JPH06343143A - Driving method of solid-state image pickup element - Google Patents

Driving method of solid-state image pickup element

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JPH06343143A
JPH06343143A JP5130749A JP13074993A JPH06343143A JP H06343143 A JPH06343143 A JP H06343143A JP 5130749 A JP5130749 A JP 5130749A JP 13074993 A JP13074993 A JP 13074993A JP H06343143 A JPH06343143 A JP H06343143A
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transfer
image pickup
vertical transfer
potential
transfer register
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Mamoru Yasaka
守 家坂
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  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 FIT型CCD固体撮像素子の駆動方法にお
いて、消費電力の低減化を図る。 【構成】 入射光を信号電荷に変換し且つ信号電荷の転
送を行う撮像部と、撮像部からの信号電荷を一時的に蓄
積し且つ転送を行う蓄積部とを有するFIT型CCD固
体撮像素子の駆動方法において、撮像部で発生する余剰
電荷の掃き出し転送期間T3 に、蓄積部の垂直転送レジ
スタに印加する転送クロックパルスを停止し垂直転送レ
ジスタ内のポテンシャルを撮像部の垂直転送レジスタの
低レベルのポテンシャルより深い一定レベルのポテンシ
ャルに固定して余剰電荷の掃き出し転送を行うようにな
す。
(57) [Abstract] [Purpose] To reduce power consumption in a method for driving a FIT CCD solid-state imaging device. A FIT-type CCD solid-state image sensor having an image pickup section for converting incident light into signal charge and transferring the signal charge, and an accumulation section for temporarily storing and transferring the signal charge from the image pickup section. In the driving method, during the sweep-out transfer period T 3 of the excess charges generated in the image pickup unit, the transfer clock pulse applied to the vertical transfer register of the storage unit is stopped and the potential in the vertical transfer register is set to the low level of the vertical transfer register of the image pickup unit. The excess charge is swept out and transferred by fixing it to a potential of a constant level deeper than the potential of.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像素子の駆動方
法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for driving a solid-state image pickup device.

【0002】[0002]

【従来の技術】CCD固体撮像素子として、FIT(フ
レームインターライントランスファ)型のCCD固体撮
像素子が知られている。図8は代表的なFIT型CCD
固体撮像素子1の全体構成図、図9はこのCCD固体撮
像素子を駆動するためのクロックパルス及び垂直ブラン
キングパルスφV−BLKを示す。ここで、クロックパ
ルスは撮像部4と蓄積部6の垂直転送レジスタ3,5を
駆動するための垂直転送クロックパルスφIM1 ,φS
1 のみについて示す。他の垂直転送クロックパルスφ
IM2 ,φIM3 ,φIM4 ,φST2 ,φST3 ,φ
ST4 は、φIM 1 ,φST1 とほぼ同様であるので省
略する。
2. Description of the Related Art As a CCD solid-state image sensor, a FIT (frame
Lame interline transfer) CCD solid-state imaging
Image elements are known. Figure 8 shows a typical FIT CCD
FIG. 9 is a block diagram of the solid-state image pickup device 1, showing the CCD solid-state image pickup.
Clock pulse and vertical blank for driving the image element
King pulse φV-BLK is shown. Where clock clock
Rus uses the vertical transfer registers 3 and 5 of the image pickup unit 4 and the storage unit 6.
Vertical transfer clock pulse φIM for driving1, ΦS
T1Only about. Other vertical transfer clock pulse φ
IM2, ΦIM3, ΦIMFour, ΦST2, ΦST3, Φ
STFourIs φIM 1, ΦST1It is almost the same as
I will omit

【0003】FIT型CCD固体撮像素子1は、図8に
示すように、画素となる多数の受光部2が2次元状に配
列され、各受光部列の一側にCCD構造の垂直転送レジ
スタ3が設けられてなる撮像部4と、この撮像部4の垂
直転送レジスタ3に対応するように複数のCCD構造の
垂直転送レジスタ5からなる蓄積部6と、CCD構造の
水平転送レジスタ7と、水平転送レジスタ7の蓄積部6
とは反対側にゲート部10を介して設けられた余剰電荷
掃き出し用のドレイン領域8と、水平転送レジスタ7の
終段に接続された信号電荷検出部9とを有して成る。
As shown in FIG. 8, a FIT type CCD solid-state image sensor 1 has a large number of light receiving portions 2 which are pixels arranged two-dimensionally, and a vertical transfer register 3 having a CCD structure on one side of each light receiving portion row. Is provided, a storage unit 6 including a plurality of vertical transfer registers 5 having a CCD structure corresponding to the vertical transfer register 3 of the imaging unit 4, a horizontal transfer register 7 having a CCD structure, and a horizontal transfer register 7. Storage unit 6 of transfer register 7
A drain region 8 for sweeping out excess charge, which is provided on the opposite side to the gate part 10, and a signal charge detection part 9 connected to the final stage of the horizontal transfer register 7.

【0004】撮像部4の垂直転送レジスタ3は4相の垂
直転送クロックパルスφIM1 ,φIM2 ,φIM3
φIM4 で駆動され、蓄積部6の垂直転送レジスタ5は
4相の垂直転送クロックパルスφST1 ,φST2 ,φ
ST3 ,φST4 で駆動され、水平転送レジスタ7は2
相の水平転送クロックパルスφH1 ,φH2 で駆動され
る。また、ゲート部10にはクロックパルスφD が、ド
レイン領域8には直流電圧VD が夫々印加される。
The vertical transfer register 3 of the image pickup unit 4 has four-phase vertical transfer clock pulses φIM 1 , φIM 2 , φIM 3 ,
The vertical transfer register 5 of the storage unit 6 driven by φIM 4 has four-phase vertical transfer clock pulses φST 1 , φST 2 , φ
Driven by ST 3 and φST 4 , the horizontal transfer register 7 is set to 2
It is driven by phase horizontal transfer clock pulses φH 1 and φH 2 . A clock pulse φ D is applied to the gate portion 10, and a DC voltage V D is applied to the drain region 8.

