JPH063384B2 - 超音波流量計 - Google Patents
超音波流量計Info
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- JPH063384B2 JPH063384B2 JP61149171A JP14917186A JPH063384B2 JP H063384 B2 JPH063384 B2 JP H063384B2 JP 61149171 A JP61149171 A JP 61149171A JP 14917186 A JP14917186 A JP 14917186A JP H063384 B2 JPH063384 B2 JP H063384B2
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- flow rate
- propagation
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Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、管路に設けられた送受波器により被測定流体
の流れに対して順方向と逆方向に放射された超音波の伝
播時間差により被測定流体の流量を測定する超音波流量
計に係り、特に音速の異なる各種流体の流量をも測定で
きるように改良した超音波流量計に関する。
の流れに対して順方向と逆方向に放射された超音波の伝
播時間差により被測定流体の流量を測定する超音波流量
計に係り、特に音速の異なる各種流体の流量をも測定で
きるように改良した超音波流量計に関する。
＜従来の技術＞ この種の従来の超音波流量計として、特願昭59-18873号
（発明の名称：超音波流量計）が提案されている。提案
されている内容を要約すると以下の様になる。先ず、あ
らかじめ決められた被測定流体の比重と測定された被測
定流体の温度とに基づいて被測定流体中を伝播する音速
を所定の演算式により演算する。次に、この演算された
音速に基づき送受波器と管路と被測定流体間に成立する
スネルの法則と送受波器間に成立する束縛条件とから超
音波が被測定流体から管路へ入射する入射角を演算して
補正係数を算出する。そこで、この補正係数を用いて伝
播時間差から測定された流量に対して流量補正をする。
この様にして音速の異なる流体、例えば各種の油の流量
をできるだけ正確に測定する。
（発明の名称：超音波流量計）が提案されている。提案
されている内容を要約すると以下の様になる。先ず、あ
らかじめ決められた被測定流体の比重と測定された被測
定流体の温度とに基づいて被測定流体中を伝播する音速
を所定の演算式により演算する。次に、この演算された
音速に基づき送受波器と管路と被測定流体間に成立する
スネルの法則と送受波器間に成立する束縛条件とから超
音波が被測定流体から管路へ入射する入射角を演算して
補正係数を算出する。そこで、この補正係数を用いて伝
播時間差から測定された流量に対して流量補正をする。
この様にして音速の異なる流体、例えば各種の油の流量
をできるだけ正確に測定する。
＜発明が解決しようとする問題点＞ しかしながら、この様な超音波流量計では被測定流体の
比重が異なれば音速の推定値が異なり、また音速は温度
と比重だけでは決定できないのでこれに基づいて補正し
ても正しい流量が得られないという問題点がある。
比重が異なれば音速の推定値が異なり、また音速は温度
と比重だけでは決定できないのでこれに基づいて補正し
ても正しい流量が得られないという問題点がある。
＜問題点を解決するための手段＞ この発明は、以上の問題点を解決し音速の異なる被測定
流体でも正確に流量を測定するために、管路中の被測定
流体の流速方向とこれとは逆方向に前記管路に固定され
たシューと送受波器を介して放射された超音波の伝播時
間差を用いて被測定流体の流量を演算する流量演算手段
と、シューなどの温度を用いて所定の演算式によりシュ
ーと管路の音速を演算する音速演算手段と、この音速と
被測定流体の推定音速と送受波器の設置条件などから推
測される超音波の伝播経路の総伝播時間を演算する時間
演算手段と、流量演算手段で得られる実測伝播時間と総
伝播時間とが一致するように演算し一致したときの伝播
経路における被測定流体への超音波の屈折角と被測定流
