JPH06336010A - インクジェットヘッド - Google Patents

インクジェットヘッド

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JPH06336010A
JPH06336010A JP15152893A JP15152893A JPH06336010A JP H06336010 A JPH06336010 A JP H06336010A JP 15152893 A JP15152893 A JP 15152893A JP 15152893 A JP15152893 A JP 15152893A JP H06336010 A JPH06336010 A JP H06336010A
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JP
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ink
thin film
contact portion
film member
piezoelectric body
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JP15152893A
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English (en)
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Toshio Inada
俊生 稲田
Yoshihisa Ota
善久 太田
Takesada Hirose
武貞 広瀬
Yoichiro Miyaguchi
耀一郎 宮口
Kakuji Murakami
格二 村上
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Ricoh Co Ltd
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Ricoh Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 インク浸透による圧電体絶縁抵抗低下の影響
を抑えるため、圧電体を加熱乾燥させる。 【構成】 複数の平行な流路溝2を有する流路板1と、
該流路板1の流路溝2に対応した凸部を形成するための
溝部を有する圧電体4とを薄膜部材8を介して接合する
ことにより、前記流路溝2と凸部とでインクキャビティ
を形成し、前記圧電体の圧電効果を利用してインクキャ
ビティ内のインクを前記インクキャビティに設けられた
ノズルよりインク滴を噴射させる。前記薄膜部材が前記
インクキャビティ内のインク接触部分8と前記インクキ
ャビティ外のインク非接触部分8′で異なる材質とす
る。圧電体4の下部にヒータプレート20を設置し、圧
電体4を加熱して水蒸気21を薄膜部材インク非接触部
分8′から逃がす。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録装
置におけるインクジェットヘッドに関し、より詳細に
は、高周波応答性に優れ、電気的絶縁性の高いインクジ
ェットヘッドの構造に関する。
【0002】
【従来の技術】図9は、本出願人が先に提案した(特開
平3−348894号公報)インクジェットヘッドの一
例を説明するための要部断面図で、図中、1は流路板、
2はインクキャビティ(流路溝)、3はノズル、4は圧
電体、5は電極、6は圧電体4に流路溝2に対向した凸
部4aを形成するための溝部、7は該溝部6に充填され
た充填材、8は薄膜部材である。
【0003】図9は、ノズル3の方向からみたインクジ
ェットヘッドの部分図で、実際は流路板1には、紙面と
垂直な方向に複数の平行な流路溝2が設けられている。
流路溝2は圧電体4と接合してインクキャビティ2を形
成する。また、圧電体4は低電圧で駆動可能とするため
積層され、積層数に応じた電極5を有している。なお、
電極5は個別電極と共通電極とからなっている。圧電体
4には溝部6が形成されインクキャビティ2に対応した
凸状の駆動圧電体4aと流路板1と固着する非駆動非電
