JPH06350370A - 圧電共振子の製造方法 - Google Patents
圧電共振子の製造方法Info
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- JPH06350370A JPH06350370A JP13188593A JP13188593A JPH06350370A JP H06350370 A JPH06350370 A JP H06350370A JP 13188593 A JP13188593 A JP 13188593A JP 13188593 A JP13188593 A JP 13188593A JP H06350370 A JPH06350370 A JP H06350370A
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- damping material
- piezoelectric resonator
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- Pending
Links
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、マザー圧電共振子から圧電
共振子に切り出す時に、ダンピング材が剥がれない圧電
共振子の製造方法を提供するにある。 【構成】 マザー圧電基板に内部電極を設け、その振動
電極部の上部およびその領域よりやや広い部分にダンピ
ング材を、このダンピング材の上部およびその領域より
やや広い部分に硬質被膜をそれぞれ設けたマザー圧電基
板の両側に、所定の空間を形成するように保護基板をそ
れぞれ接着してマザー圧電共振子を作り、このマザー圧
電共振子を切断して圧電共振子を製造するものである。
共振子に切り出す時に、ダンピング材が剥がれない圧電
共振子の製造方法を提供するにある。 【構成】 マザー圧電基板に内部電極を設け、その振動
電極部の上部およびその領域よりやや広い部分にダンピ
ング材を、このダンピング材の上部およびその領域より
やや広い部分に硬質被膜をそれぞれ設けたマザー圧電基
板の両側に、所定の空間を形成するように保護基板をそ
れぞれ接着してマザー圧電共振子を作り、このマザー圧
電共振子を切断して圧電共振子を製造するものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電共振子の製造方法
に関し、特に厚み滑り振動モードを利用する圧電共振子
の製造方法に関する。
に関し、特に厚み滑り振動モードを利用する圧電共振子
の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の圧電共振子の製造方法と
しては、図８に示すように、マザー圧電基板１の両面
に、振動電極２ａと引出し電極２ｂとを一体にした内部
電極２を、振動電極２ａが表裏対向するように且つ引出
し電極２ｂがそれぞれ反対方向にマザー圧電基板１の端
縁まで導出されるように設ける工程と、このマザー圧電
基板１の両面に凹形保護基板５をそれぞれ張り合わせて
マザー圧電共振子６を作る工程と、このマザー圧電共振
子の空間部にダンピング材３を注入する工程と、そし
て、マザー圧電共振子６を点線７で切断して、圧電共振
子を切り出す工程と、よりなるものである。
しては、図８に示すように、マザー圧電基板１の両面
に、振動電極２ａと引出し電極２ｂとを一体にした内部
電極２を、振動電極２ａが表裏対向するように且つ引出
し電極２ｂがそれぞれ反対方向にマザー圧電基板１の端
縁まで導出されるように設ける工程と、このマザー圧電
基板１の両面に凹形保護基板５をそれぞれ張り合わせて
マザー圧電共振子６を作る工程と、このマザー圧電共振
子の空間部にダンピング材３を注入する工程と、そし
て、マザー圧電共振子６を点線７で切断して、圧電共振
子を切り出す工程と、よりなるものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この従来製造
方法においては、ダンピング材の注入工程でダンピング
材が必要以上に充填され、且つダンピング材が弾性を持
っているので、圧電共振子の切り出し時に、ダンピング
材が剥がれるという欠点があった。また、ダンピング剤
がうまく全域にいきわたっているかどうか判らないとい