体を超音波が伝播する伝播時間とを算出する経路演算手
段と、屈折角と伝播時間などを用いて流量に対して補正
する補正演算手段とを具備するようにしたものである。
流体でも正確に流量を測定するために、管路中の被測定
流体の流速方向とこれとは逆方向に前記管路に固定され
たシューと送受波器を介して放射された超音波の伝播時
間差を用いて被測定流体の流量を演算する流量演算手段
と、シューなどの温度を用いて所定の演算式によりシュ
ーと管路の音速を演算する音速演算手段と、この音速と
被測定流体の推定音速と送受波器の設置条件などから推
測される超音波の伝播経路の総伝播時間を演算する時間
演算手段と、流量演算手段で得られる実測伝播時間と総
伝播時間とが一致するように演算し一致したときの伝播
経路における被測定流体への超音波の屈折角と被測定流
体を超音波が伝播する伝播時間とを算出する経路演算手
段と、屈折角と伝播時間などを用いて流量に対して補正
する補正演算手段とを具備するようにしたものである。
＜実施例＞ 以下、本発明の実施例について図面に基づき説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロツク図である。
第１図は本発明の一実施例を示すブロツク図である。
管路１に被測定流体２が矢印下の方向に流され、被測定
流体２の流量Ｑを測定する。このために管路１に送受波
器３，４が流れの方向Ｆに対して斜めに対向して設置さ
れている。送受波器３，４のいずれか一方にはクロック
発振器を有する同期回路５よりトリガパルスTpが駆動回
路６に印加されこれに伴いその出力に例えばピーク値が
200V程度の値をもつ微分状の駆動パルスDpが発生しこれ
が切換スイッチ７を介して印加される。送受波器３，４
の他方には被測定流体２を介して受波された超音波パル
スが切換スイッチ７を介して増幅器８に受信される。
流体２の流量Ｑを測定する。このために管路１に送受波
器３，４が流れの方向Ｆに対して斜めに対向して設置さ
れている。送受波器３，４のいずれか一方にはクロック
発振器を有する同期回路５よりトリガパルスTpが駆動回
路６に印加されこれに伴いその出力に例えばピーク値が
200V程度の値をもつ微分状の駆動パルスDpが発生しこれ
が切換スイッチ７を介して印加される。送受波器３，４
の他方には被測定流体２を介して受波された超音波パル
スが切換スイッチ７を介して増幅器８に受信される。
増幅器８の出力の超音波パルスＨは比較器９の入力の一
端に印加され、他端には比較電圧Vcが印加されている。
比較器９の出力端には振動波状の超音波パルスのうち比
較電圧Vcを越えた波形のゼロクロス部分がパルス化され
て出力パルスＰとして出力される。
端に印加され、他端には比較電圧Vcが印加されている。
比較器９の出力端には振動波状の超音波パルスのうち比
較電圧Vcを越えた波形のゼロクロス部分がパルス化され
て出力パルスＰとして出力される。
演算回路１０の入力端I1には比較器９の出力パルスＰが
印加され、入力端I2には同期回路５からトリガパルスTp
の送出と同時に発信されるスタート信号Ｓが印加され、
これ等の時間差を演算回路１０が演算し、超音波パルス
の伝播経路における伝播時間を測定する。また、切換信
号Swにより切換スイッチ７が切換えられて同様に伝播時
間が測定される。
印加され、入力端I2には同期回路５からトリガパルスTp
の送出と同時に発信されるスタート信号Ｓが印加され、
これ等の時間差を演算回路１０が演算し、超音波パルス
の伝播経路における伝播時間を測定する。また、切換信
号Swにより切換スイッチ７が切換えられて同様に伝播時
間が測定される。
また、管路１の管壁には温度センサ１１が固定されこの
管壁あるいはシューなどの温度を温度信号ｔとして検出
する。
管壁あるいはシューなどの温度を温度信号ｔとして検出
する。
１２は演算回路１０と温度センサ１１からの信号を受信
して信号処理をして出力するマイクロコンピュータ部で
ある。１３は演算回路１０からの時間信号をデジタル値
に変換するアナログ／デジタル変換器（A/D変換器）で
ある。１４は温度センサ１１からの温度信号ｔをデジタ
ル値に変換するA/D変換器である。１５はＲＡＭ（ラン
ダムアクセスメモリ）、１６はＲＯＭ（リードオンリー
メモリ）であり、これ等のアドレス指定はＣＰＵ（プロ
セッサ）１７からバス１８、ラッチデコーダ１９を介し