体4bとに区画される。流路板1と圧電体4とは、薄膜
部材8を介して、流路板1の流路溝2と圧電体4の駆動
部4aが対応するように接合され、インクキャビティ2
を形成している。電極5に駆動画像信号に基づいて電圧
が印加されると、圧電効果により圧電体4aが厚み(高
さ)方向に変位し、この変位によりインクキャビティ2
に容積変化を生じさせ、インクキャビティ2の端部に設
けられているノズル3からインク滴が噴射される。
【0004】上記のインクジェットヘッドは、圧電体と
インクキャビティの界面に薄膜部材8を有するが、この
薄膜部材8は接着層,ガスバリア層,耐水層,及び親水
層のうち少なくとも2つ以上の機能を有する複合層によ
り形成したものである。この薄膜部8は、圧電体の溝側
全面を均一部材により覆っているが、均一部材を用いて
いるため、インクキャビティから薄膜部材を介して起こ
る液の浸透を制御することができない。そのため、圧電
振動子の絶縁不良が発生する可能性がある。この絶縁不
良の結果、圧電体に電界が印加されず、インク噴射速度
が低下したり、絶縁不良の箇所で発熱又は発煙するなど
の危険な状態となることがある。
【0005】図10は、本出願人が先に提案した(特願
平4−170086号)インクジェットヘッドの他の例
を説明するための要部断面図で、同図は、流路の長手方
向に断面を示し、図中、9は封止剤、10はリード線、
11は駆動用回路プリント(PCB)、12は駆動電極
である。前述のように、流路板1は複数の平行な流路溝
2を有しており、圧電体5の凸部を形成するための溝部
6は前記流路溝2に対応して接合されている。而して、
このインクジェットヘッドにおいては、流路溝2と凸部
(図9の4a部)とでインクキャビティが形成され、圧
電体4とインクキャビティの界面に薄膜部材8,8′が
設けられている。
【0006】この前記薄膜部材は、インクキャビティ内
のインク接触部分である第1の薄膜部材8とインクキャ
ビティ外のインク非触部分である第2の薄膜部材8′と
で構成され、前記第1の薄膜部材8と第2の薄膜部材
8′とは異なる材質で形成されている。具体的には、薄
膜部材8′に薄膜部材8よりも高透湿度の材質のもの、
例えば、ポリエチレンやポリスチレンなどを使うこと、
或いは、インク非接触部分には薄膜部材8′を設けない
ことにより、圧電体5の溝部6の湿度を外気へ逃がす効
果が生じる。これにより、圧電体5の溝部6への不純物
の侵入を防ぎつつ、湿度を逃がし、絶縁抵抗の低下を防
ぐようにしている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】而して、上記特開平3
−348894号公報に記載の発明によると、均一部材
により圧電体5の溝部6を閉封しているため、一旦、透
湿してしまった湿度は外部へ開放されることが困難であ
った。また、上記特願平4−170086号に記載の発
明によると、薄膜部材8′に薄膜部材8よりも高透湿度
の材質のもの、例えば、ポリエチレンやポリスチレンな
どを使うことにより、圧電体5の溝部6の湿度を外気へ
逃がす効果が生じ、これにより圧電体5の溝部6への不
純物の侵入を防ぎつつ、湿度を逃がし、絶縁抵抗の低下
を防ぐことができる。
【0008】本発明は、上述のごときインクジェットヘ
ッドを更に改良して、圧電体の溝部の湿度が原因で発生
する絶縁抵抗の低下によるヘッド不良を少なくすること
を目的としたものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、(1)複数の平行な流路溝を有する流路
板と、該流路板の流路溝に対応した凸部を形成するため
の溝部を有する圧電体とを接合することにより、前記流
路溝と凸部とでインクキャビティを形成し、前記圧電体
と前記インクキャビティの界面に薄膜部材を有し、前記
圧電体の圧電効果を利用してインクキャビティ内のイン
クを前記インクキャビティに連通したノズルよりインク
滴を噴射させるインクジェットヘッドであって、前記薄
膜部材が前記インクキャビティ内のインク接触部分と前
記インクキャビティ外のインク非接触部分で異なる材質
であるインクジェットヘッドにおいて、前記圧電体を加
