JPH06342049A - ユニット型磁気センサ用プローブ - Google Patents
ユニット型磁気センサ用プローブInfo
- Publication number
- JPH06342049A JPH06342049A JP3223080A JP22308091A JPH06342049A JP H06342049 A JPH06342049 A JP H06342049A JP 3223080 A JP3223080 A JP 3223080A JP 22308091 A JP22308091 A JP 22308091A JP H06342049 A JPH06342049 A JP H06342049A
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- JP
- Japan
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- magnetic sensor
- detection coil
- probe
- outer diameter
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- Measurement And Recording Of Electrical Phenomena And Electrical Characteristics Of The Living Body (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 多チャンネルＳＱＵＩＤ磁束計において、素
子交換などのために容易に一本のプローブのみを取り出
し、トラブルに対処することを可能とする。 【構成】 支持部２０の外径を検出コイル部１の外径以
上とし、且つ支持棒２０の外径を磁気センサ部１０の直
径以上とする。
子交換などのために容易に一本のプローブのみを取り出
し、トラブルに対処することを可能とする。 【構成】 支持部２０の外径を検出コイル部１の外径以
上とし、且つ支持棒２０の外径を磁気センサ部１０の直
径以上とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は高感度磁気センサに応
用する直流駆動型超伝導量子干渉素子（ＤＣＳｕｐｅｒ
ｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ Ｑｕａｎｔｕｍ Ｉｎｔｅｒｆ
ｅｒｅｎｃｅ Ｄｅｖｉｃｅ：ＤＣ ＳＱＵＩＤと略
す）を使用したユニット型磁気センサ用プローブの構造
に関する。
用する直流駆動型超伝導量子干渉素子（ＤＣＳｕｐｅｒ
ｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ Ｑｕａｎｔｕｍ Ｉｎｔｅｒｆ
ｅｒｅｎｃｅ Ｄｅｖｉｃｅ：ＤＣ ＳＱＵＩＤと略
す）を使用したユニット型磁気センサ用プローブの構造
に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＤＣ ＳＱＵＩＤは従来から微小磁場の
検出に応用されている。ＳＱＵＩＤ磁束計では、磁気セ
ンサ部、および検出コイルなどをプローブに設置して液
体ヘリウムなどの冷媒中に保持する。図４は従来のＳＱ
ＵＩＤ磁束計におけるプローブの構成を表した図であ
る。１は検出コイル部、１０は磁気センサ部、２０は支
持部で、プローブの先端から順に検出コイル部１、磁気
センサ部１０、支持部２０が同軸上に配置され、支持部
２０の外径は検出コイル部１、磁気センサ部２０の外径
よりも小さい構造を示している。磁気センサ部はＤＣ
ＳＱＵＩＤ、入力コイル、トランスで構成され、磁気遮
蔽管の中に配置される。通常、支持部２０をＯリング軸
シール３１などを介してフランジ３０に設置し、フラン
ジをデュワーやクライオスタットなどの冷媒容器に設置
して用いる。
検出に応用されている。ＳＱＵＩＤ磁束計では、磁気セ
ンサ部、および検出コイルなどをプローブに設置して液
体ヘリウムなどの冷媒中に保持する。図４は従来のＳＱ
ＵＩＤ磁束計におけるプローブの構成を表した図であ
る。１は検出コイル部、１０は磁気センサ部、２０は支
持部で、プローブの先端から順に検出コイル部１、磁気
センサ部１０、支持部２０が同軸上に配置され、支持部
２０の外径は検出コイル部１、磁気センサ部２０の外径
よりも小さい構造を示している。磁気センサ部はＤＣ
ＳＱＵＩＤ、入力コイル、トランスで構成され、磁気遮
蔽管の中に配置される。通常、支持部２０をＯリング軸
シール３１などを介してフランジ３０に設置し、フラン
ジをデュワーやクライオスタットなどの冷媒容器に設置