【0005】このFIT型CCD固体撮像素子1の読み
出し動作は次のようにして行われる。先ず、垂直ブラン
キング期間11において読み出しパルス12により、各
受光部2において光電変換された信号電荷が受光部2か
ら垂直転送レジスタ3に読み出される。次に、信号電荷
はフレームシフト転送パルス13により撮像部4の垂直
転送レジスタ3から蓄積部6の垂直転送レジスタ5へ転
送される。さらに、ラインシフト転送パルス14によ
り、1水平ライン毎の信号電荷が垂直転送レジスタ5か
ら水平転送レジスタ7へ転送され、その後信号電荷は2
相転送クロックパルスφH1 ,φH2 により水平転送レ
ジスタ内を転送して信号電荷検出部9から出力される。
The reading operation of the FIT type CCD solid-state image pickup device 1 is performed as follows. First, in the vertical blanking period 11, the read pulse 12 causes the signal charges photoelectrically converted in each light receiving unit 2 to be read from the light receiving unit 2 to the vertical transfer register 3. Next, the signal charge is transferred from the vertical transfer register 3 of the image pickup section 4 to the vertical transfer register 5 of the storage section 6 by the frame shift transfer pulse 13. Further, the line shift transfer pulse 14 transfers the signal charge for each horizontal line from the vertical transfer register 5 to the horizontal transfer register 7, and thereafter the signal charge is 2
It is transferred in the horizontal transfer register by the phase transfer clock pulses φH 1 and φH 2 and output from the signal charge detection unit 9.

【0006】その後、余剰電荷掃き出し転送パルス15
により、撮像部4の垂直転送レジスタ3内に残留する余
剰電荷を蓄積部6に掃き出す。この余剰電荷は蓄積部6
よりゲート部10を通してドレイン領域8に掃き出され
る。そして、再度、読み出しパルス12により受光部2
から信号電荷の読み出しが行われる。以後、これが繰り
返されてFIT型CCD固体撮像素子1の読み出し動作
が行われる。
After that, the excess charge sweep-out transfer pulse 15
Thus, the excess charge remaining in the vertical transfer register 3 of the image pickup unit 4 is swept out to the storage unit 6. This excess charge is stored in the storage unit 6.
It is swept out to the drain region 8 through the gate portion 10. Then, the light receiving unit 2 is again driven by the read pulse 12.
The signal charge is read out from. Thereafter, this is repeated to perform the read operation of the FIT type CCD solid-state imaging device 1.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】上述のFIT型CCD
固体撮像素子1においては、通常のIT(インターライ
ントランスファ)型CCD固体撮像素子の場合に比べ
て、フレームシフト転送及び余剰電荷掃き出し転送の動
作が余計に必要となる。このため、FIT型CCD固体
撮像素子1ではIT型CCD固体撮像素子に比べて、垂
直転送レジスタ3,5を駆動するための消費電力が3倍
程度大きくなる。それに加えて、FIT型CCD固体撮
像素子1では、IT型CCD固体撮像素子と比べて、一
般に、高画質を追及する大きな光学系(1インチあるい
は2/3インチ)のカメラで使用されることが多いた
め、FIT型CCD固体撮像素子1のチップ面積が大き
くなり、その結果、さらに消費電力が大きくなる傾向を
持つ。
DISCLOSURE OF THE INVENTION Problems to be Solved by the Invention
The solid-state image sensor 1 requires extra operations for frame shift transfer and excess charge sweep-out transfer, as compared with the case of a normal IT (interline transfer) CCD solid-state image sensor. Therefore, the power consumption for driving the vertical transfer registers 3 and 5 in the FIT type CCD solid-state imaging device 1 is about three times as large as that in the IT type CCD solid-state imaging device. In addition, the FIT CCD solid-state image sensor 1 is generally used in a camera with a large optical system (1 inch or 2/3 inch) in pursuit of high image quality as compared with the IT CCD solid-state image sensor. Since the number is large, the chip area of the FIT type CCD solid-state image pickup device 1 becomes large, and as a result, the power consumption tends to be further increased.

【0008】また、消費電力増大の問題は、単にそれの
みにとどまらず、消費電力増大によるCCD固体撮像素
子の温度上昇を抑える必要が発生するために、CCD固
体撮像素子まわりのカメラ部分を小さくできないという
問題も発生させる。
Further, the problem of increased power consumption is not limited to just that, and since it is necessary to suppress the temperature rise of the CCD solid-state image sensor due to the increased power consumption, the camera portion around the CCD solid-state image sensor cannot be made small. Also causes the problem.

【0009】これらの問題は、例えばHDTV(Hig
h Definition Television)用
などの大型カメラをENG(Electric New
sGathering)用途に適したものにする際、特
に顕著となる。
These problems are caused by, for example, HDTV (High
ENG (Electric New) for large-scale cameras such as for h Definition Television
It becomes particularly remarkable when it is suitable for sGathering) applications.

【0010】本発明は、上述の点に鑑み、消費電力を低
減することができるFIT型の固体撮像素子の駆動方法
を提供するものである。
In view of the above points, the present invention provides a method for driving a FIT type solid-state image pickup device capable of reducing power consumption.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、入射光を信号
電荷に変換し且つこの信号電荷の転送を行う撮像部24
と、撮像部24からの信号電荷を一時的に蓄積し且つ転
送を行う蓄積部26とを有する固体撮像素子の駆動方法
において、撮像部24で発生する余剰電荷の掃き出し転
送期間T3 に、蓄積部26の垂直転送レジスタ25に印
加する転送クロックパルスφST1 〜φST4 を停止
し、垂直転送レジスタ25内のポテンシャルを、撮像部
24の垂直転送レジスタ23の低レベルのポテンシャル
より深いポテンシャルに固定して余剰電荷の掃き出し転
送を行うようになす。
According to the present invention, an image pickup section 24 for converting incident light into signal charges and transferring the signal charges.
In the method for driving a solid-state image sensor having a storage unit 26 that temporarily stores and transfers the signal charge from the image capturing unit 24, in the sweep-out transfer period T 3 of the excess charge generated in the image capturing unit 24, the charge is accumulated. The transfer clock pulses φST 1 to φST 4 applied to the vertical transfer register 25 of the unit 26 are stopped, and the potential in the vertical transfer register 25 is fixed to a potential deeper than the low level potential of the vertical transfer register 23 of the imaging unit 24. The excess charges are swept out and transferred.