う欠点もあった。それゆえに、切り出し時に剥がれた
り、またダンピング剤がよくいきわたっていないと、圧
電共振子はダンピング不十分になるので、良好な特性が
得られないということがあった。
方法においては、ダンピング材の注入工程でダンピング
材が必要以上に充填され、且つダンピング材が弾性を持
っているので、圧電共振子の切り出し時に、ダンピング
材が剥がれるという欠点があった。また、ダンピング剤
がうまく全域にいきわたっているかどうか判らないとい
う欠点もあった。それゆえに、切り出し時に剥がれた
り、またダンピング剤がよくいきわたっていないと、圧
電共振子はダンピング不十分になるので、良好な特性が
得られないということがあった。
【０００４】したがって、本発明の目的は、マザー圧電
共振子の切り出し時に、ダンピング材が剥がれることが
なく、ダンピング材が必要量かつ確実について、特性の
揃った圧電共振子の製造方法を提供することを目的とす
る。
共振子の切り出し時に、ダンピング材が剥がれることが
なく、ダンピング材が必要量かつ確実について、特性の
揃った圧電共振子の製造方法を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】したがって、本発明は上
記目的を達成するために、マザー圧電基板の両面に、振
動電極と引出し電極とよりなる内部電極を、振動電極は
両面で対向するように且つ引出し電極はそれぞれ反対方
向に端辺まで導出されるように、それぞれ設ける工程
と、両面の振動電極上部およびその領域よりやや広い部
分に、ダンピング材をそれぞれ設ける工程と、このダン
ピング材の上部およびその領域よりやや広い部分に、硬
質被膜を設ける工程と、マザー圧電基板の両面に、所定
の空間を形成するように保護基板をそれぞれ接着してマ
ザー圧電共振子を作る工程と、このマザー圧電共振子を
切断して圧電共振子を作る工程と、よりなる圧電共振子
の製造方法としたものである。
記目的を達成するために、マザー圧電基板の両面に、振
動電極と引出し電極とよりなる内部電極を、振動電極は
両面で対向するように且つ引出し電極はそれぞれ反対方
向に端辺まで導出されるように、それぞれ設ける工程
と、両面の振動電極上部およびその領域よりやや広い部
分に、ダンピング材をそれぞれ設ける工程と、このダン
ピング材の上部およびその領域よりやや広い部分に、硬
質被膜を設ける工程と、マザー圧電基板の両面に、所定
の空間を形成するように保護基板をそれぞれ接着してマ
ザー圧電共振子を作る工程と、このマザー圧電共振子を
切断して圧電共振子を作る工程と、よりなる圧電共振子
の製造方法としたものである。
【０００６】
【作用】本発明に係る圧電共振子の製造方法は、マザー
圧電基板の両面の振動電極の上部およびその領域よりや
や広い部分にダンピング材を必要量設け、且つこのダン
ピング材の上部およびその領域よりやや広い部分に硬質
被膜を設けて、弾性を有するダンピング材をこの硬質被
膜で保護するので、圧電共振子の切り出し時に、ダンピ
ング材が剥がれるようなことがなくなる。したがって、
本製造方法により製造された圧電共振子は、ダンピング
材が、必要量且つ確実に付いているので、ダンピング特
性の揃ったものとなる。
圧電基板の両面の振動電極の上部およびその領域よりや
や広い部分にダンピング材を必要量設け、且つこのダン
ピング材の上部およびその領域よりやや広い部分に硬質
被膜を設けて、弾性を有するダンピング材をこの硬質被
膜で保護するので、圧電共振子の切り出し時に、ダンピ
ング材が剥がれるようなことがなくなる。したがって、
本製造方法により製造された圧電共振子は、ダンピング
材が、必要量且つ確実に付いているので、ダンピング特
性の揃ったものとなる。
【０００７】
【実施例】以下に、本発明の一実施例に係る２端子形デ
ィスクリミネータの製造方法について図面を参照して説
明する。
ィスクリミネータの製造方法について図面を参照して説
明する。
【０００８】図１は電極形成工程を示すものである。同
図において、１は厚み滑り振動モード用のマザー圧電基
板で、このマザー圧電基板１の表裏には、振動電極２ａ
と引出し電極２ｂとが一体となった内部電極２が、設け
られる。その場合、マザー圧電基板１の中央帯で振動電
極２ａが対向し、且つ引出し電極２ｂがそれぞれマザー
圧電基板１の端縁の反対方向に導出するように、設けら
れる。
図において、１は厚み滑り振動モード用のマザー圧電基
板で、このマザー圧電基板１の表裏には、振動電極２ａ
と引出し電極２ｂとが一体となった内部電極２が、設け
られる。その場合、マザー圧電基板１の中央帯で振動電
極２ａが対向し、且つ引出し電極２ｂがそれぞれマザー
圧電基板１の端縁の反対方向に導出するように、設けら
れる。
【０００９】図２はダンピング材形成工程を示すもの
で、図２の工程で形成された表裏の内部電極２の振動電
極２ａ領域よりやや広い部分に、スクリーン印刷等でシ
リコン等のダンピング材３を設けるものである。
で、図２の工程で形成された表裏の内部電極２の振動電
極２ａ領域よりやや広い部分に、スクリーン印刷等でシ
リコン等のダンピング材３を設けるものである。
【００１０】図３は硬質被膜形成工程を示すもので、図
２の工程で形成された表裏のダンピング材３上およびそ
の領域よりやや広い部分に、スクリーン印刷等でエポキ
シ樹脂等を塗布し、硬化させて硬質被膜４を設けるもの
である。
２の工程で形成された表裏のダンピング材３上およびそ
の領域よりやや広い部分に、スクリーン印刷等でエポキ
シ樹脂等を塗布し、硬化させて硬質被膜４を設けるもの
である。
【００１１】図４の工程は、前工程で処理されたマザー
圧電基板１の両側に、凹形保護基板５をそれぞれ接着し
て、図５に示すマザー圧電共振子６を作るものである。
圧電基板１の両側に、凹形保護基板５をそれぞれ接着し
て、図５に示すマザー圧電共振子６を作るものである。
【００１２】図５の工程は、図４の工程で作られたマザ
ー圧電共振子６を、点線７で切断して図６に示す圧電共
振子６ａを作るものである。
ー圧電共振子６を、点線７で切断して図６に示す圧電共
振子６ａを作るものである。
【００１３】図６の工程は、圧電共振子６ａの両サイド
の空部に、振動電極２ａの振動を疎外しないように、側
板８をそれぞれ接着するものである。
の空部に、振動電極２ａの振動を疎外しないように、側
板８をそれぞれ接着するものである。
【００１４】図７の工程は、図６の工程で圧電共振子６
ａに側板８がそれぞれ接着されたものに、引出し電極２
ｂと電気的に導通する外部電極９を、圧電基板１、保護
基板５および側板８の端縁部にそれぞれ設けるものであ
る。
ａに側板８がそれぞれ接着されたものに、引出し電極２
ｂと電気的に導通する外部電極９を、圧電基板１、保護
基板５および側板８の端縁部にそれぞれ設けるものであ
る。
【００１５】なお、図６以降の工程については、本実施
例で示した製造方法以外にもいろいろな製造方法が考え
られるところである。
例で示した製造方法以外にもいろいろな製造方法が考え
られるところである。
【００１６】上記製造方法で製造された圧電共振子は、
次の通りである。すなわち、厚み滑り振動をする圧電基
板１の両面中央部に対向する振動電極２ａが設けられ、
この振動電極２ａからはそれぞれ反対方向に引出し電極
２ｂが圧電基板１の端縁まで導出され、振動電極２ａの
上部およびその領域よりやや広い部分にシリコン等のダ
ンピング材３が設けられ、このダンピング材３の上部お
よびその領域よりやや広い部分にエポキシ樹脂等の硬質
被膜４が設けられ、圧電基板１の両面に凹形保護基板５
がそれぞれ接着され、この保護基板５の両側の空部に側
板８がそれぞれ接着され、そして引出し電極２ｂと電気
的に導通する外部電極９が圧電基板１、凹形保護基板５
そして側板８の端縁部にそれぞれ設けられている圧電共
振子となる。
次の通りである。すなわち、厚み滑り振動をする圧電基
板１の両面中央部に対向する振動電極２ａが設けられ、
この振動電極２ａからはそれぞれ反対方向に引出し電極
２ｂが圧電基板１の端縁まで導出され、振動電極２ａの
上部およびその領域よりやや広い部分にシリコン等のダ
ンピング材３が設けられ、このダンピング材３の上部お
よびその領域よりやや広い部分にエポキシ樹脂等の硬質
被膜４が設けられ、圧電基板１の両面に凹形保護基板５
がそれぞれ接着され、この保護基板５の両側の空部に側
板８がそれぞれ接着され、そして引出し電極２ｂと電気
的に導通する外部電極９が圧電基板１、凹形保護基板５
そして側板８の端縁部にそれぞれ設けられている圧電共
振子となる。
【００１７】
【発明の効果】したがって、本発明に係る製造方法は、
マザー圧電基板の両面の振動電極上部およあびその領域
よりやや広い部分にダンピング材を必要量設け、且つこ
のダンピング材の上部およびその領域よりやや広い部分
に硬質被膜を設けて、弾性を有するダンピング材をこの
硬質被膜で保護するので、圧電共振子の切り出し時に、
ダンピング材が剥がれるようなことはなくなる。したが
って、本製造方法により製造された圧電共振子は、ダン
ピング材が、必要量且つ確実に付いているので、ダンピ
ング特性の揃ったものとなる。
マザー圧電基板の両面の振動電極上部およあびその領域
よりやや広い部分にダンピング材を必要量設け、且つこ
のダンピング材の上部およびその領域よりやや広い部分
に硬質被膜を設けて、弾性を有するダンピング材をこの
硬質被膜で保護するので、圧電共振子の切り出し時に、
ダンピング材が剥がれるようなことはなくなる。したが
って、本製造方法により製造された圧電共振子は、ダン
ピング材が、必要量且つ確実に付いているので、ダンピ
ング特性の揃ったものとなる。
【図１】 厚み振動モード用のマザー圧電基板に電極を
形成する工程図
形成する工程図
【図２】 図１に示す振動電極の上部およびその領域よ
りやや広い部分にダンピング材を形成する工程図
りやや広い部分にダンピング材を形成する工程図
【図３】 図２に示すダンピング材の上部およびその領
域よりやや広い部分に硬質被膜を形成する工程図
域よりやや広い部分に硬質被膜を形成する工程図
【図４】 図３に示すマザー圧電基板の両面に凹形保護
基板を接着してマザー圧電共振子を作る工程図
基板を接着してマザー圧電共振子を作る工程図
【図５】 マザー圧電共振子を切断して圧電共振子を作
る工程図
る工程図
【図６】 圧電共振子の両側空部に側板をそれぞれ接着
する工程図
する工程図
【図７】 引出し電極と電気的に導通する外部電極を圧
電基板、保護基板および側板の端縁部に設ける工程図
電基板、保護基板および側板の端縁部に設ける工程図
【図８】 従来の圧電共振子の製造方法の工程説明図
１ マザー圧電基板 ２ 内部電極 ２ａ 振動電極 ２ｂ 引出し電極 ３ ダンピング材 ４ 硬質被膜 ５ 保護基板 ６ マザー圧電共振子 ６ａ 圧電共振子 ７ 点線 ８ 側板 ９ 外部電極
Claims (1)
- 【請求項１】 マザー圧電基板の両面に、振動電極と引
出し電極とよりなる内部電極を、振動電極は両面で対向
するように且つ引出し電極はそれぞれ反対方向に端辺ま
で導出されるように、それぞれ設ける工程と、両面の振
動電極上部およびその領域よりやや広い部分に、ダンピ
ング材をそれぞれ設ける工程と、このダンピング材の上
部およびその領域よりやや広い部分に、硬質被膜を設け
る工程と、マザー圧電基板の両面に、所定の空間を形成
するように保護基板をそれぞれ接着してマザー圧電共振
子を作る工程と、このマザー圧電共振子を切断して圧電
共振子を作る工程と、よりなる圧電共振子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13188593A JPH06350370A (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | 圧電共振子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13188593A JPH06350370A (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | 圧電共振子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06350370A true JPH06350370A (ja) | 1994-12-22 |
Family
ID=15068424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13188593A Pending JPH06350370A (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | 圧電共振子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06350370A (ja) |
-
1993
- 1993-06-02 JP JP13188593A patent/JPH06350370A/ja active Pending
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