JPH07139982A - 超音波流量計 - Google Patents
超音波流量計Info
- Publication number
- JPH07139982A JPH07139982A JP5289099A JP28909993A JPH07139982A JP H07139982 A JPH07139982 A JP H07139982A JP 5289099 A JP5289099 A JP 5289099A JP 28909993 A JP28909993 A JP 28909993A JP H07139982 A JPH07139982 A JP H07139982A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- pipe
- fluid
- temperature
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 配管へのサーミスタ等の温度センサの取付け
及びその出力信号の処理装置を不要とする装置を実現す
る。 【構成】 上流側の超音波流量計センサ１と下流側の超
音波流量計センサ２より流体中を伝播する超音波４，５
の発受信時点を入力した伝播時間差計測手段８が伝播時
間差を出力し、配管３を伝播する表面波１３，１４の発
受信時点を入力した配管温度計算手段７が流体の温度を
出力し、上記超音波４，５の伝播時間差と流体の温度を
入力した流速及び流量計算手段９，１０が温度補正され
た流体の流速を求めた後、流体の流量を計算することに
よって、従来の装置において用いられていた温度センサ
が不要となり、配管３のセンサ取付スペースの減少を可
能にするとともに、センサの出力処理装置の簡素化を可
能とする。
及びその出力信号の処理装置を不要とする装置を実現す
る。 【構成】 上流側の超音波流量計センサ１と下流側の超
音波流量計センサ２より流体中を伝播する超音波４，５
の発受信時点を入力した伝播時間差計測手段８が伝播時
間差を出力し、配管３を伝播する表面波１３，１４の発
受信時点を入力した配管温度計算手段７が流体の温度を
出力し、上記超音波４，５の伝播時間差と流体の温度を
入力した流速及び流量計算手段９，１０が温度補正され
た流体の流速を求めた後、流体の流量を計算することに
よって、従来の装置において用いられていた温度センサ
が不要となり、配管３のセンサ取付スペースの減少を可
能にするとともに、センサの出力処理装置の簡素化を可
能とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高温用配管内を流れる
流体の流量を計測するための超音波流量計に関する。
流体の流量を計測するための超音波流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の配管内の流体の流量を計測する超
音波流量計は、図５に示すように、配管３に配設された
サーミスタ１１付きの上流側超音波流量計センサ１と下
流側超音波流量計センサ２、同センサ１，２が接続され
た伝播時間差計測部８、上記サーミスタ１１が接続され
たサーミスタ温度計１２、および同温度計１２が補正計
算部９を介して接続された流量計算表示部１０により構
成されていた。
音波流量計は、図５に示すように、配管３に配設された
サーミスタ１１付きの上流側超音波流量計センサ１と下
流側超音波流量計センサ２、同センサ１，２が接続され
た伝播時間差計測部８、上記サーミスタ１１が接続され
たサーミスタ温度計１２、および同温度計１２が補正計
算部９を介して接続された流量計算表示部１０により構
成されていた。
【０００３】上記において、サーミスタ温度計１２に接
続されたサーミスタ１１を配管に設けているのは、流体
の温度によって超音波伝播速度が変化するため、温度に
よる流速の補正を行って流量を算出することが必要なた
めである。
続されたサーミスタ１１を配管に設けているのは、流体
の温度によって超音波伝播速度が変化するため、温度に
よる流速の補正を行って流量を算出することが必要なた
めである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の超音波流量計に
おいては、前記のように流速計測用の上流側超音波セン
サおよび下流側超音波センサの他に、温度計測用のサー
ミスタ等を設けなければならなかった。そのため、配管
にセンサを取付けるための広いスペースが必要となり、
また、超音波の信号処理とは異る処理回路が必要となる
という課題があった。本発明は上記の課題を解決しよう
とするものである。
おいては、前記のように流速計測用の上流側超音波セン