【0012】そして、この場合、蓄積部26の垂直転送
レジスタ25内のポテンシャルを一定にして即ち、一定
に揃えるようにして余剰電荷の掃き出し転送を行うのが
良い。
In this case, it is preferable that the potential in the vertical transfer register 25 of the accumulating unit 26 is made constant, that is, the potential is made uniform so that the excess charges are swept out and transferred.

【0013】[0013]

【作用】本発明においては、撮像部24で発生する余剰
電荷の掃き出し転送期間T3 において、蓄積部26の垂
直転送レジスタ25に印加する転送クロックパルスφS
1 〜φST4 を停止し、従って電圧を固定し、垂直転
送レジスタ25内のポテンシャルを撮像部24の垂直転
送レジスタ23の低レベルのポテンシャルより深いポテ
ンシャルに固定して余剰電荷の掃き出し転送を行うの
で、低消費電力化が図れる。
According to the present invention, the transfer clock pulse φS applied to the vertical transfer register 25 of the accumulating section 26 in the sweep-out transfer period T 3 of the surplus charge generated in the imaging section 24.
T 1 to φST 4 are stopped, therefore the voltage is fixed, the potential in the vertical transfer register 25 is fixed to a deeper potential than the low level potential of the vertical transfer register 23 of the imaging unit 24, and the excess charge is swept out and transferred. Therefore, low power consumption can be achieved.

【0014】即ち、撮像部24の垂直転送レジスタ23
では余剰電荷掃き出し転送のための転送クロックパルス
φIM1 〜φIM4 が印加され、余剰電荷が蓄積部26
の垂直転送レジスタ25に掃き出される。蓄積部26の
垂直転送レジスタ25では一定電位に固定されるので、
この蓄積部26に掃き出された余剰電荷は垂れ流し的に
(自己誘起ドリフトと熱拡散モードに基づくとも考えら
れる)ドレイン領域28に掃き出し転送される。従っ
て、蓄積部26での余剰電荷掃き出し転送するための消
費電力がほぼ0となり、垂直転送レジスタ23,25全
体を駆動するための消費電力が低減する。
That is, the vertical transfer register 23 of the image pickup unit 24.
Then, transfer clock pulses φIM 1 to φIM 4 for sweeping out excess charges are applied, and excess charges are accumulated in the storage unit 26.
Of the vertical transfer register 25. Since the vertical transfer register 25 of the storage unit 26 is fixed at a constant potential,
The surplus charges swept out in the storage section 26 are swept out and transferred to the drain region 28 (which is also considered to be based on the self-induced drift and the thermal diffusion mode). Therefore, the power consumption for sweeping out and transferring the excess charges in the storage unit 26 becomes almost 0, and the power consumption for driving the entire vertical transfer registers 23 and 25 is reduced.

【0015】また、このとき蓄積部26の垂直転送レジ
スタ25内のポテンシャルを一定となるように固定する
ことにより、蓄積部26内の余剰電荷の垂れ流し的転送
がよりスムーズに行われる。
Further, at this time, by fixing the potential in the vertical transfer register 25 of the storage unit 26 so as to be constant, the excess charge in the storage unit 26 can be transferred more smoothly.

【0016】[0016]

【実施例】以下、図面を参照して本発明によるFIT型
のCCD固体撮像素子の駆動方法の実施例を説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a method for driving a FIT type CCD solid-state image pickup device according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0017】図1は本発明に適用される代表的なFIT
型CCD固体撮像素子の全体構成を示す。このFIT型
CCD固体撮像素子21は、前述の図8と同様に、画素
となる多数の受光部22が2次元状に配列され、各受光
部列の一側にCCD構造の垂直転送レジスタ23が設け
られてなる撮像部24と、この撮像部24の垂直転送レ
ジスタ3に対応する複数のCCD構造の垂直転送レジス
タ25からなる蓄積部26と、CCD構造の水平転送レ
ジスタ27と、水平転送レジスタ27の蓄積部26とは
反対側にゲート部30を介して設けられたドレイン領域
28と、水平転送レジスタ27の終段に接続された信号
電荷検出部29とを有して成る。
FIG. 1 shows a typical FIT applied to the present invention.
1 shows the overall configuration of a CCD solid-state image sensor. In this FIT type CCD solid-state image pickup device 21, as in the case of FIG. 8 described above, a large number of light receiving portions 22 to be pixels are arranged two-dimensionally, and a vertical transfer register 23 having a CCD structure is provided on one side of each light receiving portion row. An image pickup unit 24 provided, a storage unit 26 composed of a plurality of vertical transfer registers 25 having a CCD structure corresponding to the vertical transfer register 3 of the image pickup unit 24, a horizontal transfer register 27 having a CCD structure, and a horizontal transfer register 27. The drain region 28 is provided on the side opposite to the storage unit 26 via the gate unit 30, and the signal charge detection unit 29 connected to the final stage of the horizontal transfer register 27.