して用いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ＳＱＵＩＤ磁束計を使
用する場合、ＤＣ ＳＱＵＩＤの特性劣化によるＤＣＳ
ＱＵＩＤの交換の必要、信号増幅倍率の変更やインピー
ダンス整合のためのトランスの交換や着脱の必要、測定
対象や測定環境に応じた検出コイル交換の必要などが生
じる。それらの要素の交換、着脱のためには、プローブ
を一度冷媒中より引き上げ、冷媒容器より取り外さなけ
ればならない。上記従来のプローブでは、支持部２０を
フランジ３０に固定するためのＯリング軸シール３１の
内径やフランジ３０の穴径などによる制約から、プロー
ブを冷媒中より引き上げるためにはフランジ３０ごと冷
媒容器より取り外さなければならない。ＳＱＵＩＤ磁束
計を用いて磁場を測定し、解析する場合、多くの磁場源
情報が必要となる。同時多点測定のために複数のプロー
ブを近接して配置した多チャンネルＳＱＵＩＤ磁束計が
用いられているが、従来のプローブを用いて多チャンネ
ル配置した場合、１本のプローブの要素、部品の交換、
着脱のためにもフランジごと全部のプローブを取り外さ
なければならない。その作業自体手間のかかることであ
り、さらに熱サイクルのために、故障していないＤＣ
ＳＱＵＩＤや他の部品が故障する問題、再度複数のプロ
ーブを液体Ｈｅ等に浸漬する際の液体Ｈｅの蒸発量が多
い問題があった。
用する場合、ＤＣ ＳＱＵＩＤの特性劣化によるＤＣＳ
ＱＵＩＤの交換の必要、信号増幅倍率の変更やインピー
ダンス整合のためのトランスの交換や着脱の必要、測定
対象や測定環境に応じた検出コイル交換の必要などが生
じる。それらの要素の交換、着脱のためには、プローブ
を一度冷媒中より引き上げ、冷媒容器より取り外さなけ
ればならない。上記従来のプローブでは、支持部２０を
フランジ３０に固定するためのＯリング軸シール３１の
内径やフランジ３０の穴径などによる制約から、プロー
ブを冷媒中より引き上げるためにはフランジ３０ごと冷
媒容器より取り外さなければならない。ＳＱＵＩＤ磁束
計を用いて磁場を測定し、解析する場合、多くの磁場源
情報が必要となる。同時多点測定のために複数のプロー
ブを近接して配置した多チャンネルＳＱＵＩＤ磁束計が
用いられているが、従来のプローブを用いて多チャンネ
ル配置した場合、１本のプローブの要素、部品の交換、
着脱のためにもフランジごと全部のプローブを取り外さ
なければならない。その作業自体手間のかかることであ
り、さらに熱サイクルのために、故障していないＤＣ
ＳＱＵＩＤや他の部品が故障する問題、再度複数のプロ
ーブを液体Ｈｅ等に浸漬する際の液体Ｈｅの蒸発量が多
い問題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するため、略円筒状の検出コイル部と、検出コイル
部の同軸延長上に接続された略円筒状の磁気センサ部
と、磁気センサ部の同軸延長上に接続された略円筒状の
支持部とを備えたユニット型磁気センサ用プローブにお
いて、支持部の外径を検出コイル部の外径および磁気セ
ンサ部の外径より大きな外径としたものである。
解決するため、略円筒状の検出コイル部と、検出コイル
部の同軸延長上に接続された略円筒状の磁気センサ部
と、磁気センサ部の同軸延長上に接続された略円筒状の
支持部とを備えたユニット型磁気センサ用プローブにお
いて、支持部の外径を検出コイル部の外径および磁気セ
ンサ部の外径より大きな外径としたものである。
【０００５】
【作用】上記のようなユニット型磁気センサ用プローブ
の構造によれば、支持部をフランジに固定するためのＯ
リング軸シールの内径やフランジの穴径で制限されるこ
となく、容易に一本のプローブをフランジから着脱でき
る。
の構造によれば、支持部をフランジに固定するためのＯ
リング軸シールの内径やフランジの穴径で制限されるこ
となく、容易に一本のプローブをフランジから着脱でき
る。
【０００６】
【実施例】以下に本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は本発明の第１実施例を示すユニット
型磁気センサ用プローブの構造を示した図である。１の
部分は検出コイル部を表し、２は検出コイル線、３はボ
ビンで、２次微分型の検出コイルを表している。ボビン
３には検出コイル線２を配置するための溝が配置されて
いる。溝の深さは検出コイル線２の直径より大きく、検
出コイル１を構成した場合、検出コイル線２はボビン３
の表面には突出しない。検出コイル線２の材料として
は、例えばニオブ−チタン合金（Ｎｂ−Ｔｉ）線が用い
られるが、他の超伝導線材でも良い。ボビン３の材料と
しては、例えばＦＲＰ管材、ＦＲＰ棒材、ベーク管材な
どが用いられるが、他の非磁性材料でも良い。検出コイ