熱するヒータプレートを有することを特徴し、更には、
前記(1)において、(2)前記薄膜部材のインク接触
部分の透湿度がインク非接触部分の透湿度よりも低くし
たこと、或いは、(3)前記薄膜部材がインク接触部分
のみに具備され、インク非接触部分に薄膜部材が設けら
れていないこと、或いは、(4)前記薄膜部材が前記イ
ンクキャビティ内のインク接触部と前記インクキャビテ
ィ外のインク非接触部で同一材質であり、表面処理等に
より透湿度を変化させてあること、或いは、(5)圧電
体の加熱後に、滴噴射パージを行う手段を有すること、
或いは、(6)圧電体の加熱後に、ノズル側から吸引パ
ージを行う手段を有することを特徴としたものであり、
或いは、(7)複数の平行な流路溝を有する流路板と、
該流路板の流路溝に対応した凸部を形成するための溝部
を有する圧電体とを接合することにより、前記流路溝と
凸部とでインクキャビティを形成し、前記圧電体と前記
インクキャビティの界面に薄膜部材を有し、前記圧電体
の圧電効果を利用してインクキャビティ内のインクを前
記インクキャビティに連通したノズルよりインク滴を噴
射させるインクジェットヘッドであって、前記薄膜部材
が前記インクキャビティ内のインク接触部分と前記イン
クキャビティ外のインク非接触部分で異なる材質である
インクジェットヘッドにおいて、前記圧電体にインク滴
を噴射しない交流、或いは、矩形波電圧を印加する信号
モード発生手段を有することを特徴とし、更には、前記
(7)において、(8)前記薄膜部材のインク接触部分
の透湿度がインク非接触部分の透湿度よりも低くしたこ
と、或いは、(9)前記薄膜部材がインク接触部分のみ
に具備され、インク非接触部分に薄膜部材が設けられて
いないこと、或いは、(10)前記薄膜部材が前記イン
クキャビティ内のインク接触部と前記インクキャビティ
外のインク非接触部で同一材質であり、表面処理等によ
り透湿度を変化させてあること、或いは、(11)滴を
噴射しない信号モードを実行した後に、滴噴射パージを
行う手段を有すること、或いは、(12)滴を噴射しな
い信号モードを実行した後に、ノズル側から吸引パージ
を行う手段を有することを特徴としたものである。
【0010】
【作用】インク浸透による圧電体絶縁抵抗低下の影響を
抑えるため、圧電体を加熱乾燥させる。そのため、圧電
体下部にヒータプレートを設置し、圧電体を加熱して水
蒸気を薄膜部材のインク非接触部(あるいは薄膜部材の
設けられていない部分)から逃がす、或いは、圧電体に
滴を噴射しない(低電圧、低立ち上がり・下がり)交流
あるいは矩形電圧を印加して、その誘電損失にて、圧電
体自体を発熱させて、水蒸気を薄膜部材インク非接触部
(あるいは、薄膜部材の設けられていない部分)から逃
がす。さらに、圧電体加熱後、印写信号とは別に、滴噴
射パージ、あるいは、吸引パージを行い圧電体を冷却す
る。
【0011】
【実施例】図1は、本発明によるインクジェットヘッド
の一実施例を説明するための要部断面構成図で、図中、
20はヒータプレート、21は水蒸気を示し、その他、
図9及び図10に示したインクジェットヘッドと同様の
作用をする部分には、図9及び図10の場合と同一の参
照番号が付してある。
【0012】図1に示したインクジェットヘッドにおい
て、流路板1は複数の平行な流路溝2を有しており、凸
部を形成する圧電体4の溝部は前記流路溝2に対応して
接合されている。該流路溝2と凸部とでインクキャビテ
ィが形成され、圧電体4とインクキャビティの界面に薄
膜部材8,8′が設けられている。該薄膜部材は、イン
クキャビティ内のインク接触部分である第1の薄膜部材
8とインクキャビティ外のインク非触部分である第2の
薄膜部材8′とで構成され、前記第1の薄膜部材8と第
2の薄膜部材8′とは異なる材質で形成されている。
【0013】流路板1は、ガラス基板の他にポリフェニ
レンサルファイド(PPS)やポリエーテルサルホン
(PES)等の樹脂や、それらの樹脂にグラスファイバ
や無機物フィラーなどを添加し、剛性を上げた樹脂など
も使用可能である。薄膜部材8には透湿度の低いPP
S、アラミド、ポリトリフルオロ塩化エチレンなどの5
〜30μm程度の厚さのフィルムやそれらのフィルムに
