JPH0635953U - 蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 試料励起台に対するＸ線管の取付け位置を工
夫することにより、分析精度が向上すると共に小型で安
価な蛍光Ｘ線分析装置を提供すること。 【構成】 試料励起台１の内部空間６にＸ線管７とその
高圧電源１０とを収容した。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、試料に対して一次Ｘ線を照射し、試料から放出される蛍光Ｘ線の強 度に基づいて試料中に含まれる成分の定量分析を行う蛍光Ｘ線分析装置に関する 。

【０００２】

【従来の技術】

例えばエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置においては、試料または試料を収容 したセルを試料励起台の上部に形成された試料載置台に載置し、試料励起台の下 方に設けられたＸ線管から一次Ｘ線を試料に向けて照射し、そのとき試料から放 出される蛍光Ｘ線を、試料励起台の下方に設けられたＸ線検出器によって検出す るように構成されている。

【０００３】 図２は従来の試料励起台の近傍の構成を概略的に示すもので、この図において 、２１は試料励起台で、その上部には、試料または試料セルを載置できるように フラットな試料載置面２２が形成されている。試料励起台２１の一方の側面２３ の外方には、Ｘ線管ハウジング２４がブラケット２５および取付けボルト２６に よって止着され、Ｘ線管ハウジング２４内にはＸ線管２７が配設されると共に、 絶縁油（図外）が満たされている。なお、前記側面２３には開口２８が形成して あり、Ｘ線管２７から一次Ｘ線２９がパス部３０を介して試料載置面２２に載置 された試料（図外）に向かうようにしてある。

【０００４】 ３１は前記Ｘ線管２７に高電圧の電力を供給するため高圧電源で、Ｘ線管ハウ ジング２４とは別体構成とされ、Ｘ線管２７とは高圧ケーブル３２、高圧コネク タ３３を介して接続されている。また、試料励起台２１の他方の側面３４には、 前記パス部３０に臨むようにしてＸ線検出器３５が設けてあり、前記試料側から の蛍光Ｘ線３６を検出できるようにしてある。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記構成の蛍光Ｘ線分析装置においては、試料励起台２１、Ｘ 線管ハウジング２４、高圧電源３１がそれぞれ独立したユニットであるため次の ような欠点があった。

【０００６】 Ｘ線管ハウジング２４を試料励起台２１に取り付けるためのブラケット２ ５が必要となり、Ｘ線管２７と試料との間の距離、つまり、Ｘ線パスの距離を短 くするには限度があり、試料に対する一次Ｘ線２９の強度に限界があり、分析精 度を上げることが困難であった。

【０００７】 そして、Ｘ線管ハウジング２４および高圧電源３１が試料励起台２１の外 部に設けられているため、試料励起台２１近傍が大型化し、装置全体を小型化す る上で大きな障害となっていた。

【０００８】 また、試料励起台２１、Ｘ線管ハウジング２４、高圧電源３１など多くの ユニットに別れているため、部品点数が多くなり、製造コストが低く抑えること ができなかった。

【０００９】 本考案は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的とするところは、 試料励起台に対するＸ線管の取付け位置を工夫することにより、分析精度が向上 すると共に小型で安価な蛍光Ｘ線分析装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、本考案に係る蛍光Ｘ線分析装置は、試料励起台の内 部空間にＸ線管とその高圧電源とを収容している。

【００１１】

【作用】

試料励起台の内部にＸ線管を収容する室を形成し、この空間に絶縁油を満たし てこれにＸ線管を浸漬するように配置する。そして、高圧電源は、前記Ｘ線収容 室とは区画された試料励起台の他の室に設ける。このようにすることにより、Ｘ 線管と試料との距離を短くでき、試料に対する一次Ｘ線の強度が向上すると共に 、Ｘ線発生部、試料励起部、検出部の位置関係の精度が向上するので、分析精度 が向上する。

【００１２】 また、試料励起台内部にＸ線管とその高圧電源とを収容したので、試料励起台 近傍の構成がすっきりとすると共に小型になり、装置全体が小型化される。そし て、Ｘ線管を取り付ける部材が不要になるなど部品点数が減少するので、コスト ダウンとなる。

【００１３】

【実施例】

以下、本考案の実施例を、図面に基づいて説明する。

【００１４】 図１は本考案に係る蛍光Ｘ線分析装置における試料励起台近傍の構成を概略的 に示すもので、この図において、１は例えば真鍮よりなる試料励起台である。そ の上面には試料載置部２が形成され、試料（または試料を収容した試料セル）３ を載置するための試料台４を着脱自在に載せられるように構成されている。前記 試料載置部２の下方はＸ線パス部５に形成されている。

【００１５】 ６は試料励起台１の内部に形成される第１室で、この第１室６内には、Ｘ線管 ７がボルトなど取付け部材８を介して前記Ｘ線パス部５に臨むようにして取り付 けられると共に、Ｘ線管７に高電圧の電力を高圧ケーブル９を介して供給する高 圧電源１０が設けられ、さらに、絶縁油１１が充填される。１２は第１室６の開 口を閉鎖する蓋部材であり、適宜の止着部材によって試料励起台１に固定されて いる。

【００１６】 １３は試料励起台１に形成された第２室で、この第２室１３には、前記Ｘ線パ ス部５に臨むようにして半導体検出センサ１４よりなるＸ線検出器１５が設けら れている。

【００１７】 上記構成によれば、Ｘ線管７からの一次Ｘ線１６はＸ線パス部５を介して試料 ３に照射され、そのとき、試料３から放出される蛍光Ｘ線１７は半導体検出セン サ１４に入射し、Ｘ線検出器１５からは入射した蛍光Ｘ線１７に応じた信号が出 力され、この出力は図外の信号処理部において処理され、試料中に含まれる成分 の定性および定量分析が行われる。

【００１８】 そして、上記構成によれば、Ｘ線管７と試料３との距離を短くでき、試料３に 対する一次Ｘ線１６の強度が向上すると共に、Ｘ線発生部７、試料励起部２、検 出部１５の位置関係の精度が向上するので、分析精度が向上する。

【００１９】 また、試料励起台１の内部にＸ線管７とその高圧電源１０とを収容したので、 試料励起台１近傍の構成がすっきりとすると共に小型になり、装置全体が小型化 される。そして、Ｘ線管７を取り付ける部材が不要になるなど部品点数が減少す るので、コストダウンとなる。

【００２０】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、蛍光Ｘ線分析装置の分析精度が向上し 、蛍光Ｘ線分析装置を小型でかつ安価なものとすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る蛍光Ｘ線分析装置の要部を示す断
面図である。

【図２】従来技術を説明するための図である。

【符号の説明】

１…試料励起台、６…内部空間、７…Ｘ線管、１０…高
圧電源。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料励起台の内部空間にＸ線管とその高
   圧電源とを収容したことを特徴とする蛍光Ｘ線分析装
   置。