JPH0634433B2 - 印刷配線用金属張り積層板 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、金属酸化物が均一に分散配合された芳香族系
重合体フィルムあるいはシートなどの薄板体と金属箔と
が積層されてなる印刷配線用金属張り積層板に関するも
のである。

［従来の技術］ 従来、電子部品における印刷配線用基板としてのフレキ
シブルプリント基板や半導体積層回路の実装用フィルム
キャリアテープの絶縁材あるいは電気機器における各種
電気モーター、変圧器、発電機などに用いられる電気絶
縁体には、ポリイミドフィルム、芳香族ポリアミドペー
パー、ポリエステルフィルム、エポキシ樹脂含浸ガラス
クロス等が用いられている。

特に、ポリミドフィルムは耐熱性や機械的強度に優れて
いることから、印刷配線用基板において金属箔張り積層
フィルムの絶縁フィルムとして広く用いられている。

しかしながら、一般に有機系重合体は無機物に比して熱
膨張率が大きいという欠点があり、芳香族ポリイミド系
重合体においてもその例外ではないが、それ故に、例え
ば、フレキシブルプリント基板としては使用において、
ポリイミドフィルムに金属箔を接着する際、熱膨張率の
差に起因して発生するカールを防ぐためにポリイミドフ
ィルムと金属箔との間に他の材料からなる接着層を設け
ることを必要としている。而して、かかる接着層に用い
られる材料は一般的に耐熱性に劣ることから、ポリイミ
ドフィルの有する耐熱性を充分に活かすことができない
という問題点がある。

したがって、ポリイミド系重合体の熱膨張率の改善につ
いて多くの試みが行なわれ、種々の構造のポリイミドが
提案されている。例えば、特開昭60−250031号公報には
低膨張性を有するものとして から選ばれるジアミン成分を用いたポリイミドが開示さ
れ、これらの銅張り積層板などへの応用が特開昭60-221
426 号公報に開示されている。また、他の例としてポリ
イミドの構成成分である酸二無水物、あるいはジアミン
成分に特殊な構造の化合物を用いて寸法安定性を改善す
る試みもある。

しかしながら、上記の如く、特殊な構造の化合物の使用
は原料の入手難や毒性についての問題点を残している。

［発明の解決しようとする問題点］ 本発明は、前記の如き問題点に鑑みなされたものであっ
て、加熱処理によって金属酸化物となりうる金属酸化物
ゾルまたは金属アルコキシドなどと入手の容易な原料よ
りなる芳香族系重合体のワニスとよりなる組成物を製膜
するとともに加熱処理することによって得られる金属酸
化物含有フィルムあるいはシートなどの薄板体が金属箔
に積層されてなる金属張り積層板が、従来公知の芳香族
系重合体フィルムあるいはシートを用いた積層板に比し
て著しく高い耐熱性、機械的強度、寸法安定性を示し、
接着層を介することなく金属箔との積層が可能であり、
したがって、従来の欠点であったカールの発生もないと
いう知見を得て本発明を完成するに至ったものである。

本発明の目的は、金属箔との積層において接着層を必要
とすることのない、耐熱性、機械的強度、寸法安定性ぬ
優れた印刷配線用金属張り積層板を新規に提供すること
にある。

［問題点を解決するための手段］ 即ち、本発明は、加熱処理によって金属酸化酸化物とな
りうる金属酸化物ゾルまたは金属アルコキシドあるいは
その部分縮合物と芳香族系重合体のワニスとからなる組
成物を製膜するとともに加熱処理して得られる金属酸化
物含有薄板体が金属箔に積層されてなる印刷配線用金属
張り積層罰を提供するものである。

本発明において、芳香族系重合体のワニスとして好適な
のは芳香族ポリイミド系重合体、およびその前駆体であ
る芳香族ポイアミック酸系重合体あるいは芳香族ポリス
ルホン系重合体のワニスである。

上記の芳香族ポリイミド系重合体は具体的には下記一般
式［Ｉ］ （但し、Ar¹ は より選ばれ； Ar² は より選ばれ；Ｒは炭素数１〜３のアルキル基、アルコキ
シ基、ハロゲンを示し；Ｘは単結合、-O-，-S-，-SO
₂-， 炭素数１〜６のアルコキレン基、パーフルオロアルコキ
レン基のいずれかを示し；ｎは０〜２の整数を示す。） で表わされる繰返し単位を有する重合体であって、通常
の酸二無水物とジアミン成分とより製造される。ワニス
としての調製は重合体を溶解しうる有機溶媒、例えば、
N,N-ジメチルアセトアミドによって調製される。

