JPH06334380A - 磁気シールドクリーンルームおよび該ルームに配設されるフィルタユニット - Google Patents
磁気シールドクリーンルームおよび該ルームに配設されるフィルタユニットInfo
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- JPH06334380A JPH06334380A JP5123829A JP12382993A JPH06334380A JP H06334380 A JPH06334380 A JP H06334380A JP 5123829 A JP5123829 A JP 5123829A JP 12382993 A JP12382993 A JP 12382993A JP H06334380 A JPH06334380 A JP H06334380A
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- Japan
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- magnetic
- air supply
- air
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Abstract
(57)【要約】
【目的】高い磁気シールド性能および清浄度を得るとと
もに、設置方法の簡素化、良好な施工性を得る。 【構成】磁気シールド部材５からなる壁、天井、床より
構成される室２と、室２の天井部に形成される給気用開
口部１１と、室２の壁下方に形成される排気用開口部１
２と、給気用開口部１１に配設される電磁フィルタ、磁
気フィルタおよびエアフィルタと、前記排気用開口部１
２に配設される電磁フィルタおよび磁気フィルタとを備
える。また、給気用開口部１１に配設されるフィルタユ
ニット１３を、電磁フィルタ、磁気フィルタおよびエア
フィルタとを積層して一体化し、磁気シールド部材５に
接続するようにしてもよい。
もに、設置方法の簡素化、良好な施工性を得る。 【構成】磁気シールド部材５からなる壁、天井、床より
構成される室２と、室２の天井部に形成される給気用開
口部１１と、室２の壁下方に形成される排気用開口部１
２と、給気用開口部１１に配設される電磁フィルタ、磁
気フィルタおよびエアフィルタと、前記排気用開口部１
２に配設される電磁フィルタおよび磁気フィルタとを備
える。また、給気用開口部１１に配設されるフィルタユ
ニット１３を、電磁フィルタ、磁気フィルタおよびエア
フィルタとを積層して一体化し、磁気シールド部材５に
接続するようにしてもよい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、医療分野、精密物理計
測分野、超ＬＳＩの製造分野等において、磁気シールド
ルームとクリーンルームを複合させた磁気シールドクリ
ーンルームおよび該ルームに配設されるフィルタユニッ
トに関する。
測分野、超ＬＳＩの製造分野等において、磁気シールド
ルームとクリーンルームを複合させた磁気シールドクリ
ーンルームおよび該ルームに配設されるフィルタユニッ
トに関する。
【０００２】
【従来の技術】医療分野において生体から微小な磁場を
検出する場合や、精密物理計測分野において高性能で磁
場の測定をする場合や、超ＬＳＩの製造分野において電
子ビーム露光装置や電子顕微鏡を使用する場合には、外
部の磁気を遮断したクリーンルームが必要になる。従来
の磁気シールドルームは、シールドルーム全体をパーマ
ロイ等の磁気シールド部材で覆い、種々の開口部には磁
気フィルタおよび電磁フィルタを設けている。また、従
来のクリーンルームにおいては、給気側にエアフィルタ
を設けている。
検出する場合や、精密物理計測分野において高性能で磁
場の測定をする場合や、超ＬＳＩの製造分野において電
子ビーム露光装置や電子顕微鏡を使用する場合には、外
部の磁気を遮断したクリーンルームが必要になる。従来
の磁気シールドルームは、シールドルーム全体をパーマ
ロイ等の磁気シールド部材で覆い、種々の開口部には磁
気フィルタおよび電磁フィルタを設けている。また、従
来のクリーンルームにおいては、給気側にエアフィルタ
を設けている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、磁気シ
ールドルームとクリーンルームを複合させた磁気シール
ドクリーンルームにおいては、空調された清浄エアを室
内に循環させるために、室内に給気および排気用の開口
部を設ける必要があり、この開口部を介して外部から磁
気、電磁波がクリーンルームに侵入するという問題を有
している。そこで、給気用の開口部に磁気・電磁フィル
タおよびエアフィルタの両方の機能を持たせることが考
えられるが、とくに大型のクリーンルームになると、開
