JPH06337521A

JPH06337521A - 露光方法及び露光装置

Info

Publication number: JPH06337521A
Application number: JP5290297A
Authority: JP
Inventors: Hisao Hoshi; 久夫星; Tomoyuki Sukunami; 友幸宿南
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 1993-03-30
Filing date: 1993-11-19
Publication date: 1994-12-06

Abstract

(57)【要約】【目的】プロキシミティー（近接）露光方式におけるパ
ターン露光において不活性ガス置換方式により酸素の遮
断操作を行なう際に、マスク及びワークの界面、若しく
は界面直近に存在する酸素を従来よりも短時間で効率良
く不活性ガスに置換できるようにすることにある。【構成】光学マスク１とワーク４との離間対向間隙内に
沿って移動するエアーノズル３から不活性ガスＮ₂を噴
出させて光学マスクとワークとの対向界面を不活性ガス
置換処理した後に紫外線、電子線露光する露光方法及び
露光装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶表示装置等
に使用されるカラーフィルター等のパターンを光学マス
クを用いて露光形成するためのパターン露光方法及び露
光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、基板上に形成された光重合型
感光材を露光するに際し、酸素による光重合反応阻害を
防止する目的で、露光前に該感光材を予めポリビニルア
ルコール等の透光性の樹脂膜で被覆する樹脂膜被覆方式
か、又は不活性ガス、具体的には窒素ガスを該感光材周
囲に充満させて、空気中の酸素を窒素Ｎ₂で置換する不
活性ガス置換方式によって酸素を遮断して露光する露光
方法が採用されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記のような樹脂膜被
覆方式は確実な方法ではあるが、樹脂塗布、乾燥工程等
を必要とし、その工程に掛かる時間が長くなる欠点を有
しており、それに比較して不活性ガス置換方式は、比較
的に簡潔な操作で行なうことができる。

【０００４】図９、図１０は、従来のプロキシミティー
（近接）露光方式におけるパターン露光に使用される露
光ステーションの概要側断面図と平面図であり、従来の
上記不活性ガス置換方式による酸素遮断操作の場合は、
図９に示すように、露光用窓部１２ａが形成されたマス
ク装着フレーム１２の窓部１２ａ外周端部上面にある段
差部１２ｂ内に、水平に装着固定されたマスク１（光学
マスク）と、該マスク１に対して平行に、下側に離間対
向してワークステージ１５上に位置決め載置されたワー
ク４（例えばガラス基板等の基板上に感光材が形成され
たもの）との対向間隙に、外側より窒素ガスを噴出して
窒素ガスを注入することによって置換するものであり、
比較的簡潔な操作で行なうことができるものであるが、
一方、短時間で効率よくマスク１とワーク４の界面に存
在する空気中の酸素を窒素Ｎ₂に置換することがなかな
か困難である。

【０００５】このような不活性ガス置換、具体的には窒
素ガス置換による酸素遮断方式においては、図９に示す
ように、マスク１と、それに平行に離間対向するワーク
４との間の側方に設置されたノズル１３から窒素ガスＮ
₂を噴出させ、噴出した窒素ガスＮ₂は、その周辺の空
気を巻き込みながら、マスク１とワーク４との間隙に流
れ込む。

【０００６】この場合、マスク１とワーク４との離間対
向相当部分の領域サイズは、例えば３００ｍｍ×３００
ｍｍ〜５００ｍｍ×５００ｍｍであり、それに対してそ
のマスク１とワーク４との間の近接間隔は、数ｍｍ〜十
数ｍｍと狭いため、マスク１とワーク４との対向間隙内
に流れ込む窒素ガスＮ₂の流れが悪く、したがってマス
ク１とワーク４のそれぞれ界面に吸着している酸素やそ
の周囲の酸素を精度よく窒素Ｎ₂に置換するためには、
マスク１とワーク４との対向間隙内の窒素ガスＮ₂の流
れをよくする必要があった。

【０００７】また、図９に示すように、マスク１とワー
ク４との対向間隙に窒素ガスＮ₂が良好に流れても（常
温における窒素ガス流体の粘性計数（粘度）は、水の流
体の粘性計数の約５０分の１の２００マイクロポアズ程
度）、ワーク４の界面（若しくは界面の直近）に存在す
る空気、即ち光重合反応を阻害する酸素は、容易には窒
素ガスと置換しないことが判明している。