【0018】撮像部24における垂直転送レジスタ23
は、4相の垂直転送クロックパルスφIM1 ,φI
2 ,φIM3 ,φIM4 で駆動され、蓄積部26にお
ける垂直転送レジスタ25は4相の垂直転送クロックパ
ルスφST1 ,φST2 ,φST 3 ,φST4 で駆動さ
れ、水平転送レジスタ27は2相の水平転送クロックパ
ルスφH1 ,φH2 で駆動される。また、ゲート部30
にはクロックパルスφD が、ドレイン領域28には直流
電圧VD が夫々印加される。
Vertical transfer register 23 in image pickup unit 24
Is a 4-phase vertical transfer clock pulse φIM1, ΦI
M2, ΦIM3, ΦIMFourDriven by the
The vertical transfer register 25 is a 4-phase vertical transfer clock pulse.
Ruth φST1, ΦST2, ΦST 3, ΦSTFourDriven by
The horizontal transfer register 27 is a two-phase horizontal transfer clock pulse.
Ruth φH1, ΦH2Driven by. In addition, the gate unit 30
Clock pulse φDHowever, the drain region 28 has a direct current
Voltage VDAre applied respectively.

【0019】図2は、本発明の駆動方法の第1実施例に
おける前記垂直転送クロックパルスφIM1 ,φI
2 ,φIM3 ,φIM4 、φST1 ,φST2 ,φS
3 ,φST4 及び垂直ブランキングパルスφV−BL
Kのタイミングチャートを示す。
FIG. 2 shows the vertical transfer clock pulses φIM 1 and φI in the first embodiment of the driving method of the present invention.
M 2 , φIM 3 , φIM 4 , φST 1 , φST 2 , φS
T 3 , φST 4 and vertical blanking pulse φV-BL
The timing chart of K is shown.

【0020】図7に垂直転送レジスタ23,25におけ
る信号電荷転送時の転送クロックパルスφIM,φST
の波形を示す。
FIG. 7 shows transfer clock pulses φIM and φST at the time of signal charge transfer in the vertical transfer registers 23 and 25.
Shows the waveform of.

【0021】図3は図1のCCD固体撮像素子21のY
−Y線上の断面構造、図4はその断面での図2の駆動方
法を用いたときの電荷転送の様子を各タイミング毎に示
すポテンシャル図である。
FIG. 3 shows Y of the CCD solid-state image pickup device 21 of FIG.
FIG. 4 is a potential diagram showing the state of charge transfer at each timing when the driving method of FIG. 2 is used in the cross-sectional structure on the −Y line.

【0022】図3の断面構造においては、第1導電形例
えばN形のシリコン半導体基板41に第2導電形即ちP
形のウエル領域42が形成され、P形ウエル領域42に
N形の転送チャネル領域43が形成される。撮像部24
に対応する転送チャネル領域43上にゲート絶縁膜を介
して夫々転送クロックパルスφIM1 ,φIM2 ,φI
3 ,φIM4 が印加される複数の転送電極45が配列
形成されて垂直転送レジスタ23が構成される。また蓄
積部26に対応する転送チャネル領域43上にゲート絶
縁膜を介して夫々転送クロックパルスφST1 ,φST
2 ,φST3 ,φST4 が印加される複数の転送電極4
6が配列形成されて垂直転送レジスタ25が構成され
る。
In the cross-sectional structure of FIG. 3, the second conductivity type, that is, P, is formed on the silicon semiconductor substrate 41 of the first conductivity type, for example, N type.
Shaped well region 42 is formed, and N type transfer channel region 43 is formed in P type well region 42. Imaging unit 24
Transfer clock pulses φIM 1 , φIM 2 , and φI on the transfer channel region 43 corresponding to the respective gates via the gate insulating film.
A plurality of transfer electrodes 45 to which M 3 and φIM 4 are applied are arrayed to form the vertical transfer register 23. Further, transfer clock pulses φST 1 and φST are provided on the transfer channel region 43 corresponding to the storage section 26 via a gate insulating film, respectively.
2 , transfer electrodes 4 to which φST 3 and φST 4 are applied
A vertical transfer register 25 is formed by arranging 6 in an array.

【0023】水平転送レジスタ27はその対応する転送
チャネル領域43上にゲート絶縁膜を介して図4の紙面
と直交する方向に夫々転送クロックパルスφH1 ,φH
2 が印加される複数の転送電極47を配列形成して構成
される。
The horizontal transfer register 27 are each transfer clock pulses .phi.H 1 in a direction perpendicular to the corresponding transfer paper over the channel region 43 via the gate insulating film FIG 4, .phi.H
A plurality of transfer electrodes 47 to which 2 is applied are arranged and formed.

【0024】ドレイン領域28はN+ 拡散領域48によ
り形成され、ここに直流電圧VD が印加される。このN
+ 拡散領域48と水平転送レジスタ28間の領域43上
にゲート絶縁膜を介してクロックパルスφD が印加され
るゲート電極49が形成されてゲート部30が構成され
る。
The drain region 28 is formed by an N + diffusion region 48, to which a DC voltage V D is applied. This N
On the region 43 between the + diffusion region 48 and the horizontal transfer register 28, the gate electrode 49 to which the clock pulse φ D is applied is formed via the gate insulating film to form the gate unit 30.

【0025】次に、図2及び図4を参照して第1実施例
の読み出し動作を説明する。
Next, the read operation of the first embodiment will be described with reference to FIGS.

【0026】まず、垂直ブランキング期間50の時点t
1 において、読み出しパルス51により、各受光部22
で光電変換された信号電荷61が受光部22から垂直転
送レジスタ23に読み出される。信号電荷はクロックパ
ルスφIM1 ,φIM3 が印加される第1及び第3の転
送電極45下に転送される(図4A参照)。以後、図示
せざるもインターレースの奇数フィールド、偶数フィー
ルドに応じて夫々対応する2ラインの信号電荷61が混
合されて転送されることになる。
First, the time t of the vertical blanking period 50.
In 1 , the read pulse 51 causes each light receiving portion 22
The signal charge 61 photoelectrically converted by is read from the light receiving unit 22 to the vertical transfer register 23. The signal charges are transferred below the first and third transfer electrodes 45 to which the clock pulses φIM 1 and φIM 3 are applied (see FIG. 4A). After that, although not shown, the signal charges 61 of two lines corresponding to the odd field and the even field of the interlace are mixed and transferred.

