リードフレームの変形を低減する
ことができ、製造工程におけるリードフレームの使用効
率を向上することができるという効果を奏するものであ
る。
長手方向の両側に押圧子を有し、且つストッパピン及び
ピックアップミス検出機能を有することにより吸着アー
ムにて二枚一緒にピックアップし搬送ステージに供給す
ることもなく、また、リードフレームの変形を低減する
ことができ、製造工程におけるリードフレームの使用効
率を向上することができるという効果を奏するものであ
る。
【図１】本発明の実施例１の平面図。
【図２】本発明の実施例１の正面図。
【図３】本発明の実施例１の側面図。
【図４】本発明の実施例２の概略図。
【図５】従来のリードフレーム供給装置の概略図。
【図６】リードフレームストックケースの概略図。
【図７】従来のリードフレーム供給装置の概略図。
【図８】リードフレームの概略図。
１ ローダ ２ リードフレームストックケース ３ 搬送ステージ ４ ローダ停止センサ ５ 吸着アーム ６ シリンダ ７ 押圧子 ８ シリンダ ９ ストッパピン １０ スライドガイド １１ 引っ張りコイルバネ １２ ブラケット １３ 近接センサ １５ リードフレーム １６ 最上位のリードフレーム １７ 下段のリードフレーム ２４ 底板 ２５ 側面板 ２６ 側面板 ２７ 側面板 ２９ 側面板 ３０ インナリード ３１ アイランド ３２ 銀メッキ
Claims (3)
- 【請求項１】 半導体ペレットを搭載するために用いる
リードフレームを束状に積み重ねた状態で、最上位のリ
ードフレームの長手方向両端よりめくり上げ、リードフ
レームを一枚ずつ分離する押圧子を、積み重ねられたリ
ードフレームの長手方向の両端部に設けたことを特徴と
したリードフレーム供給装置。 - 【請求項２】 半導体ペレットを搭載するために用いる
リードフレームを束状に積み重ねた状態で、最上位のリ
ードフレームを一枚ずつに分離しピックアップする際、
下段にあるリードフレームの表面を押えるストッパピン
及びピックアップミスを検出する機能を有することを特
徴とするリードフレーム供給装置。 - 【請求項３】 リードフレームを一枚ずつ分離する押圧
子が、その押圧面を凹凸状にしたものであることを特徴
とする、請求項１に記載のリードフレーム供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14544293A JPH06333959A (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | リードフレーム供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14544293A JPH06333959A (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | リードフレーム供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06333959A true JPH06333959A (ja) | 1994-12-02 |
Family
ID=15385339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14544293A Pending JPH06333959A (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | リードフレーム供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06333959A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59108639A (ja) * | 1982-12-14 | 1984-06-23 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 弾性のある板状物の供給装置 |
| JPS6012545B2 (ja) * | 1981-04-13 | 1985-04-02 | 喬 堀田 | 布帛、シ−トその他類似物等を連続して熱風乾燥、熱処理する方法 |
| JPS62280135A (ja) * | 1986-05-26 | 1987-12-05 | Fujitsu Autom Kk | 積層薄板の分離装置 |
-
1993
- 1993-05-26 JP JP14544293A patent/JPH06333959A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6012545B2 (ja) * | 1981-04-13 | 1985-04-02 | 喬 堀田 | 布帛、シ−トその他類似物等を連続して熱風乾燥、熱処理する方法 |
| JPS59108639A (ja) * | 1982-12-14 | 1984-06-23 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 弾性のある板状物の供給装置 |
| JPS62280135A (ja) * | 1986-05-26 | 1987-12-05 | Fujitsu Autom Kk | 積層薄板の分離装置 |
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