JPH06343908A - プレート又はディスクをラッカ塗布又は被覆する装置 - Google Patents

プレート又はディスクをラッカ塗布又は被覆する装置

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ラッカ塗布されるプレートを回転させる必要
がなく、しかも均一な被覆層を形成することができる、
単純な構造を備えた装置を提供する。 【構成】 毛管間隙２４を介してプレート１７をラッカ
塗布又は被覆する装置であって、毛管間隙２４が液状の
被覆媒体によって満たされていて、該毛管間隙の上を極
めて小さな間隔をもって、プレート１７が、ラッカ塗布
もしくは被覆される表面を下に向けて、ゆっくりと移動
させられ、その結果、毛管作用及び粘着作用によって薄
い層がプレート１７に塗布又は被覆される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、毛管にまで狭められた
開放したトラフを用いて、プレート又はディスクを、特
にＬＣＤ製造時におけるガラスプレートを、ラッカ塗布
又は被覆する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】薄膜技術の範囲において、特に、ＬＣＤ
スクリーン、半導体製造のためのマスク、半導体基板又
はセラミック基板等を製造する場合における薄膜技術の
範囲においては、しばしば次のような課題、すなわち方
形又は円形のプレートに、ラッカ又はその他のまず初め
は液状媒体から成る均一な層、例えばカラーフィルタ
（Farbfilter）又は特殊な保護層を設けるという課題が
生じる。ＰＣＴ／ＤＥ９３／００３９２に基づいて、こ
のようなラッカ塗布兼被覆過程の改良策が公知である。
この公知の装置によって、特に方形のプレートにおける
ラッカ層厚の均一性とラッカの消費量の節減とを達成す
ることができた。しかもこの場合には、それ以前におい
て必要であった、プレートを回転させる動作が不要にな
り、かつプレートを回転させるために要した機械的な費
用も節約することができた。
【０００３】
【発明の課題】本発明の課題は、ＰＣＴ／ＤＥ９３／０
０３９２に開示された装置をさらに改良して、プレート
を回転させる必要がなく、しかもさらに単純な構造を備
えた装置を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の構成では、毛管間隙を介してプレートをラッ
カ塗布又は被覆する装置であって、毛管間隙が液状の被
覆媒体によって満たされていて、該毛管間隙の上を極め
て小さな間隔をもって、プレートが、ラッカ塗布もしく
は被覆される表面を下に向けて、ゆっくりと移動させら
れ、その結果、毛管作用及び粘着作用によって薄い層が
プレートに塗布又は被覆されるようにした。
【０００５】
【発明の効果】本発明による装置では、プレートは被覆
される面を下に向けてトラフの上を案内され、そしてこ
のトラフは次のように、すなわち、該トラフが毛管とし
て作用し、それによってラッカが自動的にかつ特に均一
な速度で補給されるように、構成されている。毛管作用
は、０．５ｍｍよりも小さな幅を有する狭幅の間隙が形
成されることによって、達成される。そしてこの毛管作
用によって、ラッカ又はその他の被覆液は自動的に一定
の速度で、重力に抗して間隙内を上昇し、トラフ表面か
ら上に進出する。間隙の上においてラッカ流は、狭いラ
インとして、被覆すべきプレート表面に接触し、そこに
おいてラッカ塗布もしくは被覆される。
【０００６】本発明において有利には、毛管が、鉛直に
配置された２つの薄いプレートによって生ぜしめられて
おり、両プレートが、開放したトラフにおける被覆液に
浸漬されていて、両プレートの間隔が無段階式に調節さ
れ得るようになっている。このように構成されている
と、両プレートの間には、トラフの全長にわたって、毛
管作用のために最適な幅を備えた間隙が形成され得る。
そしてこれによって、毛管形状は、被覆される種々様々
なプレート形式に適合され得る。
【０００７】ラッカ塗布又は被覆されるプレートを、均
一かつ低い速度で、例えば０．２ｍｍよりも小さな極め
て小さな間隔をおいて間隙の上端部の上で、案内する
と、特に有利であることが判明している。これによって
ラッカは、トラフ表面から進出した直後に、プレート表
面に接触することができる。粘着力によってラッカは、
プレート表面に固着され、プレートと共にトラフ表面か
ら離される。その結果、後続のラッカは、毛管作用によ
るその上昇運動に加えて、トラフから引き出され、プレ
ートの運動速度に関連して、規定された層厚さでプレー
トに塗布又は被覆される。しかもこの場合、プレート表
面に対するラッカの粘着力によって次のようがおそれ、
すなわち、ラッカがトラフ表面からの進出後に側方に流
れて、層厚さの均一性が損なわれるようなおそれは発生
しない。
【０００８】また、両プレートの間の間隙が各ラッカ塗
布過程の後で、２ｍｍ〜３ｍｍの幅に開放されると、特
に有利である。これによって、ラッカ塗布過程以外には
望まれていない、ラッカの自動的な上昇が、回避され
る。ラッカが毛管間隙において長時間滞在したままだ
と、その特性が変化してしまう。そしてこのような特性
変化が、ラッカ塗布結果に不都合な影響を与えること
は、明らかである。この場合トラフの幅が２ｍｍ〜３ｍ
ｍに拡大されると、その中に留まっているラッカの変化
を回避することができる。
【０００９】さらにまた、プレートの間における間隙
が、ラッカ塗布過程の直前に毛管幅に狭められると有利
である。このようにすると、プレートの間におけるラッ
カはまず始め機械的に上方に向かって押し上げられ、そ
してラッカはトラフから進出して、既に準備されている
プレート表面に接触する。これによってラッカ塗布過程
がスタートし、このラッカ塗布過程は、いまや毛管状の
間隙における毛管作用によって引き続き行われ、プレー
トの運動と粘着作用とは、上に述べたように引き続き行
われる。
【００１０】本発明の別の有利な構成は次のことによっ
て特徴付けられている。すなわち本発明では、プレート
を対角線方向で（ueber Eck）かつ小さな仰角をもって
