JPH0634663Y2 - 流体圧確認センサ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、流体圧が正常か否かを確認するための流体圧
確認センサに関するものである。

［従来の技術］ 流体圧アクチュエータ等の流体圧駆動機器は、該駆動機
器に供給される流体の流体圧に応じた駆動力が発生する
ので、駆動機器の出力に見合う流体圧を設定する必要が
ある。したがって、通常二次側の流体圧は、一次側の流
体圧に拘らず一定になるように、設定圧が調整可能な減
圧弁で設定している。

しかしながら、実際には、減圧弁と駆動機器の間の流路
を、流体圧作動のメカニカルバルブや電磁弁等の種々の
方向制御弁によって分岐あるいは遮断して、駆動機器に
所定の作業をさせる場合が多い。この場合、方向制御弁
の内部機構の動きは、通常駆動機器の作動によって判断
できるが、何らかの原因によって駆動機器が作動しない
ときは、その原因が駆動機器または方向制御弁のいずれ
にあるかを外部から判断することができない。

従来、この種の確認手段として、圧力センサが使用され
ている。

即ち、圧力センサによって、流体流路に流体圧が正常に
作用していることを確認すれば駆動機器に異常のあるこ
とが、また、流体流路に流体圧が正常に作用していない
ことを確認すれば方向制御弁に異常のあるとが判定でき
る。

そして、上記圧力センサとして、圧力によって電気抵抗
が変化する導電性材料からなる圧力検出素子を使用した
ものが、実開昭52-106182号公報及び特開昭59-3284号公
報によって提案されている。

しかしながら、前者の圧力センサは、圧力検出素子を圧
力の被検出流体から保護する保護体として金属製のベロ
ーズを使用しているので、金属ベローズの取付けによっ
て、ベローズと圧力センサの間に隙間ができたり或いは
ベローズが圧力センサを圧縮したりすると、圧力の検出
精度が低下するために、ベローズの取付け作業が面倒で
高価になるという問題がある。

また、後者の圧力センサは、圧力検出素子の外周に環状
のスペーサを設け、２分割した筐体相互の螺合により上
記スペーサを押圧固定するものであるから、筐体の構成
が複雑で、しかも圧力検出素子とスペーサを精度よく製
作しないと同様に圧力の検出精度が低下するという問題
がある。

［考案が解決しようとする課題］ 本考案が解決しようとする課題は、圧力の検出精度が高
く、しかも圧力検出素子等の筐体への固定が容易で安価
なものにできる流体圧確認センサを提供することにあ
る。

［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本考案の流体圧確認センサ
は、流体圧作用部への取付部、凹部、及び上記流体圧作
用部と凹部を連通させる入口ポートを備えた筐体と、上
記凹部に入口ポート側から順次挿入された、可撓性シー
トと、常時は電気絶縁性で圧縮により導電性に変る導電
性材料と、一対の電極を有し導電性材料を支持する基板
とよりなり、上記可撓性シート、導電性材料及び基板
を、上記凹部の先端による基板周縁のかしめ止めによっ
て凹部に気密に固定したことを特徴としている。

［作用］ 筐体の凹部に、可撓性シート、導電性材料及び基板を順
次挿入し、該基板の周縁を凹部の先端でかしめると、こ
れらが筐体に気密に固定されるので、これらの部材の筐
体への固定が容易である。

また、基板の周縁をかしめ止めしたことによって、かし
めの力が導電性材料の受圧部に殆ど作用しないので、か
しめ止めによって圧力の検出精度が低下することはな
い。

上記流体圧確認センサは、取付部によって筐体を流体圧
作用部に取付けると、入口ポートを介して可撓性シート
に流体圧が作用し、その流体圧が正常な場合には、可撓
性シートの変位によって導電性材料が圧縮されて導電性
に変化し、一対の電極間が電気的に接続される。

流体圧作用部に流体圧が作用していないか、または流体
圧が正常に作用していない場合には、導電性材料が導電
性に変化しないため、一対の電極間は電気的に絶縁して
いる。

したがって、駆動機器が作動しない原因を、外部から判
断することができる。

［実施例］ 第１図は本考案の実施例を示し、この流体圧確認センサ
の筐体１は、一端に流体の配管や方向切換弁等の流体圧
作用部に取付けるためのねじ2aを、他端に後記するカバ
ー取付用のねじ2bをそれぞれ備え、中間はスパナ等をか
けるために六角形に形成されている。