金属酸化物や無機物をコーティングしたものや、UV
(紫外線)照射や逆スパッタリングなどの手法により表
面改質を施したものが使用可能である。
【0014】ここで、圧電体4の溝部の電極間の短絡に
より生じると思われる圧電体4の絶縁抵抗低下を防ぐた
めに、圧電体4の溝部の湿度を低下させることが必要で
ある。薄膜部材8に透湿度の低い材質のものを使用する
のも1つの方法であるが、薄膜部材8の上部にインクキ
ャビティを有している以上、長期的には圧電体4の溝部
の透湿は避けられない。
【0015】従来、均一部材により圧電体4の溝部は閉
封していたため、一旦透湿してしまった湿度は外部へ開
放されることが困難であった。薄膜部材8′に薄膜部材
8よりも高透湿度の材質のもの、例えば、ポリエチレン
やポリスチレンなどを使うことにより、圧電体4の溝部
の湿度を外気へ逃がす効果が生じる。これにより、圧電
体4の溝部への不純物の侵入を防ぎつつ、湿度を逃が
し、絶縁抵抗の低下を防ぐことができる。
【0016】本発明は、上述のごときインクジェットヘ
ッドにヒータプレート20を設け、該ヒータプレート2
0にて圧電体4を加熱し、圧電体4の水分を水蒸気21
にして外気に逃がすようにし、もって、ヒータプレート
20にて圧電体4を加熱乾燥させるようにしたものであ
る。
【0017】図2は、本発明によるインクジェットヘッ
ドの他の実施例を示す図で、図中の参照番号は図1のも
のと同一である。図1と異なる部分は、図1における第
2の薄膜部材8′が除去され、この部分が空隙部13と
なっている。薄膜部材8から透湿した湿度を外気へ開放
することにより、絶縁抵抗の不良をなくすことができ
る。開放された部分へ不純物が侵入する可能性がない場
合、部品数が少なくなり、更に、作業工程数も減少し、
図1に示した実施例より低コスト化することができる。
【0018】図3は、本発明によるインクジェットヘッ
ドの更に他の実施例を示す図で、この実施例は、図2に
示した実施例の空隙部13からの不純物侵入に対する防
塵対策として、該空隙部13に樹脂メッシュフィルタ1
4を設けたものである。
【0019】図4は、本発明によるインクジェットヘッ
ドの更に他の実施例を示す図で、この実施例において
は、薄膜部材8′と薄膜部材8は、例えば、PPSやア
ラミドフィルムのようなプラスチックの同一のフィルム
にて形成されているが、薄膜部材8′の部分は表面をエ
ッチングや逆スパッタリング等の処理により、薄膜部材
8よりも薄くなっている。それにより、薄膜部材8′は
薄膜部材8よりも透湿度が高くなり、圧電体4の溝部の
湿気を逃がし、圧電体4の溝部の電極間の短絡による絶
縁抵抗の低下を防ぐようにしている。
【0020】図5乃至図8は、それぞれ本発明によるイ
ンクジェットヘッドの更に他の実施例を示す図で、図
中、22は圧電体4を加熱する圧電体加熱信号源を示
し、その他、図1乃至図4に示した実施例と同様の作用
をする部分には、図1乃至図4の場合と同一の参照番号
が付してある。
【0021】而して、これらの実施例は、圧電体4の加
熱手段として圧電体4の誘電損失を利用したもので、圧
電体4に交流電圧を印加すると、誘電損失により発熱す
る。発熱量は、印加電圧の立ち上がり時間、周波数、振
幅などに依存し、PZT電圧素子の場合、単体で100
℃程度まで温度上昇する。そこで、滴噴射を起こさない
範囲の電圧・立ち上がり時間の正弦波あるいは矩形波電
圧信号を圧電体4に印加して加熱するものである。
【0022】図5乃至図8に示した実施例は、圧電体を
加熱する手段として、図1乃至図4に示した実施例にお
けるヒータプレート20に代って、圧電体に交流電圧を
印加し、該圧電体を誘電損失により発熱するように圧電
体加熱体信号源22を設けたもので、その他の構成は、
それぞれ図1乃至図4の構成と対応している。
【0023】更に、図1乃至図8に示した各実施例にお
いて、圧電体4を加熱後、滴噴射によるパージ、あるい
は、ノズル側からの吸引パージを行い、流路内インクを
入れかえることにより、圧電体の冷却が可能となり、ま
た、インク温度も低下するので、加熱乾燥による噴射へ
の影響を抑えることができる。