サおよび下流側超音波センサの他に、温度計測用のサー
ミスタ等を設けなければならなかった。そのため、配管
にセンサを取付けるための広いスペースが必要となり、
また、超音波の信号処理とは異る処理回路が必要となる
という課題があった。本発明は上記の課題を解決しよう
とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の超音波流量計
は、内部を流体が流れる配管の表面に設けられ流体の流
れ方向に間隔をあけて設置された２つの超音波流量計セ
ンサと、同２つの超音波流量計センサのうちの配管内部
の流体の上流側に位置する超音波流量計センサから配管
内に発した超音波が下流側に位置する超音波流量計セン
サに伝播する時間と同下流側の超音波流量計センサから
配管内に発した超音波が前記上流側の超音波流量計セン
サに伝播する時間との差を計測する伝播時間差計測手段
と、前記２つの超音波流量計センサ間の配管の表面を超
音波が伝播する時間から同配管の温度を計算する手段
と、前記伝播時間差及び配管温度から配管内を流れる流
体の流速及び流量を計算する手段とを有することを特徴
としている。
は、内部を流体が流れる配管の表面に設けられ流体の流
れ方向に間隔をあけて設置された２つの超音波流量計セ
ンサと、同２つの超音波流量計センサのうちの配管内部
の流体の上流側に位置する超音波流量計センサから配管
内に発した超音波が下流側に位置する超音波流量計セン
サに伝播する時間と同下流側の超音波流量計センサから
配管内に発した超音波が前記上流側の超音波流量計セン
サに伝播する時間との差を計測する伝播時間差計測手段
と、前記２つの超音波流量計センサ間の配管の表面を超
音波が伝播する時間から同配管の温度を計算する手段
と、前記伝播時間差及び配管温度から配管内を流れる流
体の流速及び流量を計算する手段とを有することを特徴
としている。
【０００６】
【作用】上記において、上流側の超音波流量計センサと
下流側の超音波流量計センサは、それぞれ配管内を流れ
る流体中を伝播する超音波と配管そのものを伝播する超
音波を発受信するものであり、流体中を伝播する超音波
の発受信時点は伝播時間差計測手段に入力され、配管を
伝播する超音波の発受信時点は配管の温度を計算する手
段に入力される。
下流側の超音波流量計センサは、それぞれ配管内を流れ
る流体中を伝播する超音波と配管そのものを伝播する超
音波を発受信するものであり、流体中を伝播する超音波
の発受信時点は伝播時間差計測手段に入力され、配管を
伝播する超音波の発受信時点は配管の温度を計算する手
段に入力される。
【０００７】上記超音波ビームの発受信時点が入力され
た伝播時間差計測手段は、上流側の超音波流量計センサ
より発信し流体中を伝播して下流側の超音波流量計セン
サに受信される超音波の伝播時間を求め、また下流側の
超音波流量計センサより発信し流体中を伝播して上流側
の超音波流量計センサに受信される超音波の伝播時間を
求めた後、両者の伝播時間差を求めて出力する。
た伝播時間差計測手段は、上流側の超音波流量計センサ
より発信し流体中を伝播して下流側の超音波流量計セン
サに受信される超音波の伝播時間を求め、また下流側の
超音波流量計センサより発信し流体中を伝播して上流側
の超音波流量計センサに受信される超音波の伝播時間を
求めた後、両者の伝播時間差を求めて出力する。
【０００８】上記伝播時間差計測手段が出力する伝播時
間差は流速及び流量を計算する手段に入力され、同流速
及び流量計算手段はまずこの伝播時間差より上記流体の
流速を求める。なお、この流速は、超音波ビームの伝播
時間が流体の温度変化により変動するため、温度による
誤差を含んだものである。
間差は流速及び流量を計算する手段に入力され、同流速
及び流量計算手段はまずこの伝播時間差より上記流体の
流速を求める。なお、この流速は、超音波ビームの伝播
時間が流体の温度変化により変動するため、温度による
誤差を含んだものである。
【０００９】一方、配管を伝播する超音波の発受信時点
を入力した上記配管温度計算手段は、これより上流側超
音波流量計センサと下流側流量計超音波センサ間の配管
中を伝播する超音波の伝播時間を求め、この超音波の伝
播速度を求める。
を入力した上記配管温度計算手段は、これより上流側超
音波流量計センサと下流側流量計超音波センサ間の配管
中を伝播する超音波の伝播時間を求め、この超音波の伝
播速度を求める。
【００１０】超音波の伝播速度と超音波を伝播させる媒
体の温度との間には一定の関係があり、超音波の伝播速
度から配管の温度（これは内部の流体の温度とはほゞ等
しい）を求めることができるため、上記配管温度計算手