上記筐体１は、ねじ2b側が開口する凹部３を有し、該凹
部３の底面とねじ2a側の端面との間に圧力流体の入口ポ
ート４が開設されており、凹部３の底面側から、可撓性
シート６、導電性材料７、基板８が順次挿入され、これ
らの周縁は、凹部の先端によってかしめ止めされてい
る。

上記可撓性シート６は、柔軟でかつ電気絶縁性の素材に
よって形成されて凹部３の周壁を気密にシールし、入口
ポート４に流体圧が作用すると中央部が導電性材料７側
に変位するもので、導電性材料７は、多数の金属粒子を
含有し、通常は電気絶縁性で圧縮力を受けると導電性に
変わるものであり、基板８は、電気絶縁性の素材で形成
され、かしめ止め部との間が、必要により適宜のシール
材を設ける等によって気密にシールされており、基板８
と可撓性シート６によって、導電性材料７が凹部３内に
気密に設置される。また、基板８には、一対の電極9,9
が軸方向に気密に設けられており、電極9,9の先端は導
電性の被覆10を介して導電性材料７の端面に当接してい
る。

上記基板８は、導電性材料７の圧縮変形を支承するため
に、比較的強度の大きい素材で形成する必要があるが、
かしめ止めによって導電性材料７を全面的に圧縮しない
ように、少なくともその中央部は、導電性材料７を強く
圧縮することがなく、かつ導電性材料の圧縮変形を支承
できる強度を有するものにする必要がある。

第１図中の符号12は、ねじ2bに螺着させた、電極9,9の
カバーである。

なお、図示を省略しているが、電極9,9の他端は、適宜
の電源を介して、ランプ、ブザー等の、導電性材料７が
導電性に変化したことが確認できる機器に接続される。

上記流体圧確認センサは、ねじ2aにより所定の流体流路
または方向制御弁等の流体圧作用部に螺着すると、入口
ポート４を通して可撓性シート６に流体圧が作用し、流
体圧が正常な場合には、可撓性シート６の変位で導電性
材料７が圧縮されて電極9,9が電気的に接続し、流体圧
が作用しないかまたは正常より低い場合には、導電性材
料７が導電性に変化しないので、電極9,9間が電気的に
絶縁している。したがって、これらの状態を適宜の手段
によって検知して、流体圧が正常か否かを極めて容易に
確認することができる。

上記流体圧確認センサは、小形でかつ安価にすることが
でき、導電性材料７に含有させる金属粒子の量、流体圧
に対する可撓性シート６の変位量等を変えることにより
導電性材料が導電性に変る圧縮力を調整できるので、圧
力ゲージに比べて圧力の精度を高めることができる。

また、導電性材料７に圧力流体が接触すると、導電性材
料が劣化したりセンサが誤動作したりする恐れがある
が、これを可撓性シート６と基板８によって気密にシー
ルしたので、水分等による劣化や誤動作を防止すること
ができる。

［考案の効果］ 本考案の流体圧確認センサは、筐体の凹部に順次挿入し
た可撓性シート、常時は電気的に絶縁し圧縮により導電
性に変る導電性材料、及び基板を、凹部の先端のかしめ
止めによって筐体に気密に固定したので、ベローズによ
ってシールするものに比べてこれらの部材の筐体への固
定がきわめて容易であり、これによって圧力センサを安
価なものにすることができる。

また、基板の周縁をかしめたことにより、かしめ止めに
よる圧縮力が導電性材料の受圧部に殆ど作用しないの
で、圧力の検出精度の低下を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例の縦断正面図である。 １……筐体、2a……ねじ、 ３……凹部、４……入口ポート、 ６……可撓性シート、７……導電性材料、 ８……基板、９……電極。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−207939（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−3234（ＪＰ，Ａ) 実開 昭52−106182（ＪＰ，Ｕ)

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】流体圧作用部への取付部、凹部、及び上記
   流体圧作用部と凹部を連通させる入口ポートを備えた筐
   体と、上記凹部に入口ポート側から順次挿入された、可
   撓性シートと、常時は電気絶縁性で圧縮により導電性に
   変る導電性材料と、一対の電極を有し導電性材料を支持
   する基板とよりなり、 上記可撓性シート、導電性材料及び基板を、上記凹部の
   先端による基板周縁のかしめ止めによって凹部に気密に
   固定した、 ことを特徴とする流体圧確認センサ。