一方、芳香族ポリスルホン系重合体は基本骨格として下
記一般式［II］ （但し、式中Arは より選ばれ；R¹〜R⁷は水素、炭素数１〜８炭化水素基を
示し、互いに同一または異なっていてもよい；ａ〜ｅは
０〜４、f,g は０〜３の整数で同一または異なっていて
もよい；X¹，X²は単結合、-O-，-S-より選ばれ；Ｙは単
結合、-O-，-S-，-SO₂-， より選ばれ；Ｒは水素、炭素数１〜６の炭化水素基を示
す。） で表わされる単位構造を有し、その基本骨格単位の同一
繰返しからなる単一重合体あるいは二種以上の基本単位
からなる共重合体である。かかる芳香族ポリスルホン系
重合体としては、例えばポリスルホン、ポリエーテルス
ルホン、ポリチオエーテルスルホンおよびそれらの共重
合体である。その製造方法は本発明者らによる特開昭61
-72020号公報に開示されている。ワニスとしての調製に
おける有機溶媒としてはこれら重合体を溶解しうるもの
であれば特に限定されないが、好適なものとしてN-メチ
ル-2- ピロリドンなどを例示しうる。（尚以下、芳香
族ポリイミド系重合体およびポリアミック酸系重合体あ
るいは芳香族ポリスルホン系重合体を総称して重合体と
称する。） 本発明における加熱処理によって金属酸化物となりうる
金属酸化ゾルまたは金属アルコキシドは重合体の分解温
度以下の加熱処理温度下に金属酸化物となるものである
ことが必要である。

金属アルコキシドとしてはSi，Al，Sn，Ti，Zrから選ば
れる少なくとも１種であるのが好適である。具体的には
シリコンテトラエキシドの如きSiのアルコキシド、アル
ミニウムトリイソプロポキシドの如きAlのアルコキシ
ド、チンテトラブトキシドの如きSnのアルコキシド、チ
タンテトライソプロポキシドの如きTiのアルコキシド、
ジルコニウムテトラブトキシドの如きZrのアルコキシド
等を例示し得る。これらは予備縮合させた部分縮合物も
用いられる。また、金属アルコキシドまたは部分縮合物
を単独、あるいはそれらを併用することができる。

（以下、特に部分縮合物と明記のない場合、金属アルコ
キシドには部分縮合物を含む。） 次に、本発明における金属酸化物ゾルとしては水性ある
いは有機性ゾルが用いられ、例えばシリカゾル、アルミ
ナゾル、酸化アンチモンゾル、酸化鉄ゾル、ジルコニア
ゾル、チタニアゾル、酸化錫ゾルが挙げられる。水性金
属酸化物ゾルは、コロイドの大きさの金属酸化物粒子に
水が分散したものであり、有機性ゾルは金属酸化物表面
の疎水化処理により有機化されて、分散媒はアルコール
系、例えばメチルアルコール、エチルアルコール、n-プ
ヨピルアルコール、イソプロピルアルコールなどよりな
るものが市販されている。本発明において、有機性ゾル
は必要に応じて金属酸化物の表面をさらに疎水化処理し
て分散媒を他の疎水性有機溶媒に転相したり、混合溶媒
としたものを用いることもできる。

金属アルコキシドと金属酸化物ゾルは併用してもよい。

本発明において、金属箔に積層される金属酸化含有薄板
体はフィルムあるいはシートなどであって、厚さの薄い
板状体を含む。

薄板体中に含まれる金属酸化物の量は重合体 100重量部
に対して 1〜200 重合部の割合であるのが望ましく、
金属酸化物の量が多くなるにしたがい耐熱性、寸法安定
性は向上するが、多過ぎる場合は脆くなる傾向が、また
少な過ぎる場合は効果は発現され難く、したがって好ま
しくは10〜100 重量部である。