ル部１は２次微分型検出コイルであるが、マグネットメ
ータ型検出コイル、１次微分型検出コイル、検出コイル
一体型のマグネットメータなども用いることができる。
て説明する。図１は本発明の第１実施例を示すユニット
型磁気センサ用プローブの構造を示した図である。１の
部分は検出コイル部を表し、２は検出コイル線、３はボ
ビンで、２次微分型の検出コイルを表している。ボビン
３には検出コイル線２を配置するための溝が配置されて
いる。溝の深さは検出コイル線２の直径より大きく、検
出コイル１を構成した場合、検出コイル線２はボビン３
の表面には突出しない。検出コイル線２の材料として
は、例えばニオブ−チタン合金（Ｎｂ−Ｔｉ）線が用い
られるが、他の超伝導線材でも良い。ボビン３の材料と
しては、例えばＦＲＰ管材、ＦＲＰ棒材、ベーク管材な
どが用いられるが、他の非磁性材料でも良い。検出コイ
ル部１は２次微分型検出コイルであるが、マグネットメ
ータ型検出コイル、１次微分型検出コイル、検出コイル
一体型のマグネットメータなども用いることができる。
【０００７】１０の部分は磁気センサ部を表し、１１は
入力コイル一体型の薄膜ＤＣ ＳＱＵＩＤ、１２はトラ
ンス、１３はダンピング抵抗、１４は磁気遮蔽管、１５
は素子ホルダで、ＤＣ ＳＱＵＩＤ１１、トランス１
２、ダンピング抵抗１３が素子ホルダ１５に設置され、
磁気遮蔽管１４内に配置された構造を表している。トラ
ンス１２はＤＣ ＳＱＵＩＤ１１からの信号の増幅と、
外部電子回路とのインピーダンス整合を行い、その線材
料としてはＮｂ−Ｔｉ線などの超伝導線または銅（Ｃ
ｕ）線などの良導体線が用いられる。ダンピング抵抗１
３は高周波雑音をダンピングし磁場感度を向上させる。
素子ホルダ１５の材料としては、例えばＦＲＰ材、ベー
ク材、黄銅などが用いられるが、他の非磁性材料でも良
い。磁気遮蔽管１４の材料としては例えばＮｂ、鉛（Ｐ
ｂ）などが用いられるが、他の超伝導材料でも良い。
入力コイル一体型の薄膜ＤＣ ＳＱＵＩＤ、１２はトラ
ンス、１３はダンピング抵抗、１４は磁気遮蔽管、１５
は素子ホルダで、ＤＣ ＳＱＵＩＤ１１、トランス１
２、ダンピング抵抗１３が素子ホルダ１５に設置され、
磁気遮蔽管１４内に配置された構造を表している。トラ
ンス１２はＤＣ ＳＱＵＩＤ１１からの信号の増幅と、
外部電子回路とのインピーダンス整合を行い、その線材
料としてはＮｂ−Ｔｉ線などの超伝導線または銅（Ｃ
ｕ）線などの良導体線が用いられる。ダンピング抵抗１
３は高周波雑音をダンピングし磁場感度を向上させる。
素子ホルダ１５の材料としては、例えばＦＲＰ材、ベー
ク材、黄銅などが用いられるが、他の非磁性材料でも良
い。磁気遮蔽管１４の材料としては例えばＮｂ、鉛（Ｐ
ｂ）などが用いられるが、他の超伝導材料でも良い。
【０００８】２０は支持部で、その材料としてはＦＲ
Ｐ、ベーク、ステンレスなどが用いられる。支持部２０
をＯリング軸シール３１などを介してフランジ３０に設
置し、フランジをデュワーやクライオスタットなどの冷
媒容器に設置して用いる。図１に示したユニット型磁気
センサ用プローブは、検出コイル部１、磁気センサ部１
０および支持部２０が同一外径である。従って、支持部
２０を固定しているＯリング軸シール３１やフランジの
穴などは検出コイル部１、磁気センサ部１０も容易に通
すことができ、支持部をフランジに固定するためのＯリ
ング軸シール径やフランジの穴径で制限されることな
く、容易に一本のプローブをフランジから着脱でき、ま
た検出コイルがプローブ着脱時にずれたり、破損したり
しない。このことは複数のプローブをフランジに設置す
る多チャンネルＳＱＵＩＤ磁束計の場合、一本のプロー
ブだけを容易に着脱することができるため、その作業は
容易であり、さらに熱サイクルのために、故障していな
いＤＣ ＳＱＵＩＤや他の部品が故障する問題がなく、
プローブ一本の着脱で済むので液体Ｈｅに浸漬する際の
液体Ｈｅの蒸発量を少なくすることが可能である。
Ｐ、ベーク、ステンレスなどが用いられる。支持部２０
をＯリング軸シール３１などを介してフランジ３０に設
置し、フランジをデュワーやクライオスタットなどの冷
媒容器に設置して用いる。図１に示したユニット型磁気
センサ用プローブは、検出コイル部１、磁気センサ部１
０および支持部２０が同一外径である。従って、支持部
２０を固定しているＯリング軸シール３１やフランジの
穴などは検出コイル部１、磁気センサ部１０も容易に通
すことができ、支持部をフランジに固定するためのＯリ
ング軸シール径やフランジの穴径で制限されることな
く、容易に一本のプローブをフランジから着脱でき、ま
た検出コイルがプローブ着脱時にずれたり、破損したり
しない。このことは複数のプローブをフランジに設置す