【0027】次に、信号電荷61は、各垂直転送クロッ
クパルスφIM1 〜φIM4 ,φST1 〜φST4 にお
けるフレームシフト転送パルス52により、撮像部24
から蓄積部26の垂直転送レジスタ25に高速転送され
る。図4Bはフレームシフト転送期間T1 内の時点t2
における信号電荷の転送状態を示している。
Next, the signal charge 61 is converted into a signal charge 61 by the frame shift transfer pulse 52 in each of the vertical transfer clock pulses φIM 1 to φIM 4 and φST 1 to φST 4 .
Is transferred from the storage unit 26 to the vertical transfer register 25 at high speed. FIG. 4B shows a time point t 2 within the frame shift transfer period T 1 .
7 shows the transfer state of the signal charges in FIG.

【0028】さらに、各垂直転送クロックパルスφIM
1 〜φIM4 ,φST1 〜φST4におけるラインシフ
ト転送パルス53により信号電荷61は一水平ライン毎
に水平転送レジスタ27に転送された後、水平転送レジ
スタ27内を水平転送クロックパルスφH1 ,φH2
より転送され信号電荷検出部29で出力される。図4C
はラインシフト転送期間T2 内の時点t3 における信号
電荷の転送状態を示している。この期間T2 ではゲート
部30は高レベル電位となっている。
Further, each vertical transfer clock pulse φIM
The signal charges 61 are transferred to the horizontal transfer register 27 for each horizontal line by the line shift transfer pulse 53 in 1 to φIM 4 and φST 1 to φST 4 , and then the horizontal transfer clock pulses φH 1 and φH in the horizontal transfer register 27. 2 and is output by the signal charge detector 29. Figure 4C
Indicates the transfer state of signal charges at time t 3 within the line shift transfer period T 2 . During this period T 2 , the gate section 30 has a high level potential.

【0029】その後、余剰電荷掃き出し転送パルス54
により、撮像部24内に残留するスミア成分、暗電流成
分等の余剰電荷62を蓄積部26に掃き出す。余剰電荷
62は蓄積部26より、水平転送レジスタ27及びゲー
ト部30を通ってドレイン領域28に掃き出される。
After that, the surplus charge sweep-out transfer pulse 54
As a result, excess charges 62 such as smear components and dark current components remaining in the image pickup unit 24 are swept out to the storage unit 26. The surplus charges 62 are swept out from the accumulation unit 26 to the drain region 28 through the horizontal transfer register 27 and the gate unit 30.

【0030】そして、再度、読み出しパルス51により
受光部22から信号電荷61の読み出しが行われる。以
後、これが繰り返えされてFIT型CCD固体撮像素子
の読み出し動作が行われる。
Then, the signal charge 61 is read from the light receiving section 22 again by the read pulse 51. After that, this is repeated to perform the reading operation of the FIT type CCD solid-state imaging device.

【0031】しかして、第1実施例においては、特に、
余剰電荷掃き出し転送期間T3 において、撮像部24で
は垂直転送クロックパルスφIM1 〜φIM4 、従って
その余剰電荷掃き出し転送パルス54を駆動するも、蓄
積部26では垂直転送クロックパルスφST1 〜φST
4 のクロックを停止して、すべて高レベル電圧に固定し
て、蓄積部26における垂直転送レジスタ25内のポテ
ンシャル(いわゆるチャネルポテンシャル)を高レベル
に揃える。これにより、低消費電力化を図ることができ
る。
Therefore, in the first embodiment, in particular,
In the excess charge sweep-out transfer period T 3 , the image pickup unit 24 drives the vertical transfer clock pulses φIM 1 to φIM 4 , and thus the excess charge sweep-out transfer pulse 54, but the accumulation unit 26 drives the vertical transfer clock pulses φST 1 to φST.
The clock of 4 is stopped and fixed to a high level voltage, and the potential (so-called channel potential) in the vertical transfer register 25 in the storage unit 26 is aligned at a high level. As a result, low power consumption can be achieved.

【0032】この余剰電荷掃き出し転送期間T3 におい
ては、撮像部24の垂直転送レジスタ23では余剰電荷
掃き出し転送のための高速転送クロックパルス、即ち余
剰電荷掃き出し転送パルス54により、余剰電荷62を
蓄積部26に掃き出し、蓄積部26の垂直転送レジスタ
25では図4Dに示すようにこの余剰電荷62を垂れ流
し的に掃き出し転送するものである。図4Dは余剰電荷
掃き出し転送期間T3内の時点t4 における電荷の転送
状態を示す。この垂れ流し転送は、主に、自己誘起ドリ
フトと熱拡散モードに基づくものと考えられる。
During the surplus charge sweep-out transfer period T 3 , the vertical transfer register 23 of the image pickup unit 24 stores the surplus charge 62 by the high-speed transfer clock pulse for the surplus charge sweep-out transfer, that is, the surplus charge sweep-out transfer pulse 54. 26, and the vertical transfer register 25 of the storage unit 26 sweeps and transfers the surplus charges 62 as shown in FIG. 4D. FIG. 4D shows a charge transfer state at time t 4 within the surplus charge sweep-out transfer period T 3 . It is believed that this drift transfer is primarily due to self-induced drift and thermal diffusion modes.