【0024】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によると、以下のような効果がある。 (1)請求項1及び7に対応する効果:圧電体の溝部の
湿度が原因で発生する絶縁抵抗の低下によるヘッド不良
をおさえるために、圧電体の溝部の湿度を2種類のフィ
ルムを使うことにより制御することができる。 (2)請求項2及び8に対応する効果:インク接触部分
の薄膜部材の透湿度をインク非接触部分の薄膜部材の透
湿度より低くすることにより、圧電体の溝部分に閉封さ
れてしまう湿度を大気へ逃がし、圧電体の溝部を比較的
低湿度に保つことができ、圧電体の絶縁抵抗の低下によ
るヘッドの不良を減らすことができる。 (3)請求項3及び9に対応する効果:圧電体の溝部に
閉封されてしまう湿度を大気に開放し、圧電体の絶縁抵
抗の低下によるヘッドの不良を減らすことができる。 (4)請求項4及び10に対応する効果:第2の薄膜部
材は第1の薄膜部材よりも透湿度は高くなっており、圧
電体の溝部の湿度を逃がし、圧電体の溝部と電極間の短
絡による絶縁抵抗の低下を防ぐことができる。 (5)請求項5及び11に対応する効果:圧電体の溝部
と電極間の短絡による絶縁抵抗の低下を防ぐことができ
ると同時に、滴噴射による流路内インクの入れかえによ
って圧電体およびインクの冷却を行うので、特別な機構
を設けることなく加熱乾燥による噴射への影響を抑える
ことができる。 (6)請求項6及び12に対応する効果:圧電体の溝部
と電極間の短絡による絶縁抵抗の低下を防ぐことができ
ると同時に、ノズル側からの吸引による流路内インクの
入れかえによって確実に圧電体およびインクの冷却を行
うので、信頼性高く加熱乾燥による噴射への影響を抑え
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明によるインクジェットヘッドの一実施
例を示す図で、圧電体加熱手段としてヒータプレートを
用いた場合の実施例を説明するための図である。
【図2】 図1に示した実施例の変形実施例を説明する
ための図である。
【図3】 図1に示した実施例の他の変形実施例を説明
するための図である。
【図4】 図1に示した実施例の更に他の変形実施例を
説明するための図である。
【図5】 本発明によるインクジェットヘッドの他の実
施例を示す図で、圧電体加熱手段として圧電体を誘電損
失加熱する場合の実施例を説明するための図である。
【図6】 図5に示した実施例の変形実施例を説明する
ための図である。
【図7】 図5に示した実施例の他の変形実施例を説明
するための図である。
【図8】 図5に示した実施例の更に他の変形実施例を
説明するための図である。
【図9】 従来のインクジェットの一例を説明するため
の要部断面構成図である。
【図10】 従来のインクジェットの他の例を説明する
ための要部断面構成図である。
【符号の説明】
1…流路板、2…インク流路、3…ノズル、4…圧電
体、4a…駆動圧電体、4b…非駆動圧電体、5…電
極、6…溝部、7…充填材、8,8′…薄膜部材、9…
封止材、10…リード線、11…駆動回路用回路プリン
ト、12…駆動電極、20…ヒータプレート、21…水
蒸気、30…圧電体加熱信号源。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮口 耀一郎 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 村上 格二 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の平行な流路溝を有する流路板と、
    該流路板の流路溝に対応した凸部を形成するための溝部
    を有する圧電体とを接合することにより、前記流路溝と
    凸部とでインクキャビティを形成し、前記圧電体と前記
    インクキャビティの界面に薄膜部材を有し、前記圧電体
    の圧電効果を利用してインクキャビティ内のインクを前
    記インクキャビティに連通したノズルよりインク滴を噴
    射させるインクジェットヘッドであって、前記薄膜部材
    が前記インクキャビティ内のインク接触部分と前記イン
    クキャビティ外のインク非接触部分で異なる材質である