てなされる。A/D変換器１３，１４からの各出力データ
はデータバス２０を介してＲＡＭ１５に格納される。Ｒ
ＯＭ１６には所定の演算プログラムおよび初期データが
格納されており、ＣＰＵ１７の制御のもとにＲＯＭ１６
に格納された演算手順に従って演算され、その結果はＲ
ＡＭ１５に格納される。２１はコントロールバスであ
り、ＣＰＵ１７によりA/D変換器１３，１４、ＲＡＭ１
５，ＲＯＭ１６の動作を制御すると共に同期回路５へは
タイミング信号Tm、切替回路７には切換信号Swを出力す
る。
して信号処理をして出力するマイクロコンピュータ部で
ある。１３は演算回路１０からの時間信号をデジタル値
に変換するアナログ／デジタル変換器（A/D変換器）で
ある。１４は温度センサ１１からの温度信号ｔをデジタ
ル値に変換するA/D変換器である。１５はＲＡＭ（ラン
ダムアクセスメモリ）、１６はＲＯＭ（リードオンリー
メモリ）であり、これ等のアドレス指定はＣＰＵ（プロ
セッサ）１７からバス１８、ラッチデコーダ１９を介し
てなされる。A/D変換器１３，１４からの各出力データ
はデータバス２０を介してＲＡＭ１５に格納される。Ｒ
ＯＭ１６には所定の演算プログラムおよび初期データが
格納されており、ＣＰＵ１７の制御のもとにＲＯＭ１６
に格納された演算手順に従って演算され、その結果はＲ
ＡＭ１５に格納される。２１はコントロールバスであ
り、ＣＰＵ１７によりA/D変換器１３，１４、ＲＡＭ１
５，ＲＯＭ１６の動作を制御すると共に同期回路５へは
タイミング信号Tm、切替回路７には切換信号Swを出力す
る。
最終の演算結果は、デジタル／アナログ変換器（D/A変
換器）２２を介してアナログ信号に変換されて出力端２
３に出力される。
換器）２２を介してアナログ信号に変換されて出力端２
３に出力される。
次に、第１図に示すマイクロコンピュータ部での信号処
理について第２図に示すフローチャート図を用いて説明
する。
理について第２図に示すフローチャート図を用いて説明
する。
先ずステップで初期データとして流量の補正係数Rxが
ＲＯＭ１６からＲＡＭ１２に設定される。次にステップ
で被測定流体への超音波の屈折角θと被測定流体を超
音波が伝播する伝播時間Ｔや、音速を演算するための温
度に関する多項式の係数あるいは管路の内径などの各種
定数がＲＯＭ１６からＲＡＭ１５に設定される。
ＲＯＭ１６からＲＡＭ１２に設定される。次にステップ
で被測定流体への超音波の屈折角θと被測定流体を超
音波が伝播する伝播時間Ｔや、音速を演算するための温
度に関する多項式の係数あるいは管路の内径などの各種
定数がＲＯＭ１６からＲＡＭ１５に設定される。
ステップでは、コントロールバス２１からの切換信号
Swにより切換スイッチ７が一方に切換られ例えば送受波
器４から送受波器３へ駆動回路６から駆動パルスDpが放
射される状態とされ、コントロールバス２１からのタイ
ミング信号Ｔmにより伝播時間T1が演算回路１０で測定
されたＲＡＭ１５に格納される。次に、切換信号Swによ
り切換スイッチ７が他方に切換えられて同様にして伝播
時間T2が測定されＲＡＭ１５に格納される。伝播時間T1
とT2の伝播時間差ΔTはＲＯＭ１６に内蔵された演算プ
ログラムにより演算されＲＡＭ１５に格納される。
Swにより切換スイッチ７が一方に切換られ例えば送受波
器４から送受波器３へ駆動回路６から駆動パルスDpが放
射される状態とされ、コントロールバス２１からのタイ
ミング信号Ｔmにより伝播時間T1が演算回路１０で測定
されたＲＡＭ１５に格納される。次に、切換信号Swによ
り切換スイッチ７が他方に切換えられて同様にして伝播
時間T2が測定されＲＡＭ１５に格納される。伝播時間T1
とT2の伝播時間差ΔTはＲＯＭ１６に内蔵された演算プ
ログラムにより演算されＲＡＭ１５に格納される。
伝播時間差ΔTは管路１の中を流れる流量Ｑに反比例す
るので、この値を用いてＲＯＭ１６に格納された流量演
算式によりステップで流量Ｑの演算がなされる。
るので、この値を用いてＲＯＭ１６に格納された流量演
算式によりステップで流量Ｑの演算がなされる。
この流量値は温度などによりエラーがあるので補正をす
る必要がある。しかし、急激な変動はないので流量の演
算に比べて長い補正周期Tcで補正すれば良い。そのため
の補正周期Tcの判断をステップで実行する。
る必要がある。しかし、急激な変動はないので流量の演