る多チャンネルＳＱＵＩＤ磁束計の場合、一本のプロー
ブだけを容易に着脱することができるため、その作業は
容易であり、さらに熱サイクルのために、故障していな
いＤＣ ＳＱＵＩＤや他の部品が故障する問題がなく、
プローブ一本の着脱で済むので液体Ｈｅに浸漬する際の
液体Ｈｅの蒸発量を少なくすることが可能である。
【０００９】図２は本発明の第２実施例を示すユニット
型磁気センサ用プローブの構成を示した図である。支持
部２０の外径は、検出コイル部１の外径より大きく、且
つ磁気センサ部１０の外径よりも大きい構成を表してい
る。図１に示した実施例とは検出コイル部１、磁気セン
サ部１０、支持部２０の外径に関して大きさの相対関係
が異なるが、細部の構成は図１に示した実施例と変わる
ところはない。上記のようなユニット型磁気センサ用プ
ローブの構成による作用及び効果は前の実施例と変わる
ところはない。
型磁気センサ用プローブの構成を示した図である。支持
部２０の外径は、検出コイル部１の外径より大きく、且
つ磁気センサ部１０の外径よりも大きい構成を表してい
る。図１に示した実施例とは検出コイル部１、磁気セン
サ部１０、支持部２０の外径に関して大きさの相対関係
が異なるが、細部の構成は図１に示した実施例と変わる
ところはない。上記のようなユニット型磁気センサ用プ
ローブの構成による作用及び効果は前の実施例と変わる
ところはない。
【００１０】図３は本発明の第３実施例を示すユニット
型磁気センサ用プローブの構成を示した図である。支持
部２０の一部の外径は、検出コイル部１または磁気セン
サ部１０の外径よりも小さい構成を表している。ただ
し、支持部２０のフランジへの取り付け部分の外径は、
検出コイル部１の外径より大きく、且つ磁気センサ部１
０の外径よりも大きい構造とした。図１に示した実施例
とは検出コイル部１、磁気センサ部１０、支持部２０の
外径に関して大きさの相対関係が異なるが、細部の構成
は図１に示した実施例と変わるところはない。上記のよ
うなユニット型磁気センサ用プローブの構成による作用
及び効果は前の実施例と変わるところはない。
型磁気センサ用プローブの構成を示した図である。支持
部２０の一部の外径は、検出コイル部１または磁気セン
サ部１０の外径よりも小さい構成を表している。ただ
し、支持部２０のフランジへの取り付け部分の外径は、
検出コイル部１の外径より大きく、且つ磁気センサ部１
０の外径よりも大きい構造とした。図１に示した実施例
とは検出コイル部１、磁気センサ部１０、支持部２０の
外径に関して大きさの相対関係が異なるが、細部の構成
は図１に示した実施例と変わるところはない。上記のよ
うなユニット型磁気センサ用プローブの構成による作用
及び効果は前の実施例と変わるところはない。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、略
円筒状の検出コイル部と、検出コイル部の同軸延長上に
接続された略円筒状の磁気センサ部と、磁気センサ部の
同軸延長上に接続された略円筒状の支持部とを備えたユ
ニット型磁気センサ用プローブにおいて、支持部の外径
を検出コイル部の外径以上の大きさとし、且つ支持部の
外径を磁気センサ部の外径以上の大きさとすることによ
りフランジへのプローブの着脱を容易にすることができ
る。このことは複数のプローブをフランジに設置する多
チャンネルＳＱＵＩＤ磁束計の場合、一本のプローブだ
けを容易に着脱することができるため、その作業は容易
であり、さらに熱サイクルのために、故障していないＤ
Ｃ ＳＱＵＩＤや他の部品が故障する問題がなく、プロ
ーブ一本の着脱で済むので液体Ｈｅに浸漬する際の液体
Ｈｅの蒸発量を少なくすることが可能である。
円筒状の検出コイル部と、検出コイル部の同軸延長上に
接続された略円筒状の磁気センサ部と、磁気センサ部の
同軸延長上に接続された略円筒状の支持部とを備えたユ
ニット型磁気センサ用プローブにおいて、支持部の外径
を検出コイル部の外径以上の大きさとし、且つ支持部の
外径を磁気センサ部の外径以上の大きさとすることによ
りフランジへのプローブの着脱を容易にすることができ
る。このことは複数のプローブをフランジに設置する多
チャンネルＳＱＵＩＤ磁束計の場合、一本のプローブだ
けを容易に着脱することができるため、その作業は容易
であり、さらに熱サイクルのために、故障していないＤ
Ｃ ＳＱＵＩＤや他の部品が故障する問題がなく、プロ
ーブ一本の着脱で済むので液体Ｈｅに浸漬する際の液体
Ｈｅの蒸発量を少なくすることが可能である。
【図１】本発明の第１実施例を示すユニット型磁気セン
サ用プローブの構造を示した図である。
サ用プローブの構造を示した図である。
【図２】本発明の第２実施例を示すユニット型磁気セン
サ用プローブの構成を示した図である。