口部の数が増大するため、電磁フィルタ、磁気フィルタ
およびエアフィルタの設置方法、施工性および磁気フィ
ルタの性能確保に多くの問題を有している。
ールドルームとクリーンルームを複合させた磁気シール
ドクリーンルームにおいては、空調された清浄エアを室
内に循環させるために、室内に給気および排気用の開口
部を設ける必要があり、この開口部を介して外部から磁
気、電磁波がクリーンルームに侵入するという問題を有
している。そこで、給気用の開口部に磁気・電磁フィル
タおよびエアフィルタの両方の機能を持たせることが考
えられるが、とくに大型のクリーンルームになると、開
口部の数が増大するため、電磁フィルタ、磁気フィルタ
およびエアフィルタの設置方法、施工性および磁気フィ
ルタの性能確保に多くの問題を有している。
【０００４】本発明は上記問題を解決するものであっ
て、高い磁気シールド性能および清浄度を得るととも
に、設置方法の簡素化、良好な施工性を得ることができ
る磁気シールドクリーンルームを提供することを目的と
する。
て、高い磁気シールド性能および清浄度を得るととも
に、設置方法の簡素化、良好な施工性を得ることができ
る磁気シールドクリーンルームを提供することを目的と
する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そのために、本発明の磁
気シールドクリーンルームは、磁気シールド部材５から
なる壁、天井、床より構成される室２と、室２の天井部
に形成される給気用開口部１１と、室２の壁下方に形成
される排気用開口部１２と、給気用開口部１１に配設さ
れる電磁フィルタ１８、磁気フィルタ１９およびエアフ
ィルタ２０と、前記排気用開口部１２に配設される電磁
フィルタおよび磁気フィルタとを備えることを特徴とす
る。
気シールドクリーンルームは、磁気シールド部材５から
なる壁、天井、床より構成される室２と、室２の天井部
に形成される給気用開口部１１と、室２の壁下方に形成
される排気用開口部１２と、給気用開口部１１に配設さ
れる電磁フィルタ１８、磁気フィルタ１９およびエアフ
ィルタ２０と、前記排気用開口部１２に配設される電磁
フィルタおよび磁気フィルタとを備えることを特徴とす
る。
【０００６】また、本発明の磁気シールドクリーンルー
ムに配設されるフィルタユニット１３は、磁気シールド
部材５からなる室２の給気用開口部１１に配設されるフ
ィルタユニットであって、フィルタユニット１３は、電
磁フィルタ１８、磁気フィルタ１９およびエアフィルタ
２０とを積層して一体化し、磁気シールド部材５に接続
することを特徴とする。なお、上記構成に付加した番号
は、本発明の理解を容易にするために図面と対比させる
ためのもので、これにより本発明の構成が何ら限定され
るものではない。
ムに配設されるフィルタユニット１３は、磁気シールド
部材５からなる室２の給気用開口部１１に配設されるフ
ィルタユニットであって、フィルタユニット１３は、電
磁フィルタ１８、磁気フィルタ１９およびエアフィルタ
２０とを積層して一体化し、磁気シールド部材５に接続
することを特徴とする。なお、上記構成に付加した番号
は、本発明の理解を容易にするために図面と対比させる
ためのもので、これにより本発明の構成が何ら限定され
るものではない。
【０００７】
【作用】本発明においては、例えば図１に示すように、
空調されたエアは、給気ダクト９から、電磁フィルタ１
８、磁気フィルタ１９およびエアフィルタ２０を通り清
浄エアとなって給気用開口部１１から室２内に供給さ
れ、排気は、排気用開口部１２、排気側フィルタユニッ
ト１６から排気ダクト１０を通って排気される。
空調されたエアは、給気ダクト９から、電磁フィルタ１
８、磁気フィルタ１９およびエアフィルタ２０を通り清
浄エアとなって給気用開口部１１から室２内に供給さ
れ、排気は、排気用開口部１２、排気側フィルタユニッ
ト１６から排気ダクト１０を通って排気される。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図１は本発明の磁気シールドクリーンルームの
１実施例を示す斜視図である。
明する。図１は本発明の磁気シールドクリーンルームの
１実施例を示す斜視図である。
【０００９】建物構造体１内には本発明の磁気シールド
クリーンルームを達成するための室２が構築され、室２
の壁、天井および床は、磁気シールド部材５から構成さ
れる。室２内には、必要に応じて例えば除振装置６が配
設され、除振装置６上に例えば電子顕微鏡等の対象とす
る装置７が配設される。なお、磁気シールド部材５とし
ては、パーマロイ等の強磁性材料の他、非磁性材料、セ
ラミックス、導電材料、複合材料、超伝導材等、またこ
れらを組み合わせたものが採用される。
クリーンルームを達成するための室２が構築され、室２