算に比べて長い補正周期Tcで補正すれば良い。そのため
の補正周期Tcの判断をステップで実行する。
補正周期Tcをオーバしたときはステップに移り温度セ
ンサ１１から温度信号ｔを読込む。
ンサ１１から温度信号ｔを読込む。
次に、ステップに移り送受波器３，４を管路１に固定
するシュー２４，２５の音速C1と管路１の音速C2をＲＯ
Ｍ１６に格納された温度信号ｔに関する下記の２次式の
演算プログラムに従って演算する。この場合、シュー２
４，２５、管路１および被測定流体２の温度はほぼ同一
とみられる。
するシュー２４，２５の音速C1と管路１の音速C2をＲＯ
Ｍ１６に格納された温度信号ｔに関する下記の２次式の
演算プログラムに従って演算する。この場合、シュー２
４，２５、管路１および被測定流体２の温度はほぼ同一
とみられる。
C1＝Ａ＋Ｂｔ＋Ｃt2 (1) C2＝A′＋B′ｔ＋C′t2 (2) ここで、Ａ，Ｂ，Ｃ，A′，B′，C′はそれぞれステッ
プであらかじめ設定されている。
プであらかじめ設定されている。
ステップでは伝播経路のモデルにしたがい超音波の総
伝播時間Tsの演算を実行する。以下、この演算について
説明する。第３図は管路１の附近を拡大した拡大図であ
る。
伝播時間Tsの演算を実行する。以下、この演算について
説明する。第３図は管路１の附近を拡大した拡大図であ
る。
先ず、超音波の伝播経路を求める。シューの音速をC1、
管路１の音速をC2、シュー２４から管路１への超音波の
入射角をθ１、管路１から被測定流体への超音波の入射
角をθ２とし、更に被測定流体への推定音速をC3、被測
定流体から管路１への超音波の入射角をθ３と推定する
と、ステップで算出された音速C1，C2を用いて下記の
スネルの法則に従がって入射角θ１，θ２が算出され
る。
管路１の音速をC2、シュー２４から管路１への超音波の
入射角をθ１、管路１から被測定流体への超音波の入射
角をθ２とし、更に被測定流体への推定音速をC3、被測
定流体から管路１への超音波の入射角をθ３と推定する
と、ステップで算出された音速C1，C2を用いて下記の
スネルの法則に従がって入射角θ１，θ２が算出され
る。
また、送受波器３，４はこれ等の水平距離が を満足するように設置される。ここで，x1／２，x2／
２，x3はそれぞれ送受波器３(4)の中心から管路１の外
壁までの距離、管路１の肉厚、管路１の内径である。
２，x3はそれぞれ送受波器３(4)の中心から管路１の外
壁までの距離、管路１の肉厚、管路１の内径である。
以上の如くして、超音波の伝播経路が計算により決定で
きるが、これ等の演算に必要な演算プログラムはＲＯＭ
１６に格納されており、推定音速C3、入射角θ３、距離
x1〜x3などはステップであらかじめ設定されている。
きるが、これ等の演算に必要な演算プログラムはＲＯＭ
１６に格納されており、推定音速C3、入射角θ３、距離
x1〜x3などはステップであらかじめ設定されている。
次に、この様にして決定された伝播経路に沿って超音波
が伝播するに要する総伝播時間Tsを求める。
が伝播するに要する総伝播時間Tsを求める。
総伝播時間Tsは、送受波器３，４の中心を点音源と仮定
した点音源モデルか、送受波器３，４を平面音源と仮定
した平面音源モデルに基づいて求めることができる。
した点音源モデルか、送受波器３，４を平面音源と仮定
した平面音源モデルに基づいて求めることができる。
点音源モデルによる場合は、超音波は球面波として伝播
し、音速Ciが変化しても送受波器３，４間の距離Ｌは変
化しない。例えば、温度により各音速が変化したときの
超音波の伝播経路は第４図(イ)に示すようになり距離Ｌ
に変化を生じない。この場合の総伝播時間Tsは次式で示
される。
し、音速Ciが変化しても送受波器３，４間の距離Ｌは変
化しない。例えば、温度により各音速が変化したときの
超音波の伝播経路は第４図(イ)に示すようになり距離Ｌ
に変化を生じない。この場合の総伝播時間Tsは次式で示
される。
平面音源モデルと仮定した場合は、超音波は平面波とし
て伝播し、音速Ciが変化しても入射角θ１は一定とな
る。例えば、温度により各音速が変化したときの超音波
の伝播経路は第４図(ロ)に示すように距離ＬはL′にずれ
る。この場合の総伝播時間Tsは次式で示される。
て伝播し、音速Ciが変化しても入射角θ１は一定とな
る。例えば、温度により各音速が変化したときの超音波
の伝播経路は第４図(ロ)に示すように距離ＬはL′にずれ
る。この場合の総伝播時間Tsは次式で示される。
このときのL′は(4)式を用いて演算する。
これらのいずれかのモデルに対応した演算プログラムは
ＲＯＭ１６の中に格納されている。
ＲＯＭ１６の中に格納されている。
次に、ステップに移行する。ステップでは演算回路
１０から入力された実測の超音波の伝播時間T1，T2の平
均値をとって伝播時間Ｔとし、これと(5)あるいは(6)式
で得られた総伝播時間Tsとを比較し、屈折角θ３を変え
て逐次近似法によりＴ＝Tsになる被測定流体中を超音波
が伝播する伝播時間T0と屈折角θ′３を求める。
１０から入力された実測の超音波の伝播時間T1，T2の平
均値をとって伝播時間Ｔとし、これと(5)あるいは(6)式
で得られた総伝播時間Tsとを比較し、屈折角θ３を変え
て逐次近似法によりＴ＝Tsになる被測定流体中を超音波
が伝播する伝播時間T0と屈折角θ′３を求める。
ステップでは流量Ｑに対する補正係数kxを演算する。
管路１の被測定流体の流速ｖは、k-1を流速分布の補正
係数、Ｎを定数とすれば次式で示される。
管路１の被測定流体の流速ｖは、k-1を流速分布の補正
係数、Ｎを定数とすれば次式で示される。
また、ステップでデータとして与えた屈折角θと伝播
時間Ｔとを用いたときの流速ｖは、 で与えられるので、(7)式と(8)式との比をとると となる。即ち、 ただし、 となる。この補正係数ｋｘは初期値に対する流量補正係
数であるので、ステップでの流量演算の際にこの補正
係数ｋｘを乗ずることにより、リアルタイムでかつ比
重、温度などの全てのファクタをとり込んだ補正が可能
となる。
時間Ｔとを用いたときの流速ｖは、 で与えられるので、(7)式と(8)式との比をとると となる。即ち、 ただし、 となる。この補正係数ｋｘは初期値に対する流量補正係
数であるので、ステップでの流量演算の際にこの補正
係数ｋｘを乗ずることにより、リアルタイムでかつ比
重、温度などの全てのファクタをとり込んだ補正が可能
となる。
第５図は本実施例の効果を調べた結果を示す特性図であ
る。(イ)は未補正の場合、(ロ)は点音源モデルによる場
合、(ハ)は平面音源モデルによる場合であり、いずれも
校正用基準流量計（パイププルーバ）の流速v0に対する
誤差として示してある。未補正の場合に比べてモデル経
路を使用して補正した場合はかなり改良された結果とな
っている。
る。(イ)は未補正の場合、(ロ)は点音源モデルによる場
合、(ハ)は平面音源モデルによる場合であり、いずれも
校正用基準流量計（パイププルーバ）の流速v0に対する
誤差として示してある。未補正の場合に比べてモデル経
路を使用して補正した場合はかなり改良された結果とな
っている。
なお、第１図における実施例では管路１に温度センサ１
１を設けたが、これに限らず、温度センサを別に設けて
も良い。また伝播時間の測定に際して、ΔT直続法で説
明したが、これはシングアラウンド法あるいはPLL法な
ど他の手段を採用しても良い。
１を設けたが、これに限らず、温度センサを別に設けて
も良い。また伝播時間の測定に際して、ΔT直続法で説
明したが、これはシングアラウンド法あるいはPLL法な
ど他の手段を採用しても良い。
＜発明の効果＞ 以上、実施例と共に具体的に説明した様に本発明によれ
ばモデル経路を実測値により推測しこれを用いて被測定
流体の中の音速を推定して流量補正係数を算出して流量
補正するようにしたので、リアルタイムでかつ音速の異
なる各種流体の流量をも正確に測定することができる。
ばモデル経路を実測値により推測しこれを用いて被測定
流体の中の音速を推定して流量補正係数を算出して流量
補正するようにしたので、リアルタイムでかつ音速の異
なる各種流体の流量をも正確に測定することができる。
第１図は本発明の一実施例を示すブロツク図、第２図は
第１図における実施例の動作を説明するフローチャート
図、第３図は第１図における管路近傍を拡大した拡大
図、第４図は音源モデルを説明する説明図、第５図は第
１図における実施例の効果を説明する特性図である。 １…管路、３，４…送受波器、７…切換スイッチ、９…
比較器、１０…演算回路、１１……温度センサ、１２…
…マイクロコンピュータ部。
第１図における実施例の動作を説明するフローチャート