【０００８】図９に示すような窒素置換方式による置換
操作では、上記のようにマスク１やワーク４の界面に吸
着したりして存在する酸素、あるいは界面直近に存在す
る酸素が、マスク１とワーク４のそれぞれ界面より離れ
た間隙空間で観察される酸素よりも、はるかに強い光重
合反応阻害をもたらしていることがわかった。

【０００９】本発明は、プロキシミティー（近接）露光
方式におけるパターン露光において不活性ガス置換方式
により酸素の遮断操作を行なう際に、マスク及びワーク
の界面、若しくは界面直近に存在する酸素を従来よりも
短時間で効率良く不活性ガスに置換できるようにするこ
とにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の発明は、
光学マスクとワークとを互いに平行に対向させ、光学マ
スクをワークの感光材面に近接乃至重ね合わせて露光す
る露光方法において、光学マスクとワークとの離間対向
間隙内に沿って移動するエアーノズルから不活性ガスを
噴出させて光学マスクとワークとの対向界面を不活性ガ
ス置換処理した後に紫外線露光することを特徴とする露
光方法である。

【００１１】また、本発明の第２の発明は、露光用光源
を備え、且つ光学マスクとワークとを互いに平行に離間
乃至近接若しくは接触対向動作させるそれぞれマスクフ
レーム及びワークステージと、該光学マスクとワークと
の離間対向間隙内外を移動可能な不活性ガス噴出用のエ
アーノズルとを備えたことを特徴とする露光装置であ
る。

【００１２】

【実施例】本発明における第１の発明の露光方法を、実
施例に従って以下に詳細に説明すれば、図１は本発明の
不活性ガス置換方式による酸素遮断操作を行なって光学
マスクからワークに対してパターン露光するための第１
実施例における露光方法を示す断面図であり、図２はそ
の平面図である。

【００１３】図１において、光学マスク（光学的マス
ク）１と、それに平行に離間対向するワーク４（例えば
ガラス基板上に光重合硬化型感光材を塗布したもの）と
の間隙の中央近傍に、移動可能な２本一対の窒素ガスＮ
₂噴出用のエアーノズル３（例えば中空バー状のもの）
を設け、該エアーノズル３のワーク４と対向する一方の
部位に窒素ガスＮ₂を噴出させる細いスリット３ａ（又
は小孔）、又は該エアーノズル３の光学マスク１及びワ
ーク４と対向する互いに相対する両側部位にそれぞれ窒
素ガスＮ₂を噴出させる細いスリット３ａ，３ｂ（又は
小孔）を設ける。

【００１４】図２は、図１の概要平面図であり、窒素ガ
スＮ₂の噴出量は、中央部で多いことが好ましく、スリ
ット幅は中央部から外側にかけて順次細くすることが好
ましいが、本発明においてはこれに限定するものではな
い。また、スリット３ａ，３ｂのギャップを保持するた
めに適宜ブリッジを設けることができる。

【００１５】例えば、上記実施例において、カラーフィ
ルター製造等に使用される光学マスク１は、通常４５０
ｍｍ×４５０ｍｍ以上のサイズであり、上記エアーノズ
ル３を使用する際におけるマスク１とワーク４との対向
間隙は２０ｍｍ以下、好ましくは１０ｍｍ以下である。

【００１６】窒素ガスＮ₂噴出用のエアーノズル３の断
面形状は何ら制限は無いが、外径は極力小さいことが好
ましく、例えば１０ｍｍ未満が好ましい。

【００１７】次に、エアーノズル３からの窒素ガスＮ₂
の噴出工程から、露光工程までを以下に順を追って説明
する。

【００１８】図１において、マスクフレーム２に対して
上側又は下側より装着した光学マスク１（ガラス基板上
にクロム又はクロムと酸化クロムとによる遮光膜がパタ
ーン形成されたフォトマスク、あるいはガラス基板上に
銀塩乳剤による黒化遮光膜がパターン形成された銀塩写
真マスク等）と、それに平行に離間対向するワーク４
（例えばガラス基板上に光重合硬化型感光材を塗布した
もの）との間隙の中央近傍に位置決めされている１対の
エアーノズル３，３のそれぞれスリット３ａ，３ｂよ
り、ガス噴出流速を高速にして窒素ガスＮ₂をワーク４
に向けて若しくは光学マスク１とワーク４との両方に向
けて噴出させながら、該エアーノズル３，３を、その対
向間隙内に沿って互いに反対方向に移動させながら、そ
の対向間隙より外側に移動させる。なお、エアーノズル
３の移動速度は、例えば１００ｍｍ／秒〜２００ｍｍ／
秒が適当であり、移動を終了するまでの窒素ガスＮ₂の
噴出時間は、およそ３秒程度である。