【0033】この垂れ流し転送は、撮像部24での高速
転送クロックパルス、即ち余剰電荷掃き出し転送パルス
54による転送と比べて、電荷の転送スピードが遅いた
め、蓄積部26で余剰電荷62が多く残留することが予
想され。しかし、余剰電荷62が蓄積部26で多く残留
しても、撮像部24で充分に掃き出されていれば良い。
つまり、本実施例においては、撮像部24では高速転送
クロックパルス54により、余剰電荷62を掃き出して
いるので実用上問題はない。蓄積部26に余剰電荷62
が残留しても、以後のフレームシフト転送のときに、こ
の残留余剰電荷はドレイン領域28に掃き出され、問題
は生じない。
Since the charge transfer speed is slower in this drifting transfer than in the transfer by the high-speed transfer clock pulse in the image pickup unit 24, that is, the surplus charge sweep-out transfer pulse 54, a large amount of surplus charge 62 remains in the storage unit 26. Is expected. However, even if a large amount of the surplus electric charge 62 remains in the storage unit 26, it is sufficient that it is sufficiently swept out by the imaging unit 24.
In other words, in the present embodiment, since the image pickup unit 24 sweeps out the excess charge 62 by the high-speed transfer clock pulse 54, there is no practical problem. A surplus charge 62 is stored in the storage unit 26.
Even if the residual charge remains, this residual excess charge is swept out to the drain region 28 in the subsequent frame shift transfer, and no problem occurs.

【0034】上述の第1実施例においては、垂直転送レ
ジスタ23,25全体を駆動するための消費電力をおお
よそ次のように見積もることができる。
In the first embodiment described above, the power consumption for driving the entire vertical transfer registers 23 and 25 can be estimated approximately as follows.

【0035】[0035]

【表1】 [Table 1]

【0036】表1に示すように、撮像部24と蓄積部2
6における各転送での消費電力は従来ではすべて同程度
であるが、本実施例では蓄積部26で余剰電荷掃き出し
転送するための消費電力がほぼ0となる。したがって、
垂直転送レジスタ23,25全体を駆動するための消費
電力は、おおよそ5/6に低減する。
As shown in Table 1, the image pickup unit 24 and the storage unit 2
The power consumption in each transfer in 6 is the same in the related art, but in the present embodiment, the power consumption for sweeping out and transferring the excess charge in the storage unit 26 is almost zero. Therefore,
The power consumption for driving the entire vertical transfer registers 23 and 25 is reduced to approximately 5/6.

【0037】なお、本実施例では垂直転送レジスタを4
相駆動モードとしたが、3相駆動など別の駆動モードの
垂直転送レジスタでも同様に適用できる。
In this embodiment, four vertical transfer registers are used.
Although the phase drive mode is used, the present invention can be similarly applied to a vertical transfer register in another drive mode such as three-phase drive.

【0038】また、本実施例では、余剰電荷掃き出し転
送の全ての期間T3 において、蓄積部26の転送パルス
φST1 〜φST4 のクロックを停止して高レベル電圧
に固定したが、必ずしもその必要はない。少なくとも、
余剰電荷掃き出し転送期間T 3 の一部において、蓄積部
26の転送パルスφST1 〜φST4 を停止して高レベ
ル電圧に固定しても、本発明の目的をある程度達成する
ことができる。
In the present embodiment, the surplus charge sweep-out transfer is performed.
All period of sending T3At the transfer pulse of the storage unit 26
φST1~ ΦSTFourStop the clock of the high level voltage
Fixed to, but not necessarily required. at least,
Surplus charge sweep-out transfer period T 3Part of the storage
26 transfer pulses φST1~ ΦSTFourStop and high level
To some extent, even if it is fixed at a fixed voltage.
be able to.

【0039】次に、本発明の駆動方法の第2実施例を説
明する。本実施例では、前記第1実施例に加えて、ライ
ンシフト転送期間T2 において、撮像部24の垂直転送
クロックパルスφIM1 〜φIM4 におけるラインシフ
ト転送パルスのクロックを停止して一定電圧に固定する
ことにより、消費電力低減の効果をさらに上げることが
できる。
Next, a second embodiment of the driving method of the present invention will be described. In the present embodiment, in addition to the first embodiment, in the line shift transfer period T 2 , the clocks of the line shift transfer pulses in the vertical transfer clock pulses φIM 1 to φIM 4 of the image pickup unit 24 are stopped and fixed to a constant voltage. By doing so, the effect of reducing power consumption can be further enhanced.

【0040】図5は第2実施例における垂直転送クロッ
クパルスφIM1 ,φIM2 ,φIM3 ,φIM4 、φ
ST1 ,φST2 ,φST3 ,φST4 および垂直ブラ
ンキングパルスφV−BLKのタイミングチャートを示
す。
FIG. 5 shows vertical transfer clock pulses φIM 1 , φIM 2 , φIM 3 , φIM 4 , and φ in the second embodiment.
The timing chart of ST 1 , φST 2 , φST 3 , φST 4 and vertical blanking pulse φV-BLK is shown.

【0041】図6は図5の駆動方法を用いたときの電荷
転送の様子を各タイミングt1 〜t 4 毎に示すポテンシ
ャル図である。
FIG. 6 shows the charges when the driving method of FIG. 5 is used.
The state of transfer is shown at each timing t1~ T FourPotency shown for each
FIG.

【0042】本実施例においては、余剰電荷掃き出し転
送期間T3 において、蓄積部24の転送パルスφS
1 ,φST2 ,φST3 ,φST4 のクロックを停止
して、すべて高レベル電圧に固定して、蓄積部における
垂直転送レジスタ内のポテンシャルを高レベルに揃える
(図6D参照)。
In the present embodiment, the transfer pulse φS of the accumulating section 24 in the surplus charge sweep-out transfer period T 3 .
The clocks of T 1 , φST 2 , φST 3 , and φST 4 are stopped and fixed to high level voltages, and the potentials in the vertical transfer registers in the storage section are aligned at high levels (see FIG. 6D).

