JPH0634337A - 蛍光パターン検知装置 - Google Patents
蛍光パターン検知装置Info
- Publication number
- JPH0634337A JPH0634337A JP19244892A JP19244892A JPH0634337A JP H0634337 A JPH0634337 A JP H0634337A JP 19244892 A JP19244892 A JP 19244892A JP 19244892 A JP19244892 A JP 19244892A JP H0634337 A JPH0634337 A JP H0634337A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- laser light
- light
- fluorescence
- laser
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 蛍光パターン検知に関し，走査の全域で蛍光
の検出ができ，レーザ照射点周囲より発生する不要な蛍
光による影響を少なくすることを目的とする。 【構成】 検査対象物に照射した収束レーザ光を走査す
るときに発生する蛍光信号を検知する装置であって，蛍
光励起用のレーザ光を検査対象物上に走査する手段と，
該レーザ光の波長に対して最適化された走査レンズによ
り走査された該レーザ光を検査対象物上に集光する手段
と，走査された該レーザ光の照射位置を検出する手段
と，走査された該レーザ光の照射点からの再帰反射光を
結像する手段と，該再帰反射光から蛍光成分を抽出する
手段と，該再帰反射光の結像面上において，該レーザ光
の照射位置を検出する手段で得られた照射位置に対応し
て走査する受光器により，該レーザ光の照射点に相当す
る位置から発する蛍光成分のみを選択し電気信号に変換
する手段とを有するように構成する。
の検出ができ，レーザ照射点周囲より発生する不要な蛍
光による影響を少なくすることを目的とする。 【構成】 検査対象物に照射した収束レーザ光を走査す
るときに発生する蛍光信号を検知する装置であって，蛍
光励起用のレーザ光を検査対象物上に走査する手段と，
該レーザ光の波長に対して最適化された走査レンズによ
り走査された該レーザ光を検査対象物上に集光する手段
と，走査された該レーザ光の照射位置を検出する手段
と，走査された該レーザ光の照射点からの再帰反射光を
結像する手段と，該再帰反射光から蛍光成分を抽出する
手段と，該再帰反射光の結像面上において，該レーザ光
の照射位置を検出する手段で得られた照射位置に対応し
て走査する受光器により，該レーザ光の照射点に相当す
る位置から発する蛍光成分のみを選択し電気信号に変換
する手段とを有するように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はポリイミド薄膜に形成さ
れたバイアホールの欠陥検査等に利用される蛍光パター
ン検知装置に関する。
れたバイアホールの欠陥検査等に利用される蛍光パター
ン検知装置に関する。
【０００２】セラミック基板上に形成された多層配線間
の層間絶縁膜としてポリイミド膜が用いられるが，ポリ
イミド膜に開けたバイアホールが所定位置で所定面積に
開口されているかどうかを検査する必要がある。
の層間絶縁膜としてポリイミド膜が用いられるが，ポリ
イミド膜に開けたバイアホールが所定位置で所定面積に
開口されているかどうかを検査する必要がある。
【０００３】
【従来の技術】図４(A),(B) は蛍光によるバイアホール
検知の説明図である。図において，１はセラミック基
板, ２は金属配線，３はポリイミド膜，４はバイアホー
ル，５はレーザ光，６は蛍光である。
検知の説明図である。図において，１はセラミック基
板, ２は金属配線，３はポリイミド膜，４はバイアホー
ル，５はレーザ光，６は蛍光である。
【０００４】ポリイミド膜にレーザ光を当てると蛍光が
発生するが，金属配線にレーザ光を当てても蛍光が発生
しないので，この現象を利用してバイアホールとポリイ
ミド膜との識別を行う。
発生するが，金属配線にレーザ光を当てても蛍光が発生
しないので，この現象を利用してバイアホールとポリイ
ミド膜との識別を行う。
【０００５】バイアホールの内壁に当たった反射光によ
り発生する図の点線で示される蛍光は雑音となる不要な
蛍光である。この不要な蛍光の除去は本発明の目的の一
つである。
り発生する図の点線で示される蛍光は雑音となる不要な
蛍光である。この不要な蛍光の除去は本発明の目的の一
つである。
【０００６】蛍光をレーザ光と分離して取り出すため