【００１９】図３に示すように、エアーノズル３を光学
マスク１とワーク４との対向間隙内より外に退避させた
後は、直ちに光学マスク１とワーク４とを接近させてプ
ロキシミティー（近接）状態にして、適宜アライメント
工程によって光学マスク１とワーク４との互いの対向面
内での相対的位置決め（露光のための見当整合）を素早
く行った後に、直ちに紫外線露光する。

【００２０】なお、プロキシミティー状態にした後のマ
スク１とワーク４との対向間隙は、例えば０．１ｍｍ以
下であり、この近接間隙を保持した状態における露光工
程に要する数秒間では、その光学マスク１とワーク４と
の近接対向間隙内に外気の流れはほとんどみられないも
のである。

【００２１】露光が終了した後は、マスク１とワーク４
とを互いに離反させて、元の平行な離間対向状態に戻
す。なお、ワークステージ５上のワーク４は、適宜次工
程に搬送される。

【００２２】続いて、エアーノズル３，３を、マスク１
とワーク４との離間対向間隙内の中央部近傍に戻す。な
お、エアーノズル３は、ワーク４がワークステージ５上
に搬入される以前にも適宜窒素ガスＮ₂を噴出させるこ
とは可能である。

【００２３】次に、本発明における第２の発明の露光装
置を、実施例に従って以下に詳細に説明する。図４は本
発明装置の第１実施例の概要側断面図であり、マスクフ
レーム２と、それと平行に離間対向して、互いに相対的
に接近乃至は離反動作するするワークステージ５とを備
える。

【００２４】該マスクフレーム２とワークステージ５の
相対的な接近乃至離反動作は、エアーシリンダー、モー
ターにより駆動動作させ、該マスクフレーム２とワーク
ステージ５との両方に対して垂直方向の適宜ガイド（図
示せず）に沿って、接近乃至離反動作するようにしたも
のである。

【００２５】マスクフレーム２は、四角形状の露光用窓
部２ａを備え、該マスクフレーム２の上面には、マスク
１を装着するための段差部２ｂを備え、該段差部２ａは
フォトマスク１の外周が嵌合できる形状に形成されてい
て、フォトマスク１をマスクフレーム２上側より段差部
２ｂ内に装着するものである。なお段差部２ａ上面、又
は上面及び内周面には、適宜弾力性、あるいは硬質性の
ゴム製、プラスチック製の緩衝材（図示せず）を設ける
ことは可能である。

【００２６】前記マスクフレーム２の露光用窓部２ａ上
方には、ハロゲン、キセノン、アーク等の紫外線照射用
の点光源若しくは紫外線照射用の走査光源等の光源２８
を備える。

【００２７】ワークステージ５は、その上面に平坦面を
備え、該平坦面には、ワーク４を吸着固定するためのエ
アー吸着手段２４（装着固定手段）を備え、該エアー吸
着手段２４は、ワークステージ５上面に孔設された複数
の吸引孔２５と、該吸引孔２５と連通するエアー流路２
６と、エアー吸引管２７とを備え、エアー吸引管２７よ
りエアーを吸引することによって吸着孔２５のバキュー
ム力によってワーク４をワークステージ５上に装着固定
するものである。

【００２８】図５は本発明装置の第２実施例の概要側断
面図であり、マスクフレーム２と、それと平行に離間対
向して、互いに相対的に接近乃至は離反動作するするワ
ークステージ５とを備える。

【００２９】該マスクフレーム２とワークステージ５の
相対的な接近乃至離反動作は、エアーシリンダー、モー
ターにより駆動動作させ、該マスクフレーム２とワーク
ステージ５との両方に対して垂直方向の適宜ガイド（図
示せず）に沿って、接近乃至離反動作するようにしたも
のである。