図、第３図は第１図における管路近傍を拡大した拡大
図、第４図は音源モデルを説明する説明図、第５図は第
１図における実施例の効果を説明する特性図である。 １…管路、３，４…送受波器、７…切換スイッチ、９…
比較器、１０…演算回路、１１……温度センサ、１２…
…マイクロコンピュータ部。
Claims (1)
- 【請求項１】管路中の被測定流体の流速方向と、これと
は逆方向に前記管路に固定されたシューと送受波器を介
して放射された超音波の伝搬時間差を用いて前記被測定
流体の流量を演算する流量演算手段と、前記シューなど
の温度を用いて所定の演算式により前記シューと管路の
音速を演算する音速演算手段と、この音速と前記被測定
流体の推定音速と前記送受波器の設置条件などから推測
される前記超音波の伝播経路の総伝播時間を演算する時
間演算手段と、前記流量演算手段で得られる実測伝播時
間と前記総伝播時間とが一致するように演算し一致した
ときの前記伝播経路における前記被測定流体への超音波
の屈折角と前記被測定流体を超音波が伝播する伝播時間
とを算出する経路演算手段と、前記屈折角と伝播時間な
どを用いて前記流量に対して補正する補正演算手段とを
具備することを特徴とする超音波流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61149171A JPH063384B2 (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | 超音波流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61149171A JPH063384B2 (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | 超音波流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS635218A JPS635218A (ja) | 1988-01-11 |
| JPH063384B2 true JPH063384B2 (ja) | 1994-01-12 |
Family
ID=15469348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61149171A Expired - Lifetime JPH063384B2 (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | 超音波流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH063384B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08261809A (ja) * | 1995-03-20 | 1996-10-11 | Fuji Electric Co Ltd | クランプオン型超音波流量計における温度圧力補償方法 |
| JP2014507667A (ja) * | 2011-03-07 | 2014-03-27 | フレクシム フレクシブレ インドゥストリーメステヒニーク ゲーエムベーハー | 超音波クランプオン式流量測定のための方法及び該方法を実行するための装置 |
| JP2018512576A (ja) * | 2015-02-27 | 2018-05-17 | マッケ カーディオパルモナリー アーゲー | 流体流量測定および気泡検出装置 |
| FR3159222A1 (fr) * | 2024-02-13 | 2025-08-15 | Poclain Hydraulics Industrie | Raccord pour machine hydraulique comprenant un débitmètre |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Also Published As
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|---|---|
| JPS635218A (ja) | 1988-01-11 |
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