に，図４(B) に示される特性を持つ波長フィルタを用い
る。図５(A),(B) はバイアホールの検知信号の例の説明
図である。
に，図４(B) に示される特性を持つ波長フィルタを用い
る。図５(A),(B) はバイアホールの検知信号の例の説明
図である。
【０００７】検査対象物にレーザ光を照射することによ
り発生する蛍光成分を上記の波長フィルタを用いて分離
し，光センサで検知する。このようにすると，ポリイミ
ド膜の上では蛍光の発生により信号強度は大きくなる
が，金属配線の上では蛍光が発生しないので信号強度は
小さくなる。この信号を２つのスライスレベル１，２で
２値化し，高いスライスレベル１でバイアホールの有無
や大きさを検査し，低いスライスレベル２でバイアホー
ル内にポリイミド膜の残渣がないかを検査する。
り発生する蛍光成分を上記の波長フィルタを用いて分離
し，光センサで検知する。このようにすると，ポリイミ
ド膜の上では蛍光の発生により信号強度は大きくなる
が，金属配線の上では蛍光が発生しないので信号強度は
小さくなる。この信号を２つのスライスレベル１，２で
２値化し，高いスライスレベル１でバイアホールの有無
や大きさを検査し，低いスライスレベル２でバイアホー
ル内にポリイミド膜の残渣がないかを検査する。
【０００８】図６は蛍光信号を２値化する回路を示す図
である。図７はバイアホールの検査論理の説明図であ
る。図において，まず，スライスレベル１により２値化
されたパターン１と，バイアホール位置データと，検査
対象物を載せたステージ位置データを用いて，バイアホ
ール有無判定回路で過剰なバイアホールや未貫通のバイ
アホールが存在しないかを検査する。
である。図７はバイアホールの検査論理の説明図であ
る。図において，まず，スライスレベル１により２値化
されたパターン１と，バイアホール位置データと，検査
対象物を載せたステージ位置データを用いて，バイアホ
ール有無判定回路で過剰なバイアホールや未貫通のバイ
アホールが存在しないかを検査する。
【０００９】次に，スライスレベル２により２値化され
たパターン２は面積計測回路に入力され，面積（画素
数）の計測を行う。次いで面積判定回路で計測されたバ
イアホールの面積（Ｓ）と予め設定された最大／最小面
積（Ｓmax ，Ｓmin ）とを比較することにより欠陥の検
出を行う。
たパターン２は面積計測回路に入力され，面積（画素
数）の計測を行う。次いで面積判定回路で計測されたバ
イアホールの面積（Ｓ）と予め設定された最大／最小面
積（Ｓmax ，Ｓmin ）とを比較することにより欠陥の検
出を行う。
【００１０】図８(A),(B) はポリイミド膜に形成したバ
イアホールの欠陥例を示す断面図である。図で,(a)は正
常バイアホール, (b) 〜(g) は欠陥バイアホールであ
る。
イアホールの欠陥例を示す断面図である。図で,(a)は正
常バイアホール, (b) 〜(g) は欠陥バイアホールであ
る。
【００１１】(b) はバイアホール内の一部にポリイミド
膜が残存しているもの，(c) はバイアホール内全面にポ
リイミド膜が残存しているもの，(d) はバイアホールの
直径が許容値より小さいもの，(e) はバイアホールの直
径が許容値より大きいもの，(f) は本来あるべき位置に
バイアホールがないもの, (g) は本来あってはならない
位置にバイアホールがあるものである。
膜が残存しているもの，(c) はバイアホール内全面にポ
リイミド膜が残存しているもの，(d) はバイアホールの
直径が許容値より小さいもの，(e) はバイアホールの直
径が許容値より大きいもの，(f) は本来あるべき位置に
バイアホールがないもの, (g) は本来あってはならない
位置にバイアホールがあるものである。
【００１２】このような，ポリイミド膜のバイアホール
に発生する欠陥を検出する検査装置に用いられる検知光
学系の概要を図３に示す。図３は従来例による蛍光パタ
ーン検知光学系の構成図である。
に発生する欠陥を検出する検査装置に用いられる検知光
学系の概要を図３に示す。図３は従来例による蛍光パタ
ーン検知光学系の構成図である。
【００１３】蛍光励起用レーザ光源11より出射された波
長が紫外〜青のレーザ光はビームエクスパンダ12を用い
て拡大する。拡大したレーザ光を回転多面鏡13を用いて
走査し, スキャンレンズ14により検査対象上に集光す
る。
長が紫外〜青のレーザ光はビームエクスパンダ12を用い
て拡大する。拡大したレーザ光を回転多面鏡13を用いて
走査し, スキャンレンズ14により検査対象上に集光す
る。
【００１４】ここで, ポリイミド膜とバイアホールとの