の壁、天井および床は、磁気シールド部材５から構成さ
れる。室２内には、必要に応じて例えば除振装置６が配
設され、除振装置６上に例えば電子顕微鏡等の対象とす
る装置７が配設される。なお、磁気シールド部材５とし
ては、パーマロイ等の強磁性材料の他、非磁性材料、セ
ラミックス、導電材料、複合材料、超伝導材等、またこ
れらを組み合わせたものが採用される。
【００１０】建物構造体１と室２との間の空間には、複
数の給気ダクト９および排気ダクト１０が配設され、給
気ダクト９および排気ダクト１０は図示しない空調装置
に接続されている。室２の天井部には複数の給気用開口
部１１が形成され室２内に清浄空気を供給し、また、室
２の壁下部には複数の排気用開口部１２が形成されてい
る。これら開口部１１、１２は当然のことではあるが、
磁気シールド部材５がないためにこのままでは外部から
磁気が侵入する。そのために、各給気用開口部１１には
給気側フィルタユニット１３が装着され、また、各排気
用開口部１２には排気側フィルタユニット１６が装着さ
れる。給気側フィルタユニット１３は、ワイヤー１５に
より建物構造体１の天井スラブに吊り下げられるととも
に給気ダクト９に接続され、また、排気側フィルタユニ
ット１６は排気ダクト１０に接続されている。
数の給気ダクト９および排気ダクト１０が配設され、給
気ダクト９および排気ダクト１０は図示しない空調装置
に接続されている。室２の天井部には複数の給気用開口
部１１が形成され室２内に清浄空気を供給し、また、室
２の壁下部には複数の排気用開口部１２が形成されてい
る。これら開口部１１、１２は当然のことではあるが、
磁気シールド部材５がないためにこのままでは外部から
磁気が侵入する。そのために、各給気用開口部１１には
給気側フィルタユニット１３が装着され、また、各排気
用開口部１２には排気側フィルタユニット１６が装着さ
れる。給気側フィルタユニット１３は、ワイヤー１５に
より建物構造体１の天井スラブに吊り下げられるととも
に給気ダクト９に接続され、また、排気側フィルタユニ
ット１６は排気ダクト１０に接続されている。
【００１１】図２は、前記給気側フィルタユニット１３
の１実施例を示す斜視図であり、給気側フィルタユニッ
ト１３は、アルミ等の非磁性材料からなるエアチャンバ
ー１７と、アルミ、銅等のメッシュからなり枠体１８ａ
内に格子部材１８ｂを形成してなる電磁フィルタ１８
と、パーマロイ等の強磁性材料からなり枠体１９ａ内に
格子部材１９ｂを形成してなる磁気フィルタ１９と、
木、アルミ等の非磁性材料からなる枠２０ａ内にフィル
タ材２０ｂを充填したエアフィルタ２０とが、ボルト等
により積層して一体化して固定され、エアチャンバー１
７が給気ダクト９に接続され、エアフィルタ２０が給気
用開口部１１に対向するように配置される。また、電磁
フィルタ１８と磁気フィルタ１９の全周は、磁気シール
ド部材５に電気的、磁気的に接続される。そのために、
磁気シールド部材５は、給気用開口部１１の全周にわた
って筒状に立ち上がるように形成され、その外周は補強
部材３により固定支持される。なお、電磁フィルタ１
８、磁気フィルタ１９およびエアフィルタ２０の配設順
序は任意である。排気側フィルタユニット１６は、エア
フィルタ２０を設けずに、図２と同様のエアチャンバー
１７、電磁フィルタ１８および磁気フィルタ１９を配設
する。
の１実施例を示す斜視図であり、給気側フィルタユニッ
ト１３は、アルミ等の非磁性材料からなるエアチャンバ
ー１７と、アルミ、銅等のメッシュからなり枠体１８ａ
内に格子部材１８ｂを形成してなる電磁フィルタ１８
と、パーマロイ等の強磁性材料からなり枠体１９ａ内に
格子部材１９ｂを形成してなる磁気フィルタ１９と、
木、アルミ等の非磁性材料からなる枠２０ａ内にフィル
タ材２０ｂを充填したエアフィルタ２０とが、ボルト等
により積層して一体化して固定され、エアチャンバー１
７が給気ダクト９に接続され、エアフィルタ２０が給気
用開口部１１に対向するように配置される。また、電磁
フィルタ１８と磁気フィルタ１９の全周は、磁気シール
ド部材５に電気的、磁気的に接続される。そのために、
磁気シールド部材５は、給気用開口部１１の全周にわた
って筒状に立ち上がるように形成され、その外周は補強
部材３により固定支持される。なお、電磁フィルタ１
８、磁気フィルタ１９およびエアフィルタ２０の配設順
序は任意である。排気側フィルタユニット１６は、エア
フィルタ２０を設けずに、図２と同様のエアチャンバー
１７、電磁フィルタ１８および磁気フィルタ１９を配設
する。
【００１２】上記構成からなる本発明の作用について説
明すると、空調されたエアは、給気ダクト９から、エア
チャンバー１７、電磁フィルタ１８、磁気フィルタ１９
およびエアフィルタ２０を通り、清浄エアとなって給気
用開口部１１から室２内に供給され、排気は、排気用開