重合体に金属酸化物を配合して組成物を調製し、製膜し
てフィルムを得る方法として、金属酸化物を粉体の形態
で直接配合する方法が公知であるが、かかる方法におい
ては、通常二次粒子として存在している粉体を完全に一
次粒子化することが困難であって、この結果、粒子その
ものがフィルムの欠陥点となり、フィルムの強度を低下
させたり、脆くさせ、極端な場合には製膜によるフィル
ム化が困難となることもある。

本発明においては、重合体のワニスに金属酸化物ゾルま
たは金属アルコキシドを配合してなる組成物を製膜する
とともに加熱処理によって金属酸化物含有フィルムやシ
ートなどの薄板体とされることに特徴があり、得られる
薄板体は金属張り積層体としての使用において、上記の
如き問題点は全くない。金属アルコキシドの配合された
組成物の場合、製膜とともに加熱処理されることによっ
て縮合が進行して金属酸化物となり、その結果均一に分
散された薄板体が得られる。ここで、金属アルコキシド
は水および酸、塩基などの如き触媒を添加して加水分解
させ縮合を進行させて部分縮合物としておいてもよい。
この場合、添加する水の量は金属アルコキシドに含まれ
るアルコラートの当量以上であれば充分であるが、アル
コラートの当量以下の量で加水分解による縮合の程度を
調製することもできる。

金属酸化物ゾルについては、既に金属酸化物粒子が形成
されているため、基本的には重合体のワニスに配合され
てなる組成物を製膜する際の乾燥工程によって金属酸化
物が均一に分散された薄板体が得られる。

本発明において用いられる金属酸化物ゾルまたは金属ア
ルコキシドは特に、他の処理を要することなく使用しう
るが、重合体のワニスへの配合による組成物の調製にお
いて、混合性、分散性を向上させる目的から適当な溶媒
体を添加してもよい。さらに混合性などを向上させるた
めにシランカップリング剤を添加してもよく、この場合
のシランカップリング剤は重合体と分散された物質の単
なる分散改良剤、分散安定剤としての作用のみならず、
適当な官能基を有するものを選択することによって重合
体の有する官能基と結合させることが可能となり、得ら
れる薄板体の物性を著しく向上させることができる。か
かるシランカップリング剤として使用し得るものは例え
ば、メチルトリメトキシシランの如きアルキル系シラン
カップリング剤、γ−クロロプロピルトリメトキシシラ
ンの如きハロゲン系シランカップリング剤、ビニルトリ
エトキシシランの如きビニル系シランカップリング剤、
γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランの如き
メタクリル系シランカップリング剤、γ−グリシドキシ
プロピルトリメトキシシランの如きエポキシ系シランカ
ップリンギ剤、γ−メルカプトプロピルトリエトクシシ
ランの異きメルカプトシランカップリング剤、γ−（ジ
エタノールアミン）プロピルトリエトキシシランの如き
ヒドロキシ系シランカップリング剤、γ−イソシアナー
トプロピルトリメトキシシランの如きイソシアネート系
シランカップリング剤、γ−アミノプロピルトリメトキ
シシランの如きアミン系シランカップリング剤あるいは
その塩タイプ等が挙げられ、これらは単独でも二種類以
上を併用してもよい。かかるシランカップリング剤は重
合体に金属または金属酸化物ゾルの配合時、あるいは製
膜時に単に添加混合するのみで良いが、重合体が官能基
を有し、シランカップリング剤と何らかの相互作用ある
いは結合形成が期待される場合は、あらかじめ重合体に
混合したり、加熱等の前処理を施すことも効果的であ
る。その他、チタネート系カップリング剤、アルミニウ
ム系カップリング剤を金属酸化物の必要とする特性に応
じて使用することもできる。また、金属アルコキシドや
組成物の安定化、反応を調製する目的でアセチルアセト
ンの如きキレート化剤、錯化剤を用いることも効果があ
る。