ラッカトラフに接近させる必要がもはやなくなる。さら
にまた、液体メニスカスがトラフの上において構成され
る必要がないので、補償タンクを介してのラッカ補充を
省くこともできる。
【００１１】
【実施例】次に図面につき本発明の実施例を説明する。
【００１２】図１には本発明による被覆装置１０の第１
実施例が示されている。フレーム１１にはトラフ１２
と、リニア搬送ユニット１５のためのスタンド１３，１
４とが固定されている。リニア搬送ユニット１５の可動
部分は下方を向いている。そしてこの可動部分には、ラ
ッカ塗布されるプレートのための回転可能な保持装置１
６が固定されている。プレート１７は例えば、マスク又
はＬＣＤスクリーンを製造するために、ラッカ被覆され
ることが望まれているガラスプレートである。プレート
１７は例えば真空によって吸い込まれて、プレート保持
装置１６に固定されている。このためにプレート保持装
置１６は、図示されていない適当な真空孔を有してい
る。本発明の枠内においてはしかしながらまた、当業者
にとって公知の別の保持装置を使用することも可能であ
る。
【００１３】トラフ１２は図１において横断面図で示さ
れており、図２においては拡大して示されている。トラ
フ１２における中空室１８は、部分的にラッカによって
満たされている。このラッカ充填部には、上から２つの
薄いプレート１９，２０が沈み込んでいる。プレート１
９は箇所３３においてトラフ１２の上縁部と堅く結合さ
れている。そしてこのプレート１９は不動である。これ
に対してプレート２０は、適当な装置を介してリニア運
動ユニット２２と結合されている。このリニア運動ユニ
ット２２を介してプレート２０は、矢印の方向で往復動
可能である。これによってプレート１９と２０との間の
間隙２４の幅は、無段階式に調節されることができる。
【００１４】最適なラッカ結果又は被覆結果を得るため
に、その都度の被覆液は、規定の温度を有し、かつ極め
て清浄でなくてはならない。したがって被覆液は、貯蔵
タンク２８から温度ユニット２９とフィルタ３０とを介
してトラフ１２に搬送される。この場合被覆液の搬送は
例えば、貯蔵タンクにおいて過圧（ガスクッション）を
生ぜしめることによって、又は、液体が測地学的な高さ
の差によってトラフに搬送されるように貯蔵タンクを適
当に配置することによって、実施することができる。し
かしながらまた、当業者にとって公知のその他の液体搬
送形式を用いることも可能である。
【００１５】被覆装置の全自動化された構成のために、
符号３１で示された箇所には自動式のローディング装置
が取り付けられ、かつ符号３２で示された箇所には自動
式のアンローディング装置が取り付けられている。ロー
ディング装置（３１）は、ラッカ塗布されるプレート１
７を、規定の箇所に装着されたマガジンから取り出し
て、プレート保持装置１６に供給する。アンローディン
グ装置（３２）は、プレート１７をプレート保持装置１
６から引き受けて、再び、規定の箇所に装着されたマガ
ジンに搬送する。
【００１６】ラッカ塗布兼被覆装置の作業形式は以下の
通りである：まず始めにプレート１７が、自動的にか又
は手によって、プレート保持装置１６に固定される。プ
レート保持装置１６の回転によって、このポジションは
なお修正されることができる。プレートホルダはこの時
点において、図１において符号３１で示されている箇所
の近傍に位置している。プレート１７が適正なポジショ
ンにおいてプレート保持装置１６に固定されている場合
には、リニア搬送ユニット１５は、符号２６で示された
矢印の方向、つまりトラフ１２に向かって運動させられ
る。
【００１７】このようにしてプレート１７は側部から、
間隙２４の上縁部に接近させられる。プレート１７の前
縁２５が間隙２４のすぐ上に位置するや否や、トラフ１
２におけるプレート２０はプレート１９に向かって接近
運動させられ、この接近運動は、両プレート１９，２０
の間において適当な毛管間隙幅が得られるまで続く。間
隙２４がこのように狭くなることによって、少量の液体
が間隙２４の表面から、プレート１７の被覆される表面
の最前のラインに押し付けられる。これによって被覆動
作が始まる。プレート１７はいまやリニア搬送ユニット
１５を介して、矢印２６の方向に等速度で移動させられ
る。この場合粘着力によって、薄い液体層がプレート表
面に付着する。そして必要な液体流は、間隙２４におけ
る毛管作用によって補充される。
【００１８】被覆動作は、プレート１７の後縁２７が間
隙２４を通過するや否や、終了する。その後で両プレー
ト１９，２０は次の被覆動作の開始まで、先に述べた理
由から、互いの間に２ｍｍ〜３ｍｍの間隔を有するよう
に、移動させられる。そしてプレート１７はさらに、該
プレートがプレート保持装置１６から自動的に又は手に
よって解離される範囲（アンローディグ箇所３２）に向
かって走行する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるラッカ塗布兼被覆装置の構造を示
す図である。
【図２】被覆動作の開始に際して毛管間隙を備えた、図
１に示されたトラフを示す横断面図である。
【符号の説明】
１０ 被覆装置、 １１ フレーム、 １２ トラフ、
１３，１４ スタンド、 １５ リニア搬送ユニッ
ト、 １６ プレート保持装置、 １７ プレート、
１８ 中空室、 １９，２０ プレート、 ２２ リニ
ア運動ユニット、２８ 貯蔵タンク、 ２９ 温度ユニ
ット、 ３０ フィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アルミン キューベルベック ドイツ連邦共和国 ベンスハイム アウガ ルテンシュトラーセ 45 (72)発明者 トルステン ゲリッシュ ドイツ連邦共和国 カールスルーエ ロー ンシュトラーセ 26 (72)発明者 カール アピッヒ ドイツ連邦共和国 シュテルネンフェルス クラメンシュトラーセ 20 (72)発明者 ヤコブ セケレシュ ドイツ連邦ハ和国 プフォルツハイム イ ム ヨッケンレーン １ (72)発明者 マーチン カリス ドイツ連邦共和国 ミュールアッカー イ ム デルニッヒ （番地なし)