【００３０】マスクフレーム２は、四角形状の露光用窓
部２ａを備え、該マスクフレーム２の下面にマスク１を
吸着固定するためのエアー吸着によるマスク装着手段２
０を備え、該マスク装着手段２０は、マスクフレーム２
の下面に孔設されたスリット状、長孔状、小孔状の複数
の吸着孔２１と、該吸着孔２１に連通するエアー通路２
２と、エアー吸引管２３とを備え、エアー吸引管２３よ
り適宜バキュームポンプ（図示せず）にてエアーを吸引
することによって吸着孔２１のバキューム力によってマ
スク１をマスクフレーム下面に吸着固定するものであ
る。なお、吸着孔２１の周囲には、適宜弾力性のあるゴ
ム製、プラスチック製のリング状のシール材（図示せ
ず）を設け、吸着孔２１とマスク面との間で吸引エアー
の洩れが生じないようにすることは可能である。

【００３１】前記マスクフレーム２の露光用窓部２ａ上
方には、ハロゲン、キセノン、アーク等の紫外線照射用
の点光源若しくは紫外線照射用の走査光源等の光源２８
を備える。

【００３２】ワークステージ５は、その上面に平坦面を
備え、該平坦面には、ワーク４を吸着固定するためのエ
アー吸着手段２４（装着固定手段）を備え、該エアー吸
着手段２４は、ワークステージ５上面に孔設された複数
の吸引孔２５と、該吸引孔２５と連通するエアー流路２
６と、エアー吸引管２７とを備え、エアー吸引管２７よ
りエアーを吸引することによって吸着孔２５のバキュー
ム力によってワーク４をワークステージ５上に装着固定
するものである。

【００３３】図６は本発明装置の第３実施例の概要側断
面図であり、マスクフレーム２と、それと平行に離間対
向して、互いに相対的に接近乃至は離反動作するするワ
ークステージ５とを備え、マスクフレーム２には、該マ
スクフレーム２の下面にマスク１を装着固定するための
メカニカルクランプによるマスク装着手段３０を備え
る。

【００３４】該マスク装着手段３０は、マスクフレーム
２の下面と相対する平行なクランプ板３１と、該クラン
プ板３１を上下動作させる作動シャフト３２と、該シャ
フト３２を駆動動作させる駆動源３３を備える。

【００３５】作動シャフト３２は、例えばエアーシリン
ダーの作動ロッドであり、前記クランプ板３１を該作動
シャフト３２に取付けることによって、クランプ板３１
を上下動作可能にして、マスクフレーム２下面とクラン
プ板３１との間にマスク１を挟み込んで装着固定するも
のである。

【００３６】また、例えば、前記作動シャフト３２は、
モーターにて駆動回転するネジシャフトであり前記クラ
ンプ板３１を該ネジシャフトに螺着し、マスクフレーム
２の一部に適宜垂直ガイド（図示せず）を設けることに
よって、ネジシャフトの正回転、逆回転によってクラン
プ板３１を上下動作させることができ、マスクフレーム
２下面とクランプ板３１との間にマスク１を挟み込んで
装着固定するようにしてもよい。

【００３７】次に本発明装置の第１実施例、第２実施
例、第３実施例において、エアーノズル３の移動機構に
ついて以下に説明すれば、図７は２本１対のエアーノズ
ル３，３の移動機構を示す概要側断面図、図８はその平
面図であって、図７、図８に示すマスクフレーム２に対
するフォトマスク１の装着方式は、上記図５に示した第
２実施例及び図６に示した第３実施例の装着方式を採用
しているが、第１実施例の装着方式を採用することは可
能である。

【００３８】図７、図８に示すように、一方のエアーパ
イプ３の一端部と他端部がそれぞれ両側一対の可動ブロ
ック５０，５０に取付けられ、他方のエアーノズル３の
一端部と他端部がそれぞれ両側一対の可動ブロック５
１，５１上に取り付けられている。

【００３９】それぞれ前記両側一対の可動ブロック５
０，５０、及び両側一対の可動ブロック５１，５１は、
図８に示すように、ワークステージ５の相対する１対の
両側部に互いに平行に、且つワークステージ５に対して
平行に備えた１対のストレートガイド４５，４５に沿っ
て移動可能であり、該可動ブロック５０，５１は、それ
ぞれ接続部５０ａ，５１ａを介して駆動手段４０に一体
的に取付けられている。

【００４０】駆動手段４０は、例えば一方の可動ブロッ
ク５０，５０を一体的に取り付けたエンドレスチェーン
４１と、それを巻回して駆動回転送行させるスプロケッ
ト４１ａ，４１ｂにより構成され、また他方の可動ブロ
ック５１，５１を一体的に取り付けたエンドレスチェー
ン４２と、それを巻回して駆動回転送行させるスプロケ
ット４２ａ，４２ｂにより構成される。

【００４１】スプロケット４１ａ，４１ａと、スプロケ
ット４２ａ，４２ａとを同速度にて同期させてモーター
にて駆動回転させることによって、それぞれ両側一対の
可動ブロック５０，５０と５１，５１を介してエアーノ
ズル３，３は互いに平行に、マスク１とワーク４との離
間対向間隙内を移動させるものである。

【００４２】

【作用】本発明は、露光直前において、光学マスクとワ
ークとの離間対向間隙内に沿ってエアーノズルを移動さ
せながら光学マスクとワークとの対向界面に不活性ガス
を噴出させて不活性ガス置換処理するようにしたので、
光学マスクとワークとの対向界面に最も接近した状態の
もとで不活性ガスが噴出でき、界面、及び界面直近に存
在する空気、即ち光重合硬化反応を阻害する酸素を強制
的に且つ従来よりも強力に剥ぎ取る作用があり、比較的
少量の不活性ガス（窒素ガスＮ₂）の使用量によって、
短時間に高濃度の不活性ガス（窒素ガスＮ₂）雰囲気を
作ることができ、従来よりも精度のあるガス置換操作が
できるものである。

【００４３】以下に本発明の具体的実施例を示す。＜実施例１＞厚味５ｍｍ、サイズ４５０ｍｍ×４５０ｍ
ｍのマスクと、厚味１．１ｍｍ、サイズ３２０ｍｍ×４
００ｍｍのガラス基板を準備した。窒素ガスＮ₂噴出用
のエアーノズルとして、外径６ｍｍ、内径５ｍｍ、長さ
５００ｍｍのステンレス製のパイプの相対する上下２個
所に、幅０．２ｍｍのスリット孔を４００ｍｍの長さに
設け、該スリット孔には２０ｍｍ間隔に２ｍｍ幅のブリ
ッジを形成した。

【００４４】続いて、上記ガラス基板上に下記重量組成
比（重量部）による光重合型顔料分散感光材を膜厚１．
８μｍにて塗布し、７０℃、２０分間乾燥してワークを
形成した。光重合型顔料分散感光材の重量組成比Ａ；有機顔料Ｃ．Ｉ．ＰＩＧ．ＲＥＤ１７７１．０重量部Ｂ；以下の組成比からなるアニオン性アクリル共重合体１．２重量部メタクリル酸１５重量部メチルメタクリレート１５重量部ヒドロキシメタクリレート２０重量部ブチルメタクリレート２０重量部シクロヘキシルアクリレート３０重量部Ｃ；多官能アクリルモノマー（アロニックスＭ−３００）１．８重量部東亜合成（株）製Ｄ；光重合開始剤（イルガキュアー９０７）０．２重量部Ｅ；有機溶剤１５．８重量部

【００４５】マスクをマスクフレームに装着し、ワーク
をワークステージ上に載置して固定した後に、該マスク
とワークとの対向間隙を８ｍｍに保持して、窒素ガスＮ
₂噴出用のエアーノズルから、毎分１２０リットルの割
合で窒素ガスＮ₂を噴出させながら、１００ｍｍ／秒の
速度にてエアーノズルを移動させ、約２．５秒間窒素ガ
スＮ₂を噴出して、マスクとワークとの対向間隙外側に
エアーノズルを退避させた。

【００４６】退避後は、エアーノズルからの窒素ガスＮ
₂の噴出量を毎分３０リットルに低下させてその状態を
７秒程度保持しながらマスクとワークを５０μｍの対向
間隙になるように接近させてプロキシミティー状態に保
持し、アライメント後に紫外線露光した。この時の紫外
線（３６５ｎｍ）の照射エネルギーは、２０ｍＷ／ｃｍ
²で、露光時間は２秒間程度であり、露光後は、ｐＨ１
０．１の弱アルカリ水で現像した結果、良好な着色画像
が得られた。