金属アルコキシドまたは金属酸化物ゾルと重合体のワニ
スとからなる組成物は製膜されるとともに加熱処理され
ることによって重縮合が進行し薄板体化され、金属酸化
物含有薄板体に成形されるが、この場合の加熱温度は50
℃〜500 ℃である。加熱温度が低温にすぎると溶媒除去
が不充分となり、上記の反応に体する加熱の寄与が少な
く、また高温にすぎると熱分解を生ずる。したがって、
好ましくは 100℃〜400 ℃である。かかる処理によって
得られる薄板体は延伸、硬化処理などの後処理を行なう
ことによって、さらに物性を向上させることができる。
また、液状の組成物にガラスクロス、カーボンファイバ
ー、アラミドクロス、ガラスペーパー、カーボンペーパ
ー、アラミドペーパーなどを含浸させたりあるいは繊維
質材料を分散させて、さらに耐熱性に優れた薄板体とす
ることもできる。尚、得られる薄板体の熱膨張率は含ま
れる金属酸化物の量を調整することによって積層する金
属箔と同程度に近づけることも可能である。

上記のようにして得られる金属化物含有薄板体を金属箔
に積層して金属張り積層板とするには、上記の製膜によ
る薄板体化の工程を利用する方法と得られた薄板体と金
属箔とを熱融着する２つの方法が採用される。即ち 金属酸化物ゾルまたは金属アルキシドと重合体のワニ
スとからなる組成物を金属箔上に直接処理して製膜する
とともに前記の加熱処理方法にしたがって金属箔上で薄
板体化することによって金属酸化物薄板体が積層された
金属張り積層板とする方法。

金属酸化物ゾルまたは金属アルコキシドと重合体のワ
ニスとからなる組成物を製膜するとともに前記の加熱処
理方法にしたがって薄板体化することによって得られた
金属酸化物含有薄板体と金属箔とを熱融着することによ
って金属張り積層板とする方法。

上記、いずれの方法によっても良好な金属張り積層
板を得ることができる。ここで、金属酸化物含有フィル
ムとして熱可塑タイプであれば製膜の際の加熱温度に関
して前記の温度であるのが望ましいが、熱硬化タイプで
ある場合は、硬化が進行しすぎないように調整した状
態、いわゆるＢステージ化によって薄板体化し、これに
よって得られた金属酸化物含有フィルムを金属箔との熱
融着により積層時に完全に硬化させることもできる。上
記の方法における熱融着による積層には加熱プレス、
ロールラミネーターなどの積層装置の使用が好適であ
る。また、熱融着の他に接着剤によって積層することも
できるが、金属酸化物含有薄板体の熱膨張率は金属箔と
同程度に小さいため接着剤を用いることなく単なる熱融
着によって金属箔と積層してカールやそりの発生などが
ない金属張り積層板とするのが好ましい。

［作用］ 本発明における金属酸化物含有フィルムやシートなどの
薄板体が金属箔に積層されてなる金属張り積層板が優れ
た耐熱製、寸法安定性などを有する作用機構については
必ずしも明確ではないが、金属酸化物が重合体のワニス
に金属酸化物ゾルまたは金属アルコキシドで配合される
ことにより、均一に混合分散されること、しかも製膜と
ともに加熱処理されて重縮合が進行することから、この
際、金属酸化物が重合体の有する官能基と何らかの相互
作用を生ずるか、あるいは化学結合が形成されることに
よるものと推測される。また、含有する金属酸化物を多
量とすることが可能であり、その量を調整して金属酸化
物含有薄板体の熱膨張率を金属箔のそれと同程度となし
うることから、金属箔との積層による金属張り積層板と
して、カールやそりの発生がない積層板となり得るもの
と考えられる。

［実施例］ 本発明を実施例によって、さらに具体的に説明するが、
かかる実施例のみによって本発明が限定されるものでな
いことは勿論である。

調製例１ シリコンテトラエトキシド溶液の調製 撹拌機および滴下ロートを装着した反応器内にN,N-ジメ
チルアセトアミド80ｇとシリコンテトラエトキシド（東
京化成社品）69.4ｇを仕込み、激しく撹拌しながら、ρ
−トルエンスルホン酸0.69ｇと水24.0ｇとの混合液を室
温にて30分を費やして滴下し、さらに一昼夜撹拌して透
明な均一なシリコンテトラエトキシドの溶液（SiO₂換算
濃度11.5％）を調製した。

調製例２ チタンテトライソプロポキシド溶液の調製 撹拌機を装着した反応器内にN,N-ジメチルアセトアミド
56ｇとチタンテトラ−イソプロキシド（日本曹達社品）
71.4ｇを仕込み激しく撹拌しながらアセチルアセトン2
5.1ｇと水4.5ｇとを室温で加え、さらに一昼夜撹拌して
透明均一なチタンテトライソプロポキシドの溶液（TiO₂
換算濃度12.8％）を調製した。