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 毛管間隙（２４）を介してプレート（１
    ７）をラッカ塗布又は被覆する装置であって、毛管間隙
    （２４）が液状の被覆媒体によって満たされていて、該
    毛管間隙の上を極めて小さな間隔をもって、プレート
    （１７）が、ラッカ塗布もしくは被覆される表面を下に
    向けて、ゆっくりと移動させられ、その結果、毛管作用
    及び粘着作用によって薄い層がプレート（１７）に塗布
    又は被覆されることを特徴とする、プレート又はディス
    クをラッカ塗布又は被覆する装置。
  2. 【請求項２】 毛管間隙(２４)が、互いに平行な２つの
    プレート（１９，２０）によって形成されており、両プ
    レート（１９，２０）が、部分的に被覆液体を満たされ
    た開放したトラフ（１２）に浸漬している、請求項１記
    載の装置。
  3. 【請求項３】 両プレート（１９，２０）の間の間隔
    が、適当な装置を介して無段階式に可変である、請求項
    １又は２記載の装置。
  4. 【請求項４】 毛管間隙（２４）が、毛管作用を解消し
    かつ両プレート（１９，２０）間に収容された液体の特
    性変化を防止するために、各被覆動作後に開放される、
    請求項１から３までのいずれか１項記載の装置。
  5. 【請求項５】 毛管間隙（２４）が、少量の液体を毛管
    間隙（２４）からその上に押し出してラッカ塗布もしく
    は被覆を始めるために、各被覆動作の開始直前に閉鎖さ
    れる、請求項１から４までのいずれか１項記載の装置。
  6. 【請求項６】 被覆装置（１０）が、各１つのローディ
    ングステーション（３１）とアンローディングステーシ
    ョン（３２）とを備えていて、全自動式に運転可能であ
    る、請求項１から５までのいずれか１項記載の装置。
  7. 【請求項７】 被覆装置（１０）が、位置固定の保持装
    置（１６）と可動の被覆トラフ（１２）とをもって運転
    可能である、請求項１から６までのいずれか１項記載の
    装置。
JP6093563A 1993-05-05 1994-05-02 プレート又はディスクをラッカ塗布又は被覆する装置 Expired - Fee Related JP2777057B2 (ja)

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DE93/00392 1993-05-05
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DE93/00777 1993-08-26

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