JPH0635737U - 軸の真空シール構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空シール用のパッキンの長寿命化を図ると
共に、高い真空シール効果が得られるようにした軸の真
空シール構造を提供する。 【構成】 回転駆動および往復直線駆動される軸２が貫
通するパッキンホルダ２０を真空容器４に取り付け、こ
のパッキンホルダ２０の内周部にパッキン２２ａ〜２２
ｃを収納している。このパッキンホルダ２０の内周部で
あってパッキン２２ａと２２ｂ間に、リング状のグリー
ス溜め２６を設けてそこに真空用グリース２８を満たし
ている。かつ、パッキンホルダ２０の内周部であってパ
ッキン２２ｂと２２ｃ間に、真空に排気されるリング状
の真空排気溝３０を設けている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、例えばイオン注入装置、薄膜形成装置等の真空装置において、真 空容器内へ大気圧側から動力を伝達すること等に用いられる軸が真空容器を貫通 する部分の真空シール構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】

この種の真空シール構造の従来例を図２に示す。図示しない真空排気装置によ って真空に排気される真空容器４を軸２が貫通している。この軸２は、この例で は大気圧側から真空容器４内へ動力を伝達するためのものであり、大気圧側端部 に駆動源６が連結されており、真空容器４内側端部にこの例ではウェーハ９を搬 送する搬送アーム８が取り付けられている。軸２は駆動源６によって、例えば矢 印Ａのように往復回転駆動および矢印Ｂのように軸方向に往復直線駆動され、そ れによって搬送アーム８が真空容器４内で旋回および上下動させられる。

【０００３】 軸２が真空容器４を貫通する部分の真空シール構造は、次のようになっている 。即ち、軸２が貫通するパッキンホルダ１０を真空容器４に取り付け、このパッ キンホルダ１０の内周部にこの例では二つのパッキン１２を収納し、これによっ て軸２の真空シールを行っている。パッキンホルダ１０と真空容器４との間はパ ッキン１４によって真空シールを行っている。これらのパッキン１２、１４は例 えばＯリングから成る。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

軸２が上記のように駆動されるため、上記パッキン１２には真空用グリース（ 真空中でも蒸発しにくいグリース）を塗布して潤滑を図っているが、パッキン１ ２に真空用グリースを単に塗布するだけであるからグリース塗布量が十分にとれ ず、そのためパッキン１２と軸２との間の潤滑が十分に行われないためにパッキ ン１２が摩耗して真空漏れを起こしやすく、パッキン１２の寿命が短いという問 題がある。

【０００５】 しかも上記構造では、大気圧側で軸２に付着した水分子等が軸２の上記のよう な往復直線運動に伴って二つのパッキン１２を順に越えて真空容器４内へ入りや すく、そのため高い真空シール効果が得られないという問題もある。

【０００６】 そこでこの考案は、真空シール用のパッキンの長寿命化を図ると共に、高い真 空シール効果が得られるようにした軸の真空シール構造を提供することを主たる 目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、この考案の真空シール構造は、回転駆動および往復 直線駆動される軸が真空容器を貫通する部分の真空シールをする構造において、 パッキンを保持するものであって前記軸が貫通するパッキンホルダを前記真空容 器に取り付け、このパッキンホルダの内周部に真空容器内側から数えて第１、第 ２および第３のパッキンを収納し、同パッキンホルダの内周部であって第１と第 ２のパッキン間にリング状のグリース溜めを設けてそこに真空用グリースを満た しており、かつ同パッキンホルダの内周部であって第２と第３のパッキン間に真 空に排気されるリング状の真空排気溝を設けていることを特徴とする。

【０００８】

【作用】

上記構造によれば、グリース溜めに真空用グリースを満たしており、しかもこ の真空用グリースは軸の往復直線運動に伴って第１ないし第３のパッキンの部分 にまで拡がるので、この真空用グリースによって軸と第１ないし第３のパッキン 間の潤滑が十分に行われる。その結果、各パッキンの摩耗が少なくなり、その長 寿命化を図ることが可能になる。

【０００９】 しかも、真空排気溝は真空に排気されるので、軸に付着した水分子等が大気圧 側から第３のパッキンを越えて入って来ても、当該水分子等を真空排気溝から外 部へ排出してそれが真空容器内へ入るのを阻止することができる。その結果、高 い真空シール効果を得ることができる。

【００１０】

【実施例】

図１は、この考案の一実施例に係る真空シール構造を示す断面図である。図２ の従来例と同一または相当する部分には同一符号を付し、以下においては当該従 来例との相違点を主に説明する。

【００１１】 この実施例においては、前述したような軸２が貫通するパッキンホルダ２０を 前述したような真空容器４に取り付け、このパッキンホルダ２０の内周部に真空 容器４内側から数えて第１、第２および第３のパッキン２２ａ、２２ｂおよび２ ２ｃを収納し、このパッキン２２ａ〜２２ｃによって軸２の真空シールを行うよ うにしている。パッキンホルダ２０と真空容器４との間はパッキン２４によって 真空シールを行っている。これらのパッキン２２ａ〜２２ｃおよび２４は例えば Ｏリングから成る。

【００１２】 また、このパッキンホルダ２０の内周部であって第１と第２のパッキン２２ａ 、２２ｂ間に、リング状のグリース溜め２６を設け、そこに真空用グリース２８ を満たしている。この真空用グリース２８は、真空中でも蒸発しにくいグリース であり、このようなものの一例としてフォンブリングリース（商品名）がある。

【００１３】 更に、パッキンホルダ２０の内周部であって第２と第３のパッキン２２ｂ、２ ２ｃ間に、真空に排気されるリング状の真空排気溝３０を設けている。この真空 排気溝３０は、この実施例では、パッキンホルダ２０内の連通孔３２、パッキン ホルダ２０に取り付けたコネクタ３４および配管３６を経由して、図示しない真 空排気装置によって真空に排気される。この真空排気溝３０は、真空容器４内の 真空度（例えば１×１０^-7〜１×１０^-8Ｔｏｒｒ程度）ほど高く真空排気する必 要はなく、それよりも低い例えば１０^-1Ｔｏｒｒ程度に真空排気すれば良い。

【００１４】 上記構造によれば、グリース溜め２６に真空用グリース２８を満たしており、 しかもこの真空用グリース２８は軸２の前述した矢印Ｂのような往復直線運動に 伴ってパッキン２２ａ〜２２ｃの部分にまで拡がるので、この真空用グリース２ ８によって軸２と各パッキン２２ａ〜２２ｃ間の潤滑が十分に行われる。その結 果、各パッキン２２ａ〜２２ｃの摩耗が少なくなり、その長寿命化を図ることが 可能になる。

【００１５】 しかも、真空排気溝３０は真空に排気されるので、軸２に付着した水分子等が 大気圧側からパッキン２２ｃを越えて入って来ても、当該水分子等を真空排気溝 ３０から外部へ排出してそれが真空容器４内へ入るのを阻止することができる。 また、機械的組立誤差等によるパッキン２２ｃからの微小真空漏れが仮にあって も、その影響が真空容器４内に及ぶのを真空排気溝３０によって防止することも できる。その結果この真空シール構造によれば、高い真空シール効果を得ること ができる。従って例えば、高真空に排気される真空容器４内の高真空度を保持す ることも容易となる。

【００１６】 なお、パッキンホルダ２０には、必要に応じて上記第１〜第３のパッキン２２ ａ〜２２ｃ以外のパッキンを更に設けても良い。

【００１７】 また、軸２は必ずしも上記例のように往復回転駆動されるものである必要はな く、一方向に回転駆動されるものでも良い。

【００１８】 また、軸２に連結されるものは、必ずしも上記例のような駆動源６および搬送 アーム８である必要はなく、他のものでも良い。

【００１９】

【考案の効果】

以上のようにこの考案によれば、グリース溜めに満たした真空用グリースによ って、軸と各パッキン間の潤滑が十分に行われるので、各パッキンの摩耗が少な くなり、その長寿命化を図ることが可能になる。

【００２０】 しかも、真空排気溝によって、大気圧側から入って来る水分子等を外部へ排出 してそれが真空容器内へ入るのを阻止することができるので、高い真空シール効 果を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例に係る真空シール構造を示
す断面図である。

【図２】従来の真空シール構造の一例を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

２ 軸 ４ 真空容器 ２０ パッキンホルダ ２２ａ 第１のパッキン ２２ｂ 第２のパッキン ２２ｃ 第３のパッキン ２６ グリース溜め ２８ 真空用グリース ３０ 真空排気溝

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転駆動および往復直線駆動される軸が
   真空容器を貫通する部分の真空シールをする構造におい
   て、パッキンを保持するものであって前記軸が貫通する
   パッキンホルダを前記真空容器に取り付け、このパッキ
   ンホルダの内周部に真空容器内側から数えて第１、第２
   および第３のパッキンを収納し、同パッキンホルダの内
   周部であって第１と第２のパッキン間にリング状のグリ
   ース溜めを設けてそこに真空用グリースを満たしてお
   り、かつ同パッキンホルダの内周部であって第２と第３
   のパッキン間に真空に排気されるリング状の真空排気溝
   を設けていることを特徴とする軸の真空シール構造。