調製例３ シリカゾルの調製 撹拌機および滴下ロートを装着した反応器内にN-メチル
-2- ピロリドン100ｇを仕込み、激しく撹拌しながら、
シリカ30％メトノールゾル（“ＯＳＣＡＬ−1132”触媒
化成工業社品）83g を室温で10分を費やして滴下し
後、加熱してゾル中のメタノール分を留去し透明均一な
シリカ20％N-メチル-2- ピロリドンゾルを調製した。

調製例４ ポリアミック酸ワニスの調製 撹拌機、滴下ロート、還流冷却器を装着した反応器内に
4,4′−ジアミノジフェニルエーテル20.02gとN,N-ジメ
チルアセトアミド213gとを仕込み、窒素ガスを通じて激
しく撹拌しながら10℃以下に保持してピロメリット酸二
無水物21.81gを２時間を費やして添加した。その後、反
応温度を室温としてピロメリット酸二無水物が完全に溶
解した溶液をさらに室温にて６時間撹拌してポリアミッ
ク酸のワニスを得た。このポリアミック酸のワニスの対
数粘度（ηinh）は1.86dl/g（0.5g/N,N-ジメチルアセト
アミド100mlの濃度、30℃にて測定、以下同じ）であっ
た。

調製例５ 芳香族ポイスルホン系重合体ワニスの調製 4,4-ジクロルジフェニルスルホン、ビスフェノールＡ、
および炭酸カリウムを反応させて得られるプレカーサー
に4,4′−ジクロルフェニルスルホンと硫酸ナトリムを
加えて反応させて下記式で表わされる芳香族ポリチオエ
ーテルスルホン系重合体を得た。（詳細は、前記特開昭
61-72020号公報参照。） 対数粘度（η-inh）は0.65（0.5g／フェノール：1,1,2,
2-テトラクロルエチレン＝３：２重量比、100mlの濃
度、30℃にて測定） この重合体 20gとヘキサメトキシメチルメラミン0.5gを
N-メチル-2- ピロリドン80ｇに溶解し、不溶物を濾過に
よって除去してワニスを調製した。

実施例１ 撹拌器、滴下ロート、還流冷却器とを装着した反応器内
に、調製例４ちて得られたポリアミック酸のワニス100g
を仕込み、激しく撹拌しながら温度を室温に保持して、
調製例１にて調製したシリコンテトラエトキシド溶液 3
6gを約30分を要して滴下し、茶色の透明な粘稠液よりな
る組成物を得た。

次に、この得られた粘稠液な組成物を厚さ35μｍの圧延
銅箔に塗布し、窒素ガス雰囲気中で 100gにて１時間乾
燥し、続いて銅箔を固定枠にて固定して 200℃にて２時
間、 350℃にて２時間それぞれ加熱を行なうことによっ
て、塗膜厚さが30μｍに積層されてなるフレキシブル印
刷配線用金属張り積層板を得た。この積層板は固定枠よ
り取り外してもカールの発生はなく、またハンダ耐熱試
験として 350℃に30秒間保持しても、膨れ、カールなど
の発生は全く認められなかった。

実施例２ 実施例１と同様の反応器内に調製例４にて得られたポリ
アミック酸のワニス100gを仕込み、激しく撹拌しながら
室温にて、3-アミノプロピルトリエトキシシラン 0.16g
を加え、室温に保持して撹拌し、次いで、調製例１にて
調製されたシリコンテトラエトキシド溶液 22gおよび調
製例２にて調製されたチタンテトライソプロポキシド溶
液 11.5gを混合した溶液を約30分を要して滴下すること
によって茶色の透明な粘稠液よりなる組成物を得た。

次に、この粘稠液を実施例１と同様に銅箔上に塗布、乾
燥、加熱して、銅箔と積層されたフレキシブル印刷配線
用金属張り積層板を得た。

この積層板は固定枠より取り外してもカールすることな
く、また、ハンダ耐熱試験の 350℃、30秒においても膨
れ、カールなどの発生は認められなかった。

実施例３ 実施例１と同様の反応器内に調製例５で得られた芳香族
ポリスルホン系重合体ワニス100gを仕込み、激しく撹拌
しながら、心音にて調製例１で調製したシリコンテトラ
エトキシ溶液116gを約１時間を要して滴下することによ
って、半透明な粘稠液よりなる組成物を得た。

この粘稠液をガラス板上に流延し、 100℃にて１時間、
200℃にて２時間熱処理した後、ガラス板上に形成され
た塗膜を剥離して厚さ30μｍのフィルムを得た。このフ
ィルムを厚さ35μｍの圧延銅箔上に重ねて、 28℃、40k
g/cm²の条件で１時間プレスしてフレキシブル印刷配線
用金属張り積層板を得た。この積層板はカールすること
なく、またハンダ耐熱試験において、 350℃、30秒にて
も膨れ、カールなどの発生は全く認められなかった。

実施例４ 実施例１と同様の反応器内に、市販の芳香族ポリスルホ
ン（“Udelp-1700”：ユニオンカーバイド社製品）のN-
メチル-2-ピロリドン20％溶液100gを仕込み、激しく撹
拌しながら室温にて、調製例３で調製されたシリカゾー
ル10g を約10，分間を要して滴下することによって無色
透明の粘稠液よりなる組成物を得た。

次に、この粘稠液に、100g/m²のガラスクロスを浸漬し
た後、引上げて、 180℃にて15分間乾燥させて樹脂含量
70％のプリブレグを製作し、続いて、このプリプレグ８
枚に厚さ35μｍの圧延銅箔を上下に挟み、 280℃にて40
kg/cm²の条件にて30分間プレスしてリジッド印刷配線用
金属張り積層板を得た。この積層板は、ハンダ耐熱試験
において 350℃、30秒にても膨れ、カールなどの発生は
全く認められなかった。

比較例１ 調製例４において得られたポリアミック酸のワニスのみ
を実施例１と同様の方法で銅箔上に塗布、乾燥してフレ
キシブル印刷配線用金属張り積層板を作製した。しか
し、この積層板は加熱処理後固定枠から取り外したこと
ろ、カールしてしまった。この積層板を逆方向に巻き直
してカールを取り除き、平板とした後にハンダ耐熱試験
を行なったところ 350℃、30秒で再びカールしてしまっ
た。

比較例２ 実施例４にて用いた市販の芳香族ポリスルホンのワニス
に100g/m²のガラスクロスを浸漬し、実施例４と同様の
方法によってリジッド印刷配線用金属張り積層板を得
た。この積層板は、ハンダ耐熱試験において 350℃、30
秒で膨れを生じてしまった。

［発明の効果］ 本発明の印刷用配線用金属張り積層板は、金属箔上に、
金属酸化物を多量に含有する重合体のフィルム、あるい
はシートなどの薄板体が直接積層されてなることに特徴
がある。したがって、金属箔と薄板体とは接着剤層を介
して積層されることがないために、従来の積層板に比し
て、耐熱性、寸法安定性が極めて良好であるという効果
が認められる。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】加熱処理によって金属酸化物となりうる金
   属酸化物ゾルまたは金属アルコキシドあるいはその部分
   縮合物と芳香族系重合体のワニスとからなる組成物を製
   膜するとともに加熱処理して得られる金属酸化物含有薄
   板体が金属箔に積層さてなる印刷配線用金属張り積層
   板。
2. 【請求項２】芳香族系重合体のワニスが芳香族ポリイミ
   ド系重合体のワニスあるいはその前駆体である芳香族ポ
   リアミック酸系重合体のワニスである特許請求の範囲第
   １項記載の金属張り積層板。
3. 【請求項３】芳香族系重合体のワニスが芳香族ポリスル
   ホン系重合体のワニスである特許請求の範囲第１項記載
   の金属張り積層板。
4. 【請求項４】金属張り積層板が金属酸化物ゾルまたは金
   属アルコキシドあるいはその部分縮合物と芳香族系重合
   体のワニスとからなる組成物を金属箔上に製膜するとと
   もに加熱処理し積層されてなる特許請求の範囲第１項記
   載の金属張り積層板。
5. 【請求項５】金属張り積層板が金属酸化物含有薄板体を
   金属箔に熱融着されてなる特許請求の範囲第１項記載の
   金属張り積層板。