識別は，前記のようにポリイミド膜から発生する蛍光
（蛍光波長は黄〜赤）を利用する。レーザ光の照射によ
り発生した蛍光は，入射レーザ光と同じ経路を逆に通っ
て，すなわちスキャンレンズ→回転多面鏡→ビームスプ
リッタ-1 15を通って再帰的に帰還され，光路中に配置
されたビームスプリッタ-1により再帰反射光は検知系に
導かれる。
識別は，前記のようにポリイミド膜から発生する蛍光
（蛍光波長は黄〜赤）を利用する。レーザ光の照射によ
り発生した蛍光は，入射レーザ光と同じ経路を逆に通っ
て，すなわちスキャンレンズ→回転多面鏡→ビームスプ
リッタ-1 15を通って再帰的に帰還され，光路中に配置
されたビームスプリッタ-1により再帰反射光は検知系に
導かれる。
【００１５】再帰反射光は照射レーザ光の成分と蛍光成
分を含むため波長フイルタ16を通して蛍光成分のみを分
離する。分離された蛍光は再結像レンズ17により（再）
結像される。すなわち，結像面上にはレーザの照射点近
傍の画像が結像される。
分を含むため波長フイルタ16を通して蛍光成分のみを分
離する。分離された蛍光は再結像レンズ17により（再）
結像される。すなわち，結像面上にはレーザの照射点近
傍の画像が結像される。
【００１６】そこで，結像面上に空間フィルタ18として
ピンホールを配置し，中央部分, すなわちレーザ光の照
射点の蛍光のみを分離, 抽出する。ピンホールを通過し
た蛍光は蛍光検知用の光センサ-1 (例えば光電子増倍
管)19 で検出して電気信号 (蛍光検知信号) に変換す
る。
ピンホールを配置し，中央部分, すなわちレーザ光の照
射点の蛍光のみを分離, 抽出する。ピンホールを通過し
た蛍光は蛍光検知用の光センサ-1 (例えば光電子増倍
管)19 で検出して電気信号 (蛍光検知信号) に変換す
る。
【００１７】このように, レーザ光照射点の画像を再帰
的に結像し，その結像面上において空間フィルタリング
を行うことにより，照射点で発生した蛍光のみを分離し
て検出することにより, 周囲の不要な蛍光の影響を少な
くしている。
的に結像し，その結像面上において空間フィルタリング
を行うことにより，照射点で発生した蛍光のみを分離し
て検出することにより, 周囲の不要な蛍光の影響を少な
くしている。
【００１８】なお, レーザビームの走査位置をモニタす
るため, スキャンレンズ９から出たレーザ光をビームス
プリッタ-2 20と格子板21を通して格子検知用の光セン
サ-222 で受光している。
るため, スキャンレンズ９から出たレーザ光をビームス
プリッタ-2 20と格子板21を通して格子検知用の光セン
サ-222 で受光している。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなバイアホ
ール検査装置の蛍光パターン検知光学系においては, 以
下に示すような問題があった。
ール検査装置の蛍光パターン検知光学系においては, 以
下に示すような問題があった。
【００２０】一般にスキャンレンズは (ｆ−θレンズ）
は使用するレーザ光源の波長に最適化されている。すな
わち，レーザ光源と同じ波長の光が入射された場合に，
収差等の諸性能が最も良くなるように設計されている。
このようなスキャンレンズを通して上記の再帰結像を得
た場合，蛍光の波長がレーザ光のそれと大幅に異なるた
め，再結像面上においてレーザ光照射点の画像が一点に
集光しないで走査とともに再結像面上を移動することに
なる。従って，走査の中央で発生した蛍光はピンホール
を通過するが，走査の両端で発生した蛍光は通過しない
で検出が困難になるという問題がある。
は使用するレーザ光源の波長に最適化されている。すな
わち，レーザ光源と同じ波長の光が入射された場合に，
収差等の諸性能が最も良くなるように設計されている。
このようなスキャンレンズを通して上記の再帰結像を得
た場合，蛍光の波長がレーザ光のそれと大幅に異なるた
め，再結像面上においてレーザ光照射点の画像が一点に
集光しないで走査とともに再結像面上を移動することに
なる。従って，走査の中央で発生した蛍光はピンホール
を通過するが，走査の両端で発生した蛍光は通過しない
で検出が困難になるという問題がある。
【００２１】本発明は走査の全域で蛍光の検出を可能と
し，レーザ照射点周囲より発生する不要な蛍光による影
響を少なくした蛍光検知光学系の提供を目的とする。
し，レーザ照射点周囲より発生する不要な蛍光による影
響を少なくした蛍光検知光学系の提供を目的とする。
【００２２】
【課題を解決するための手段】上記課題の解決は， １）検査対象物に照射した収束レーザ光を走査するとき