【００４７】この時の酸素濃度は、ワーク全面に亘って
０．５％以下に保たれた。なお、移動するエアーノズル
による窒素ガスＮ₂噴出に要した時間は２．５秒間であ
り、退避後の窒素ガスＮ₂噴出に要した時間は７秒間程
度であり、消費した窒素ガスＮ₂の量は８．５リットル
程度であった。

【００４８】＜比較例＞厚味５ｍｍ、サイズ４５０ｍｍ
×４５０ｍｍのマスクと、厚味１．１ｍｍ、サイズ３２
０ｍｍ×４００ｍｍのガラス基板を準備し、ガラス基板
上に実施例１と同様の重量組成比（重量部）による光重
合型顔料分散感光材を膜厚１．８μｍにて塗布し、７０
℃、２０分間乾燥してワークを形成した。

【００４９】マスクをマスクフレームに装着し、ワーク
をワークステージ上に載置して固定した後に、該マスク
とワークとの対向間隙を８ｍｍに保持して、その対向間
隙より外側のマスクフレームの四辺にある窒素ガスＮ₂
噴出ノズルから、毎分１２０リットルの割合で窒素ガス
Ｎ₂を噴出させた。

【００５０】続いて、マスクとワークを５０μｍの対向
間隙になるように接近させてプロキシミティー状態に保
持し、アライメント後に、紫外線露光した。

【００５１】この時の酸素濃度は、ワーク全面に亘って
０．５％以下に保たれたが、窒素ガスＮ₂噴出に要した
時間は１５秒〜２０秒で、実施例に比較して大幅に時間
を要し、消費した窒素ガスＮ₂の量は３０〜４０リット
ル程度であった。

【００５２】

【発明の効果】本発明の露光方法及び露光装置は、プロ
キシミティー（近接）露光方式におけるパターン露光に
おいて不活性ガス置換方式により酸素の遮断操作を行な
う際において、光学マスク及びワークの界面、若しくは
界面直近に存在する酸素を従来よりも短時間で効率良く
排除して不活性ガスに置換できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の露光方法を説明する概要側断面図であ
る。

【図２】本発明の露光方法を説明する概要平面図であ
る。

【図３】本発明の露光方法を説明する概要平面図であ
る。

【図４】本発明の露光装置の第１実施例を説明する概要
側断面図である。

【図５】本発明の露光装置の第２実施例を説明する概要
側断面図である。

【図６】本発明の露光装置の第３実施例を説明する概要
平面図である。

【図７】本発明の露光装置のエアーノズルの移動機構を
説明する概要側断面図である。

【図８】本発明の露光装置のエアーノズルの移動機構を
説明する概要平面図である。

【図９】従来の露光方法を説明する概要側断面図であ
る。

【図１０】従来の露光方法を説明する概要平面図であ
る。

【符号の説明】

１…光学マスク２…マスクフレーム２ａ…露光用窓
部２ｂ…段差部３…エアーノズル３ａ，３ｂ…スリット（小孔）４
…ワーク５…ワークステージ１２…マスクフレーム１２ａ…露光用窓部１２ｂ…
段差部１３…ノズル１５…ワークステージ２０…マスク装着手段２１…吸引孔２２…エアー流
路２３…吸引管２４…装着固定手段２５…吸引孔２６…エアー流路
２７…吸引管２８…露光用光源３０…マスク装着手段３１…クランプ板３２…作動
シャフト３３…駆動源４０…移動駆動手段４１…エンドレスチェーン４１ａ，４１ｂ…スプロケット４２…エンドレスチェ
ーン４２ａ，４２ｂ…スプロケット４５…ガイド５０…可動ブロック５１…可動ブロック

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光学マスクとワークとを互いに平行に対向
させ、光学マスクをワークの感光材面に近接乃至重ね合
わせて露光する露光方法において、光学マスクとワーク
との離間対向間隙内に沿って移動するエアーノズルから
不活性ガスを噴出させて光学マスクとワークとの対向界
面を不活性ガス置換処理した後に紫外線露光することを
特徴とする露光方法。
【請求項２】露光用光源を備え、且つ光学マスクとワー
クとを互いに平行に離間乃至近接若しくは接触対向動作
させるそれぞれマスクフレーム及びワークステージと、
該光学マスクとワークとの離間対向間隙内外を移動可能
な不活性ガス噴出用のエアーノズルとを備えたことを特
徴とする露光装置。