サ用プローブの構成を示した図である。
【図３】本発明の第３実施例を示すユニット型磁気セン
サ用プローブの構成を示した図である。
サ用プローブの構成を示した図である。
【図４】従来の磁気センサ用プローブの構成を示した図
である。
である。
１ 検出コイル部 ２ 検出コイル線 ３ ボビン １０ 磁気センサ部 １１ ＤＣ ＳＱＵＩＤ １２ トランス １３ ダンピング抵抗 １４ 磁気遮蔽管 １５ 素子ホルダ ２０ 支持部 ３０ フランジ ３１ Ｏリング軸シール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 茅根 一夫 東京都江東区亀戸６丁目31番１号 セイコ ー電子工業株式会社内 (72)発明者 千葉 徳男 東京都江東区亀戸６丁目31番１号 セイコ ー電子工業株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 略円筒状の検出コイル部と、前記検出コ
イル部の同軸延長上に接続された略円筒状の磁気センサ
部と、前記磁気センサ部の同軸延長上に接続され、前記
検出コイル部の外径および前記磁気センサ部の外径より
大きな外径を有する略円筒状の支持部とを備えたことを
特徴とするユニット型磁気センサ用プローブ。 - 【請求項２】 前記磁気センサ部は、磁気センサを構成
する直流駆動型超伝導量子干渉素子と入力コイルとダン
ピング抵抗とトランスとを内蔵した磁気遮蔽管からなる
請求項１記載のユニット型磁気センサ用プローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3223080A JPH087257B2 (ja) | 1991-09-03 | 1991-09-03 | 多チャンネルｓｑｕｉｄ磁束計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3223080A JPH087257B2 (ja) | 1991-09-03 | 1991-09-03 | 多チャンネルｓｑｕｉｄ磁束計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06342049A true JPH06342049A (ja) | 1994-12-13 |
| JPH087257B2 JPH087257B2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=16792529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3223080A Expired - Lifetime JPH087257B2 (ja) | 1991-09-03 | 1991-09-03 | 多チャンネルｓｑｕｉｄ磁束計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH087257B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013512713A (ja) * | 2009-12-04 | 2013-04-18 | エンドマグネティクス リミテッド | 磁気プローブ装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60179980U (ja) * | 1984-05-09 | 1985-11-29 | 株式会社島津製作所 | スキツド磁力計のプロ−ブ |
| JPS6321880U (ja) * | 1986-07-26 | 1988-02-13 |
-
1991
- 1991-09-03 JP JP3223080A patent/JPH087257B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60179980U (ja) * | 1984-05-09 | 1985-11-29 | 株式会社島津製作所 | スキツド磁力計のプロ−ブ |
| JPS6321880U (ja) * | 1986-07-26 | 1988-02-13 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013512713A (ja) * | 2009-12-04 | 2013-04-18 | エンドマグネティクス リミテッド | 磁気プローブ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH087257B2 (ja) | 1996-01-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |