JPH0634674A - 電流測定装置 - Google Patents

電流測定装置

Info

Publication number
JPH0634674A
JPH0634674A JP4153034A JP15303492A JPH0634674A JP H0634674 A JPH0634674 A JP H0634674A JP 4153034 A JP4153034 A JP 4153034A JP 15303492 A JP15303492 A JP 15303492A JP H0634674 A JPH0634674 A JP H0634674A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resistor
voltage
terminal
switch
current
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4153034A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuhiko Miki
安彦 三木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tektronix Japan Corp
Original Assignee
Sony Tektronix Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Tektronix Corp filed Critical Sony Tektronix Corp
Priority to JP4153034A priority Critical patent/JPH0634674A/ja
Publication of JPH0634674A publication Critical patent/JPH0634674A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measurement Of Current Or Voltage (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】 既知の電圧が非反転入力端子に供給された演
算増幅器10の反転入力端子及び出力端子間には、抵抗
値が既知の第1抵抗器14及び電流測定用第2抵抗器2
8と、第1、第2及び第3スイッチ24、16、26か
ら成る回路網が接続される。電流測定用第2抵抗器の両
端電圧は、差動増幅器18で検出されて、アナログ・デ
ジタル変換器でデジタル値に変換された後、CPUで処
理される。 【効果】 スイッチの接続状態を選択し、既知の第1抵
抗器を使用することにより、第2抵抗器の抵抗を求める
ことができるので、高精度及び高安定性の高価な抵抗器
を電流測定用抵抗器として使用しなくても、正確な電流
測定ができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電流測定装置、特に、
高精度の高価な高抵抗器を必要としない微小電流測定装
置に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
電流値を測定する際には、既知の抵抗値を有する測定用
抵抗器に被測定電流を供給し、測定用抵抗器の両端電圧
を測定し、測定電圧値を既知の抵抗値でわり算すること
により、被測定電流値を得ている。特に、被測定電流が
マイクロ・アンペア又はピコ・アンペアのオーダーの微
小電流である場合は、測定用抵抗器は高抵抗値を有する
ことが要求される。しかし、通常、高抵抗値の抵抗器
は、低抵抗値の抵抗器に比較して、抵抗値の精度及び長
期的安定性が劣っている。また、高精度の高抵抗値の抵
抗器は高価であり、電流測定器の製造コストが上がる。
更に、精度の高い抵抗器を使用しても、安定性の問題に
より、長期にわたる正確な測定が困難である。
【0003】したがって、本発明の目的は、高価な抵抗
器を必要とせずに正確な測定が可能な電流測定装置の提
供にある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の電流測定装置に
おいて、中央処理装置(以下CPUという)は、デジタ
ル・アナログ変換器(以下DACという)を制御して、
演算増幅器の非反転入力端子に供給する電圧を設定す
る。演算増幅器の反転入力端子は、電流測定時に被測定
素子を接続するための測定用端子に接続される。演算増
幅器の出力端子及び測定用端子間には、直列接続された
第1スイッチ及び抵抗値が既知の第1抵抗器を含む第1
直列回路と、演算増幅器の出力端子から測定用端子に向
かって順番に直列接続された第2スイッチ及び第2抵抗
器を含む第2直列回路とが接続される。第2スイッチ及
び第2抵抗器の接続点と接地電位源間には、第3スイッ
チが接続される。演算増幅手段の出力端子及び上記測定
用端子間の電圧は、電圧検出手段で検出されて、アナロ
グ・デジタル変換器(以下ADCという)でデジタル値
に変換された後、CPUで処理される。
【0005】
【作用】始めに第1及び第3スイッチを閉状態にし、第
2スイッチを開状態にする。この接続状態では、演算増
幅器の出力端子及び接地電位源間に第1及び第2抵抗器
が直列接続され、電圧検出器は第1抵抗器の両端電圧を
検出し、第1及び第2抵抗器の接続点即ち測定用端子の
電圧は、演算増幅器の非反転端子に設定した電圧にな
る。第1及び第2抵抗器を流れる電流は、検出電圧を第
1抵抗器の抵抗値で除算することで求められ、この電流
値で設定電圧値を除算することにより、第2抵抗器の抵
抗値を求めることができる。電流測定を行う場合は、被
測定素子を測定用端子に接続し、第1及び第3スイッチ
を開状態にし、第2スイッチを閉状態にする。この接続
状態では、第2抵抗器が被測定素子と直列接続され、電
圧検出器は、第2抵抗器の両端電圧を検出する。被測定
素子に流れる電流は、検出電圧を第2抵抗器の求めた抵
抗値で除算することにより求められる。このように、ス
イッチの接続状態を選択し、既知の第1抵抗器を使用す
ることにより、第2抵抗器の抵抗を求めることができる
ので、高精度及び高安定性の高価な抵抗器を電流測定用
の抵抗器として使用しなくても、正確な電流測定ができ
る。
【0006】
【実施例】図1は、本発明の電流測定装置を示すブロッ
ク図である。CPU2は、ホストコンピュータ又はキー
ボードからの入力命令に従い、後述する様にバス4を介
して他の構成要素を制御するためのデータを発生し、且
つ他の構成要素から送られるデータを使用して、測定に
必要な計算を行う。CPU2により得られた測定結果
は、陰極線管の如き表示器6に表示される。
【0007】DAC8は、CPU2が入力命令に従って
出力したデジタル電圧データを受け取りアナログ電圧に
変換して出力する。DAC8は、出力アナログ電圧を演
算増幅器10の非反転入力端に供給する。演算増幅器1
0の出力端は、双投スイッチ12の第1接点に接続され
る。双投スイッチ12の第2接点は、抵抗器14の一
端、スイッチ16の一方の接点、差動増幅器18の非反
転入力端及びスイッチ20の一方の接点に接続される。
双投スイッチ12の第3接点は、抵抗器22を介して演
算増幅器10の反転入力端に接続される。双投スイッチ
12の第2及び第3接点は、図中においてX及びYで示
す。抵抗器14の他端は、スイッチ24の一方の接点に
接続される。スイッチ24の他方の接点は直接に、ま
た、スイッチ16の他方の接点、及び一方の接点が接地
されたスイッチ26の他方の接点は、抵抗器28を介し
て出力端子30に接続される。出力端子30は、スイッ
チ32の一方の接点に接続されると共に、高入力インピ
ーダンスを有する利得1の緩衝増幅器35の入力端子に
接続される。緩衝増幅器35の出力端は、出力端子の電
圧を負帰還するために抵抗器36を介して演算増幅器1
0の反転入力端に接続されると共に、差動増幅器18の
反転入力端に接続される。基準電圧源34は、2出力端
子に夫々+V1/2及び−V2/2の電圧を発生し、夫々
スイッチ20及び32の他方の接点に供給する。
【0008】抵抗器28は、従来の電流測定装置に使用
する如き例えば、数ギガΩの高抵抗値を有する抵抗器で
あり、上述の様に、精度及び長期的安定性が良くない。
したがって、電流測定を行う前に抵抗器28の抵抗値を
測定する必要がある。一方、抵抗器14は、抵抗器28
に比較して低い例えば、数メガΩの既知の抵抗値を有
し、精度及び長期的安定性の良いものを安価で入手する
ことができる。スイッチ12、16、20、24、26
及び32は、望ましくは電子スイッチであり、CPU2