【0043】更に、ラインシフト転送期間T2 におい
て、撮像部24の転送パルスφIM1,φIM2 ,φI
3 ,φIM4 のクロックを停止して一定電圧(低レベ
ル電圧)に固定して、撮像部24の垂直転送レジスタ2
3内でのポテンシャルを一定となるように揃える(図6
C参照)。
Further, in the line shift transfer period T 2 , the transfer pulses φIM 1 , φIM 2 , φI of the image pickup section 24.
The clocks of M 3 and φ IM 4 are stopped and fixed to a constant voltage (low level voltage), and the vertical transfer register 2 of the imaging unit 24
Align the potentials within 3 to be constant (Fig. 6
(See C).

【0044】この駆動方法によれば蓄積部26の垂直転
送クロックパルスφST1 〜φST 4 における余剰電荷
掃き出しパルスを省略すると共に、撮像部24の垂直転
送クロックパルスφIM1 ,φIM2 ,φIM3 ,φI
4 のラインシフト転送パルスをも省略できるので、さ
らに低消費電力化が実現できる。
According to this driving method, the vertical rotation of the storage unit 26 is performed.
Transmission clock pulse φST1~ ΦST FourSurplus charge in
The sweep pulse is omitted and the vertical rotation of the imaging unit 24 is performed.
Transmission clock pulse φIM1, ΦIM2, ΦIM3, ΦI
MFourSince the line shift transfer pulse of
Furthermore, low power consumption can be realized.

【0045】このように撮像部24のラインシフト転送
パルスを停止しても図6Cに示すように信号電荷61の
転送は蓄積部26で行われるため問題ない。
Even if the line shift transfer pulse of the image pickup section 24 is stopped in this way, there is no problem because the signal charge 61 is transferred by the storage section 26 as shown in FIG. 6C.

【0046】また、本実施例のようにラインシフト転送
期間T2 における撮像部24の垂直転送レジスタ23内
でのポテンシャルを低レベルに揃えておけば、撮像部2
4で発生する余剰電荷62をたえず蓄積部26に掃き出
すことができるので、撮像部24に余剰電荷62が多く
残留することがない。
Further, if the potential in the vertical transfer register 23 of the image pickup unit 24 during the line shift transfer period T 2 is set to a low level as in this embodiment, the image pickup unit 2
Since the excess charge 62 generated in 4 can be constantly swept out to the storage unit 26, a large amount of the excess charge 62 does not remain in the imaging unit 24.

【0047】上述の第2実施例においては、垂直転送レ
ジスタ23,25全体を駆動するための消費電力をおお
よそ次のように見積もることができる。
In the second embodiment described above, the power consumption for driving the entire vertical transfer registers 23 and 25 can be roughly estimated as follows.

【0048】[0048]

【表2】 [Table 2]

【0049】表2に示すように、撮像部24と蓄積部2
6における各転送での消費電力は、従来ではすべて同程
度であるが、本実施例では蓄積部26での余剰電荷掃き
出し転送するための消費電力と、撮像部24でのライン
シフト転送するための消費電力とが夫々ほぼ0となる。
したがって、垂直転送レジスタ23,25を駆動するた
めの消費電力は、おおよそ2/3に低減する。
As shown in Table 2, the image pickup unit 24 and the storage unit 2
The power consumption in each transfer in 6 is the same in the related art, but in the present embodiment, the power consumption for sweeping out and transferring the excess charge in the storage unit 26 and the line shift transfer in the image pickup unit 24 are performed. The power consumption is almost zero.
Therefore, the power consumption for driving the vertical transfer registers 23 and 25 is reduced to about 2/3.

【0050】なお、本実施例では、ラインシフト転送期
間T2 の全てにおいて、撮像部24の垂直転送クロック
パルスを停止したが、必ずしもその必要はない。少なく
とも、ラインシフト転送期間T2 の一部において、撮像
部24の垂直転送パルスφIM1 〜φIM4 を停止し
て、低レベル電圧に固定しても、本発明の目的をある程
度達成できる。
In this embodiment, the vertical transfer clock pulse of the image pickup section 24 is stopped during the entire line shift transfer period T 2 , but it is not always necessary. Even if the vertical transfer pulses φIM 1 to φIM 4 of the imaging unit 24 are stopped and fixed to the low level voltage at least in a part of the line shift transfer period T 2 , the object of the present invention can be achieved to some extent.

【0051】また、本実施例では、余剰電荷掃き出し転
送の全ての期間T3 において、蓄積部26の転送パルス
φST1 〜φST4 のクロックとも、余剰電荷掃き出し
転送期間T3 の一部において、蓄積部26の転送パルス
φST1 〜φST4 を停止して高レベル電圧に固定して
も、本発明の目的をある程度達成できる。
Further, in this embodiment, in all the periods T 3 of the excess charge sweeping transfer, the clocks of the transfer pulses φST 1 to φST 4 of the accumulating section 26 are also accumulated in a part of the excess charge sweeping transfer period T 3. Even if the transfer pulses φST 1 to φST 4 of the section 26 are stopped and fixed to the high level voltage, the object of the present invention can be achieved to some extent.

【0052】また、本実施例では垂直転送レジスタを4
相駆動モードとしたが、3相駆動など別の駆動モードの
垂直転送レジスタでも同様に適用できる。
Further, in the present embodiment, the vertical transfer register is 4
Although the phase drive mode is used, the present invention can be similarly applied to a vertical transfer register in another drive mode such as three-phase drive.

【0053】上述の第1及び第2の実施例においては、
余剰電荷掃き出し転送に際して、蓄積部26の垂直転送
レジスタの電位を一定電位(高レベル電圧)にして垂直
転送レジスタ25内のポテンシャルを全て一定レベルの
ポテンシャルに揃えたが、その他垂直転送レジスタ25
内のポテンシャルレベルを一様としなくとも、少なくと
も、垂直転送レジスタ25内のポテンシャルが撮像部2
4の垂直転送レジスタ23の低レベルのポテンシャルよ
り深いポテンシャルであるように転送パルスφST1
φST4 を停止するようになしても、余剰電荷の掃き出
しを行うことができる。但し、垂直転送レジスタ25内
のポテンシャルを全て一定レベルのポテンシャルに揃え
た方が余剰電荷の掃き出しはスムーズに行える。
In the first and second embodiments described above,
In the surplus charge sweep-out transfer, the potential of the vertical transfer register of the storage unit 26 is set to a constant potential (high level voltage) so that all the potentials in the vertical transfer register 25 are adjusted to the potential of the constant level.
Even if the potential level in the vertical transfer register 25 is not uniform, at least the potential in the vertical transfer register 25 is set to the imaging unit 2.
4 transfer pulse φST 1 ~ so that the potential is deeper than the low level potential of the vertical transfer register 23.
Even if φST 4 is stopped, the excess charge can be swept out. However, if all the potentials in the vertical transfer register 25 are made to have a constant level potential, the excess charges can be swept out smoothly.

【0054】[0054]

【発明の効果】本発明によれば、FIT型のCCD固体
撮像素子の消費電力を低減することができる。これによ
り、FIT型CCDカメラの低消費電力化および小型化
を実現できる。
According to the present invention, the power consumption of the FIT type CCD solid-state image pickup device can be reduced. As a result, it is possible to reduce the power consumption and the size of the FIT CCD camera.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に適用される代表的なFIT型CCD固
体撮像素子の構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of a typical FIT type CCD solid-state imaging device applied to the present invention.

【図2】本発明に係る駆動方法の第1実施例を示す転送
クロックパルスのタイミングチャートである。
FIG. 2 is a timing chart of transfer clock pulses showing the first embodiment of the driving method according to the present invention.

【図3】図1のY−Y線上の断面図である。3 is a cross-sectional view taken along the line YY of FIG.

【図4】第1実施例における各タイミング(t1
4 )毎の電荷転送状態を示すポテンシャル図である。
FIG. 4 is a timing chart (t 1- ) according to the first embodiment.
t 4) is a potential diagram showing the charge transfer state of each.

【図5】本発明に係る駆動方法の第2実施例を示す転送
クロックパルスのタイミングチャートである。
FIG. 5 is a timing chart of transfer clock pulses showing a second embodiment of the driving method according to the present invention.

【図6】第2実施例における各タイミング(t1
4 )毎の電荷転送状態を示すポテンシャル図である。
FIG. 6 is a timing chart (t 1 ~) in the second embodiment.
t 4) is a potential diagram showing the charge transfer state of each.

【図7】本発明に係る垂直転送クロックパルスφIM1
〜φIM4 ,φST1 〜φST 4 の波形図である。
FIG. 7 is a vertical transfer clock pulse φIM according to the present invention.1
~ ΦIMFour, ΦST1~ ΦST FourIt is a waveform diagram of.

【図8】従来例の説明に供するFIT型CCD固体撮像
素子の構成図である。
FIG. 8 is a configuration diagram of a FIT type CCD solid-state imaging device used for explaining a conventional example.

【図9】従来の駆動方法に係る転送クロックパルスのタ
イミングチャートである。
FIG. 9 is a timing chart of a transfer clock pulse according to a conventional driving method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,21 FIT型CCD固体撮像素子 2,22 受光部 3,23 垂直転送レジスタ 4,24 撮像部 5,25 垂直転送レジスタ 6,26 蓄積部 7,27 水平転送レジスタ 8,28 ドレイン領域 9,29 信号電荷検出部 10,30 ゲート部 φIM1 〜φIM4 撮像部の垂直転送クロックパルス φST1 〜φST4 蓄積部の垂直転送クロックパルス 12,51 読み出しパルス 13,52 フレームシフト転送パルス 14,53 ラインシフト転送パルス 15,54 余剰電荷掃き出し転送パルス1, 21 FIT CCD solid-state imaging device 2, 22 light receiving part 3, 23 vertical transfer register 4, 24 imaging part 5, 25 vertical transfer register 6, 26 storage part 7, 27 horizontal transfer register 8, 28 drain region 9, 29 the signal charge detection unit 10, 30 a gate part φIM 1 ~φIM 4 vertical transfer clock pulses 12 and 51 reading pulse 13,52 frameshift transfer pulses 14,53 line shift of the vertical transfer clock pulses φST 1 ~φST 4 storage section of the image pickup unit Transfer pulse 15,54 Surplus charge sweep transfer pulse

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 入射光を信号電荷に変換し且つ該信号電
荷の転送を行う撮像部と、該撮像部からの信号電荷を一
時的に蓄積し且つ転送を行う蓄積部とを有する固体撮像
素子の駆動方法において、 前記撮像部で発生する余剰電荷の掃き出し転送期間に、
前記蓄積部の垂直転送レジスタに印加する転送クロック
パルスを停止し該垂直転送レジスタ内のポテンシャル
を、前記撮像部の垂直転送レジスタの低レベルのポテン
シャルより深いポテンシャルに固定して、余剰電荷の掃
き出し転送を行うことを特徴とする固体撮像素子の駆動
方法。
1. A solid-state image sensor having an image pickup section for converting incident light into a signal charge and transferring the signal charge, and a storage section for temporarily storing and transferring the signal charge from the image pickup section. In the driving method of, in the sweep-out transfer period of the excess charge generated in the imaging unit,
The transfer clock pulse applied to the vertical transfer register of the storage section is stopped, the potential in the vertical transfer register is fixed to a potential deeper than the low level potential of the vertical transfer register of the imaging section, and the excess charge is swept out and transferred. A method for driving a solid-state imaging device, comprising:
【請求項2】蓄積部の垂直転送レジスタ内のポテンシャ
ルを一定に固定して余剰電荷の掃き出し転送を行うこと
を特徴とする請求項1記載の固体撮像素子の駆動方法。
2. The method of driving a solid-state image pickup device according to claim 1, wherein the potential in the vertical transfer register of the accumulating section is fixed to a fixed value to perform sweep-out transfer of the excess charge.
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