口部１２、排気側フィルタユニット１６から排気ダクト
１０を通って排気される。給気用開口部１１および排気
用開口部１２には、給気側フィルタユニット１３および
排気側フィルタユニット１６が配設されているため、外
部からの磁気（電磁を含む）を数百分の１という高いレ
ベルで遮蔽することができる。なお、室２内において
は、磁気シールドの他に、例えば±０．１℃レベルの温
度制御、３５ｄＢレベルの音圧制御、０．１μｍレベル
の清浄度制御、０．２μｍレベルの除振制御が行われ
る。
明すると、空調されたエアは、給気ダクト９から、エア
チャンバー１７、電磁フィルタ１８、磁気フィルタ１９
およびエアフィルタ２０を通り、清浄エアとなって給気
用開口部１１から室２内に供給され、排気は、排気用開
口部１２、排気側フィルタユニット１６から排気ダクト
１０を通って排気される。給気用開口部１１および排気
用開口部１２には、給気側フィルタユニット１３および
排気側フィルタユニット１６が配設されているため、外
部からの磁気（電磁を含む）を数百分の１という高いレ
ベルで遮蔽することができる。なお、室２内において
は、磁気シールドの他に、例えば±０．１℃レベルの温
度制御、３５ｄＢレベルの音圧制御、０．１μｍレベル
の清浄度制御、０．２μｍレベルの除振制御が行われ
る。
【００１３】図３および図４は、給気側フィルタユニッ
ト１３の他の実施例を示す斜視図である。図２の実施例
において、給気側フィルタユニット１３の全長Ｌ0と
し、フィルタ部１３Ａの長さをＬ1とすると、フィルタ
部１３Ａの中で磁気フィルタ１９の長さが一番長い。そ
こで、図３および図４の実施例においては、フィルタ部
１３Ａの長さをより短縮するようにしている。図３の実
施例においては、エアフィルタ２０のフィルタ材２０ｂ
を磁気フィルタ１９の格子部材１９ｂ内に直接、詰め込
んで接着材で固定するか、フィルタ材２０ｂを詰め込ん
だ小型の枠体１９ｃを磁気フィルタ１９の格子部材１９
ｂ内に挿入しボルト等で固定するようにしている。ま
た、図４の実施例においては、電磁フィルタ１８、磁気
フィルタ１９およびエアフィルタ２０を一体化した例を
示し、電磁フィルタ１８の格子部材１８ｂを磁気フィル
タ１９の格子部材１９ｂに重ねるように差し込んで構成
する。
ト１３の他の実施例を示す斜視図である。図２の実施例
において、給気側フィルタユニット１３の全長Ｌ0と
し、フィルタ部１３Ａの長さをＬ1とすると、フィルタ
部１３Ａの中で磁気フィルタ１９の長さが一番長い。そ
こで、図３および図４の実施例においては、フィルタ部
１３Ａの長さをより短縮するようにしている。図３の実
施例においては、エアフィルタ２０のフィルタ材２０ｂ
を磁気フィルタ１９の格子部材１９ｂ内に直接、詰め込
んで接着材で固定するか、フィルタ材２０ｂを詰め込ん
だ小型の枠体１９ｃを磁気フィルタ１９の格子部材１９
ｂ内に挿入しボルト等で固定するようにしている。ま
た、図４の実施例においては、電磁フィルタ１８、磁気
フィルタ１９およびエアフィルタ２０を一体化した例を
示し、電磁フィルタ１８の格子部材１８ｂを磁気フィル
タ１９の格子部材１９ｂに重ねるように差し込んで構成
する。
【００１４】図５は本発明の磁気シールドクリーンルー
ムの他の実施例を示している。なお、図１の実施例と同
一の構成については同一番号を付けて説明を省略する。
本実施例においては、給気用開口部１１は、室２と給気
ダクト９の間に形成され、給気用開口部１１に図２ない
し図４で説明した給気側フィルタユニット１３のフィル
タ部１３Ａが配設される。そして、室２には天井２２が
形成され、天井２２に通常の給気口２１が形成される。
給気ダクト９は、エアチャンバー２３およびエアフィル
タ２４を介して給気口２１に接続されている。
ムの他の実施例を示している。なお、図１の実施例と同
一の構成については同一番号を付けて説明を省略する。
本実施例においては、給気用開口部１１は、室２と給気
ダクト９の間に形成され、給気用開口部１１に図２ない
し図４で説明した給気側フィルタユニット１３のフィル
タ部１３Ａが配設される。そして、室２には天井２２が
形成され、天井２２に通常の給気口２１が形成される。
給気ダクト９は、エアチャンバー２３およびエアフィル
タ２４を介して給気口２１に接続されている。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、高い磁気シールド性能と高い清浄度とを同時に
得ることができる。また、室の給気用開口部に配設する
電磁フィルタ、磁気フィルタおよびエアフィルタをユニ
ット化することにより、設置方法が簡素化されるととも
に良好な施工性が得られる。
よれば、高い磁気シールド性能と高い清浄度とを同時に
得ることができる。また、室の給気用開口部に配設する
電磁フィルタ、磁気フィルタおよびエアフィルタをユニ