に発生する蛍光信号を検知する装置であって，蛍光励起
用のレーザ光を検査対象物上に走査する手段と，該レー
ザ光の波長に対して最適化された走査レンズにより走査
された該レーザ光を検査対象物上に集光する手段と，走
査された該レーザ光の照射位置を検出する手段と，走査
された該レーザ光の照射点からの再帰反射光を結像する
手段と，該再帰反射光から蛍光成分を抽出する手段と，
該再帰反射光の結像面上において，該レーザ光の照射位
置を検出する手段で得られた照射位置に対応して走査す
る受光器により，該レーザ光の照射点に相当する位置か
ら発する蛍光成分のみを選択し電気信号に変換する手段
とを有する蛍光パターン検知装置，あるいは ２）前記受光器が走査型光電子増倍管，またはスイッチ
型の信号読出機構を備えたフォトダイオードである前記
１）記載の蛍光パターン検知装置により達成される。
に発生する蛍光信号を検知する装置であって，蛍光励起
用のレーザ光を検査対象物上に走査する手段と，該レー
ザ光の波長に対して最適化された走査レンズにより走査
された該レーザ光を検査対象物上に集光する手段と，走
査された該レーザ光の照射位置を検出する手段と，走査
された該レーザ光の照射点からの再帰反射光を結像する
手段と，該再帰反射光から蛍光成分を抽出する手段と，
該再帰反射光の結像面上において，該レーザ光の照射位
置を検出する手段で得られた照射位置に対応して走査す
る受光器により，該レーザ光の照射点に相当する位置か
ら発する蛍光成分のみを選択し電気信号に変換する手段
とを有する蛍光パターン検知装置，あるいは ２）前記受光器が走査型光電子増倍管，またはスイッチ
型の信号読出機構を備えたフォトダイオードである前記
１）記載の蛍光パターン検知装置により達成される。
【００２３】
【作用】本発明は，検査対象物上のレーザ走査位置に対
応して受光器（光センサ）の受光位置を走査して, 常に
レーザ光の照射点に相当する位置から発する蛍光成分の
みを選択することにより，走査領域全域にわたって蛍光
信号を検知できるようにしたものである。
応して受光器（光センサ）の受光位置を走査して, 常に
レーザ光の照射点に相当する位置から発する蛍光成分の
みを選択することにより，走査領域全域にわたって蛍光
信号を検知できるようにしたものである。
【００２４】その手段の例として次のものを利用する。 (1) 空間フィルタと光センサの代わりに，走査型光電子
増倍管（イメージディセクタ）を配置する。この際，イ
メージディセクタ内部のピンホールの直径は，再結像面
上のレーザ光照射点の直径とをほぼ等しくする。また，
走査長は再結像面上のレーザ光照射点（蛍光像）の移動
距離とほぼ等しくするか，それより大きくする。 (2) 空間フィルタと光センサの代わりに，フォトダイオ
ードアレイを配置する。この際，フォトダイオードアレ
イの画素サイズは，再結像面上のレーザ光照射点の直径
とほぼ等しくするか，それより小さいものとする。また
アレイの長さは再結像面上のレーザ光照射点（蛍光像）
の移動距離とほぼ等しくするか，それより大きくする。
増倍管（イメージディセクタ）を配置する。この際，イ
メージディセクタ内部のピンホールの直径は，再結像面
上のレーザ光照射点の直径とをほぼ等しくする。また，
走査長は再結像面上のレーザ光照射点（蛍光像）の移動
距離とほぼ等しくするか，それより大きくする。 (2) 空間フィルタと光センサの代わりに，フォトダイオ
ードアレイを配置する。この際，フォトダイオードアレ
イの画素サイズは，再結像面上のレーザ光照射点の直径
とほぼ等しくするか，それより小さいものとする。また
アレイの長さは再結像面上のレーザ光照射点（蛍光像）
の移動距離とほぼ等しくするか，それより大きくする。
【００２５】
【実施例】図１(A),(B) は本発明の実施例１の構成図で
ある。図１(A) において，従来例の空間フィルタと光セ
ンサが走査型光電子増倍管14に置き代わっていることを
除いて，動作原理は従来例と全く同様である。
ある。図１(A) において，従来例の空間フィルタと光セ
ンサが走査型光電子増倍管14に置き代わっていることを
除いて，動作原理は従来例と全く同様である。
【００２６】走査型光電子増倍管の光検出位置が再結像
面上における蛍光像の移動に追従するように走査型光電
子増倍管の偏向電圧を制御する必要がある。そのため
に, まず格子検知信号を処理して現在の走査位置を検出
し，その走査位置に対する走査型光電子増倍管の偏向電
圧を求める。この偏向電圧の波形は一般には図示のよう
な鋸歯状波となる。位置を鋸歯状波電圧に変換し，この
電圧を走査型光電子増倍管の偏向コイルドライバに印加
する。これにより，常にレーザ光照射点から発生する蛍
光のみを検知することが可能となる。
面上における蛍光像の移動に追従するように走査型光電
子増倍管の偏向電圧を制御する必要がある。そのため
に, まず格子検知信号を処理して現在の走査位置を検出
し，その走査位置に対する走査型光電子増倍管の偏向電
圧を求める。この偏向電圧の波形は一般には図示のよう
な鋸歯状波となる。位置を鋸歯状波電圧に変換し，この
電圧を走査型光電子増倍管の偏向コイルドライバに印加
する。これにより，常にレーザ光照射点から発生する蛍
光のみを検知することが可能となる。
【００２７】図１(B) は走査型光電子増倍管の説明図で
ある。走査型光電子増倍管は光電子増倍管の一種であ
り，光感度が非常に高く, 微細な蛍光の検出には最適で
ある。図において，14A は光電面, 14B は偏向コイル,1
4C はピンホールである。
ある。走査型光電子増倍管は光電子増倍管の一種であ
り，光感度が非常に高く, 微細な蛍光の検出には最適で
ある。図において，14A は光電面, 14B は偏向コイル,1
4C はピンホールである。
【００２８】図２(A),(B) は本発明の実施例２の構成図
である。この例は，実施例１の走査型光電子増倍管がス
イッチ型のデータ読出機構を備えるフォトダイオードア
レイに置き代わったことを除いて，動作動作原理は実施
例１と全く同様である。実施例２においては，フォトダ
イオードアレイの光検出位置が，再結像面上における蛍
光像の移動に追従するように，読み出すべきダイオード
アレイのセルを選択する必要がある。そのために，まず
格子検知信号を処理して現在の走査位置を検出し，それ
に応じて読出クロックのタイミングを制御する。これに
より，常にレーザ光照射点から発生する蛍光のみを検知
することが可能となる。
である。この例は，実施例１の走査型光電子増倍管がス
イッチ型のデータ読出機構を備えるフォトダイオードア
レイに置き代わったことを除いて，動作動作原理は実施
例１と全く同様である。実施例２においては，フォトダ
イオードアレイの光検出位置が，再結像面上における蛍
光像の移動に追従するように，読み出すべきダイオード
アレイのセルを選択する必要がある。そのために，まず
格子検知信号を処理して現在の走査位置を検出し，それ
に応じて読出クロックのタイミングを制御する。これに
より，常にレーザ光照射点から発生する蛍光のみを検知
することが可能となる。
【００２９】図２(B) はスイッチ型フォトダイオードア
レイの説明図である。スイッチ型フォトダイオードアレ
イは個々のフォトダイオードセルを配列し，アレイの受
光信号は個々のセルに接続される読出クロックにより開
閉するスイッチを経由して出力される。
レイの説明図である。スイッチ型フォトダイオードアレ
イは個々のフォトダイオードセルを配列し，アレイの受
光信号は個々のセルに接続される読出クロックにより開
閉するスイッチを経由して出力される。
【００３０】なお，実施例１，２において，次の置き換
えを行うことができる。 (1) 波長フィルタはビームヒプリッタ-1と再結像用レン
ズの間に配置してもよいし，再結像レンズと光センサ
（走査型光電子増倍管／スイッチ型フォトダイオードア
レイ）の間に配置してもよい。 (2) 回転ミラーの代わりに振動ミラー（ガルバノミラ
ー）を用いてもよい。 (3）走査位置の検出手段は，格子板と光センサの組み合
わせの他に，回転ミラーと回転検出器（エンコーダ等）
を用いてもよい。
えを行うことができる。 (1) 波長フィルタはビームヒプリッタ-1と再結像用レン
ズの間に配置してもよいし，再結像レンズと光センサ
（走査型光電子増倍管／スイッチ型フォトダイオードア
レイ）の間に配置してもよい。 (2) 回転ミラーの代わりに振動ミラー（ガルバノミラ
ー）を用いてもよい。 (3）走査位置の検出手段は，格子板と光センサの組み合
わせの他に，回転ミラーと回転検出器（エンコーダ等）
を用いてもよい。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば，走査の全域で蛍光の検
出を可能とし，レーザ照射点周囲より発生する不要な蛍
光による影響を少なくした蛍光検知光学系が得られ，バ
イアホールの欠陥検査装置の性能向上に寄与することが
できた。
出を可能とし，レーザ照射点周囲より発生する不要な蛍
光による影響を少なくした蛍光検知光学系が得られ，バ
イアホールの欠陥検査装置の性能向上に寄与することが
できた。
【図１】 本発明の実施例１の説明図
【図２】 本発明の実施例１の説明図
【図３】 従来例の構成図