段は上記関係を利用して配管を伝播する超音波の伝播速
度から流体の温度を求めて流速及び流量計算手段に入力
する。
体の温度との間には一定の関係があり、超音波の伝播速
度から配管の温度（これは内部の流体の温度とはほゞ等
しい）を求めることができるため、上記配管温度計算手
段は上記関係を利用して配管を伝播する超音波の伝播速
度から流体の温度を求めて流速及び流量計算手段に入力
する。
【００１１】上記流体の温度を入力した流速及び流量計
算手段は、これを用いて上記温度による誤差を含んだ流
体の流速を補正した後、補正された流体の流速を用いて
流体の流量を計算する。
算手段は、これを用いて上記温度による誤差を含んだ流
体の流速を補正した後、補正された流体の流速を用いて
流体の流量を計算する。
【００１２】上記のように、流体中を伝播する超音波の
伝播時間差より求められ温度による誤差を含んだ流体の
流速は、配管を伝播する超音波の伝播時間より求めた温
度による補正を可能としたため、従来の装置において用
いられていた温度センサが不要となり、配管のセンサ取
付スペースの減少を可能にするとともに、センサの出力
処理装置の簡素化を可能とする。
伝播時間差より求められ温度による誤差を含んだ流体の
流速は、配管を伝播する超音波の伝播時間より求めた温
度による補正を可能としたため、従来の装置において用
いられていた温度センサが不要となり、配管のセンサ取
付スペースの減少を可能にするとともに、センサの出力
処理装置の簡素化を可能とする。
【００１３】
【実施例】本発明の一実施例を図１により説明する。図
１において、１，２はそれぞれ流体が流れる配管３に配
設された上流側超音波流量計センサと下流側超音波流量
計センサであり、両者を組み合わせて流体計測用の超音
波ビーム４，５、および温度計測用の超音波（表面波）
１３，１４の送受をするものである。
１において、１，２はそれぞれ流体が流れる配管３に配
設された上流側超音波流量計センサと下流側超音波流量
計センサであり、両者を組み合わせて流体計測用の超音
波ビーム４，５、および温度計測用の超音波（表面波）
１３，１４の送受をするものである。
【００１４】６は上記センサ１，２からそれぞれの出力
信号を入力する超音波流量計処理回路部で、温度計算部
７と伝播時間差（ΔＴ）を求める伝播時間差計測部８が
設けられている。
信号を入力する超音波流量計処理回路部で、温度計算部
７と伝播時間差（ΔＴ）を求める伝播時間差計測部８が
設けられている。
【００１５】９は伝播時間差計測部８で求められた伝播
時間から流体の流速を計算し、それを温度計算部７で求
められた温度により補正を行う補正計算部である。１０
は補正計算部９で計算された流速に配管断面積を乗算し
て流量を求め、これを表示する流量計算表示部である。
時間から流体の流速を計算し、それを温度計算部７で求
められた温度により補正を行う補正計算部である。１０
は補正計算部９で計算された流速に配管断面積を乗算し
て流量を求め、これを表示する流量計算表示部である。
【００１６】上記において、上流側超音波流量計センサ
１が超音波を発生すると、図２に示すように超音波ビー
ム５が流体中を通過し、表面波１３が配管３を伝播して
いずれも下流側超音波流量計センサ２に到達する。ま
た、下流側超音波流量計センサ２が超音波を発生した場
合も同様に、超音波ビーム４と表面波１４がそれぞれ流
体中と配管を通過して上流側超音波流量計センサ２に到
達する。
１が超音波を発生すると、図２に示すように超音波ビー
ム５が流体中を通過し、表面波１３が配管３を伝播して
いずれも下流側超音波流量計センサ２に到達する。ま
た、下流側超音波流量計センサ２が超音波を発生した場
合も同様に、超音波ビーム４と表面波１４がそれぞれ流
体中と配管を通過して上流側超音波流量計センサ２に到
達する。
【００１７】上記センサ１，２の超音波ビーム４，５の
発受信時点はそれぞれのセンサ１，２の出力信号により
伝播時間差計測部８に入力され、同計測部８は超音波ビ
ーム４，５について伝播時間を求めた後、更に超音波ビ
ーム４，５間の伝播時間差ΔＴを求めて補正計算部９へ
出力し、同計算部９はこの伝播時間差ΔＴから流体の流
速を求める。一方、上記センサ１，２の表面波１３，１
４の発受信時点はそれぞれのセンサ１，２の出力信号に
より温度計算部７に入力される。
発受信時点はそれぞれのセンサ１，２の出力信号により
伝播時間差計測部８に入力され、同計測部８は超音波ビ
ーム４，５について伝播時間を求めた後、更に超音波ビ
ーム４，５間の伝播時間差ΔＴを求めて補正計算部９へ
出力し、同計算部９はこの伝播時間差ΔＴから流体の流