ット化することにより、設置方法が簡素化されるととも
に良好な施工性が得られる。
【図１】本発明の磁気シールドクリーンルームの１実施
例を示す斜視図である。
例を示す斜視図である。
【図２】図１の給気側フィルタユニットの１実施例を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図３】給気側フィルタユニットの他の実施例を示す斜
視図である。
視図である。
【図４】給気側フィルタユニットの他の実施例を示す斜
視図である。
視図である。
【図５】本発明の磁気シールドクリーンルームの他の実
施例を示す斜視図である。
施例を示す斜視図である。
１…建物構造体、２…室、５…磁気シールド部材、９…
給気ダクト １０…排気ダクト、１１…給気用開口部、１２…排気用
開口部 １３…給気側フィルタユニット、１３Ａ…フィルタ部 １６…排気側フィルタユニット、１７…エアチャンバ
ー、１８…電磁フィルタ １９…磁気フィルタ、２０…エアフィルタ
給気ダクト １０…排気ダクト、１１…給気用開口部、１２…排気用
開口部 １３…給気側フィルタユニット、１３Ａ…フィルタ部 １６…排気側フィルタユニット、１７…エアチャンバ
ー、１８…電磁フィルタ １９…磁気フィルタ、２０…エアフィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｅ０４Ｂ 9/00
Claims (2)
- 【請求項１】磁気シールド部材からなる壁、天井、床よ
り構成される室と、該室の天井部に形成される給気用開
口部と、前記室の壁下方に形成される排気用開口部と、
前記給気用開口部に配設される電磁フィルタ、磁気フィ
ルタおよびエアフィルタと、前記排気用開口部に配設さ
れる電磁フィルタおよび磁気フィルタとを備えることを
特徴とする磁気シールドクリーンルーム。 - 【請求項２】磁気シールド部材からなる室の給気用開口
部に配設されるフィルタユニットであって、該フィルタ
ユニットは、電磁フィルタ、磁気フィルタおよびエアフ
ィルタとを積層して一体化し、前記磁気シールド部材に
接続することを特徴とするフィルタユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5123829A JPH06334380A (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | 磁気シールドクリーンルームおよび該ルームに配設されるフィルタユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5123829A JPH06334380A (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | 磁気シールドクリーンルームおよび該ルームに配設されるフィルタユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06334380A true JPH06334380A (ja) | 1994-12-02 |
Family
ID=14870402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5123829A Pending JPH06334380A (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | 磁気シールドクリーンルームおよび該ルームに配設されるフィルタユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06334380A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105332438A (zh) * | 2015-11-30 | 2016-02-17 | 成都市工业设备安装公司 | 焊接式高性能电磁屏蔽室施工工艺 |
| JP2022120572A (ja) * | 2021-02-05 | 2022-08-18 | アンリツ株式会社 | 温度試験装置及び温度試験方法 |
-
1993
- 1993-05-26 JP JP5123829A patent/JPH06334380A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105332438A (zh) * | 2015-11-30 | 2016-02-17 | 成都市工业设备安装公司 | 焊接式高性能电磁屏蔽室施工工艺 |
| JP2022120572A (ja) * | 2021-02-05 | 2022-08-18 | アンリツ株式会社 | 温度試験装置及び温度試験方法 |
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