【図４】 蛍光によるバイアホール検知の説明図
【図５】 バイアホールの検知信号の例の説明図
【図６】 蛍光信号を２値化する回路を示す図
【図７】 従来例によるバイアホールの検査論理の説明
図
図
【図８】 ポリイミド膜に形成したバイアホールの欠陥
例を示す断面図
例を示す断面図
１ セラミック基板 ２ 金属配線 ３ ポリイミド膜 ４ バイアホール ５ レーザ光 ６ 蛍光 ９ スキャンレンズ 11 蛍光励起用レーザ光源 12 ビームエクスパンダ 13 回転多面鏡 14 ミラー 15 ビームスプリッタ-1 16 波長フィルタ 17 再結像用レンズ 18 空間フィルタ（ピンホール） 19 光センサ-1 20 ビームスプリッタ-2 21 格子板 22 光センサ-2 24 走査型光電子増倍管（イメージディセクタ） 25 スイッチ型フォトダイオードアレイ
Claims (2)
- 【請求項１】 検査対象物に照射した収束レーザ光を走
査するときに発生する蛍光信号を検知する装置であっ
て，蛍光励起用のレーザ光を検査対象物上に走査する手
段と，該レーザ光の波長に対して最適化された走査レン
ズにより走査された該レーザ光を検査対象物上に集光す
る手段と，走査された該レーザ光の照射位置を検出する
手段と，走査された該レーザ光の照射点からの再帰反射
光を結像する手段と，該再帰反射光から蛍光成分を抽出
する手段と，該再帰反射光の結像面上において，該レー
ザ光の照射位置を検出する手段で得られた照射位置に対
応して走査する受光器により，該レーザ光の照射点に相
当する位置から発する蛍光成分のみを選択し電気信号に
変換する手段とを有することを特徴とする蛍光パターン
検知装置。 - 【請求項２】 前記受光器が走査型光電子増倍管，また
はスイッチ型の信号読出機構を備えたフォトダイオード
であることを特徴とする蛍光パターン検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19244892A JPH0634337A (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | 蛍光パターン検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19244892A JPH0634337A (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | 蛍光パターン検知装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0634337A true JPH0634337A (ja) | 1994-02-08 |
Family
ID=16291476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19244892A Withdrawn JPH0634337A (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | 蛍光パターン検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0634337A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2384835A1 (es) * | 2009-03-18 | 2012-07-13 | Universidad De Murcia | Procedimiento para el registro de imágenes en tomografía óptica de fluorescencia y sistema de aplicación. |
-
1992
- 1992-07-20 JP JP19244892A patent/JPH0634337A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2384835A1 (es) * | 2009-03-18 | 2012-07-13 | Universidad De Murcia | Procedimiento para el registro de imágenes en tomografía óptica de fluorescencia y sistema de aplicación. |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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