速を求める。一方、上記センサ１，２の表面波１３，１
４の発受信時点はそれぞれのセンサ１，２の出力信号に
より温度計算部７に入力される。
【００１８】図３は、超音波のエコーのレベルと時間の
関係を図示したものであり、２１は上記センサ１が発生
する超音波送信波のエコーであり、２２，２４はそれぞ
れ流体中を通過して上記センサ２により受信された超音
波エコーと、配管３の面を伝播して上記センサ２により
受信された表面波エコーである。
関係を図示したものであり、２１は上記センサ１が発生
する超音波送信波のエコーであり、２２，２４はそれぞ
れ流体中を通過して上記センサ２により受信された超音
波エコーと、配管３の面を伝播して上記センサ２により
受信された表面波エコーである。
【００１９】媒体中を伝播する超音波は、温度によって
その伝播速度が変化し、目標物に到達する時間が変る。
この超音波の伝播特性を図示したものが図４であり、低
い温度ｔ1 において超音波の伝播速度がυ1 であった場
合、温度が上昇してｔ2 になると、この速度はυ1 より
遅いυ2 となることを示している。この場合、図３に示
す表面エコー２２は遅れを生じるため、点線で示す表面
波エコー２３となる。
その伝播速度が変化し、目標物に到達する時間が変る。
この超音波の伝播特性を図示したものが図４であり、低
い温度ｔ1 において超音波の伝播速度がυ1 であった場
合、温度が上昇してｔ2 になると、この速度はυ1 より
遅いυ2 となることを示している。この場合、図３に示
す表面エコー２２は遅れを生じるため、点線で示す表面
波エコー２３となる。
【００２０】図４に示すように、超音波伝播時間と温度
の間には一定の関係があるために、温度計算部７は、上
記センサ１，２間の表面波１３の伝播時間より表面波１
３の伝播速度を求め、この伝播速度より配管３内の流体
の温度を求めることができる。
の間には一定の関係があるために、温度計算部７は、上
記センサ１，２間の表面波１３の伝播時間より表面波１
３の伝播速度を求め、この伝播速度より配管３内の流体
の温度を求めることができる。
【００２１】そのため、伝播時間差計測部８より超音波
ビーム４，５の伝播時間差ΔＴを入力して流体の速度を
求めた補正計算部９は、上記温度計算部７より表面波１
３，１４の伝播速度より求めた現時点の温度を入力して
上記流体の流速を補正し、温度により超音波ビーム４，
５の伝播速度が変ることによる誤差が補正された流体の
流速とする。
ビーム４，５の伝播時間差ΔＴを入力して流体の速度を
求めた補正計算部９は、上記温度計算部７より表面波１
３，１４の伝播速度より求めた現時点の温度を入力して
上記流体の流速を補正し、温度により超音波ビーム４，
５の伝播速度が変ることによる誤差が補正された流体の
流速とする。
【００２２】上記補正された流体の流速は流量計算表示
部１０に入力され、同表示部１０は上記流速に配管断面
積を乗算して流量を求めた後、これを表示する。
部１０に入力され、同表示部１０は上記流速に配管断面
積を乗算して流量を求めた後、これを表示する。
【００２３】上記のように、配管内を流れる流体の温度
は配管を伝播する表面波より求められるため、従来の装
置のように温度センサを配管に配設する必要がなく、配
管のセンサ取付スペースを小さくすることができるとと
もに、センサの出力処理回路も超音波のみを処理する回
路となるため、簡素化することができる。
は配管を伝播する表面波より求められるため、従来の装
置のように温度センサを配管に配設する必要がなく、配
管のセンサ取付スペースを小さくすることができるとと
もに、センサの出力処理回路も超音波のみを処理する回
路となるため、簡素化することができる。
【００２４】
【発明の効果】本発明の超音波流量計は、上流側の超音
波流量計センサと下流側の超音波流量計センサより流体
中を伝播する超音波の発受信時点を入力した伝播時間差
計測手段が伝播時間差を出力し、配管を伝播する表面波
の発受信時点を入力した配管温度計算手段が流体の温度
を出力し、上記超音波の伝播時間差と流体の温度を入力
した流速及び流量計算手段が温度補正された流体の流速
を求めた後、流体の流量を計算することによって、従来
の装置において用いられていた温度センサが不要とな
り、配管のセンサ取付スペースの減少を可能にするとと
もに、センサの出力処理装置の簡素化を可能とする。
波流量計センサと下流側の超音波流量計センサより流体
中を伝播する超音波の発受信時点を入力した伝播時間差
計測手段が伝播時間差を出力し、配管を伝播する表面波
の発受信時点を入力した配管温度計算手段が流体の温度
を出力し、上記超音波の伝播時間差と流体の温度を入力
した流速及び流量計算手段が温度補正された流体の流速
を求めた後、流体の流量を計算することによって、従来
の装置において用いられていた温度センサが不要とな
り、配管のセンサ取付スペースの減少を可能にするとと
もに、センサの出力処理装置の簡素化を可能とする。
【図１】本発明の一実施例に係る超音波流量計の説明図
である。
である。
【図２】上記一実施例に係る超音波の作用説明図であ
る。
る。
【図３】上記一実施例に係る超音波のエコーの説明図で
ある。
ある。
【図４】上記一実施例に係る超音波の伝播速度−温度特
性図である。
性図である。
【図５】従来の超音波流量計の説明図である。
１ 上流側超音波流量計センサ ２ 下流側超音波流量計センサ ３ 配管 ４ 下流側からの超音波ビーム ５ 上流側からの超音波ビーム ６ 超音波流量計処理回路部 ７ 温度計算部 ８ 伝播時間差計測部 ９ 補正計算部 １０ 流量計算表示部
Claims (1)
- 【請求項１】 内部を流体が流れる配管の表面に設けら
れ流体の流れ方向に間隔をあけて設置された２つの超音
波流量計センサと、同２つの超音波流量計センサのうち
の配管内部の流体の上流側に位置する超音波流量計セン
サから配管内に発した超音波が下流側に位置する超音波
流量計センサに伝播する時間と同下流側の超音波流量計
センサから配管内に発した超音波が前記上流側の超音波
流量計センサに伝播する時間との差を計測する伝播時間
差計測手段と、前記２つの超音波流量計センサ間の配管
の表面を超音波が伝播する時間から同配管の温度を計算
する手段と、前記伝播時間差及び配管温度から配管内を
流れる流体の流速及び流量を計算する手段とを有するこ
とを特徴とする超音波流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5289099A JPH07139982A (ja) | 1993-11-18 | 1993-11-18 | 超音波流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5289099A JPH07139982A (ja) | 1993-11-18 | 1993-11-18 | 超音波流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07139982A true JPH07139982A (ja) | 1995-06-02 |
Family
ID=17738791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5289099A Withdrawn JPH07139982A (ja) | 1993-11-18 | 1993-11-18 | 超音波流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07139982A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003042638A1 (en) * | 2001-11-13 | 2003-05-22 | Kazumasa Ohnishi | Method of measuring flow of fluid moving in pipe or groove-like flow passage |
| CN103424152A (zh) * | 2013-08-06 | 2013-12-04 | 浙江大学 | 一种辅助声道式超声波流量计测量块 |
| JP2019521347A (ja) * | 2016-07-13 | 2019-07-25 | ゲーヴェーエフ メスシステメ アーゲーＧｗｆ Ｍｅｓｓ | 測定チャネルを有する流量計 |
| CN117191139A (zh) * | 2023-11-07 | 2023-12-08 | 青岛鼎信通讯科技有限公司 | 一体式超声水表 |
| WO2024191607A1 (en) * | 2023-03-13 | 2024-09-19 | Badger Meter, Inc. | Acoustic rail for clamp on ultrasonic flow meter |
-
1993
- 1993-11-18 JP JP5289099A patent/JPH07139982A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003042638A1 (en) * | 2001-11-13 | 2003-05-22 | Kazumasa Ohnishi | Method of measuring flow of fluid moving in pipe or groove-like flow passage |
| US6907792B2 (en) | 2001-11-13 | 2005-06-21 | Kazumasa Ohnishi | Method for measuring flow of fluid moving in pipe or groove-like flow passage |
| CN103424152A (zh) * | 2013-08-06 | 2013-12-04 | 浙江大学 | 一种辅助声道式超声波流量计测量块 |
| CN103424152B (zh) * | 2013-08-06 | 2015-09-16 | 浙江大学 | 一种辅助声道式超声波流量计测量块 |
| JP2019521347A (ja) * | 2016-07-13 | 2019-07-25 | ゲーヴェーエフ メスシステメ アーゲーＧｗｆ Ｍｅｓｓ | 測定チャネルを有する流量計 |
| US10704941B2 (en) | 2016-07-13 | 2020-07-07 | Gwf Messsysteme Ag | Flow meter with measuring channel |
| US10746580B2 (en) | 2016-07-13 | 2020-08-18 | Gwf Messsysteme Ag | Flow meter with measuring channel |
| WO2024191607A1 (en) * | 2023-03-13 | 2024-09-19 | Badger Meter, Inc. | Acoustic rail for clamp on ultrasonic flow meter |
| CN117191139A (zh) * | 2023-11-07 | 2023-12-08 | 青岛鼎信通讯科技有限公司 | 一体式超声水表 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3216769B2 (ja) | クランプオン型超音波流量計における温度圧力補償方法 | |
| JP2006078362A (ja) | 同一軸型ドップラー超音波流速計 | |
| JP2002340644A (ja) | 超音波流量／流速測定装置および流量／流速測定方法 | |
| JPH0447770B2 (ja) | ||
| US7806003B2 (en) | Doppler type ultrasonic flow meter | |
| JPH1090028A (ja) | 超音波質量流量計 | |
| JP3103264B2 (ja) | 超音波流量計 | |
| JP3469405B2 (ja) | 温度計測装置 | |
| JP2011038870A (ja) | 超音波流量計およびこれを用いた流速測定方法 | |
| JPH11351929A (ja) | 流量計および流量計測方法 | |
| JP2004245586A (ja) | 超音波流量計および超音波による流量計測方法 | |
| JPH063384B2 (ja) | 超音波流量計 | |
| JP2001183200A (ja) | 流量計及び流量測定方法 | |
| JPH0612278B2 (ja) | 二相流超音波式流量測定方法及び測定装置 | |
| KR20100007215A (ko) | 초음파 유량계의 초음파 트랜스듀서 제어방법과, 이러한방법이 적용된 초음파 유량계 | |
| RU9955U1 (ru) | Вихреакустический преобразователь расхода | |
| JP4212374B2 (ja) | 超音波流量計 | |
| JP2005300244A (ja) | 超音波流量計 | |
| JPS6040916A (ja) | 超音波流速・流量計の温度変化誤差の補正法 | |
| JP4827008B2 (ja) | 超音波流量計、超音波トランスジューサ、超音波送受信ユニットおよび超音波流量計を用いた流量測定方法 | |
| JPH088417Y2 (ja) | 超音波流量計校正装置 | |
| JP3465100B2 (ja) | 渦流量計 | |
| JPH0791996A (ja) | 超音波流量計 | |
| JPH01134213A (ja) | 流量計 | |
| JP2020180811A (ja) | 超音波流量計 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010130 |