から送られる制御信号によりオン及びオフ状態が選択さ
れる。
【0009】差動増幅器18は、演算増幅器10の出力
端及び出力端子30間の差電圧を検出して、可変利得回
路38に供給する。可変利得回路38の利得は、CPU
2からの制御データに従って調整可能である。アナログ
・デジタル変換器(以下ADCという)40は、可変利
得回路38で調整した電圧をデジタル電圧データに変換
し、CPU2に送る。
【0010】次に図1の本発明の電流測定装置の動作
を、図2及び図3に示す複数のブロックを含む流れ図を
参照して説明する。CPU2は、ホスト・コンピュータ
又はキーボードから調整命令を受け取り、可変利得回路
38を調整する処理を行う。調整手順において、まず、
CPU2はブロック100で、スイッチ16、24及び
26を開状態にし、スイッチ12をY側に接続し、スイ
ッチ20及び32を閉状態にして、接続状態aにする。
これにより、差動増幅器18の両入力端子には、夫々電
圧+V1/2及び−V1/2が供給され、差動増幅器18
の出力電圧はV1となる。ADC40は、可変利得回路
38に現時点で設定された利得で増幅された電圧をデジ
タル値に変換し、バス4を介してCPU2に送る。CP
U2は、受け取ったデジタル値が電圧V1を示す値であ
るかどうかを調べ、その結果に応じて可変利得回路38
の利得を調整し、ADC40の出力デジタル値が電圧V
1を正確に示すようにする。緩衝増幅器35、差動増幅
器18、可変利得回路38及びADC40の動作に誤差
が無ければ、可変利得回路38の利得は1に設定され
る。しかし、通常は、誤差が存在し、その誤差に応じて
可変利得回路38の利得を1に近い値に設定することに
より総合的に誤差が補償される。ADC40の出力デジ
タル値が電圧V1を示す値となる可変利得回路38の利
得即ち利得Aが決まると、CPU2は、この利得Aに対
応する制御データを記憶し、利得A状態を維持する(ブ
ロック102)。
【0011】次に、CPU2は、ブロック104で、ス
イッチ24及び26を閉状態にし、スイッチ16を開状
態に維持し、スイッチ20及び32を開状態にし、スイ
ッチ12をX側接点に接続して、接続状態bにする。こ
れにより、演算増幅器10の出力電圧は、演算増幅器1
0及び接地電位間に直列接続された抵抗器14及び28
に供給され、抵抗器14の両端電圧は、差動増幅器18
の両入力端間に供給される。可変利得回路38の利得
は、利得Aに維持されている。CPU2は、DAC8に
制御データを供給し、その出力電圧をV2に設定する。
演算増幅器10、抵抗器14、緩衝増幅器35及び抵抗
器36は、負帰還型増幅回路を構成し、出力端子30の
電圧はDAC8の出力電圧V2に等しくなる。
【0012】説明のため、抵抗器14の既知の抵抗値を
R1、抵抗器28の公称抵抗値をR2、実際の抵抗値をR
2’とする。CPU2は、予め抵抗器28の公称抵抗値
R2を使用して、抵抗器14の両端電圧Vxを次の式で計
算し、結果を記憶している。 Vx=(V2/R2)×R1 (1) 次に、ブロック105で抵抗器14の実際の両端電圧V
x’を測定する。このVx’は、次の式で示すことができ
る。 Vx’=(V2/R2’)×R1 (2) 式(1)及び式(2)より、ブロック106で次の式を
用いてR2及びR2’の比を求める。 R2/R2’=Vx’/Vx (3)
【0013】電流測定を行うには、スイッチ12をX側
接点に接続したままにし、スイッチ16を閉状態にし、
他の全てのスイッチを開状態にし、被測定素子42を出
力端子30に接続して、接続状態cにする。出力端子4
0の電圧は、演算増幅器10の非反転端子の電圧に等し
く、被測定素子のインピーダンスにより決まる被測定電
流が演算増幅器10、スイッチ12、抵抗器28及び被
測定素子を流れる。スイッチ26は、抵抗器28の演算
増幅器10側に接続されているので、スイッチ26の漏
れ電流は、抵抗器28を流れる電流に影響しない。差動
増幅器18は、被測定電流により生じる抵抗器28の両
端電圧V3を検出する。被測定電流は、測定電圧を式
(2)から求めたR2’で除算して求められる。このよ
うに、第2抵抗器より抵抗値が低く、高精度且つ高安定
性の第1抵抗器を使用し、第2抵抗器の抵抗値を求めた
後、電流測定を行うので、高精度及び高安定性の高価な
抵抗器を使用しなくても、正確な電流測定ができる
【0014】しかし、厳密に言えば、この際に、R2’
及びV3の各々の値を、デジタル計算することにより、
切り捨てによる誤差が生じる。また、抵抗器28の公称
抵抗値R2が例えば5GΩであるが、測定値R2’が4.
95GΩであった場合、電圧V3を5×10*9(N*n
は、Nのn乗を表す。)で除算するの比較して、4.95
×10*9で除算するほうが、計算に多くのビット数を必
要とする。ビット数が多くなれば、それだけ計算時間が
長くなり、また、限られたビット数で計算すれば、切り
捨てによる計算誤差が大きくなる。
【0015】この問題を解決するために、本発明では、
更に、可変利得回路38の利得を適切に調整することに
より、電流測定時に、デジタル計算の回数を減らし、更
に、ADC40の出力デジタル値が、あたかも公称抵抗
値R2を有する抵抗器28に生じた電圧を示すようにし
ている。そのために、電流測定時の抵抗器28の両端電
圧に、公称抵抗値R2及び実際の抵抗値R2’の比R2/
R2’に等しいVx’/Vxを乗算した値がADC40の
出力に現れるように、可変利得回路38の利得を調整す
る。
【0016】この様に可変利得回路38を調整するため
に、CPU2は接続状態bにおいて、ブロック106に
続いて、ブロック108で、(Vx’×Vx’)/Vxを
計算し、記憶する。次に、ブロック110で、CPU2
は、ADC40の出力デジタル値が示す電圧が、(V
x’×Vx’)/Vxより大きいかどうかを調べる。現時
点では、可変利得回路38は、略1である利得Aに設定
してあるので、ADC40の出力デジタル値は略Vx’
に相当する。したがって、実際の抵抗値R2’が公称抵
抗値R2よりも大きければVx’/Vx<1となり、AD
C40の出力デジタル値は(Vx’×Vx’)/Vxより
大きいと判断されてブロック112に移り、可変利得回
路38の利得が減少される。大きいと判断されなけれ
ば、ブロック114に移る。実際の抵抗値R2’が公称
抵抗値R2よりも小さければ、Vx’/Vx>1となり、
ADC40の出力デジタル値は(Vx’×Vx’)/Vx
より小さいと判断されてブロック116に移り、可変利
得回路38の利得が増加される。
【0017】ブロック112又はブロック116で利得
が増減された後、再びADC40の出力デジタル値及び
(Vx’×Vx’)/Vxの大小関係が調べられ、必要に
応じて利得が増減される。この様な処理を繰り返した
後、ADC40の出力デジタル値が示す電圧が(Vx’
×Vx’)/Vxに等しいと判断されると、ブロック11
8に移り、そのときの可変利得回路38の利得Bを設定
するための制御データがCPU2に記憶され、利得B状
態が維持される。この利得設定は、緩衝増幅器32、差
動増幅器18、可変利得回路38及びADC40の固有
の誤差を加味して行われるので正確である。
【0018】電流測定を行うには、ブロック120で上
述した接続状態cにする。抵抗器28の両端電圧V3が
ADC40の出力端において正確にVx’/Vx倍され、
抵抗器28が公称抵抗値を有する状態が仮想される。C
PU2は、ADC40の出力デジタル値を、予め記憶し
てある例えば5.0MΩである公称抵抗値で除算するこ
とにより、被測定電流を測定することができる。この測
定では、ADC40の入力電圧は、アナログ的に調整さ
れており、ADC40の出力デジタル値を、有効数字の
桁数の少ない公称抵抗値で1回だけデジタル計算するこ
とができるので、正確に電流測定を行うことができる。
【0019】
【発明の効果】本発明の電流測定装置では、電流測定用
抵抗器より抵抗値が低く、高精度且つ高安定性の抵抗器
を使用し、電流測定用抵抗器の抵抗値を求めた後、電流
測定を行うので、高精度及び高安定性の高価な電流測定
用抵抗器を使用しなくても、正確な電流測定ができる
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の電流測定装置の実施例を示すブロック
図である。
【図2】図1の装置の動作を説明するための流れ図であ
る。
【図3】図1の装置の動作を説明するための流れ図であ
る。
【符号の説明】
10 演算増幅手段 14 第1抵抗器 16 第2スイッチ手段 18 電圧検出器 24 第1スイッチ手段 26 第3スイッチ手段 28 第2抵抗器

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 測定用端子と、 非反転入力端子に既知の電圧が供給され、反転入力端子
    が上記測定用端子に接続された演算増幅手段と、 該演算増幅手段の出力端子及び上記測定用端子間に直列
    接続された第1スイッチ手段及び抵抗値が既知の第1抵
    抗器を含む第1直列回路と、 上記演算増幅手段の出力端子及び上記測定用端子間に順
    番に直列接続された第2スイッチ手段及び第2抵抗器を
    含む第2直列回路と、 上記第2スイッチ手段及び上記第2抵抗器の接続点と基
    準電位源間に接続された第3スイッチ手段と、 上記演算増幅手段の出力端子及び上記測定用端子間の電
    圧を検出する電圧検出手段とを具えることを特徴とする
    電流測定装置。
JP4153034A 1992-05-21 1992-05-21 電流測定装置 Pending JPH0634674A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4153034A JPH0634674A (ja) 1992-05-21 1992-05-21 電流測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4153034A JPH0634674A (ja) 1992-05-21 1992-05-21 電流測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0634674A true JPH0634674A (ja) 1994-02-10

Family

ID=15553529

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4153034A Pending JPH0634674A (ja) 1992-05-21 1992-05-21 電流測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0634674A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7138819B2 (en) 2002-06-13 2006-11-21 Advantest Corp. Differential voltage measuring apparatus and semiconductor testing apparatus
JP2023147461A (ja) * 2022-03-30 2023-10-13 エイブリック株式会社 測定回路及びこれを用いる測定システム

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0245768A (ja) * 1988-08-05 1990-02-15 Advantest Corp 自動校正機能付電圧印加電流測定装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0245768A (ja) * 1988-08-05 1990-02-15 Advantest Corp 自動校正機能付電圧印加電流測定装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7138819B2 (en) 2002-06-13 2006-11-21 Advantest Corp. Differential voltage measuring apparatus and semiconductor testing apparatus
JP2023147461A (ja) * 2022-03-30 2023-10-13 エイブリック株式会社 測定回路及びこれを用いる測定システム

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA1280162C (en) Digital-to-analog calibration system
US3847017A (en) Strain measuring system
US4467275A (en) DC characteristics measuring system
CN115753022B (zh) 光器件性能的测试系统及测试方法
JPH0148982B2 (ja)
JP2000009792A (ja) テストバーンインシステム、及びテストバーンインシステム校正方法
JPH10253701A (ja) 半導体試験装置
JP3309380B2 (ja) ディジタル測定器
US5448173A (en) Triple-probe plasma measuring apparatus for correcting space potential errors
US7489123B2 (en) Calibration control for pin electronics of automatic testing equipment
CN118519084A (zh) 使用阻抗模拟进行校准的系统和方法
JPH02184775A (ja) マイクロコンピュータ制御による抵抗異常位置検出回路
CN101918851B (zh) 具有最小共模误差的电压检测测量单元
JP3351167B2 (ja) バッテリ電圧測定装置
US4131846A (en) Meter control circuit
JPS6382382A (ja) Icテスト用直流源の校正装置
JP2004245651A (ja) 電圧電流特性測定回路および半導体試験装置
JP2660889B2 (ja) 電源電流測定装置
JP2948633B2 (ja) 半導体装置の電圧測定方法
JP2624920B2 (ja) 多現象オシロスコープの垂直増幅器校正装置
JP2994649B2 (ja) 自動校正機能付電圧印加電流測定装置
JPH07183346A (ja) 半導体テスト装置
JP2000235053A (ja) 計測装置
JP2000214222A (ja) 電源回路
CN114019439B (zh) 一种适合多种量程直流标准表的检定系统用计量模块