    インクジェットヘッドにおいて、前記圧電体を加熱する
    ヒータプレートを有することを特徴とするインクジェッ
    トヘッド。
  2. 【請求項2】 前記薄膜部材のインク接触部分の透湿度
    がインク非接触部分の透湿度よりも低いことを特徴とし
    た請求項1記載のインクジェットヘッド。
  3. 【請求項3】 前記薄膜部材がインク接触部分のみに具
    備され、インク非接触部分に薄膜部材が設けられていな
    いことを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッ
    ド。
  4. 【請求項4】 前記薄膜部材が前記インクキャビティ内
    のインク接触部と前記インクキャビティ外のインク非接
    触部で同一材質であり、表面処理等により透湿度を変化
    させてあることを特徴とする請求項1記載のインクジェ
    ットヘッド。
  5. 【請求項5】 前記圧電体の加熱後に、滴噴射パージを
    行う手段を有することを特徴とする請求項1記載のイン
    クジェットヘッド。
  6. 【請求項6】 前記圧電体の加熱後に、ノズル側から吸
    引パージを行う手段を有することを特徴とする請求項1
    記載のインクジェットヘッド。
  7. 【請求項7】 複数の平行な流路溝を有する流路板と、
    該流路板の流路溝に対応した凸部を形成するための溝部
    を有する圧電体とを接合することにより、前記流路溝と
    凸部とでインクキャビティを形成し、前記圧電体と前記
    インクキャビティの界面に薄膜部材を有し、前記圧電体
    の圧電効果を利用してインクキャビティ内のインクを前
    記インクキャビティに連通したノズルよりインク滴を噴
    射させるインクジェットヘッドであって、前記薄膜部材
    が前記インクキャビティ内のインク接触部分と前記イン
    クキャビティ外のインク非接触部分で異なる材質である
    インクジェットヘッドにおいて、前記圧電体にインク滴
    を噴射しない交流、或いは、矩形波電圧を印加する信号
    モード発生手段を有することを特徴とするインクジェッ
    トヘッド。
  8. 【請求項8】 前記薄膜部材のインク接触部分の透湿度
    がインク非接触部分の透湿度よりも低いことを特徴とし
    た請求項7記載のインクジェットヘッド。
  9. 【請求項9】 前記薄膜部材がインク接触部分のみに具
    備され、インク非接触部分に薄膜部材が設けられていな
    いことを特徴とする請求項7記載のインクジェットヘッ
    ド。
  10. 【請求項10】 前記薄膜部材が前記インクキャビティ
    内のインク接触部と前記インクキャビティ外のインク非
    接触部で同一材質であり、表面処理等により透湿度を変
    化させてあることを特徴とする請求項7記載のインクジ
    ェットヘッド。
  11. 【請求項11】 滴噴射をしない信号モードを実行した
    後に、滴噴射パージを行う手段を有することを特徴とす
    る請求項7記載のインクジェットヘッド。
  12. 【請求項12】 滴噴射をしない信号モードを実行した
    後に、ノズル側から吸引パージを行う手段を有すること
    を特徴とする請求項7記載のインクジェットヘッド。
JP15152893A 1993-05-28 1993-05-28 インクジェットヘッド Pending JPH06336010A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10202862A (ja) * 1997-01-27 1998-08-04 Minolta Co Ltd インクジェット記録ヘッド

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10202862A (ja) * 1997-01-27 1998-08-04 Minolta Co Ltd インクジェット記録ヘッド

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